一种硅片插片检测装置
专利汇可以提供一种硅片插片检测装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开的一种 硅 片 插片检测装置，包括设置于花篮前部两侧的 信号 发射器以及设置于花篮背部的信号接收器，所述信号 反射器 和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。本实用新型的 硅片 插片检测装置利用处于同一 水 平面的多个激光发射器和激 光接收器 传输信号，当花篮发生形变时 信号传输 中断，则可判断该插片槽发生形变。该检测装置可以根据花篮和硅片尺寸进行调节，适用性高，而且检测 精度 高，不需要员工进行卡片处理，解放了劳动 力 、降低劳动强度，同时还提高了生产插片效率。，下面是一种硅片插片检测装置专利的具体信息内容。
1.一种硅片插片检测装置，其特征在于，包括设置于花篮前部两侧的信号发射器以及对应设置于花篮背部的信号接收器，所述信号发射器和信号接收器相对设置且两者的连线穿过花篮的插片槽。
2.如权利要求1所述的一种硅片插片检测装置，其特征在于，所述硅片插片检测装置还包括分别相对设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器，设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器的连线也穿过花篮的插片槽，而且设置于花篮两侧的信号发射器和信号接收器与设置于花篮前部两侧的信号发射器以及设置于花篮背部的信号接收器处于同一平面。
3.如权利要求2所述的一种硅片插片检测装置，其特征在于，所述信号发射器和信号接收器分别为激光发射器和激光接收器。
4.如权利要求2或3所述的一种硅片插片检测装置，其特征在于，还包括分别与所述信号发射器和信号接收器信号连接的控制器，所述控制器用于控制所述信号发射器发出信号，所述信号接收器用于接收所述信号发射器发出的信号并将结果反馈至所述控制器。
5.如权利要求4所述的一种硅片插片检测装置，其特征在于，所述控制器还通过驱动器控制所述花篮的升降。
一种硅片插片检测装置
技术领域
背景技术
具体实施方式
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