이온 주입 프로세스로부터의 발화성 부산물들을 저감시키기 위한 방법 및 장치
专利汇可以提供이온 주입 프로세스로부터의 발화성 부산물들을 저감시키기 위한 방법 및 장치专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且본원에서개시되는실시예들은일반적으로, 플라즈마저감프로세스들및 장치들에관한것이다. 플라즈마저감프로세스는주입챔버와같은프로세싱챔버로부터포어라인배출물을취하여, 배출물을시약과반응시킨다. 배출물은발화성부산물을포함한다. 포어라인경로내에배치된플라즈마발생기는배출물과시약간의반응을가능하게하기위해배출물과시약을이온화시킬수 있다. 이온화된종들은반응하여화합물들을형성하며, 그화합물들은배기스트림경로내의조건들에서가스상으로유지된다. 다른실시예에서, 이온화된종들은반응하여화합물들을형성할수 있으며, 그화합물들은가스상으로부터응축된다. 이어서, 응축된입자상물질은트랩에의해배출물로부터제거된다. 장치들은주입챔버, 플라즈마발생기, 하나또는그 초과의펌프들, 및스크러버를포함할수 있다.，下面是이온 주입 프로세스로부터의 발화성 부산물들을 저감시키기 위한 방법 및 장치专利的具体信息内容。
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