一般在连续式的
真空镀膜设备中,由于各个腔体的功能有所不同,其所 需要的真空度亦有所差异,因此腔体与腔体之间需要架设闸门阀,用于将腔 体隔开,避免各腔体在作业时产生相互干扰的情形。
由于镀膜制程必须在真空环境下进行,因此该闸门阀的阀门板必须紧 闭、密合,否则一旦有真空度不佳的现象发生,镀膜制程势必发生瑕疯而造 成整批
工件良品率不足的
缺陷。
如图6所示,目前
真空镀膜设备的闸门阀1具有一贯穿闸门阀本体11 一侧的转动轴体12、复数个设置于转动轴体12的阀门板连接部13以及一 固接于阀门板连接部13的阀门板14,转动轴体12位于闸门阀本体11外的 一端连接有一启闭单元15。
当启闭单元15动作时会带动转动轴体12旋转,该设置于转动轴体12 上的复数个阀门板连接部13随即带动固接于阀门板连接部13的阀门板14 开启或关闭。
然而,在真空镀膜制程即将进行之前,闸门阀l仅仅通过启闭单元15 的带动而进行岡门板14关闭的动作,并不具备任何确保阀门板14闭合、密 封的机制,可能致使镀膜过程因真空度不佳而发生制品瑕疯,在设计上确有 其不周之处。
发明内容
鉴于上述闸门阀的阀门板关闭后密合效果不佳的缺陷,本实用新型提出 了 一种阀门板闭锁机构,以期解决上述问题。
本实用新型之主要目的在于提供一种阀门板闭锁机构,该阀门板闭锁机 构可在阀门板关闭时,紧压阀门板以提升其紧闭、密合效果。
为达到上述目的,本实用新型采取以下技术手段予以达成,其中本实用 新型的阀门板闭锁^L构设置于一具有阀门板传动
心轴的闸门阀的阀门板一
侧下方,该阀门板闭锁机构包括有:
气缸,设置于闸门阀外部的一侧,该气缸具有一
活塞杆以及连接于该活 塞杆一端的连接轴;
门板压制杆,连接于连接轴异于
活塞杆的一端;
复数个
滑轮,设置于门板压制杆上;
复数个门板连接
块体,固接于阀门板并对应于滑轮的
位置,该门板连接 块体一 端固定于阀门板传动心轴,另 一端具有 一对应于滑轮的滑道。
通过上述结构,当闸门阀的阀门板关闭时,气缸开始动作,透过活塞杆 与连接轴带动门板压制杆动作,使滑轮移动到门板连接块体的位置并进入滑 道,进而压制门板连接块体,由于门板连接块体固接于阀门板,故当滑轮进 入滑道压迫门板连接块体时,阀门板即同时受到压迫而获得紧闭、密合的效 果,以解决
现有技术中闸门阀因缺乏闭锁机制而产生真空度不佳之虞。
附图说明
图1为本实用新型用于闸门阀的立体图; 图2为本实用新型用于闸门阀的俯视图; 图3为本实用新型闭锁前的前视图; 图4为本实用新型闭锁后的前视图;
图5为实用新型中滑轮进入滑道以压制门板连接块体的示意图; 图6为现有技术中闸门阀的立体图。主要组件符号说明
1: 闸门阀 11: 闸门阀本体
12: 转动轴体 13: 阀门 一反连4妄部
14: 阀门板体 15 二 启闭单元
2: 阀门板闭锁机构 21: 气缸
211: 活塞杆 212: 连接轴
22: 门板压制杆 221: 限位孔
23: 滑轮 231: 轴体
24: 门板连接块体 241: 滑道
25:
支撑座体 26: 限位组件
3: 闸门阀 31: 阀门板传动心轴
32: 阀门板 33: 启闭才几构
下面结合附图并举
实施例,对本实用新型进行详细描述。
参见图l至图3所示,本实用新型的阀门板闭锁机构2,设置于一具有 阀门板传动心轴31的闸门阀3的阀门板32 —侧下方,该阀门板闭锁机构2 包括有:
气缸21 ,设置于闸门阀3外部的一侧,该气缸21具有一活塞杆211以 及连接于该活塞杆211 —端的之连接轴212;
门板压制杆22,连接于连接轴212异于活塞杆211的一端,该门板压 制杆22具有复数个限位孔221;
复数个滑轮23,设置于门板压制杆22上;
复数个门板连接块体24,固接于阀门板32并对应于各滑轮23的位置, 每个门板连接块体24的一端固定于阀门板传动心轴31,另一端具有一对应 于滑轮23的滑道241。
其中,阀门板闭锁机构2还进一步包括有一设置于闸门阀3壁面且位于门板压制杆22下方位置的支撑座体25以及一设置于支撑座体25上的限位 组件26,该限位组件26穿设于门板压制杆22的限位孔221中,用以限制 门板压制杆22移动的位置。
此外,滑轮23以一轴体231枢设于门板压制杆22上,所谓枢设是指滑 轮23通过轴体231设置于门板压制杆22上,且滑轮23可以轴体231为中 心旋转;门板连接块体24的滑道241为一具有斜度的坡道,该滑道241的 斜度是依滑轮23进入滑道23的方向由低而高形成。本实施例的滑道241面 朝气缸21的方向倾斜,其也可以朝向异于气缸21的方向倾斜。
参见图3所示,闸门阀3的一侧设有一连接于该阀门板传动心轴31的 启闭机构33,气缸21则设置于该闸门阀3异于该启闭机构33的一侧外部, 当该阀门板32需要关闭时,启闭机构33驱使阀门板传动心轴31转动,该 门板连接块体24即带动阀门板32关闭,此时,阀门板闭锁机构2的气缸2 尚未进行活塞杆211推伸的动作,接着,阀门板闭锁机构2开始动作,进而 使阀门板32达到密封状态。
参见图4及图5所示,首先,气缸21启动,将活塞杆211突伸,通过 设置于活塞杆211与门板压制杆22间的连接轴212的连动,门板压制杆22 即往启闭机构33的方向移动(图中箭头方向)。
然后,设置于门板压制杆22上的滑轮23即进入门板连接块体24的滑 道241,此时,随着门板压制杆22的移动,滑轮23即逐渐抵压门板连接块 体24,当气缸21完成活塞杆211推伸的动作时,门板压制杆22也被推伸 到
定位,此时,滑轮23即在滑道241中斜度较高的位置并完全压制门板连 接块体24,进而使阀门板32达到紧闭、密合的效果。
此外,由于限位组件26设置于支撑座体25上并穿过限位孔221,因此, 一方面具有支撑该门板压制杆22的作用,另一方面则可限制该门板压制杆 22的移动,使其移动的距离符合限位孔221的宽度而不至于过度移位。
另外,若欲开启阀门板32,气缸21则拉回活塞杆211,使门板压制杆 22反向移动,让滑轮23离开滑道241以释放门板连接块体24,此时,阀门板32即可被门板启闭机构33开启。
通过上述结构,本实用新型在闸门阀的阀门板关闭后,提供一阀门板闭 锁机构来解决现有技术阀门板密闭效果不佳的疑虑。
综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的 保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何
修改、等同替换、改 进等,均应包含在本发明的保护范围之内。