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一种 电子束 物理气相沉积测温方法

阅读：530发布：2020-05-13

专利汇可以提供一种电子束物理气相沉积测温方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种电子束物理气相沉积测温方法，涉及测量计量技术领域，在装料盘上的任意两个工位之间，安装一个壁厚和叶片壁厚相同的测温管(1)，将热电偶的温度感应端插入测温管(1)的右端空腔(3)中，在喷涂过程，测温管(1)与叶片围绕同一轴心进行转动，但是自身不转动，测得的温度和插入叶片内腔的热电偶测得的温度近似。每炉完成涂层生产后，将测温管(1)表面的涂层去除干净后重复利用，因测温管(1)较长，便于操作，且直径较小，去除涂层只需较短时间。本发明易于操作，方便快捷，无需直接测量叶片的温度，增加了喷涂时叶片的装夹数量，提高了喷涂加工的效率。，下面是一种电子束物理气相沉积测温方法专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种电子束物理气相沉积测温方法，主要包括以下步骤：
1)将待喷涂的六组叶片安装在装料盘上；
2)将测温管(1)水平安装在两个叶片之间的装料盘设置的测温管安装口上并用螺钉进行固定；
3)将热电偶的温度感应端从测温管(1)的左端空腔(2)插入，并保证温度感应端和右端空腔(3)接触，将热电偶另一端安装在喷涂设备的温度处理装置中；
4)打开喷涂设备，装料盘发生转动并开始喷涂工作；
5)喷涂过程中叶片做行星轮式运动，但安装有热电偶的测温管(1)相对装料盘不动；
6)在喷涂过程中热电偶实时将测温管(1)中的温度传输到温度处理装置中，进行实时监控与记录。
2.如权利要求1所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：测温管(1)为圆柱形或者椭圆形，总长为200-300mm，测温管外径为10mm，测温管的左端空腔(2)长为90-
245mm，直径为4-6mm，右端空腔(3)长度为5-10mm，右端空腔(3)直径为2-3mm。
3.如权利要求1或者2所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：喷涂过程中涂料会喷在测温管(1)上。
4.如权利要求1所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：将热电偶温度感应端安装在测温管(1)的右端空腔(3)中后，热电偶后端的线会将其顶在测温管(1)的右端空腔(3)中。
5.如权利要求4所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：热电偶温度感应端在右端空腔(3)中的位置与叶片的中心位置对齐。

说明书全文

一种电子束 物理气相沉积测温方法

技术领域

[0001] 本发明涉及测量计量技术领域，尤其是一种电子束物理气相沉积测温方法。

背景技术

[0002] 用电子束物理气相沉积设备制备涂层时，需要用热电偶测量叶片加热温度，现阶段测温方式是将热电偶从叶片榫头断面的排气孔插入叶片内腔，测量叶片加热温度。电子束物理气相沉积设备的装料盘有六个工位，每次可以装入六件叶片同时进行涂层生产，在进行涂层生产时，为了保证叶片叶身表面的涂层厚度均匀性，需要叶片自转，但内腔插入有热电偶的叶片无法自转，叶片表面涂层厚度均匀性无法满足设计要求，因此生产过程中用一件废叶片测量叶片温度，每炉批实际有效涂层生产的叶片数只有五件，每炉完成涂层生产后，需将废叶片表面的涂层去除干净后重复利用。操作者用手握住叶片榫头用干吹砂的方式去除涂层，因榫头较小，不便操作；因叶身面积较大，且叶身型面为曲面，去除涂层时需较长时间，约三十分钟。

