未经审查的日本实用型专利申请公开第7-14179号披露了一种 典型的隔膜泵。如表示这种传统隔膜泵的图5所示，它包括隔膜盒 91、隔膜92和驱动装置93。隔膜盒91包括盒体94和固定到盒体94 上的张紧板98。隔膜92的外围部分92a夹在盒体94和张紧板98之 间。泵室95由隔膜92和盒体94限定。
驱动装置93包括杆96以及支撑部分97，杆96借助电动机之类 驱动源的操作往复运动(未示出)，支撑部分97将杆96和隔膜92 的中心部分连接在一起。支撑部分97包括第一支撑部件97a和第二 支承部件97b，第一支撑部件97a在隔膜一侧位于隔膜92的表面或 在图5中看到的上表面处，以面对隔膜92的一部分上表面，第二支 撑部件97b在隔膜另一侧位于隔膜的表面或图5中的下表面处，以 面对隔膜92的一部分下表面。隔膜92在其中心部分被支撑部分97 夹在第一和第二支撑部件97a、97b之间。
隔膜92随着杆96的往复运动变形或移位，借此增加和减少泵 室95的容积。在隔膜92的吸入冲程期间，泵室95的容积增加，于 是流体被吸入泵室95。在排出冲程期间，泵室95的容积减小，于是 流体被排出泵室95。
其间，在上述的传统的隔膜泵中，隔膜92在其外围部分92a处被 隔膜盒91夹持，而且在其中心部分被驱动装置93的支撑部分97夹持。 因此，这种夹持或压缩引起的应力持续地加在隔膜92中被隔膜盒91 和支撑部分97夹持的部分(夹持部分)上。此外，由于隔膜92的变 形所导致的张力，过度的应力集中在隔膜92的上述夹持部分以及隔膜 92的夹持部分和非夹持部分之间的边界上。如上所述，因为过度的负 荷施加在隔膜92上，所以缩短了隔膜92的使用寿命。
除了上述的如图5所示直接用驱动装置引起隔膜变形的隔膜泵外， 现有技术还有一种隔膜泵，其在与泵室相对的隔膜一侧形成有背压室， 并且通过改变背压室中的压力引起隔膜变形。在这样的隔膜泵中，隔 膜的外围部分被隔膜盒夹持，以致出现上述相同的问题。
本发明的目的在于提供一种延长隔膜使用期的隔膜泵。

本发明提供以下的第一特征。用来泵送流体的隔膜泵包括隔膜和驱 动装置。隔膜有第一表面和第二表面。驱动装置包括支撑部分，而且 经由该支撑部分使其与隔膜连接在一起。驱动装置往复运动，以使隔 膜变形，借此执行泵送动作。支撑部分包括用来支撑第一表面的第一 支撑表面和用来支撑第二表面的第二支撑表面。当使隔膜变形的时候， 支撑部分允许隔膜沿着第一和第二支撑表面之间的间隔滑移。
本发明提供以下的第二特征。用来泵送流体的隔膜泵包括隔膜盒和 隔膜。隔膜盒包括支撑部分。隔膜有外围部分、第一表面和第二表面。 隔膜在其外围部分被支撑部分支撑着。使隔膜变形，借此执行泵送动 作。支撑部分包括用来支撑第一表面的第一支撑表面和用来支撑第二 表面的第二支撑表面。当使隔膜变形的时候，支撑部分允许隔膜沿着 第一和第二支撑表面之间的间隔滑移。
本发明提供以下的第三个特征。隔膜泵包括隔膜、驱动装置和隔 膜盒。隔膜有外围部分。驱动装置包括用来支撑隔膜的支撑部分。驱 动装置经由其支撑部分与隔膜连接在一起。驱动装置往复运动使隔膜 变形，借此执行泵送动作。当隔膜变形的时候，驱动装置的支撑部分 允许隔膜滑移。隔膜盒包括用来在其外围部分支撑隔膜的支撑部分。 当隔膜变形的时候，隔膜盒的支撑部分允许隔膜在其中滑移。
附图说明
本发明被确信有新颖性的特征在权利要求书中特别进行陈述。参照 下文结合附图对优选实施方式进行的详细描述，本发明与其目的和优 点将更为明了，其中：
图1是依照本发明第一个优选实施方案的隔膜泵的剖视图；
图2A是图1所示隔膜泵的局部放大的剖视图；
图2B是当隔膜变形时第一个优选实施方案的隔膜泵的局部放大的 剖视图；
图3A是依照本发明第二个优选实施方案的隔膜泵的剖视图；
图3B是图3A所示的隔膜泵的局部放大的剖视图；
图4A是依照本发明的替代实施方式案的隔膜泵的剖视图；
图4B是图4A的隔膜泵的局部放大的剖视图，表示隔膜盒的支撑 部分；
图4C是图4A隔膜泵的局部放大的剖视图，表示驱动装置的支撑 部分；以及
图5是依照现有技术的隔膜泵的剖视图。
优选实施方式
