连续真空镀膜装置
专利汇可以提供连续真空镀膜装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型为一种连续 真空 镀 膜 装置，包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空 锁 相连，在每个室的室壁上安装有分子 泵 ，还设有用于承载和传输 工件 的传输机构。本实用新型中的多个室及镀膜室是独立并通过真空锁相连的，可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式的镀膜室，从而可以采用最佳方式进行镀膜。本实用新型结构设计合理，生产功效高，能够实现工件上一层、二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控，尤其对于两面均需镀膜的工件，镀膜效率更是得到大幅度提高。，下面是连续真空镀膜装置专利的具体信息内容。
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于：包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵；还设有用于承载和传输工件的传输机构。
2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜室设有一至数个，在每个镀膜室之后均设有一个过渡室，它们依次相接并由真空锁连接。
3.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在所述清洗室内设有一个、两个或多个离子源。
4.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在所述镀膜室或过渡室设有膜厚实时监控探头。
5.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：所述传输机构包括托轮、载片车和传动齿轮，在每个室内在传输方向上设有一组托轮和一组传动齿轮，安装托轮的托轮座固定在每个室的室壁上，所述载片车载于托轮上，所述传动齿轮与载片车上的传动齿条啮合。
6.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在每个室的室壁上设有一至数个工艺输入孔。
7.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于：在入片室的前端和出片室的后端设有门。
连续真空镀膜装置
技术领域
具体实施方式
52、冷却室6、出片室7；相邻的两室之间通过真空锁8相连，真空锁8是用于切断或接通管路的真空系统元件，能够在其关闭时隔绝不同真空空间；真空锁8打开时，相邻两室相通，真空锁8关闭时，相邻两室完全隔离，真空锁8的结构属现有成熟技术；在每个室的室壁上安装有分子泵9，分子泵9用于维持每一室的压强在一定的真空状态，分子泵9的结构属现有成熟技术；在清洗室3内设有一个离子源30；过渡室也称为过渡真空处理室，设在镀膜室之后，起到缓冲作用，本实施例在过渡室51、52设有膜厚实时监控探头对膜厚进行监测，膜厚实时监控探头也可安装在镀膜室上；在每个室内均设有用于承载和传输工件的传输 机构，本实施例中传输机构包括托轮13、载片车11和传动齿轮12，在每个室内在传输方向上设有一组托轮13和一组传动齿轮12，安装托轮13的托轮座14固定在每个室的室壁上，所述载片车11载于托轮13上，载片车11两侧底部的锥形凸起与托轮13的锥形凹槽相配合使载片车11限位，传动齿轮12与载片车11上的传动齿条啮合，传动齿轮12与步进电机连接。由于连续作业提高效率，本实施例在每个室内都设有载片车11，它们载着各个工件沿着各个室的每组托轮13依次前进。
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