专利汇可以提供双面抛光机用衬底片夹具及其抛光方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了双面 抛光 机用衬底片夹具,包括圆形的衬 底板 ,所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板,所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的 定位 槽,所述定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应,所述定位槽内同轴放置有用与产品 接触 的柔性 垫片 ,所述柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片,当所述定位槽内放入衬底片后,衬底片的表面高度高于放料板的高度,其技术方案要点是,利用双面抛光机压盘的压 力 ,使衬底片发生弯曲形变,衬底片中部向外凸起,通过双面抛光机抛光减薄,从而实现精修BOW值的目的,具有 精度 高的特点,夹具装片简单,一次能装夹多 块 衬底板,更高效;本发明还公开了一种衬底片抛光方法。,下面是双面抛光机用衬底片夹具及其抛光方法专利的具体信息内容。
1.双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:包括圆形的衬底板,所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板,所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的定位槽,所述定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应,所述定位槽内同轴放置有用与产品接触的柔性垫片,所述柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片,当所述定位槽内放入衬底片后,衬底片的表面高度高于放料板的高度。
2.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:所述衬底板为陶瓷板,厚度为2~4mm。
3.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:所述放料板为树脂板,厚度为为2~3.5mm。
4.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:所述柔性垫片为聚氨酯抛光皮,所述垫高贴片贴于聚氨酯抛光皮的背面。
5.根据权利要求4所述的双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:所述柔性垫片直径与产品一致。
6.根据权利要求1所述的双面抛光机用衬底片夹具,其特征在于:所述垫高贴片直径与柔性垫片的比值为1:10。
7.一种衬底片抛光方法,其特征在于:衬底片放置于权利要求1-6任一项所述的双面抛光机用衬底片夹具内,抛光方法主要包括以下步骤:
(1)垫厚:根据衬底片弯曲度BOW值要求,在柔性垫片背面的中心粘贴所需厚度的垫高贴片,然后将柔性垫片放入定位槽内;
(2)浸湿:将双面抛光机用衬底片夹具进行表面水洗,除去表面粉尘、脏污,然后在纯水中浸泡,取出后确保正反面湿润;
(3)装片:将待抛光的衬底片依次放入定位槽内,按压挤出多余的水,使衬底片吸附在定位槽内;
(4)抛光:将双面抛光机用衬底片夹具放入行星轮内,然后依次放入双面抛光机内,双面研磨机合盘后利用垫高贴片使衬底垫片凸起,启动双面抛光机进行研磨减薄,使弯曲度BOW值达到要求。
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