专利汇可以提供铸锭炉专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种 铸锭 炉。铸锭炉包括 坩埚 和加热装置,加热装置相对于坩埚可移动地设置。应用本发明的技术方案,可给坩埚任何 位置 加热,使坩埚整体 温度 更为均匀,结晶的界面更为平坦,更有利于杂质的分凝,大大提升 硅 锭 质量 。,下面是铸锭炉专利的具体信息内容。
1.一种铸锭炉,其特征在于,所述铸锭炉包括:
坩埚;
加热装置(2),所述加热装置(2)相对于所述坩埚可移动地设置。
2.根据权利要求1所述的铸锭炉,其特征在于,所述加热装置相对于所述坩埚至少沿竖直方向可移动地设置。
3.根据权利要求1所述的铸锭炉,其特征在于,所述加热装置包括:
多个加热电极(21);
移动板(22),所述多个加热电极均与所述移动板(22)固定连接,所述移动板相对于所述坩埚可移动地设置。
4.根据权利要求3所述的铸锭炉,其特征在于,所述多个加热电极(21)沿与所述坩埚同轴的圆均匀地设置。
5.根据权利要求3或4所述的铸锭炉,其特征在于,所述加热装置还包括用于驱动所述加热装置(2)相对于所述坩埚沿竖直方向移动的驱动装置。
6.根据权利要求5所述的铸锭炉,其特征在于,所述驱动装置包括伺服电机(23)。
7.根据权利要求6所述的铸锭炉,其特征在于,所述加热装置还包括传动单元,所述传动单元包括:
丝杠,所述丝杠与所述伺服电机(23)传动连接;
滑块,所述滑块与所述丝杠相适配并与所述移动板(22)固定连接。
8.根据权利要求7所述的铸锭炉,其特征在于,所述加热装置包括多个所述伺服电机(23)和与所述多个伺服电机(23)一一对应地设置的多个所述传动单元。
9.根据权利要求8所述的铸锭炉,其特征在于,所述多个传动单元沿与所述坩埚同轴的圆均匀地设置。
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