专利汇可以提供捲取式真空蒸鍍裝置 REELING TYPE VACUUM VAPOR DEPOSTION APPARATUS专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本發明提供一種在不使生產性降低之情況下可抑制膜上的熱皺區域之產生的捲取式 真空 蒸鍍 裝置。
本發明之捲取式 真空蒸鍍 裝置(10)係具有:捲出輥(13);捲取輥(15),係用以捲取從捲出輥(13)取出的膜(12);冷卻用輥(14),係配置於捲出輥(13)與捲取輥(15)之間且與膜(12)密接而將前述膜予以冷卻;蒸發源(16),係與冷卻用輥(14)相對向配置而使蒸鍍材料蒸鍍於膜(12);以及電子束照射器(21),係配置於捲出輥(13)與蒸發源(16)之間,且對行進的膜(12)照射電子束;其中,電子束照射器(21)係具有藉由通電加熱而放出電子的燈絲(31)、及對前述燈絲(31)供給直流電流的直流產生手段。,下面是捲取式真空蒸鍍裝置 REELING TYPE VACUUM VAPOR DEPOSTION APPARATUS专利的具体信息内容。
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