【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記憶装置等に用いられるアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置に係り、詳細には、ディジタル制御特有の折り返し歪みの影響を低減するアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記憶装置、特にハードディスクドライブ（ＨＤＤ）のヘッド位置制御系のアクチュエータ制御では、ヘッド・サスペンションの機械共振に起因する折り返し歪みが問題となる。 具体的には、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）とアクチュエータそれぞれの機械共振の影響によるロバスト性の低下と、高速シーク動作時のアコースティックノイズが挙げられる。

【０００３】上述した問題点を解決できるものとして、
本出願人は特開平５−１６６３１２号公報記載の装置を既に提案した。 この公報記載の装置は、制御入力を出力するＤ／Ａコンバータの直後に低い極を持つ低域通過フィルタ（ＬＰＦ）を置いて共振の存在する高周波数帯域のゲインを下げ、またこれによるナイキスト周波数以下の帯域での位相遅れをディジタル制御により補償するものである。

【０００４】このハイブリッド制御系アクチュエータ装置は、簡単な構成で機械共振に起因する折り返し歪みを最小にすることができ、ヘッド・サスペンションの共振モード管理に余裕をとるようにして、品質の面の向上を実現している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記ハイブリッド制御系アクチュエータ装置は、上述した優れた特長を有するものであるが、ハードウェアとして高い演算処理能力を有するプロセッサの使用を前提として設計したため、現行のＨＤＤのマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）では処理速度が間に合わず、製品に適用されなかった。 特に、状態推定器を導入し、ＤＳＰの高い演算処理能力に合わせたアリゴリズムであったため、現行のＨＤＤのマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）の処理速度では適用できない。

【０００６】ＨＤＤ製品は、低コスト化の要求が厳しく、コスト増が見込まれる高い演算処理能力を有するプロセッサ（例えば、ＤＳＰ）の採用には消極的にならざるを得ないのが現状である。 そこで、上記ハイブリッド制御の利点を活かしつつ、通常のマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）で処理可能な程度にアリゴリズムを簡略化することが求められている。

【０００７】本発明は、ＬＰＦを含むハイブリッド制御系を、状態推定器を必要とせず、現行のＨＤＤのハードウェアアーキテクチャで処理可能にしたアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のアクチュエータ制御装置は、駆動回路からの出力によって駆動されるアクチュエータからの位置信号に応答して該アクチュエータへの制御信号を発生するアクチュエータ制御装置であって、制御信号をアナログ信号に変換するディジタル・
アナログ変換器と駆動回路との間に接続された低域通過フィルタと、低域通過フィルタの挿入による位相遅れをディジタル制御により補償するディジタル制御手段とを備え、ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含むプラントの状態モデルを状態推定器を必要とせず、直接観測可能な状態変数のみを用いた状態モデルに再構築し、フィードバック系設計の際に低域通過フィルタの挿入による位相遅れをプラントの一部として一括して補償することを特徴とする。

【０００９】また、本発明のアクチュエータ制御装置は、駆動回路からの出力によって駆動されるアクチュエータからの位置信号に応答して該アクチュエータへの制御信号を発生するアクチュエータ制御装置であって、制御信号をアナログ信号に変換するディジタル・アナログ変換器と駆動回路との間に接続された低域通過フィルタと、低域通過フィルタの挿入による位相遅れをディジタル制御により補償するディジタル制御手段とを備え、ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含む系の状態方程式を、可制御標準形に変換して設計し、すべての状態変数を直接測定可能にしたことを特徴とする。

【００１０】上記ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含む系の状態方程式を、式（９）及び式（１０）
に示す可制御標準形に変換して設計したものであってもよい。

【００１１】

【数６】

【００１２】上記ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含む系を、式（１１）に示す状態フィードバックを基に制御するものであってもよい。

【００１３】

【数７】

【００１４】上記ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含む系の状態方程式を、式（１２）及び式（１
３）に示す速度系の可制御標準形に変換して設計したものであってもよい。

【００１５】

【数８】

【００１６】上記ディジタル制御手段は、低域通過フィルタを含む系の状態方程式から、式（４）に基づいた演算により、伝達関数行列Ｇを求め、

【数９】

【００１７】式（４）の伝達関数を入力ｕと出力ｙ及びそれらの遅延値に基づく離散状態方程式に再実現して、
式（５）及び式（６）で示される可制御標準形を得、該式（５）及び式（６）で表される可制御標準形を基に制御系を設計したものであってもよい。

