专利汇可以提供感活性能量線負型光阻組成物及其硬化物 AN ACTIVATED ENERGY RAY-SENSITIVE NEGATIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION AND THE HARDENED ARTICLE THEREOF专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本發明揭示一種不含毒性元素、熱安定性良好、解像性良好之感活性 能量 線負型光阻組成物。該組成物係含有式(4)【A係VIA族或VIIA族(CAS標記)之 原子 價m的元素,m=1-2,n=0-3,R係有機基,D係式(5),E係2價的基,G係-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-NH-、-NR'-、-CO-、-COO-、-CONH、 碳 數1-3的伸烷基或伸苯基,a=0-5,X^-係式(6),Rf係80%以上之氫原子被氟原子取代之烷基,b=1-5】的氟化烷基氟 磷酸 鹽之陽離子聚合引發劑、陽離子聚合性化合物及溶劑之感活性能量線負型光阻組成物。
096109702-p01.bmp,下面是感活性能量線負型光阻組成物及其硬化物 AN ACTIVATED ENERGY RAY-SENSITIVE NEGATIVE TYPE PHOTORESIST COMPOSITION AND THE HARDENED ARTICLE THEREOF专利的具体信息内容。
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