技术领域
本发明涉及一种热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,还涉这种监控装置的监控 方法。
背景技术
热梯度化学气相渗透工艺TCVI(Thermal-Gradient Chemical Vapor Infiltration,以 下简称TCVI)是一种制备
碳基和陶瓷基
复合材料高效工艺,特别是碳/碳复合材料。
现有的热梯度化学气相渗透工艺系统控制装置,包括脉冲触发
电路19、整流电路22、 调压
变压器23、高压
开关24,在大功率TCVI工艺沉积过程中,先将高压开关24接通,10KV 高压通过调压变压器23及整流电路22变换成
电压为6~42V、
电流为0~37500A,来控制石 墨加热
电极1产生热量,提供沉积
温度进而实现碳/碳复合材料的制备。因此,在大功率TCVI 工艺过程中,多档变压器、整流电路和沉积炉工作是否正常可靠,将影响沉积效率和碳/碳 复合材料的
质量,这就需要及时有效地了解这些设备的工作状态。
现有的热梯度化学气相渗透工艺系统控制装置,完全是手动操作,需要操作人员24小 时值班,定时对工艺系统运行参数进行记录,一旦工艺运行出现异常情况,需要操作人员根 据异常情况类型,利用手动操作切断整流电路或者高压开关电路,操作人员的劳动强度大、 责任重,一旦有所失误将造成重大损失。
发明内容
为了克服
现有技术手动操作的不足,提高自动化监控
水平,本发明提供一种大功率热梯 度化学气相渗透工艺系统监控装置,实现对该工艺系统运行状态信息自动采集、存储及显示、 报警及自动保护。
本发明还提供这种装置的监控方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统 监控装置,包括脉冲
触发电路19、整流电路22、调压变压器23、高压开关24,其特征在于: 还包括
信号调理器10、A/D转换器11、监控计算机12、显示器13、D/O转换器14、驱动放 大电路15、脉冲封
锁继电器16、中间继电器17、
真空开关继电器21;温度
传感器5、压
力 传感器6、元件损坏检测器7、瓦斯信号检测器8以及流量计9的所采集的信号,经信号调 理器10和A/D转换器11传输给监控计算机12,监控计算机12同时输出两路信号,一路到 显示器13,另一路通过D/O转换器14与驱动放大电路15分别控制脉冲封锁继电器16和中 间继电器17,进而控制脉冲触发电路19和真空开关继电器21,使得整流电路22停止工作 或高压开关24断开。
监控计算机12还通过D/O转换器14与驱动放大电路15控制报警继电器18,进而控制 报警电路20。
一种上述装置的监控方法,其特征在于下述步骤:
1)监控计算机采集温度信号、压力信号、瓦斯信号、元件损坏信号以及进气管道流量 信号等信息,并与设定的标准值进行比较;
2)比较结果为正常时,监控计算机将采集的信息存储到
数据库,同时以曲线形式通过 显示器进行动态实时显示给操作人员,循环执行步骤1),直至沉积工艺结束;
3)比较结果不正常时,进而判断是瓦斯信号超标还是整流电路元件损坏,或者是温度、 压力以及流量是否正常;
4)若是瓦斯信号超标或者是整流电路元件损坏,监控计算机输出一开关信号,经D/O 转换器和驱动放大电路后接通中间继电器,控制真空开关继电器使高压开关断10KV高压电 路,同时报警继电器导通,报警电路发出报警信息,报警信息也存储到数据库并通过显示器 显示;故障排除后,重新执行步骤1)~3);
5)若是温度、压力以及流量不正常,监控计算机输出一开关信号,经D/O转换器和驱动 放大电路后接通脉冲封锁继电器,控制脉冲触发电路截至从而使得整流电路停止工作,同时 报警继电器导通,报警电路发出报警信息,报警信息也存储到数据库并通过显示器显示;故 障排除后,重新执行步骤1)~3)。
本发明的有益效果是:由于采用数据库技术对大量的状态数据进行管理,实现了大功率 TCVI工艺系统状态信息的自动记录、存储,工作人员不需要定时进行记录,可对该工艺运行 状态信息进行管理和分析、查阅、打印,减轻了操作人员的劳动强度,极大地方便管理;
其自动保护电路对于沉积炉
冷却水温度高、冷却水压力低、整流电路冷却水温度高、冷 却水压力低、变压器温度高、
天然气流量低等情况能进行报警并记录报警信息,同时封锁整 流脉冲,自动切断整流电路;在
整流器元件损坏、变压器瓦斯含量高的情况下,能自动切断 10KV高压电路,可避免调压变压器和整流电路的损坏。
下面结合
附图和
实施例对本发明进一步说明。
附图说明
图1是本发明装置结构示意图
图2是本发明方法
流程图图中,2-预制体;3-炉体;4-冷却水管;5-温度传感器;6-
压力传感器; 18-进气管道。
具体实施方式
装置实施例:参照图1,本发明包括温度传感器5、压力传感器6、瓦斯信号检测器8、 元件损坏检测器7、信号调理器10、流量计9、A/D转换器11、监控计算机12、显示器13、 D/O转换器14、驱动放大电路15、脉冲封锁继电器16、中间继电器17、报警继电器18、报 警电路20、真空开关继电器21;温度传感器5的检测端分别与调压变压器23、整流电路22、 沉积炉体3内预制体2的沉积层、沉积炉的冷却水管4相连,温度传感器5的输出端经信号 调理器10和A/D转换器11与监控计算机12电连接;压力传感器6检测端分别与整流电路 22、沉积炉冷却水管4相连,其输出端经信号调理器10和A/D转换器11与监控计算机12 电连接;瓦斯信号检测器8的检测端插在调压变压器的冷却油中,其输出端经信号调理器10 和A/D转换器11与监控计算机12电连接;元件损坏检测器7与整流电路22电连接,其输 出端经信号调理器10和A/D转换器11与监控计算机12电连接;流量计9插入进气管道18 中,其
输出信号经信号调理器10和A/D转换器11与监控计算机12电连接;这些信号作为 监控计算机12的
输入信号,输入信号经过专用