【００１８】

【数１０】

【００１９】上記ディジタル制御手段は、可制御標準形に、出力の差分である擬似速度項を状態変数ｖ(i)として導入し、状態変数ｖ(i)を式（７）に従って導入した可制御標準形を基に制御系を設計したものであってもよい。

【００２０】 ｖ(i)＝ｘ(i)−ｘ(i-1) …式（７） 但し、ｘ(i)は制御出力、ｘ(i-1)はその過去値である。

【００２１】上記ディジタル制御手段は、可制御標準形に、さらに出力の積分項を状態変数ｗ(i)として導入し、状態変数ｗ(i)を式（８）に従って導入した可制御標準形を基に制御系を設計したものであってもよい。

【００２２】 ｗ(i)＝ｗ(i-1)＋ｘ(i-1) …式（８） 但し、ｗ(i-1)は状態変数ｗ(i)の過去値、ｘ(i-1)は制御出力ｘ(i)の過去値である。

【００２３】上記ディジタル制御装置は、低域通過フィルタのカットオフ周波数が、ナイキスト周波数よりも高い周波数領域におけるピークを十分に減衰させるように設定されるものであってもよい。

【００２４】上記低域通過フィルタは、ナイキスト周波数よりも低い周波数に極をもつアナログ一次低域通過フィルタであってもよい。

【００２５】上記低域通過フィルタは、ナイキスト周波数よりも低い周波数に極をもつアナログ一次低域通過フィルタと等価とみなせるオーバーサンプリングにより構成されたディジタル低域通過フィルタであってもよい。

【００２６】上記ディジタル制御手段は、ナイキスト周波数よりも低い周波数領域における位相遅れを補償するように設定されるものであってもよい。

【００２７】上記ディジタル制御手段は、マイクロプロセッサであってもよい。

【００２８】本発明の磁気ディスク装置は、アクチュエータと、アクチュエータを駆動する駆動回路と、アクチュエータからの位置信号をディジタル信号に変換するアナログ・ディジタル変換器と、ディジタル信号に変換された位置信号に応答してアクチュエータへの制御信号を発生するディジタル制御手段と、制御信号をアナログ信号に変換するディジタル・アナログ変換器と、ディジタル・アナログ変換器と駆動回路との間に接続された低域通過フィルタとを備え、ディジタル制御手段は、低域通過フィルタの挿入による位相遅れをディジタル制御により補償する手段を備え、ディジタル制御手段として上述したものを用いることを特徴とする。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置は、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等のヘッド位置制御系に用いられる磁気ディスク装置に適用することができる。

【００３０】図１は本発明の実施形態に係るアクチュエータ制御装置の構成を示す図である。

【００３１】図１において、アクチュエータ制御装置は、ヘッド・サスペンション機構及びヘッド移動用直流モータ（例えば、ボイス・コイル・モータ：ＶＣＭ）を含むアクチュエータ１０、アクチュエータ１０のＶＣＭ
を駆動するＶＣＭ駆動回路１１、アクチュエータ１０からのヘッド位置を示す信号ｙ（ｔ）をディジタル信号に変換するアナログ・ディジタル変換器（ＡＤＣ）１２、
ディジタル位置信号に応答してヘッドを所望位置に移動するための制御信号を、後述する数２６に示す状態フィードバックに従って発生するディジタル制御手段としてのマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）１３、ＭＰＵ１３からのディジタル制御信号をアナログ制御信号ｕ（ｔ）に変換するディジタル・アナログ変換器（ＤＡＣ）１４、Ｄ
ＡＣ１４とＶＣＭ駆動回路１１の間に挿入されたアナログ低域通過フィルタ（ＬＰＦ）１５から構成される。

【００３２】上記アクチュエータ１０は、電流駆動されるＶＣＭ、ピボット（図示略）により枢支されＶＣＭの回転を磁気ヘッドに伝えるアーム１７、位置検出系としての磁気ヘッド１８から構成される。