下文描述第一个优选实施方案。首先，描述隔膜泵(在下文中简称 为“泵”)的结构。参照图1所示泵的剖视图，泵包括隔膜盒10、由隔 膜盒10支撑的隔膜14和与隔膜14连接的驱动装置24。
使驱动装置24往复运动，从而变形或移位隔膜14，泵因此执行泵 送动作，导致流体(或本优选实施方式中的气体)吸入到泵中或从泵 中排出
隔膜盒10包括盒体11、固定地结合至盒体11的环形张紧板12和 壳体13。盒体11、张紧板12和隔膜14容纳在壳体13中。如图1所 示，壳体13呈圆筒形状并且有位于其顶端的盖子13a。在壳体13中布 置盒体11和张紧板12，使盒体11的位置毗邻盖子13a。盒体11和张 紧板12用诸如螺栓(未示出)之类的固定装置相互固定并且被固定到 壳体13上。
隔膜14用金属制成并呈厚度均匀的圆盘形。隔膜14与现有技术相 同具有柔性。将隔膜14固定到隔膜盒10上，其外围部分14a的环形 区域夹在盒体11和张紧板12之间。在盒体11上形成的平坦支撑表面 11a的环形区域与隔膜14的第一表面14b(即在图1中见到的上表面) 的外围部分14a压接触。在张紧板12上形成的平坦的支撑表面12a的 环形区域与隔膜14的第二表面14c(即图1中的下表面)的外围部分 14a压接触。
盒体11有孔11b，该孔11b在盒体中心部分从其毗邻张紧板12a 的端面向壳体l3的盖子13a延伸。在盒体11与张紧板12毗邻的端面 上，孔11b径向开口在比盒体11的支撑表面11b更内侧处。孔11b在 其相对的开口处分别由壳体13的盖子13a和隔膜14封闭。因此，孔 11b的内部空间被封闭而且限定泵室15。
隔膜盒10的壳体13有与外部的低压管道系统(未示出)连接的吸 入通道17和与外部的高压管道系统(未示出)连接的排出通道18。盒 体11有连接泵室15和吸入通道17的吸入口25，和连接泵室15和排 出通道18的排出口26。吸入阀21以簧片阀的形式设置在盒体11中的 吸入口25和壳体13中吸入通道17之间。排出阀22以簧片阀的形式 设置在盒体11中的排出口26和壳体13中的排出通道18之间。
驱动装置24包括杆45和支撑部分46，其中杆45经由动力传输机 构(未示出，例如，把电动机的旋转运动转换成杆45的往复运动的机 构)与例如电动机之类的驱动源(未示出)连接，以及支撑部分46连 接杆45与隔膜14的中心。借助驱动源的运转，使杆45沿着其纵轴线 L(即按在图1中所见到的垂直方向)往复运动。当使杆45往复运动 时，使隔膜14变形或移位，借此改变泵室15的容积。
下面将详细地描述泵室l5的容积改变方式。当杆45从泵室15移 开(如图中1所示向下移动)的时候，隔膜14朝向离开泵室15的方 向变形，于是泵室15的容积增加。在这个吸入冲程期间，隔膜14向 离开泵室15的方向变形，于是气体在推开吸入阀21的时候经过吸入 通道17被吸入泵室l5。另一方面，当杆45向泵室15移动的时候(即 在图1中所示向上移动)，隔膜14朝向泵室15变形，于是泵室15的 容积减少。在这个排出冲程期间，隔膜14向泵室变形，于是泵室15 中的气体在推开排出阀22的时候经过排出通道18排出。
下文描述隔膜14和驱动装置24相互连接的结构。如图2A所示， 隔膜14有从隔膜14的第一表面14b延伸到第二表面14c的孔14d。驱 动装置24的支撑部分46通过隔膜14的孔14d插进隔膜14。支撑部分 46包括位于泵室15或隔膜14的第一表面14b侧上的基本呈圆盘形的 第一支撑部件47，和位于泵室15外侧或隔膜14的第二表面14C侧的 基本呈圆盘形的第二支撑部件48。第一和第二支撑部件47、48彼此同 轴。第二支撑部件48同轴方式固定在杆45的末端。
第一支撑部件47包括设置为与第二支撑部件48接触的衬垫50。 衬垫50呈圆筒形，并且从第一支撑部件47毗邻隔膜14的端面47a的 中心部分向第二支撑部件48突出。衬垫50的端面50a位于垂直于轴 线L的平面上。衬垫50通过孔14d插入隔膜14，而且其端面50a与第 二支撑部件48的端面48a的中心接触。因此，第一支撑部件47通过 隔膜14的孔14d与第二支撑部件48直接结合。第一支撑部件47借助 穿过第一和第二支撑部件47、48的中心插入的螺栓49固定到第二支 撑部件48上。