软件处理后,对信息进行分类存储,同时输 出两路信号,一路到显示器13显示处理结果;另一路通过三路D/O转换器14与驱动放大电 路15分别控制脉冲封锁继电器16、中间继电器17和报警继电器18的导通,进而分别发出 报警信号和控制脉冲触发电路19截止或真空开关继电器21断开,从而使得整流电路22停 止工作或高压开关24断开,起到保护整个热梯度工艺设备系统的安全运行。
方法实施例:参照图2,下面分别就高压开关断开和整流电路停止工作两种保护情况进 行详细说明。
在沉积工艺运行过程中,瓦斯信号检测器的信号经信号调理器后,由A/D转换器输入到 监控计算机与设定的安全值进行比较,当检测的信号值高于安全警戒值时:监控计算机由D/O 端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得中间继电器动作,进而驱动真空开 关继电器动作,从而使高压开关动作并断开10KV高压电路;另一路信号使得报警继电器导 通,发出声音报警和灯光指示瓦斯信号高。与此同时,监控计算机还利用专用软件处理此报 警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警信息包括报警日期、报警时间、 报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对系统进行检查维修,完好后重新 启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺结束。当输入的检测信号正常时: 监控计算机利用专用软件对采集的检测信号进行定期存储到数据库的操作,同时利用图形或 曲线的形式将检测信号在显示器上进行实时显示。
在沉积工艺运行过程中,元件损坏检测器的信号经信号调理器后,由A/D转换器输入到 监控计算机,当检测到元件损坏信号时,监控计算机由D/O端口输出两个开关信号并经驱动 放大电路,一路信号使得中间继电器动作,进而驱动真空开关继电器动作,从而使高压开关 动作并断开10KV高压电路;另一路信号使得报警继电器导通,发出声音报警和灯光指示元 件损坏。与此同时,监控计算机还利用专用软件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数 据库并由显示器显示,报警信息包括报警日期、报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、 操作员名等。操作人员对系统进行检查维修,完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面 的步骤,一直到沉积工艺结束。
沉积炉冷却水管的温度信号,由传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采集后输入到 监控计算机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当高于标准信号值后:监控计算 机由D/O端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动作,进 而封锁脉冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号使得报 警继电器导通,发出声音报警和灯光指示沉积炉冷却水温度信号高。与此同时,监控计算机 利用专用软件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警信息包 括报警日期、报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对系统进 行检查维修,完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺结束。 当输入的温度信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的温度信号进行定期存储到数据 库的操作,同时利用图形或曲线的形式将温度信号在显示器上进行实时显示。
对于沉积炉冷却水管压力信号,由压力传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采集后 输入到监控计算机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当低于标准信号值后:监 控计算机由D/O端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动 作,进而封锁脉冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号 使得报警继电器导通,发出声音报警和灯光指示沉积炉冷却水管压力信号低。与此同时,监 控计算机利用专用软件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报 警信息包括报警日期、报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员 对系统进行检查维修,完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工 艺结束。当输入的压力信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的压力信号进行定期存 储到数据库的操作,同时利用图形或曲线的形式将压力信号在显示器上进行实时显示。
