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一种显影机的喷淋显影系统

阅读：806发布：2023-01-11

专利汇可以提供一种显影机的喷淋显影系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开一种显影机的喷淋显影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其中所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。本发明显影机的喷淋显影系统可以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，同时特殊的喷管结构可以尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，可以避免局部显影不均的情况。，下面是一种显影机的喷淋显影系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种显影机的喷淋显影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其特征在于：所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。
2.如权利要求1所述的显影机的喷淋显影系统，其特征在于：所述喷管为复数组，该复数组蛇形状喷管等间距平行排布；其中，所有喷管固定在喷盘上，喷嘴均匀的设置在蛇形管的拐弯处。
3.如权利要求2所述的显影机的喷淋显影系统，其特征在于：所述相邻的两根所述蛇形喷管上的喷嘴喷出的喷液覆盖范围可以相互补充。
4.如权利要求3所述的显影机的喷淋显影系统，其特征在于：所述喷嘴喷液口可设置为各种合理的形式，从而实现喷出的溶液呈相应的形状。
5.如权利要求4所述的显影机的喷淋显影系统，其特征在于：所述喷嘴的喷口设置为扁口状，在一定的压力条件下，喷出的溶液主体呈扇形且扇面，通过转动喷嘴在喷管上的安装位置，可以使得喷出的扇面溶液所在平面垂直于显影对象的运动方向。

说明书全文

一种显影机的喷淋显影系统

[0001]

技术领域

[0002] 本发明属于SMT掩模板制作技术领域，尤其涉及SMT掩模板制作过程中采用的一种显影机的喷淋显影系统。

[0003]

背景技术

[0004] 采用电铸或蚀刻工艺制作SMT掩模板的前期工作一般涉及到以下工序：即基板贴干膜→曝光→显影。一般掩模板开口要求孔壁光滑，尺寸精密，只有保证开口，掩模板才能在使用中有很好的印刷效果。高精密掩模板的制作要求在掩膜板制作过程中每一个环节都能做到较高精度，其中在显影环节中显影的质量对后续工序的影响非常大，因此在显影过程中要求显影机的显影能力均匀稳定。

[0005] 传统的显影机分为立式显影机及卧式显影机，在实际生产过程中，立式显影机每次显影时需要一次显影结束后才能进行下一次显影作业，即难以形成快速的流水线作业，从而不利于高效率的企业生产。卧式显影机在显影的过程中容易出现水池效应，水池效应会引起显影对象的显影不均，从而影响产品SMT掩模板开口的质量，例如最终电铸或蚀刻的产品会出现开口粗糙不光滑、开口尺寸偏差大等问题。

[0006] 因此，业界急需探索出一种方案，以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，以避免局部显影不均的情况。

[0007]

发明内容

[0008] 为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种显影机的喷淋显影系统，以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，避免局部显影不均。

[0009] 为实现上述目的，本发明的技术方案为：一种显影机的喷淋显影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其中所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。

[0010] 进一步地，所述喷管为复数组，该复数组蛇形状喷管等间距平行排布；其中，所有喷管固定在喷盘上，喷嘴均匀的设置在蛇形管的拐弯处。

[0011] 进一步地，所述相邻的两根所述蛇形喷管上的喷嘴喷出的喷液覆盖范围可以相互补充。

[0012] 进一步地，所述喷嘴喷液口可设置为各种合理的形式，从而实现喷出的溶液呈相应的形状。

[0013] 进一步地，所述喷嘴的喷口设置为扁口状，在一定的压力条件下，喷出的溶液主体呈扇形且扇面，通过转动喷嘴在喷管上的安装位置，可以使得喷出的扇面溶液所在平面垂直于显影对象的运动方向。

[0014] 本发明显影机的喷淋显影系统可以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，同时特殊的喷管结构可以尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，可以避免局部显影不均的情况。

[0015]附图说明

[0016] 图1为本发明的喷液管的排布示意图；图2为本发明显影对象经过显影区域时的示意图；
图3为本发明显影对象、传送装置、喷液装置之间的位置关系图；
图4为本发明的传送装置的另一种滚轮结构示意图。

[0017]

具体实施方式

[0018] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0019] 请参照图1-图4所示，本发明显影机的喷淋显影系统显影方式为单面显影，所述单面显影方式的显影液喷淋方向由下向上，即喷管喷嘴的方向朝上。如图1所示，图1示出了本发明的喷液管的排布，所述喷管12的排布方向与显影对象的运动方向一致，即图1中所示箭头所标示的显影机传送方向。所述喷管12为形状较为规则的蛇形状，即蛇形管对应部分的弯曲程度相同，若干组蛇形状喷管12等间距平行排布，所有喷管固定在喷盘11上；喷管12上设置有喷嘴13，喷嘴13均匀的设置在蛇形管的拐弯处，如此设计，相邻的两根所述蛇形管12上所述喷嘴喷出的喷液覆盖范围可以相互补充；所述喷嘴13喷液口可设置为各种合理的形式，从而实现喷出的溶液呈相应的形状，在本发明本实施例中，所述喷嘴13的喷口设置为扁口状，在一定的压力条件下，喷出的溶液主体呈扇形且扇面，且可以通过转动喷嘴13在喷管上的安装位置，可以使得喷出的扇面溶液所在平面垂直于显影对象的运动方向。

[0020] 请参照图2所示，图2所示为显影对象经过显影区域时的示意图，显影对象20通过滚轮21传送经过显影区域，滚轮传送装置上的滚轮21位置相互错开排布，从而消除滚轮对喷液的局部阻碍而出现局部显影不均。

[0021] 请参照图3、图4所示，图3所示为显影对象、传送装置、喷液装置之间的位置关系图；图4所示为滚轮传送装置的另一种滚轮形式，即显影对象可以依靠传送装置两边缘的滚轮进行传送，从而完全避免滚轮对显影对象显影区域的影响。

[0022] 以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

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