【００３３】上記ＬＰＦ１５は、ＤＡＣ１４の直後に挿入された低い極を持つ一次のアナログＬＰＦである。 このアナログＬＰＦ１５の挿入により機械共振の存在する高周波帯域のゲインを下げる。 このＬＰＦ１５の周波数特性については図２により後述する。

【００３４】上記ＭＰＵ１３は、ヘッドを所望位置に移動するための制御信号を、後述する式（１１）に示す制御系に従って発生する。 ここで、式（１１）に示す制御系は、上記アナログＬＰＦ１５挿入によるナイキスト周波数ｆN以下の帯域での位相遅れをディジタル制御により補償するものであって、しかもそのディジタル制御が、状態推定器を必要とせず、現行ＨＤＤのハードウェアアーキテクチャで処理可能な簡易化された制御系により構築されている。

【００３５】以下、上述のように構成されたアクチュエータ制御装置の動作原理を説明する。

【００３６】まず、アナログＬＰＦ１５挿入によるナイキスト周波数ｆN以下の帯域での位相遅れをディジタル制御により補償する補償対象について説明する。

【００３７】図２及び図３はアクチュエータ１０を含む制御対象の周波数特性を示す図であり、図２はＬＰＦ１
５挿入によるナイキスト周波数ｆN以下の帯域での位相遅れをディジタル制御により補償する前の周波数特性を、図３は補償後の周波数特性を示している。 図中、縦軸はゲイン、横軸は周波数を示す。

【００３８】図２の破線はアクチュエータ１０を含む制御対象の周波数特性であり、図２に示すように機械共振に起因する周波数特性のピークがナイキスト周波数ｆN
よりも高い高周波領域に生じている。

【００３９】ＬＰＦ１５を挿入すると、図２の実線に示すように、カットオフ周波数ｆc以上の周波数領域において所定量減衰した減衰特性となる。 これにより、ナイキスト周波数ｆNよりも高い高周波領域に生じている機械共振に起因する周波数特性のピークを減衰させることができる。

【００４０】そして、ＬＰＦ１５挿入により、カットオフ周波数ｆcからナイキスト周波数ｆNまでの低い低周波領域に生じたロス（位相遅れ）を、ディジタル制御により補償しナイキスト周波数ｆN未満の領域（図２ハッチング部参照）においては元の特性が現れるようにする。
ディジタル制御が可能な周波数領域は、ナイキスト周波数ｆN未満の領域であり、結果的にはナイキスト周波数ｆN未満の領域の周波数特性がディジタル的に補償され、機械共振に起因する周波数特性のピークがある高周波領域のみが大きく減衰する。 図３はディジタル制御による補償後の周波数特性であり、図３のハッチング部が減衰部分である。

【００４１】次に、ＬＰＦ１５挿入によるナイキスト周波数ｆN以下の帯域での位相遅れをディジタル制御により補償する最適設計手法について説明する。

【００４２】本最適設計手法は、このディジタル制御を、状態推定器を必要とせず、現行ＨＤＤのハードウェアアーキテクチャで処理可能な簡易化された制御系により実現するものである。

【００４３】ＨＤＤのアクチュエータ１０は、上記のように電流駆動されるＶＣＭ１６、ピボットにより枢支されたＶＣＭ１６の動作を支えるアーム１７、位置検出系としての磁気ヘッド１８からなる。 また、通常ＶＣＭ１
６の駆動電流は、ＭＰＵ１３からＤＡＣ１４を介して出力された出力値に比例している。 したがって、制御入力は加速度、制御出力は位置となるので、基本的な系は二次積分系である。

【００４４】ここで、ＤＡＣ１４の出力に一次ＬＰＦ１
５を置くと、ラプラス演算子をｓとして一次ＬＰＦ１５
を含む制御対象の伝達関数ｇ（ｓ）は式（１）に示す３
次系となる。

【００４５】

【数１１】

【００４６】式（１）において、ｕはＤＡＣ１４の出力で、制御入力を示す。 また、ｙは位置誤差信号（Positi
on Error Signal：ＰＥＳ）で、制御出力を示す。 ａはＬＰＦ１５の極、ｂは系の直流ゲインである。

