一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法
专利汇可以提供一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，属于纳米结构制备技术领域。本发明包括七个步骤：(1)将清洗后的基底样品做亲 水 处理 后清洗吹干；(2)将 纳米粒子 溶入不同比例的去离子水和 柠檬酸 钠的混合溶液，利用搅拌器搅拌均匀；(3)将溶液液体滴在预加工样品表面；(4)利用转盘旋转样品，改变 旋涂 参数，旋涂金属粒子于样品表面并形成不同厚度的溶液沉积 薄膜 ；(5)把样品置于 电阻 炉干燥；(6)利用飞秒激光垂直照射制备好的具有纳米颗粒和沉积薄膜的靶材；(7)改变激光参数，实现制备多种纳米加工图案。本发明的方法可以加工出复杂纳米结构，操作简单易行，可大量生产，具有广阔的应用前景。，下面是一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法专利的具体信息内容。
1.一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，包括：
将清洗后的硅片置于皮哈拉洗液中浸泡，做亲水处理后清洗吹干；
将纳米粒子溶入去离子水和柠檬酸钠的混合溶液，利用搅拌器搅拌均匀；
将溶液液体滴在预加工样品表面；
利用转盘旋转样品，改变柠檬酸钠填入量和旋涂参数，旋涂金属粒子于样品表面并形成溶液沉积薄膜；
把样品置于电阻炉干燥；
利用飞秒激光垂直照射制备好的具有纳米颗粒和沉积薄膜的靶材；
改变激光参数和所述薄膜参数，实现制备多种纳米加工图案。
2.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，所述的纳米粒子包括：金、银等金属粒子。
3.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，所述的滴液量和所述的旋涂参数：旋涂加速度、加速时间、旋涂速度和旋涂时间。
4.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，所述的样品包括：硅、玻璃和金属等。
5.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，所述的柠檬酸钠是形成干燥后的沉积薄膜的主要成分，引入旋涂粒子周围新的介电环境，从而改善加工效果。
6.根据权利要求1所述的一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法，其特征在于，所述的飞秒激光参数包括：飞秒激光脉冲能量密度、中心波长以及偏振。
一种可实现多种飞秒激光纳米加工图案的方法
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
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