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柔性基板双面曝光机

阅读：0发布：2020-07-03

专利汇可以提供柔性基板双面曝光机专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及柔性基板双面曝光机，机座上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台，第一曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版，第二曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版；第一曝光平台和第二曝光平台各自往返于曝光位和上料位；机座上设有上料平台和下料平台；机座上还设有衔接第一曝光平台出料和第二曝光平台上料的翻面组件。本实用新型可实现第一曝光平台和第二曝光平台连续性作业，达到柔性基板双面自动转换曝光，提高产能，结构简单，双面对位准确，操作简便，提升曝光机的功效。，下面是柔性基板双面曝光机专利的具体信息内容。

权利要求

1.柔性基板双面曝光机，具有机座（1），其特征在于：所述机座（1）上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台（2）及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台（3），第一曝光平台（2）的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版（4），第二曝光平台（3）的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版（5）；所述第一曝光平台（2）和第二曝光平台（3）各自往返于曝光位和待料位；所述机座（1）上设有上料平台（10）和下料平台（11）；所述机座（1）上还设有衔接第一曝光平台（2）出料和第二曝光平台（3）上料的翻面组件（6）；所述机座（1）设有第一机械手（7）和第二机械手（8），负责移载柔性基板的进出料。
2.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述翻面组件（6）是翻转板，当翻面组件（6）吸附第一机械手（7）从第一曝光平台（2）待料位移载过来的柔性基板后，翻面组件（6）翻转倒扣在过渡平台（61）上；翻面组件（6）释放真空并翻回原位，翻面后的柔性基板吸附在过渡平台（61）上，再由第二机械手（8）取走过渡平台（61）上的柔性基板，移载到第二曝光平台（3）的待料位。
3.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一曝光平台（2）和第二曝光平台（3）交替落位在各自的曝光位上，且由同一曝光光源（9）提供双工位的平行光源进行曝光作业。
4.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一机械手（7）和第二机械手（8）均为双工位升降吸盘，实现第一曝光平台（2）或第二曝光平台（3）待料位上曝光好的柔性料基板取出和新柔性基板放入的移载工作。
5.根据权利要求1 4中任意一项所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：所述第一曝~
光平台（2）和第二曝光平台（3）并列布置，均通过直线电机驱动往返于曝光位和待料位之间。
6.根据权利要求1所述的柔性基板双面曝光机，其特征在于：第一曝光平台（2）的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版（4），第二曝光平台（3）的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版（5），当曝光平台（2）到达曝光位时第一曝光铬版（4）下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合；当曝光平台（3）到达曝光位时第二曝光铬版（5）下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。

说明书全文

柔性基板双面曝光机

技术领域

[0001] 本实用新型涉及曝光设备技术领域，尤其是用于柔性基板的曝光设备。

背景技术

[0002] 由于柔性线路FPC 由于其可弯曲、体积小等特性，近年来被作为连接组件广泛应用现有的在汽车的电子控制上，如表板显示、音响、显示器等具有高信号传输量和高信赖度要求的设备。随着手机显示屏分辨率需求的不断提升和全面屏的应用，要在有限的显示区域内，柔性线路设计技术面临着凸点节距变小、密度变高等技术难点和问题。原来传统曝光设备采用菲林通过人工贴合基板上进行曝光的方式，生产时采用多套菲林需要人工预贴合再曝光，才能跟上曝光机的速度，由于每套光绘菲林的图案存在偏差，因而生产双面线路制作线路与上下导通孔的位置难以配合、无法制作精细的柔性线路；同时人工操作因素的影响，造成产品质量一致性差，产能效率低。发明内容

[0003] 本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种柔性基板双面曝光机，实现双面柔性基板自动对位曝光制作线路，提高柔性基板产能和上下面通孔的精度，满足柔性精细线路制作要求。

[0004] 为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

[0005] 柔性基板双面曝光机，具有机座，所述机座上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台，第一曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版，第二曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版；所述第一曝光平台和第二曝光平台各自往返于曝光位和上料位；所述机座上设有上料平台和下料平台；所述机座上还设有衔接第一曝光平台出料和第二曝光平台上料的翻面组件。所述机座设有二部机械手，负责移载每个工位柔性基板的进出料。

[0006] 上述方案中，所述翻面组件是翻转板，当翻面组件吸附第一机械手从第一曝光平台待料位移载过来的柔性基板后，翻面组件翻转倒扣在过渡平台上；翻面组件释放真空并翻回原位，翻面后的柔性基板吸附在过渡平台上，再由第二机械手取走过渡平台上的柔性基板，移载到第二曝光平台的待料位。

[0007] 上述方案中，所述第一曝光平台和第二曝光平台交替落位在各自的曝光位上，且由同一曝光光源提供双工位的平行光源进行曝光作业。

[0008] 上述方案中，所述第一机械手和第二机械手均为双工位升降吸盘，实现第一曝光平台或第二曝光平台待料位上曝光好的柔性料基板取出和新柔性基板放入的移载工作。

[0009] 上述方案中，所述第一曝光平台和第二曝光平台并列布置，均通过直线电机（或丝杆）驱动往返于曝光位和待料位。

[0010] 上述方案中，所述第一曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版，第二曝光平台的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版，当第一曝光平台到达曝光位时，第一曝光铬版下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。当第二曝光平台到达曝光位时，第二曝光铬版下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。