【００４７】上記式（１）を、サンプリング間隔Ｔ、演算時間遅れτで離散化した状態方程式で表すと、式（２）及び式（３）で示すようになる。

【００４８】

【数１２】

【００４９】この式（２）及び式（３）に基づく制御系設計例が、本出願人が先に出願した装置である。 この制御系設計例では、ＬＰＦと本来の系である二次積分系を一括して補償するゲインパラメータを公知の最適制御理論（例えば、ＬＱ法）により求めており、閉ループ開ループ共に自然な周波数特性が得られている。

【００５０】ここで、ヘッドの位置、速度及び加速度を表す状態変数ｘ(i)、ｄｘ(i)／ｄｔ及びｄ2ｘ(i)／ｄｔ
2のうち、直接観測できるのはｘ(i)のみであるから、残りのｄｘ(i)／ｄｔ及びｄ2ｘ(i)／ｄｔ2は状態推定器を用いて推定することになる。 状態推定器としてカルマンフィルタを用い、現在型と予測型を使い分けることにより、１サンプル分のＰＥＳが何らかの障害により欠落した場合でも制御系全体の挙動に影響することなく安定した動作を続けることができた。 しかし、状態推定器を用いるためにはハードウェアとして高い演算処理能力を有するマイクロプロセッサあるいはＤＳＰの使用が前提となるため、現行のＨＤＤのマイクロプロセッサ（ＭＰ
Ｕ）では処理速度が間に合わなかった。

【００５１】そこで、通常のＨＤＤのマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）で処理可能な程度にアリゴリズムを簡略化することが求められている。

【００５２】まず、上記式（２）及び式（３）に示す系の実現を可制御標準形に変換して設計する。 これが実現できれば、すべての状態変数が直接測定可能になり、状態推定器を省略することができる。 また、閉ループはＬ
ＰＦと元の二次系を一括して補償する設計となるので、
自然な特性を得やすい。 ＬＱ法も適用することができる。 但し、状態推定器を持たないので、欠落したサンプルがあった場合の補間の精度は低下する。

【００５３】上記式（２）及び式（３）に示す系の伝達関数行列Ｇを求める。 以降、Ｉを適当な次元の単位行列とすると、伝達関数行列Ｇは式（４）で示される。

【００５４】

【数１３】

【００５５】上記数２３に示す式（４）の伝達関数を入力ｕと出力ｙ及びそれらの遅延値に基づく離散状態方程式に再実現すると、例えば可制御標準形を採用すれば式（５）及び式（６）のようになる。

【００５６】

【数１４】

【００５７】上記式（５）及び式（６）において、ｘ
(i)は制御出力であり、ｘ(i-1)はその１つ前の、ｘ(i-
2)はその２つ前の、ｘ(i-3)はその３つ前のそれぞれ過去値である。 また、ｕ(i)は制御入力であり、ｕ(i-1)はその１つ前の、ｕ(i-2)はその２つ前の、ｕ(i-3)はその３つ前のそれぞれ過去値である。

【００５８】ここで、上記制御出力ｘ(i)、制御入力ｕ
(i)を見た場合、ｘ(i)及びｕ(i)の他は全て制御出力ｘ
(i)、制御入力ｕ(i)の両者の過去値、すなわち直接観測できる値（メモリに保存しておけばよい）で表されることに着目すると、上記式（４）から上記式（５）及び式（６）を導き出せる。

【００５９】実際の制御の際には、出力の差分、すなわち擬似速度項が状態変数として陽に現れていた方が都合がよいので、これをｖ(i)として式（７）に変形し、さらに状態変数として出力の積分項ｗ(i)を式（８）に従って導入すると、系は式（９）及び式（１０）に示すような７次で表すことができる。

【００６０】上記積分項ｗ(i)の導入は、次のような目的で行われる。 すなわち、ＨＤＤはフレキシブルテンションあるいは風の影響等によるノイズがあり、上記式（５）及び式（６）に示されるだけのフィードバックでは誤差が０に収束しない。 これを収束させるためには、
実際の位置と目標位置との誤差を積分する積分項ｗ(i)
を導入し、該積分項ｗ(i)により上記誤差を収束させる必要がある。