端面47a上除去衬垫50之外的区域提供第一支撑表面55。第一支 撑表面55面对隔膜14在孔14d周围区域的第一表面14b。第一支撑表 面55用来在杆45往复运动期间(准确地说，在隔膜14的吸入冲程期 间)支撑隔膜14的第一表面14b。第一支撑表面55有毗邻衬垫50的 环形平面区域55a和位置毗邻环形平面区域55a而且沿径向在环形平 面区域55a外侧的环形倾斜区域55b。平面区域55a位于与杆45的轴 线L垂直的假想平面上。倾斜区域55b相对于杆45的轴线L是这样倾 斜的，以致其外部周界离平面区域55a位于其上的假想平面最远。当 隔膜14位于其底部止点(或从吸入冲程到排出冲程的转折点)时，在 第一支撑表面55上提供的倾斜区域55b，避免了过度的弯折负荷施加 至隔膜14局部，具体地说，在得到第一支撑表面55支撑的隔膜14部 分与未得到第一支撑表面55支撑的隔膜14部分之间的边界处。因此， 隔膜14的使用寿命得以延长。
端面48a上除与衬垫50接触部分以外的区域提供第二支撑表面56。 第二支撑表面56面对隔膜l4在孔14d周围的第二表面14c，并且用来 在杆45往复运动期间(更准确地说在隔膜14的排出冲程期间)支撑 隔膜14的第二表面14c。第二支撑表面56有毗邻接触部分的环形平面 区域56a和毗邻环形平面区域56a而且沿径向在环形平面区域56a外 侧的环形倾斜区域56b。平面区域56a位于与杆45的轴线L垂直的假 想平面上。该接触部分也位于同一假想平面上。倾斜区域56b相对于 杆45的轴线L倾斜，以致其外部周界离平面区域56a所在的假想平面 最远。当隔膜14位于其顶部止点(或从排出冲程到吸入冲程的转折点) 时，在第二支撑表面56上提供的倾斜区域56b，避免了过度的弯折负 荷施加至隔膜14局部，更具体地说，在得到第二支撑表面55支撑的 部分隔膜44与未得到第二支撑表面55支撑的部分隔膜44之间的边界 处。因此，隔膜14的使用寿命得以延长。
第二支撑部件48在直径上大于第一支撑部件47。因此，第二支撑 表面56的径向外侧区域(即大部份环形倾斜区域56b)较第一支撑表 面55径向上更靠外侧。即使隔膜14被拿掉，第二支撑表面56的径向 外侧区域也不会面对第一支撑表面55。在这种情况下，第一支撑表面 55的整个平面区域55a面对第二支撑表面56的平面区域56a，但是第 二支撑表面56只有部分平面区域56a(即沿径向在内侧的部份)面对 第一支撑表面55的平面区域55a。
第一支撑部件47有环形凹槽47c，位于第一支撑表面55的平面区 域55a和倾斜区域55b之间的边界处。环形凹槽47c被加工成以杆45 的轴线L作为其中心的环形形状。作为密封装置的密封部件或O型圈 58被插进凹槽47c，与隔膜14的第一表面14b呈滑动接触。因此，O 型圈58防止气体从泵室15通过支撑部分46的第一支撑表面55和隔 膜14的第一表面14b之间泄漏，也就是说，阻止气体从隔膜14的第 一表面14b侧通过第一和第二支撑表面55、56之间向第二表面14c侧 流动。
对于O型圈58的位置或防止气体从泵室15泄漏的位置，在第一 支撑表面55和隔膜14的第一表面14b之间提供O型圈58，优于在第 二支撑表面56和隔膜14第二表面14c之间提供。此外，优选的是， 在第一支撑表面55和隔膜14第一表面14b之间提供的O型圈58应该 放置在平面区域55中径向尽可能靠外的位置。在第一和第二支撑表面 55、56之间的间隔中，根据O型圈58的位置(即密封位置)，在泵室 15侧(即，沿径向上在O型圈58的外侧)的区域形成泵室15的一部 分。当隔膜14位于其顶部止点时，这个空间对应于泵室15的死容积 (或避免泵室15的最小容积为零)。如果泵室15的死容积比较大，那 么没有从泵室15中排出而滞留在泵室15中的残留气体量就比较大。 所以，残留气体可能在泵室15中再次膨胀，导致泵的效率下降。如果 O型圈58在平面区域55a上沿径向尽可能靠外地放置在第一支撑表面 55和隔膜14的第一表面14b之间，那么泵室15的死容积就比较小， 因此进一步提高泵的效率。鉴于这一点，如同在本优选实施方案中那 样，把O型圈58放置在第一支撑表面55的平面区域55a和倾斜区域 55b之间的边界处或在倾斜区域55b上，比放置在平面区域55a上(考 虑作为本优选实施方式的替代实施方式)或者放置在第二支撑表面56 和隔膜14的第二表面14c之间(考虑作为本优选实施方式的替代实施 方式)更有效。