整流电路温度信号,由传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采集后输入到监控计算 机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当高于标准信号值后:监控计算机由D/O 端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动作,进而封锁脉 冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号使得报警继电器 导通,发出声音报警和灯光指示整流电路温度信号高。与此同时,监控计算机利用专用软件 处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警信息包括报警日期、 报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对系统进行检查维修, 完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺结束。当输入的温度 信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的温度信号进行定期存储到数据库的操作,同 时利用图形或曲线的形式将温度信号在显示器上进行实时显示。
整流电路冷却水管压力信号,由压力传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采集后输 入到监控计算机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当低于标准信号值后:监控 计算机由D/O端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动作, 进而封锁脉冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号使得 报警继电器导通,发出声音报警和灯光指示整流电路冷却水管压力信号低。与此同时,监控 计算机利用专用软件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警 信息包括报警日期、报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对 系统进行检查维修,完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺 结束。当输入的压力信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的压力信号进行定期存储 到数据库的操作,同时利用图形或曲线的形式将压力信号在显示器上进行实时显示。
调压变压器温度信号,由传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采集后输入到监控计 算机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当高于标准信号值后:监控计算机由D/O 端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动作,进而封锁脉 冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号使得报警继电器 导通,发出声音报警和灯光指示调压变压器温度信号高。与此同时,监控计算机利用专用软 件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警信息包括报警日期、 报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对系统进行检查维修, 完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺结束。当输入的温度 信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的温度信号进行定期存储到数据库的操作,同 时利用图形或曲线的形式将温度信号在显示器上进行实时显示。
天然气流量信号,由流量计检测后经信号调理器和A/D转换器采集后输入到监控计算机, 此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当低于标准信号值后:监控计算机由D/O端口 输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得脉冲封锁继电器动作,进而封锁脉冲触 发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电系统;另一路信号使得报警继电器导通, 发出声音报警和灯光指示天然气流量低。与此同时,监控计算机利用专用软件处理此报警信 息,将报警状态信息存储到数据库并由显示器显示,报警信息包括报警日期、报警时间、报 警变量名、报警值、报警类型、操作员名等。操作人员对系统进行检查维修,完好后重新启 动系统运行,运行过程重复上面的步骤,一直到沉积工艺结束。当输入的天然气流量信号正 常时:监控计算机利用专用软件对采集的流量信号进行定期存储到数据库的操作,同时利用 图形或曲线的形式将此信号在显示器上进行实时显示。
对于沉积炉内预制体沉积层的温度信号,由传感器检测后经信号调理器和A/D转换器采 集后输入到监控计算机,此输入信号与设定的标准信号进行比较分析,当高于或低于设定的 标准信号值后:监控计算机由D/O端口输出两个开关信号并经驱动放大电路,一路信号使得 脉冲封锁继电器动作,进而封锁脉冲触发电路,从而使整流电路停止工作,切断沉积炉供电 系统;另一路信号使得报警继电器导通,发出声音报警和灯光指示沉积炉沉积温度信号异常。 与此同时,监控计算机利用专用软件处理此报警信息,将报警状态信息存储到数据库并由显 示器显示,报警信息包括报警日期、报警时间、报警变量名、报警值、报警类型、操作员名 等。操作人员对系统进行检查维修,完好后重新启动系统运行,运行过程重复上面的步骤, 一直到沉积工艺结束。当输入的温度信号正常时:监控计算机利用专用软件对采集的温度信 号进行定期存储到数据库的操作,同时利用图形或曲线的形式将温度信号在显示器上进行实 时显示。