【００６１】 ｖ(i)＝ｘ(i)−ｘ(i-1) …式（７） 但し、ｘ(i)は制御出力、ｘ(i-1)はその過去値である。

【００６２】 ｗ(i)＝ｗ(i-1)＋ｘ(i-1) …式（８） 但し、ｗ(i-1)は状態変数ｗ(i)の過去値、ｘ(i-1)は制御出力ｘ(i)の過去値である。

【００６３】

【数１５】

【００６４】上記式（９）及び式（１０）の系に基づいて式（１１）に示す状態フィードバックを構成する。 実際には、上記式（９）及び式（１０）の系をモデルとし、予め実験等により最適なフィードバックになるような式（１１）のパラメータｆ1〜ｆ7を求める。 最終的には、ＭＰＵ１３は、式（１１）に基づく７次の計算を行って前述したディジタル補償を含むアクチュエータ制御を行う。

【００６５】

【数１６】

【００６６】ＬＰＦを用いない従来型の離散系は積分器を含み５次である。 したがって、本実施形態に係る制御系は５次から７次へと２次増えたことになるから、状態フィードバックにおける積和演算の増加量はたかだか２
組である。

【００６７】ところで、上記式（９）及び式（１０）の系は位置系であり、セトリング及びトラックフォローイングの制御系設計に用いられる。 シーク動作の制御には、通常速度系が用いられるが、上記式（９）及び式（１０）から積分項を除きｘ(i)をｖ(i)の積分として考えると、上記式（９）及び式（１０）の上でも同等の設計が可能である。 参考のため、速度系を式（１２）及び式（１３）に示す。

【００６８】

【数１７】

【００６９】以上説明したように、本実施形態に係るアクチュエータ制御装置は、アクチュエータ１０と、アクチュエータ１０を駆動するＶＣＭ駆動回路１１と、アクチュエータ１０からの位置信号をディジタル信号に変換するＡＤＣ１２と、ディジタル信号に変換された位置信号に応答してアクチュエータ１０への制御信号を発生するＭＰＵ１３と、制御信号をアナログ信号に変換するＤ
ＡＣ１４と、ＤＡＣ１４とＶＣＭ駆動回路１１との間に接続されたＬＰＦ１５とを備え、ＭＰＵ１３は、ＬＰＦ
１５の挿入による位相遅れをディジタル制御により補償し、かつそのディジタル制御が、ＬＰＦ１５を含むプラントの状態モデルを状態推定器を必要とせず、直接観測可能な状態変数のみを用いた状態モデルに再構築し、フィードバック系設計の際にＬＰＦ１５の挿入による位相遅れをプラントの一部として一括して補償するように構築された制御系により実現される。

【００７０】本実施形態では、この制御系を、ＬＰＦ１
５を含む系の状態方程式を可制御標準形に変換して設計することによって求め、ＭＰＵ１３が、ヘッドを所望位置に移動するための制御信号を、上記式（１１）に示すフィードバック制御に従って発生する。

【００７１】このように、本最適設計方法は、上記式（１１）に示すように７次の状態フィードバックで表現することができ、状態推定器を必要とせず、現行ＨＤＤ
のハードウェアアーキテクチャで処理可能な簡易化された制御系により実現できる。

【００７２】したがって、ＤＳＰを使用することなく現行のＨＤＤのマイクロプロセッサを用いたディジタル制御が可能になるため、本来、優れた特長を有するハイブリッド制御系アクチュエータ装置を、低コストで実施することが可能になる。

【００７３】本発明を実際のＨＤＤ上に適用した実験結果について説明する。

【００７４】ＤＡＣ１４の直後に挿入するアナログＬＰ
Ｆ１５の極は、１．６ｋＨｚに置いた。 このＬＰＦ１５
は、元々ＶＣＭ駆動回路１１に入っているコンデンサを大きな値に変えるだけで実現できるので、コスト、基板面積等にデメリットを与えることはない。

【００７５】本方法をＨＤＤに適用、実験したところ、
ナイキスト周波数以上の帯域で５ｄＢ以上のゲインの改善が見られた。 これにより機械共振に対するロバスト性が向上した。 また、アコースティックノイズも、例えば８ｋＨｚで４ｄＢの改善が見られた。 このとき、シークタイムは従来法による結果と同等であり、パフォーマンスを劣化させることはなかった。

