专利汇可以提供一种电子束蒸发式真空镀膜机专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种 电子 束 蒸发 式 真空 镀 膜 机,包括腔体组件、伞架组件、高 阀 组件、深冷系统、 管道系统 、扩散 泵 、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和 门 夹紧组件;所述伞架组件固定在腔体组件上,所述高阀组件与腔体组件相连,所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起,所述门夹紧组件安装于腔体组件上;所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内;所述深冷系统包括2根深冷盘管,1根安装在腔体组件内,1根安装在高阀组件内。本 发明 具有机构简单,镀膜结构均匀重复性高,腔体尺寸可达2700mm,镀膜效率高等特点。,下面是一种电子束蒸发式真空镀膜机专利的具体信息内容。
1.一种电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件;所述伞架组件固定在腔体组件上,所述高阀组件与腔体组件相连,所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起,所述门夹紧组件安装于腔体组件上;所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内;所述深冷系统包括2根深冷盘管,1根安装在腔体组件内,1根安装在高阀组件内。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:所述扩散泵为2个,所述机械泵为2个。
3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:所述机械泵上安装有油雾过滤组件。
4.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:所述线槽组件、电控柜组件、电子枪组件的电源、离子源组件的电源放置在腔体组件右侧,所述深冷系统的深冷机放置在腔体组件左侧后方。
5.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:还设有脚踏板组件,所述脚踏板组件放置在腔体组件正前方。
6.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发式真空镀膜机,其特征在于:所述腔体组件内还安装有卤素灯、防污衬板、修正板。
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