下面将描述第一支撑部件47的衬垫50的高度设定，即第一支撑表 面55和第二支撑表面56之间的最小间隔的最小数值S的设定。衬垫 50的高度指的是第一支撑表面55平面区域55a所在的假想平面和衬垫 50的端面50a所在的假想平面之间的距离。
通过拧紧螺栓49使第一支撑部件47在衬垫50处压靠第二支撑部 件48，将第一和第二支撑表面55、56之间的间隔距离设定成最小数值 S，其与衬垫50的高度相对应。在这个优选实施方中，衬垫50的高度， 即最小数值S，更准确地说，第一支撑表面55的平面区域55a和第二 支撑表面56的平面区域56a之间的间隔，被设定为等于或大于在第一 和第二支撑表面55、56之间的隔膜14的厚度T。通过这样设定，即使 在螺栓49被快速拧紧的时候，也不会将隔膜14牢固地夹在第一支撑 表面55的平面区域55a和第二支撑表面56的平面区域56a之间。
在这个优选实施方案中，最小数值S被设定为大于隔膜14的厚度 T。即，设定最小数值S使得至少在第一支撑表面55的平面区域55a 和隔膜14的第一表面14b之间，或者在第二支撑表面56的平面区域 56a和隔膜14的第二表面14c之间形成间隙。
当隔膜14从图2A所示的状态变化到图2B所示的状态的时候，也 就是说，当隔膜14增加它的变形量的时候，张力施加到隔膜14上， 如图2B中清楚的表示，隔膜14沿着第一和第二支撑表面55、56之间 的间隔向离开杆45轴线L的方向滑移。另一方面，当隔膜14从图2B 的状态变化到图2A的状态的时候，也就是说，当隔膜14减少它的变 形量的时候，隔膜14沿着第一和第二支撑表面55、56之间的间隔向 杆45的轴线L滑移。
依照上述的优选实施方案，获得下述有利的效果。
(1)由于没有将隔膜14很紧地夹在第一和第二支撑表面55、56 之间，所以没有因为很紧夹持而给隔膜14施加应力。当张力施加到隔 膜14上逐渐增加其变形量时，隔膜14沿着第一和第二支撑表面55、 56之间的间隔滑移。因此，避免了对隔膜14施加过度的张力，所以， 隔膜14的使用寿命得以延长。
(2)设定最小数值S为等于或大于在第一和第二支撑表面55、 56之间的隔膜14的厚度T。借助这样的设定，支撑部分46不把隔膜 14夹紧，于是允许隔膜14的滑移。
在这个优选实施方案中，设定最小数值S为大于在第一和第二支撑 表面55、56之间的隔膜14的厚度。因此，支撑部分46不把隔膜14 夹紧，于是允许它平滑地滑移。因此，隔膜14得以避免承受过度张力， 于是隔膜14的使用寿命得以进一步延长。
(3)第一支撑部件47包括在第一和第二支撑部件55、56之间的 衬垫50，用来确定第一和第二支撑表面55、56之间的间隔。因此，衬 垫50的设置，可以防止第一和第二支撑表面55、56之间的间隔(更 准确地说，它的最小数值S)变得比预期数值还要小。通过提供衬垫 50，第一和第二支撑部件55、56之间的最小间隔(更准确地说，与支 撑部分不包括衬垫50时的情形比较起来，最小数值S)的控制变得更 加容易。因此，当隔膜14变形的时候，隔膜14在第一和第二支撑表 面55、56之间平滑地滑移，结果是更有效避免对隔膜14施加过度的 张力。
(4)因为衬垫50与与第一支撑部件47为整体提供，支撑部分46 的零件数目得以减少，并且可简化组装泵的程序。
(5)用来避免气体从泵室15泄漏的O型圈58设置在支撑部分46 的第一支撑表面55和隔膜14的第一表面14b之间。即使如此形成支 撑部分46，以允许隔膜14在第一和第二支撑表面55、56之间滑移， 由于提供O型圈得以避免泵的效率下降。
