专利汇可以提供一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构及控制方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 属于 加速 度计 技术领域,具体涉及一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构及控制方法,底层结构包括整体 支撑 框架 、加速度计检测梁、 质量 块 ,加速度计检测梁固定在整体支撑框架的内侧面,质量块通过加速度计检测梁固定在整体支撑框架的中央,中层结构包括磁膜阵列,磁膜阵列键合在质量块上,磁阻支撑框架固定在整体支撑框架的上方,磁阻 基板 通过支撑梁固定在磁阻支撑框架上,磁阻基板设置在质量块的正上方,磁阻基板上固定有隧道磁阻元件。本发明提出的加速度计利用磁膜阵列产生高变化率 磁场 ,不需要外加激励,具有结构简单、灵敏度高、可靠性好,寿命长、制作成本低,功耗低等特点。本发明用于加速度的检测。,下面是一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构及控制方法专利的具体信息内容。
1.一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构,其特征在于:包括底层结构、中层结构、上层结构,所述底层结构包括整体支撑框架(1)、加速度计检测梁(2)、质量块(3),所述加速度计检测梁(2)固定在整体支撑框架(1)的内侧面,所述质量块(3)通过加速度计检测梁(2)固定在整体支撑框架(1)的中心,所述中层结构包括磁膜阵列(4),所述磁膜阵列(4)键合在质量块(3)上,所述上层结构包括磁阻支撑框架(5)、磁阻基板(6)、支撑梁(7)、隧道磁阻元件(8),所述磁阻支撑框架(5)固定在整体支撑框架(1)的上方,所述磁阻基板(6)通过支撑梁(7)固定在磁阻支撑框架(5)上,所述磁阻基板(6)设置在质量块(3)的正上方,所述磁阻基板(6)上固定有隧道磁阻元件(8)。
2.根据权利要求1所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构,其特征在于:所述加速度计检测梁(2)可以采用直梁或至少一层弯曲折叠的细长梁。
3.根据权利要求1所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构,其特征在于:所述磁膜阵列(4)横向排布,所述磁膜阵列(4)包括至少两个磁膜,每个磁膜内录有磁信号,所述磁信号的极性首尾相接,所述磁信号的磁场在水平方向呈正弦波变换。
4.根据权利要求1所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构,其特征在于:所述隧道磁阻元件(8)包括有磁阻桥路、电源(81),所述磁阻桥路有两个,两个磁阻桥路之间并联连接,所述磁阻桥路包括负相关磁阻结R1、正相关磁阻结R2,所述负相关磁阻结R1与正相关磁阻结R2串联连接,所述电源(81)并联连接在磁阻结的两端。
5.一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构的控制方法,其特征在于:包括下列步骤:
S1、定义质量块的法向方向为Z方向,定义磁膜的磁极方向为X方向,依据右手定则建立XYZ坐标系;
S2、当X轴方向有加速度输入时,加速度计检测梁发生形变,质量块受离心力作用沿X轴方向运动;
S3、质量块带动上方的磁膜阵列沿X轴方向运动,磁膜阵列和其上方的隧道磁阻元件之间相对位移发生变化;
S4、磁阻元件敏感到微小位移引起的磁场变化,磁场变化引起隧道磁阻元件发生隧道磁阻效应;
S5、通过对隧道磁阻输出电压进行计算,从而计算出隧道磁阻元件位移的距离,通过磁阻元件位移的距离计算出X轴方向输入的加速度。
6.根据权利要求5所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构的控制方法,其特征在于:所述S5中计算隧道磁阻输出电压的计算公式为:
Vout=Va-Vb
所述Vout为输出电压,所述Va、Vb为分别为两个磁阻桥路的电压。
7.根据权利要求5所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构的控制方法,其特征在于:所述S5中计算隧道磁阻元件位移距离的方法为:根据输出电压Vout和磁阻元件位移的距离x的关系公式求出磁阻元件位移的距离x,其中输出电压Vout和磁阻元件位移的距离x的关系公式为:
所述V0为输入电压,所述A为调制深度,所述d为磁阻桥路距离,所述W为磁栅内的磁信号周期,所述x为磁阻元件位移的距离,所述负相关磁阻结的阻值R1=R0-KB,所述正相关磁阻结的阻值R2=R0+KB,所述磁阻结的阻值仅随磁场强度B的变化而变化,所述R0、K是表示磁阻结相关性的两个定值。
8.根据权利要求5所述的一种基于磁膜的隧道磁阻MEMS加速度计结构的控制方法,其特征在于:所述S5中加速度的计算公式为:
所述a为加速度,所述ωn为加速度计阻尼自振角速率。
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