真空镀膜样品台
专利汇可以提供真空镀膜样品台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 真空 镀 膜 样品台，是针对解决现有同类产品中同一样品各面镀膜均匀及不同 位置 样品镀膜均匀的技术问题而设计。其要点是该 真空镀膜 样品台的动 力 系统包括动力 输入轴 、联轴装置、动密封装置，以及 电机 ，动力输入轴、电机的 主轴 通过联轴装置与动密封装置的中 心轴 连接，并固定于真空腔体的外侧； 行星轮 系统包括 太阳轮 组件、行星轮组件，以及 行星架 ，行星轮组件包括行星轮轴、压盖、轴导向套、 轴承 、轴承挡环、行星 齿轮 ，以及齿轮限位挡 块 ；太阳轮组件固定于真空腔体的内侧，行星轮组件的轴导向套通过压盖固定于行星架，且行星轮组件的行星齿轮与太阳轮组件的第二太阳轮 啮合 ；样品台固定于行星轮轴的顶端，真空腔体的外侧设有弧源靶材。，下面是真空镀膜样品台专利的具体信息内容。
1.一种真空镀膜样品台，该真空镀膜样品台包括动力系统、行星轮系统，以及样品台；
其特征在于所述动力系统包括动力输入轴（5）、联轴装置、动密封装置（3），以及电机（1），动力输入轴（5）、电机（1）的主轴通过联轴装置与动密封装置（3）的中心轴连接，组成整个装置的动力系统，动密封装置（3）和电机（1）均固定于真空腔体（12）的外侧；
所述行星轮系统包括太阳轮组件、行星轮组件（10），以及行星架（9），行星轮组件（10）包括行星轮轴（14）、压盖（15）、轴导向套（16）、轴承、轴承挡环、行星齿轮（21），以及齿轮限位挡块（22）；太阳轮组件固定于真空腔体（12）的内侧，行星轮组件（10）的行星轮轴导向套（16）通过压盖（15）固定于圆形的行星架（9），且行星轮组件（10）的行星齿轮（21）与太阳轮组件的第二太阳轮（8）啮合；
所述样品台（11）固定于行星轮轴（14）的顶端，真空腔体（12）的外侧设有弧源靶材（13），真空腔体（12）呈圆形。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述联轴装置包括第二联轴器（4）和第一联轴器（2），动力输入轴（5）、电机（1）的主轴分别通过第一联轴器（2）、第二联轴器（4）与动密封装置（3）的中心轴连接。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述太阳轮组件包括太阳轮固定架（6）、第一太阳轮（7）、第二太阳轮（8），行星轮组件（10）包括顶部行星轮组件（1001）和侧面行星轮组件（1002）；太阳轮组件固定于行星架（9）内，第一太阳轮（7）的边沿设有轮盘斜齿，第一太阳轮（7）的边沿外径设有六个均匀分布的侧面行星轮组件（1002），第二太阳轮（8）的轮盘顶部设有四个均匀分布的顶部行星轮组件（1001），顶部行星轮组件（1001）和侧面行星轮组件（1002）通过轴导向套（16）、压盖（15）固定于行星架（9），顶部行星轮组件（1001）的行星轮轴（14）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉固定于直齿轮，直齿轮与太阳轮组件的第二太阳轮（8）啮合，侧面行星轮组件（1002）的行星轮轴（14）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉固定于斜齿轮，斜齿轮与第一太阳轮（7）的轮盘斜齿啮合，太阳轮固定架（6）、第一太阳轮（7）、第二太阳轮（8）通过动力输入轴（5）与行星架（9）连为一体，太阳轮固定架（6）通过铆钉固定于真空腔体（12）内，真空腔体（12）的外侧周面对称设有与侧面行星轮组件（1002）对应的弧源靶材（13），真空腔体（12）的顶部对称设有与顶部行星轮组件（1001）对应的弧源靶材（13）。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述行星轮组件（10）的轴导向套（16）内设有第一轴承（17）、轴承内挡环（18）、轴承外挡环（19）、第二轴承（20），轴导向套上下开口，即轴导向套（16）内的行星轮轴（14）外径依次设有轴承内挡环（18）和轴承外挡环（19），轴承内挡环（18）和轴承外挡环（19）的两端分别设有第一轴承（17）和第二轴承（20），行星轮轴（14）的一端伸出轴导向套（16）与样品台（11）连接，行星轮轴（14）的另一端伸出轴导向套（16）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉与行星齿轮（21）的直齿轮连接，或行星轮轴（14）的另一端伸出轴导向套（16）通过齿轮限位挡块（22）、螺钉、与行星齿轮（21）的斜齿轮连接。
5.根据权利要求3所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述行星架（9）内设有至少一组第一太阳轮（7）和侧面行星轮组件（1002），以及真空腔体（12）的外侧设有对应的弧源靶材（13）。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜样品台，其特征在于所述电机（1）通过联轴器带动动力输入轴（5）转动，从而带动行星架（9）一起转动，实现样品台公转；同时，行星架带动行星轮组件（10）一起转动，行星轮组件的行星齿轮与太阳轮组件的第二太阳轮（8）啮合，行星轮组件转动，带动样品台（11）自转，实现样品台公转和自转。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜样品台，其特征在于该真空镀膜样品台的镀膜过程如下：样品的预装时，太阳轮固定于真空腔体内侧，轴导向套、动力输入轴均固定于行星架上，样品台放置于行星轮轴的顶端，样品背面导电胶固定于样品台上；样品的镀膜过程时，先对真空腔体进行抽真空，通过计算机控制真空腔体内的真空系统，打开机械泵，预抽，待真空腔体内部压强低于20Pa下，再打开分子泵，节流阀，再次抽真空，然后根据所镀膜层，冲入氩气保护气氛，调节节流阀控制真空腔体气压维持，最后依次打开离子源，弧电源，偏压源，样品放在样品台上，电机通过联轴器带动动力输入轴转动，从而带动行星架一起转动，实现样品台公转；同时，行星架带动行星轮组件一起转动，行星轮组件的行星齿轮与固定的太阳轮啮合，行星轮组件转动，带动样品台自转；样品在镀膜过程中实现公转和自转，镀膜完成，打开真空腔体门拿出样品，再重复以上操作。
真空镀膜样品台
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
20放置于轴导向套16内侧底部，行星齿轮21通过键与行星轮轴14配合，且在行星齿轮21下方用齿轮限位挡块22和螺钉固定，防止行星齿轮21移动。上述整个镀膜系统包含一个真空腔体，四个弧源靶材，其中顶部两个，侧面两个；十个样品台，其中顶部四个，侧面六个。
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