下面将描述第二个优选实施方案的泵。与第一个优选实施方案的泵 的区别将予以描述。用描述第一个优选实施方案的泵时所用的那些相 同的标号表示相似的或相同的部件，并且不再重复描述。
如图3A和3B所示，第二个优选实施方案的泵与第一个优选实施 方案的泵的不同在于：将衬垫50从第一支撑部件47上除去，还将凹 槽47c和倾斜区域56a从第一支撑表面55上除去，并且将O型圈58 从第一和第二支撑部件47、48之间除去。因此，隔膜14的径向内部 部分相对牢固地夹在第一支撑表面55的平面区域55a和第二支撑表面 56的平面区域56a之间。即，驱动装置24的支撑部分46是以与传统 的泵相同的方式连接到隔膜14上的。隔膜盒10包括支撑部分60，其 带有允许隔膜14滑移的结构。
隔膜盒10的支撑部分60包括盒体即第一支撑部件11和张紧板即 第二支撑部件12。盒体11有第一支撑表面11a，而张紧板12有平行于 第一支撑表面11a的第二支撑表面12a。第一和第二支撑表面11a、12a 分别位于与杆45的轴线L垂直的假想平面上。环形(围壁形)衬垫61 与盒体11作为一个整体在第一支撑表面11a的径向外侧形成。衬垫61 有位于与杆45的轴线L垂直的假想平面上的端面61a。衬垫61用端面 61a与张紧板12结合。端面61a与张紧板12的表面接触，沿径向位于 第二支撑表面12a的外侧并且与第二支撑表面12a在同一平面中。
环形凹槽11c以杆45的轴线L作为其中心，在第一支撑表面11a 中形成。密封部件或作为密封装置的O型圈62插在凹槽11c中，与隔 膜14的第一表面14b接触。凹槽11c优选形成在第一支撑表面11a中 靠近杆45的轴线L的位置处，以便减少泵室15的死容积，由此提高 泵的效率。O型圈62防止气体从泵室15通过支撑部分60的第一支撑 表面11a和隔膜14的第一表面14b之间泄漏，也就是说，从隔膜14 的第一表面14b侧穿越第一和第二支撑表面11a、12a之间向第二表面 14c侧流动。
衬垫61的高度，即作为第一和第二支撑表面11a、12a之间最小间 隔的最小数值R被设定为等于或大于在第一和第二支撑表面11a、12a 之间的隔膜14的厚度T，所以隔膜14不会被牢固地夹在第一和第二支 撑表面11a、12a之间。由于第一和第二支撑表面11a、12a彼此平行布 置，所以第一和第二支撑表面11a、12a之间的间隔，在全部间隔范围 里都视为最小数值R。更准确地说，这个优选实施方中，最小数值R 被设定为大于隔膜14的厚度T。即，最小数值R这样设定，使得至少 在第一支撑表面11a和隔膜14的第一表面14b之间，或者在第二支撑 表面12a和隔膜14的第二表面14c之间形成间隙。
当隔膜14增加其变形量时，张力施加到隔膜14上，于是隔膜14 在第一和第二支撑表面11a、12a之间向杆45的轴线L滑移。另一方 面，当隔膜14减少其变形量时，隔膜14在第一和第二支撑表面11a、 12a之间离开杆45的轴线L往回滑移。依照第二个优选实施方案，获 得了与在上述的第一个优选实施方案中基本相同的有利效果。
上述的第一个和第二个优选实施方案仅仅是本发明的实例，而且可 以在不脱离本发明的目的的情况下修改。下列的替代实施方案也是可 行的。除非用于组合的替代实施方案相互矛盾，否则下列替代实施方 案的任何组合都可以实施。
图4A到4C表示的实施方案，把第一和第二优选实施方案的特征 组合起来。即，驱动装置24包括支撑部分46，而隔膜盒10包括支撑 部分60。因此，当隔膜14变形的时候，隔膜14可以在驱动装置24的 支撑部分46和隔膜盒10的支撑部分60处都可以滑移。除此之外，衬 垫50是与第一和第二支撑部件47、48分开提供的，而且衬垫61是独 立于盒体11和张紧板12提供的，以便更精确地调整平面区域55a和 第一表面14b之间、以及第一支撑表面11a和第一表面14b之间的间 隙。
在上述的第一个优选实施方案中，衬垫50可以与第二支撑部件48 成为整体并且与第一支撑部件47接触。在上述的第二个优选实施方案 中，衬垫61可以与张紧板12成为整体并且与盒体11接触。
