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纯电容调节的 真空 等离子体起辉用手动功率匹配系统

阅读：478发布：2020-05-08

专利汇可以提供纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板；壳体的一端固定有气体输入端口，另一端安装有用于导入电和气的法兰；法兰上安装有电极组；电极组的气管一端通过细管与气体输入端口相连，气管的另一端通过第一电极接至绝缘放电室；绝缘放电室与气体输入隔离器相连；气体输入隔离器的圆周面上缠绕有射频功率感性负载；射频功率感性负载的一端接地，另一端接电极组的电极R端。，下面是纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体（1）；所述壳体（1）的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头（2）和用于外界电源的航空接头（12）；所述壳体（1）内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关（3），以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板（4）；所述壳体（1）的一端固定有气体输入端口（5），另一端安装有用于导入电和气的法兰（7）；所述法兰（7）上安装有电极组（6）；其特征在于：所述电极组（6）的气管（14）一端通过细管（13）与气体输入端口（5）相连，气管（14）的另一端通过第一电极接至绝缘放电室（8）；所述绝缘放电室（8）与气体输入隔离器（9）相连；所述气体输入隔离器（9）的圆周面上缠绕有射频功率感性负载（10）；所述射频功率感性负载（10）的一端接地，另一端接电极组（6）的电极R端（15）。
2.根据权利要求1所述的纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，其特征在于：所述绝缘放电室（8）内设有螺旋通道。
3.根据权利要求1或2所述的纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，其特征在于：所述电容切换开关（3）为真空继电器。

说明书全文

纯电容调节的真空 等离子体起辉用手动功率匹配系统

技术领域

[0001] 本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统。

背景技术

[0002] 半导体行业和真空镀膜行业里经常用到射频电子发生器以产生要用的离子，射频电子发生器装置一般包括前端的射频功率源、中间的射频功率匹配系统以及后端的射频电子发生器。

[0003] 现有的射频功率匹配系统采用人工手动利用调节旋钮在现场对可调电容Cl、C2、C3的容值进行调节，由于绝缘放电室为陶瓷材料，经过的通道较短时，所达到的效果不佳。发明内容

[0004] 本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种使气体电离并保持电离状态，减少电容的调节频次的纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统。

[0005] 实现本实用新型目的的技术方案是：一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；所述壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；所述壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板；所述壳体的一端固定有气体输入端口，另一端安装有用于导入电和气的法兰；所述法兰上安装有电极组；所述电极组的气管一端通过细管与气体输入端口相连，气管的另一端通过第一电极接至绝缘放电室；所述绝缘放电室与气体输入隔离器相连；所述气体输入隔离器的圆周面上缠绕有射频功率感性负载；所述射频功率感性负载的一端接地，另一端接电极组的电极R端。

[0006] 上述技术方案所述绝缘放电室内设有螺旋通道。

[0007] 上述技术方案所述电容切换开关为真空继电器。

[0008] 采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：

[0009] （1）本实用新型的射频功率经射频输入端口输入到系统中，通过3个可调电容的调制将射频功率的振幅和相位调制到合适的匹配经电和气导入法兰将射频功率耦合到射频功率感性负载上去，射频功率在感性负载上产生的高频变化的电磁场使得经过气体输入隔离器输入绝缘放电室的气体电离，气体电离后通过、电容切换开关（继电器）的切换，将预先调整好的电容层加进电路中保持低反射功率下的电离状态。

[0010] （2）本实用新型涉及半导体行业以及真空镀膜行业，应用到射频信号功率匹配后作用于工作气体，使气体电离并保持电离状态；自动的电容切换减少电容的调节频次。附图说明

[0011] 为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

[0012] 图1为本实用新型的结构示意图；

[0013] 图2为本实用新型的负载的结构示意图；

[0014] 附图中标号为：壳体1，射频功率输入接头2，电容切换开关3，起辉震荡驱动板4，气体输入端口5，电极组6，法兰7，绝缘放电室8，气体输入隔离器9，射频功率感性负载10，航空接头12，细管13，气管14，电极R端15。

具体实施方式

[0015] 见图1和图2，本实用新型包括壳体1；壳体1的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头2和用于外界电源的航空接头12；壳体1内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关3，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板4；壳体1的一端固定有气体输入端口5，另一端安装有用于导入电和气的法兰7；法兰7上安装有电极组6；其特征在于：电极组6的气管14一端通过细管13与气体输入端口5相连，气管14的另一端通过第一电极接至绝缘放电室8；绝缘放电室8与气体输入隔离器9相连；气体输入隔离器9的圆周面上缠绕有射频功率感性负载10；射频功率感性负载10的一端接地，另一端接电极组6的电极R端15。绝缘放电室8内设有螺旋通道。电容切换开关3为真空继电器。

[0016] 本实用新型的工作原理为：射频功率经射频输入端口输入到系统中，通过3个可调电容的调制将射频功率的振幅和相位调制到合适的匹配经电和气导入法兰将射频功率耦合到射频功率感性负载上去，射频功率在感性负载上产生的高频变化的电磁场使得经过气体输入隔离器输入绝缘放电室的气体电离，气体电离后通过、电容切换开关（继电器）的切换，将预先调整好的电容层加进电路中保持低反射功率下的电离状态。

[0017] 以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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