一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器
阅读：1发布：2021-09-22
专利汇可以提供一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种具有全桥微梁结构的压阻式 加速 度 传感器 ，包括 框架 （1）、 悬臂梁 （2）、微梁（3）和 质量 块 （4）。所述悬臂梁（2）处于质量块（4）对称轴线上，所述微梁（3）共有四个，以悬臂梁（2）所在轴线为轴对称地分布于质量块（4）边缘，并将压阻敏感 电阻 设于四个微梁上，四个压阻敏感电阻构成惠斯顿全桥 电路 。使得悬臂梁的应变得到放大，提高了灵敏度；四个压阻敏感电阻均处于芯片内，因测量环境 温度 变化引起的阻值漂移对电路的影响在全桥电路中相互抵消，提高了温度 稳定性 ；而且四个微梁增加了对质量块振动的约束，提高了一阶谐振 频率 。，下面是一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器专利的具体信息内容。
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