在上述的第一个优选实施方案中，第一和第二支撑表面55、56之 间的最小间隔的最小数值S可以设定为略微(最多10％)小于在第一 和第二支撑表面55、56之间提供的隔膜14的厚度T。在上述的第二个 优选实施方案中，第一和第二支撑表面11a、12a之间的最小间隔的最 小数值R，可以设定为略微(最多10％)小于在第一和第二支撑表面 11a、12a之间提供的隔膜14的厚度T。只要允许隔膜14当其变形的 时候在第一和第二表面11、12a之间滑移，就可以将隔膜14直接夹在 第一支撑表面55的平面区域55a和第二支撑表面56的平面区域56a 之间，或者第一和第二支撑表面11a、12a之间。
在上述的第一个优选实施方案中，盒体11和张紧板12可以是松弛 地相互结合的，例如，盒体11和张紧板12是通过活动连接螺栓(未 示出)紧固的，以便当隔膜14变形的时候允许隔膜14在支撑表面11a、 12a之间滑移。在上述的第二个优选实施方案中，螺栓49是活动连接 的，以便当隔膜14变形的时候，允许隔膜14在第一和第二和支撑表 面55、56之间沿着这两个表面滑移。
在上述的第一个和第二个优选实施方案中，密封装置(例如，O型 圈)可以设置在第二支撑表面56和隔膜14的第二表面14c之间。作 为密封装置也可以使用唇形密封。
上述的第一个优选实施方案可以省略O型圈58。同样，上述第二 个优选实施方案可以省略O型圈62。
本发明也可适用于另一类型的隔膜泵，其中没有驱动装置，例如， 上述的第一个和第二个优选实施方案中的驱动装置24，在与泵室相反 的隔膜侧形成背压室，并且借助背压室中的压力变化使该隔膜变形。 本发明(更准确地说，第二个优选实施方案的特征)也适用于泵送流 体的隔膜泵。
这些例子和实施方案可以看作是说明性的而不是限定性的，以及本 发明不局限于这里给出的细节，并且可以在所附权利要求书的范围内 进行修改。
附图标记一览表
10   隔膜盒                  11   盒体
11a  第一支撑表面            11b  孔
11c  环形槽                  12   张紧板
12a  第二支撑表面            13   壳体
13a  盖子                    14   隔膜
14a  外围部分                14b  第一表面
14c  第二表面                14d  孔
15   泵室                    17   吸入通道
18   排出通道                21   吸入阀
22   排出阀                  24   驱动装置
25   吸入口                  26   排出口
45   杆                      46   支撑部分
47   第一支撑部件            47a  端面
47c  环形凹槽                48   第二支撑部件
48a  端面                    49   螺栓
50   衬垫                    50a  端面
55   第一支撑表面            55a  环形平面区域
55b  环形倾斜区域            56   第二支撑表面
56a  环形平面区域            56b  环形倾斜区域
58   O型圈                   60   支撑部分
61   衬垫                    61a  端面
62   O型圈                   91   隔膜盒
92   隔膜                    92a  外围部分
93   驱动装置                94   盒体
95   泵室                    96   杆
97   支撑部件                97a  第一支撑部件
97b  第二支撑部件            98   张紧板