专利汇可以提供有机无机杂化纳米薄膜阻变存储器的制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种有机无机杂化纳米 薄膜 阻变 存储器 的制备方法,包括如下步骤:首先利用氯化 钛 与 盐酸 、邻菲罗啉、氢 氧 化钠、 丙烯酸 反应,制备丙烯酸钛 单体 ;其次,采用甲基丙烯酸甲酯为共聚单体,过 硫酸 钾 /偶氮二异丁腈作为引发剂,吡啶硫 酮 作为催化剂,制备钛离子与MMA杂化共聚物;最后,利用 旋涂 法把杂化共聚物涂覆在导电玻璃表面,获得杂化纳米薄膜,随后低温 退火 ,然后在薄膜表面沉积二氧化钛和金属 电极 。通过本发明获得的阻变存储器,其漏 电流 小于10pA,其 开关 电阻 比大于106,循环次数高于105次。,下面是有机无机杂化纳米薄膜阻变存储器的制备方法专利的具体信息内容。
1.有机无机杂化纳米薄膜阻变存储器的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:首先利用氯化钛与盐酸、邻菲罗啉、氢氧化钠、丙烯酸反应,制备丙烯酸钛单体;其次,采用甲基丙烯酸甲酯为共聚单体,过硫酸钾/偶氮二异丁腈作为引发剂,吡啶硫酮作为催化剂,制备钛离子与MMA杂化共聚物;最后,利用旋涂法把杂化共聚物涂覆在导电玻璃表面,获得杂化纳米薄膜,随后低温退火,然后在薄膜表面沉积二氧化钛和金属电极。
2.如权利要求1所述的有机无机杂化纳米薄膜阻变存储器的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:
1)清洗、吹干ITO玻璃衬底;
2)制备丙烯酸钛单体:
a.取0.55mL的四氯化钛溶液滴入50.0mL无水乙醇中,摇晃均匀后,获得溶液A;
b.取2.50mmol邻菲罗啉加入至25.0mL无水乙醇,使其溶解,摇晃均匀后获得溶液B;
c.取10.0mL的溶液B,在不断搅拌的条件下缓慢滴入5.0mL的溶液A中,抽滤干燥分离,获得白色粉末;然后将白色粉末溶于去离子水中,滴加浓度为0.1mol/L的NaOH溶液,产生白色絮状沉淀,继续滴加,直至不再产生沉淀为止;将该浑浊液体放入离心机,在4000转/分钟的速度离心5min,然后去除上层清液,加去离子水,搅拌浑浊后继续放入离心机洗涤,直至上层清液的pH等于7,最后抽滤干燥后获得得到Ti(OH)4粉末;
d.在不断搅拌的条件下,缓慢滴加丙烯酸直至Ti(OH)4粉末完全溶解,放入120℃的油浴锅中蒸馏,并用磁子进行搅拌,直至溶液变为粘稠状;冷却后用无水乙醇进行洗涤,通过离心机进行分离,在经过洗涤—离心分离2~3次以后,获得Ti(MA)4单体;
3)钛与MMA杂化共聚物制备:
在上述制备所得的丙烯酸钛中,加入250mL的乙醇,在75℃下的磁力搅拌和水浴条件下充分溶解,再分别滴加30~50mL甲基丙烯酸甲酯、3.0mL浓度为1.5mol/L过硫酸钾溶液、含有0.68g偶氮二异丁腈和0.24g吡啶硫酮的3.0mL甲醇溶液,在85~90℃下的磁力搅拌和水浴条件下反应2~3h以后,冷却至室温,获得钛与MMA杂化共聚物;
4)有机—无机杂化纳米薄膜制备:
采用旋涂法把钛与MMA杂化共聚物涂覆在经过处理的FTO导电玻璃基片上,通过调节旋涂时间和转速,把薄膜厚度控制在200~300nm范围内,然后在150~220℃温度下进行热处理2.5h,最终获得有机—无机杂化纳米薄膜;
5)阻变存储器制备:
把表面已经生长有机—无机杂化纳米薄膜的导电玻璃放入真空镀膜仪,蒸镀腔的真空度优于1×10-3Pa;首先,在薄膜表面蒸镀厚度为10~15nm的二氧化钛薄膜,随后在原位退火
15min,退火温度为200℃;其次,采用孔径为1mm的掩膜板,在室温下,在二氧化钛薄膜表面蒸镀厚度为500nm的银薄膜。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种高填充因子的钙钛矿太阳能电池及其制备方法 | 2020-05-08 | 848 |
一种基于银纳米线的透明电极及其制备方法 | 2020-05-08 | 134 |
薄膜集成电路用99.6%Al2O3 陶瓷基片的制备方法 | 2020-05-08 | 883 |
一种硅基双二极管双面太阳能电池及其制备方法 | 2020-05-08 | 827 |
半透明薄膜太阳电池及其制备方法 | 2020-05-11 | 947 |
一种采用溴化铯衬底制备钴掺杂钙钛矿太阳能电池的方法 | 2020-05-08 | 394 |
X射线平板探测器及制备方法 | 2020-05-08 | 441 |
释放孔位于封装空间外的MEMS器件的封装 | 2020-05-11 | 985 |
一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法 | 2020-05-08 | 75 |
一种基于PDMS薄膜的全固态可变焦静电驱动式微透镜 | 2020-05-08 | 111 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。