[0011] 本实用新型在机座上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台，且可实现第一曝光平台和第二曝光平台连续性作业，达到柔性基板双面自动转换曝光，提高产能，结构简单，双面对位准确，操作简便，提升曝光机的功效。

[0012] 附图说明：

[0013] 附图1为本实用新型其一实施例结构示意图；

[0014] 附图2为图1实施例的俯视结构示意图。

[0015] 具体实施方式：

[0016] 以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

[0017] 参阅图1、2所示，系本实用新型的较佳实施例示意图，本实用新型有关一种柔性基板双面曝光机，具有机座1，所述机座1上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台2及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台3，第一曝光平台2的曝光位上配备可对位调整的第一曝光铬版4，第二曝光平台3的曝光位上配备可对位调整的第二曝光铬版5。所述第一曝光平台2和第二曝光平台3各自往返于曝光位和上料位；所述机座1上设有上料平台10和下料平台11；所述机座1上还设有衔接第一曝光平台2出料和第二曝光平台3上料的翻面组件6；所述机座1设有机械手7和机械手8，负责移载柔性基板的进出料。

[0018] 进一步地，所述翻面组件6优选是翻转板，当翻面组件6吸附第一机械手7从第一曝光平台2待料位移载过来的柔性基板后，翻面组件6翻转倒扣在过渡平台61上；翻面组件6释放真空并翻回原位，翻面后的柔性基板吸附在过渡平台61上，再由第二机械手8取走过渡平台61上的柔性基板，移载到第二曝光平台3的待料位。

[0019] 进一步地，所述的第一曝光平台2和第二曝光平台3并列布置，均通过直线电机（或丝杆）驱动往返于曝光位和待料位。优选的，第一曝光平台2和第二曝光平台3交替落位在各自的曝光位上，且由同一曝光光源9通过光路改变，提供第一曝光平台2和第二曝光平台3曝光作业的平行光源。优选的，当曝光平台2到达曝光位时曝光铬版4下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。当曝光平台3到达曝光位时第二曝光铬版5下降到柔性基板上面，通过CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动，直到两者靶标重合。

[0020] 本实施例中，所述第一机械手7和第二机械手8均为双位工作体系，实现第一曝光平台或第二曝光平台待料位上曝光好的柔性料基板取出和新柔性基板放入的移载工作。优选的第一机械手7和第二机械手8是双工位升降吸盘，通过吸附移载上下料。

[0021] 工作时，将待曝光的柔性基板放在上料位，第一机械手7的左边吸盘吸起上料平台10的柔性基板，移动到第一曝光平台2的待料位放下柔性基板；柔性基板随曝光平台2进入曝光位，第一曝光铬版4下降到柔性基板上面，对位CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动位置，实现第一曝光铬版4与第一曝光平台2上的柔性基板对位，直到两者靶标重合；然后打开曝光光源，对第一曝光平台2上的柔性基板进行曝光。曝光后，第一曝光平台2带着柔性基板回到待料位，这时，第一机械手7两个吸盘下降，第一机械手7的左边吸盘吸起上料平台10的柔性基板，右边吸盘吸起在待料位第一曝光平台2上的曝光好柔性基板；然后第一机械手7向右边移动一个工位，两个吸盘下降并释放真空，左边的柔性基板放在待料位的第一曝光平台上，右边曝光好的柔性基板放在翻面组件6上。

[0022] 进一步地，翻面组件6吸附第一机械手7从第一曝光平台2待料位移载过来的柔性基板后，翻面组件6翻转倒扣在过渡平台61上；翻面组件6释放真空并翻回原位，翻面后的柔性基板吸附在过渡平台61上，实现柔性基板自动翻面功能。

[0023] 进一步地，第二机械手8两个吸盘下降，第二机械手8的左边吸盘吸起过渡平台61的柔性基板，右边吸盘吸起在待料位第二曝光平台3上曝光好的柔性基板；然后第二机械手8向右边移动一个工位，两个吸盘下降并释放真空，左边翻面的柔性基板放在待料位的第二曝光平台3上，右边曝光好的柔性基板放在下料平台11上；第二曝光平台3带着柔性基板进入曝光位，第二曝光铬版5下降到柔性基板上面，对位CCD抓拍柔性基板上的靶标与铬版上靶标进行比对，控制软件调整铬框X/Y/θ移动位置，实现第二曝光铬版5与第二曝光平台3上的柔性基板对位，直到两者靶标重合；然后打开曝光光源，对第二曝光平台3上的柔性基板进行曝光。曝光后，第二曝光平台3带着柔性基板回到待料位，等下一步机械手8取出柔性基板。取出下料平台上的柔性基板，完成了双面柔性基板的曝光制作一个流程。

[0024] 本实用新型在机座上设有用于柔性基板第一面曝光的第一曝光平台及用于柔性基板第二面曝光的第二曝光平台，且可实现第一曝光平台和第二曝光平台连续性作业，达到柔性基板双面自动转换曝光，提高产能，结构简单，操作简便，提升曝光机的功效。

[0025] 当然，本实用新型还可有其他多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变型，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

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