[0003] 有鉴于此，本发明提供一种电子束物理气相沉积测温方法。

发明内容

[0004] 本发明的主要目的是为了提供一种能够方便、准确测温，方便去除涂层并能提高叶片喷涂效率的电子束物理气相沉积测温方法。

[0005] 为解决上述技术问题，本发明通过以下技术方案来实现：

[0006] 本发明提供的一种电子束物理气相沉积测温方法，主要包括以下步骤：

[0007] 1)将待喷涂的六组叶片安装在装料盘上；

[0008] 2)将测温管水平安装在两个叶片之间的装料盘设置的测温管安装口上并用螺钉进行固定以保证测温管不会在喷涂过程发生移动；

[0009] 3)将热电偶的温度感应端从测温管的左端空腔插入，并保证温度感应端和右端空腔接触，使得热电偶测得的温度与真实温度接近，将热电偶另一端安装在喷涂设备的温度处理装置中；

[0010] 4)打开喷涂设备，装料盘发生转动并开始喷涂工作；

[0011] 5)喷涂过程中叶片做行星轮式运动使得喷涂更加均匀，但安装有热电偶的测温管相对装料盘不动使得温度测量更加便利；

[0012] 6)在喷涂过程中热电偶实时将测温管中的温度传输到温度处理装置中，进行实时监控与记录。

[0013] 所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其中：测温管为方便清理涂层设为圆柱形或者椭圆形，总长为200-300mm，测温管外径为10mm，测温管的左端空腔长为90-245mm，直径为4-6mm，以方便热电偶的安装/拆卸，右端空腔长度为5-10mm，右端空腔直径为2-3mm。

[0014] 所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其中：喷涂过程中涂料会喷在测温管上。

[0015] 所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其中：将热电偶温度感应端安装在测温管的右端空腔中后，热电偶后端的线会将其顶在测温管的右端空腔中，保证在旋转过程中热电偶不会从测温管中掉落。

[0016] 所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其中：热电偶温度感应端在右端空腔中的位置与叶片的中心位置对齐以保证测量到的温度与叶片的温度一致。

[0017] 有益效果

[0018] 通过一个壁厚和待加工叶片壁厚相同的测温管，在测温管中心加工有孔，将热电偶从此孔插入，在涂层生产时测得的温度近似为叶片表面的温度。

[0019] 本发明与现有技术的测温方法相比取得有益效果如下：

[0020] 1、每次能完成喷涂的叶片装炉量增多，原来用叶片测温的时候能完成喷涂的有5件，现在使用测温管测温度，每次喷涂能完成6件；

[0021] 2、去除涂层时间短，去除叶片表面涂层需30分钟，去除测温管表面涂层需2分钟。附图说明

[0022] 图1为本发明中测温管的结构示意图。

[0023] 图中标记：1、测温管；2、左端空腔；3、右端空腔。

具体实施方式

[0024] 以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出一种电子束物理气相沉积测温方法的具体实施方式、结构、特征及其效果，详细说明如后。

[0025] 参见附图1，本发明提供的一种电子束物理气相沉积测温方法，主要包括以下步骤：

[0026] 1)将待喷涂的六组叶片安装在装料盘上；

[0027] 2)将测温管1水平安装在两个叶片之间的装料盘设置的测温管安装口上并用螺钉进行固定；

[0028] 3)将热电偶的温度感应端从测温管1的左端空腔2插入，并保证温度感应端和右端空腔3接触，将热电偶另一端安装在喷涂设备的温度处理装置中；

[0029] 4)打开喷涂设备，装料盘发生转动并开始喷涂工作；

[0030] 5)喷涂过程中叶片做行星轮式运动，但安装有热电偶的测温管1相对装料盘不动；

[0031] 6)在喷涂过程中热电偶实时将测温管1中的温度传输到温度处理装置中，进行实时监控与记录。

[0032] 测温管1为圆柱形，总长为200，测温管1外径为10mm，测温管1的左端空腔2长为150mm，直径为4.2mm，右端空腔3长度为5mm，右端空腔3直径为2.9mm；喷涂过程中涂料会喷在测温管1上；将热电偶温度感应端安装在测温管1的右端空腔3中后，热电偶后端的线会将其顶在测温管1的右端空腔3中；热电偶温度感应端在右端空腔3中的位置与叶片的中心位置对齐。

[0033] 以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，任何未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

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