专利汇可以提供JP2007501333A5 -专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且,下面是JP2007501333A5 -专利的具体信息内容。
装置は、RF(例えば、13.56MHz)電力によって変調された非対称の交流電圧(好ましくは、40kHz)を、同軸関係を有する一対のターゲット間に印加し、そして、
1. 付着工程中に、ターゲットの表面から誘電体物質を除去し、
ターゲット表面上のこの誘電体物質の付着より以前に生じたアークを除去するために、
2. 非対称のレベルを調節することによって、均一な被膜を作るために、
(異なる電力レベルをターゲットの個々のものに印加して)
3. RF放電から生ずる、ターゲット付近の永久的なイオン化によりターゲットの円滑な点弧を行わせるために、
4. ターゲット点弧中、いかなる電圧スパイクをも除去することによって、付着被膜中の欠陥及び異物を除去するために、
5. プラズマ放電の低エネルギー(「コールド」)電子が基板に達しないようにすることによって、基板の温度を減ずるために、
6. 基板の表面上の異なる位置に、実質的に均一な付着速度を提供するために、
7. 帯電粒子による基板のボンバートを減ずることによって、付着した薄膜の固有応力を減ずるために、
追加のダイオード回路を使用する。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种反激变换器及其控制方法 | 2020-05-08 | 598 |
一种接入变压器型设备短路预检保护装置及其工作方法 | 2020-05-08 | 312 |
一种高清视频双链路热备传输设备 | 2020-05-11 | 767 |
基于LCL滤波的电压型PWM整流器的协同控制系统及方法 | 2020-05-08 | 42 |
一种用于EOC的双向射频电平调节电路及其控制方法 | 2020-05-08 | 887 |
一种基于电控扫频的傅里叶域锁模光电振荡器及实现方法 | 2020-05-08 | 747 |
一种具有无线供电与充电功能的装饰吊扇控制电路 | 2020-05-08 | 425 |
輸送体用サービスシステムのための制御モジュールユニット | 2020-05-08 | 491 |
無線電力伝送システム | 2020-05-08 | 983 |
電力変換装置 | 2020-05-08 | 822 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。