【００７６】以上述べた実験結果から以下のような効果を得ることができる。

【００７７】一次アナログＬＰＦとディジタル補償を組み合わせた本制御系をＨＤＤ製品上に適用すれば、アクセス速度を犠牲にすることなく、以下(1)(2)(3)の効果を得ることができる。

【００７８】(1) ナイキスト周波数ｆN以上の帯域におけるロバスト性の向上を図ることができる。 すなわち、
長年にわたり解決が困難であったロバスト性の向上を、
現行ＨＤＤのハードウェアアーキテクチャで処理可能な簡易化された制御系において実現することができ、製品の信頼性が高まるとともに、工程内での歩留まりも改善することができる。

【００７９】(2) シーク動作時のアコースティックノイズを低減することができ、使用に当たっての快適性が向上する。

【００８０】(3) ＨＤＤに取り付けている制振部品の省略、従ってこれに伴う大幅なコストダウンの可能性がある。

【００８１】したがって、このような優れた特長を有するアクチュエータ制御装置を、ＨＤＤのヘッド位置制御系に適用すれば、このＨＤＤにおいてヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）とアクチュエータそれぞれの機械共振の影響によるロバスト性の低下や高速シーク動作時のアコースティックノイズがない装置を実現することができ、ＤＳＰを使用することなく現行のＨＤＤのマイクロプロセッサを用いることができるため、低コストで実施することが可能になる。

【００８２】なお、本実施形態では、ＨＤＤのヘッド位置制御系に適用した例を説明したが、これに限らず、上述したハイブリッド制御系アクチュエータ装置であれば、どのようなアクチュエータ装置であってもよい。 例えば、ＨＤＤ以外の外部記録装置や他の制御系の位置制御に用いてもよいことは言うまでもない。 すなわち、式（９）、式（１０）及び式（１１）で示される状態フィードバックを含む制御系であればその制御対象は限定されない。

【００８３】また、本実施形態に係るアクチュエータ制御装置を、低域通過フィルタを含むプラントの状態モデルを状態推定器を必要としない状態モデルに再構築したものであればよく、本実施形態で説明した実現法以外にも状態推定器を用いない実現法は存在する。 しかしそれらが本方式をベースとした簡単な式変形に基づくならば、式（１１）に示すように、６次の基本型＋積分器（本実施形態では１次）の形式に変わりはない。

【００８４】また、本実施形態では、アクチュエータ制御装置に適用しているが、アクチュエータ制御装置という名称に限定されるものではない。 本発明の技術的思想の範囲内であればヘッド位置決め装置等のように適宜変更することができ、ＨＤＤ等の一部に組み込まれる態様であってもよい。

【００８５】さらに、上記アクチュエータ制御装置を構成する低域通過フィルタ、ＤＡＣ、ＡＤＣ等の種類、ビット数などは前述した実施形態に限られないことは言うまでもない。

【００８６】

【発明の効果】本発明に係るアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置では、低域通過フィルタの挿入による位相遅れをディジタル制御により補償するディジタル制御手段が、低域通過フィルタを含むプラントの状態モデルを状態推定器を必要とせず、直接観測可能な状態変数のみを用いた状態モデルに再構築したので、低域通過フィルタを含むハイブリッド制御系を、現行のＨＤＤのハードウェアアーキテクチャで実現することができ、低コスト化を図りつつ、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧ
Ａ）とアクチュエータそれぞれの機械共振の影響によるロバスト性の向上及び、シーク動作時のアコースティックノイズの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した実施形態に係るアクチュエータ制御装置及び磁気ディスク装置の構成を示すブロック図である。

【図２】上記アクチュエータ制御装置のアクチュエータを含む制御対象の周波数特性を示す図である。

【図３】上記アクチュエータ制御装置のアクチュエータを含む制御対象の周波数特性を示す図である。

【符号の説明】

１０ アクチュエータ、１１ ＶＣＭ駆動回路、１２
アナログ・ディジタル変換器（ＡＤＣ）、１３ マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）（ディジタル制御手段）、１４
ディジタル・アナログ変換器（ＤＡＣ）、１５ アナログ低域通過フィルタ（ＬＰＦ）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上田 哲生 神奈川県藤沢市桐原町１番地 日本アイ・ ビー・エム株式会社 藤沢事業所内