一种半导体基板的吹尘夹具
专利汇可以提供一种半导体基板的吹尘夹具专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 属于 半导体 生产技术领域，尤其是一种半导体 基板 的吹尘夹具，针对现有的除尘装置不能对半导体基板进行全面有效除尘的问题，现提出以下方案，包括 支撑 底板 ，所述支撑底板一端的两侧外壁均通过 螺栓 连接有第一导 风 管，且两个第一导风管的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个竖直设置的第三导风管，所述第三导风管的顶部设置有第二导风管，且第二导风管的圆周顶部内壁通过螺栓连接有 水 平设置的支撑杆。本发明中，该半导体基板的吹扫夹具，通过设置有第三喷风管和 橡胶 套，当风流通过第三喷风管鼓入凹型支撑管的内部时，橡胶套会鼓气并给半导体基板一个压 力 ，不仅有利于半导体基板的固定，另外还避免了半导体基板受到磨损。，下面是一种半导体基板的吹尘夹具专利的具体信息内容。
1.一种半导体基板的吹尘夹具，包括支撑底板(2)，其特征在于，所述支撑底板(2)一端的两侧外壁均通过螺栓连接有第一导风管(1)，且两个第一导风管(1)的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个竖直设置的第三导风管(8)，所述第三导风管(8)的顶部设置有第二导风管(5)，且第二导风管(5)的圆周顶部内壁通过螺栓连接有水平设置的支撑杆(6)，所述支撑杆(6)的底部中央外壁通过轴承连接有竖直设置的第二转动轴(7)，且第二转动轴(7)的圆周外壁通过螺栓连接有螺旋桨(4)，所述第二导风管(5)的圆周两侧底部内壁均通过轴承连接有水平设置的第一转动轴(3)，且两个第一转动轴(3)的相邻一侧外壁分别通过轴承与第三导风管(8)的圆周两侧外壁连接，两个所述第一导风管(1)一端的顶部外壁均通过铰链连接有同一个竖直设置的支撑顶板(15)，两个第一导风管(1)的相邻一侧顶部外壁均通过螺栓连接有竖直设置的第一弹簧(9)，且两个第一弹簧(9)的底部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的凹型支撑管(10)，所述支撑底板(2)一端的两侧底部外壁均通过螺栓连接有固定夹块(14)，且两个固定夹块(14)夹口的另一端外壁均通过螺栓连接有支撑块(13)，所述支撑顶板(15)一端的中部外壁通过螺栓连接有提拉把手(17)，所述支撑顶板(15)底部的一端的中部内壁通过螺栓连接有两个相邻设置的第二弹簧(18)，所述支撑顶板(15)底部的一端的中部内壁通过螺栓连接有两个相邻设置的套管，且两个第二弹簧(18)分别位于两个套管的内部，两个所述第二弹簧(18)的底部外壁均通过螺栓连接有支撑柱(19)，且两个支撑柱(19)的底部外壁均通过螺栓连接有橡胶垫(21)，两个所述支撑柱(19)的圆周外壁分别与两个套管的内壁滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述支撑底板(2)一端的中部外壁设置有第一通孔，且第一通孔的内壁通过螺栓连接有第一支撑网板(11)，所述支撑顶板(15)一端的中部外壁设置有第二通孔，且第二通孔的内壁通过螺栓连接有第二支撑网板(16)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，两个所述第一导风管(1)的相互远离一侧内壁均通过螺栓连接有等距离倾斜设置的第二挡板(102)，且相邻两个第二挡板(102)水平对称设置，两个所述第一导风管(1)的相邻一侧内壁均通过螺栓连接有等距离设置的第一喷风管(103)，且第一喷风管(103)分别位于两个相互靠近的第二挡板(102)之间，所述第一喷风管(103)的圆周一端内壁通过轴承连接有固定杆，且固定杆的一侧外壁通过铰链连接有水平设置的第一挡板(101)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述凹型支撑管(10)的顶部中央外壁设置有第三通孔，且第三通孔的内壁通过螺栓连接有竖直设置的第二喷风管(1001)，所述凹型支撑管(10)顶部两端的外壁开设有均设置的第一开口，且第一开口的内壁均通过螺栓连接有第三喷风管(1002)，所述凹型支撑管(10)的凹口另一端内壁开设有均匀设置的第二开口，且第二开口的外壁均通过螺栓连接有橡胶套(1003)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述支撑顶板(15)底部一端的两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的固定杆(20)，所述支撑底板(2)的顶部一端的两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑盒(22)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，两个所述支撑盒(22)的顶部中央外壁设置有第三开口，且两个第三开口的内壁分别与两个固定杆(20)圆周外壁滑动连接，两个所述固定杆(20)的两侧外壁均开设有同一个水平设置的第四通孔，且两个第四通孔的圆周中部内壁通过螺栓连接有竖直设置的支撑板(2003)，所述支撑板(2003)的两侧中部外壁均通过螺栓连接有水平设置的第四弹簧(2002)，且两个第四弹簧(2002)的另一端外壁均通过螺栓连接有水平设置的第一卡块(2001)，两个所述第一卡块(2001)的外壁均与第四通孔的内壁滑动连接，所述支撑盒(22)的两侧顶部内壁均通过螺栓连接有水平设置的第二卡块(2205)，所述支撑盒(22)的两侧中部外壁均设置有第四开口，且两个第四开口的内壁均滑动连接有按压柱(2203)，两个所述按压柱(2203)的相互远离的一端外壁均通过螺栓连接有按压块(2204)，两个所述按压块(2204)相邻一侧的顶部和底部外壁均通过螺栓连接有水平设置的第六弹簧(2202)，且四个第六弹簧(2202)的另一端外壁均通过螺栓与支撑盒(22)的外壁连接。
7.根据权利要求6所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述固定杆(20)的底部中央外壁设置有第五弹簧(2201)，且第五弹簧(2201)的底部外壁通过螺栓与支撑盒(22)的底部内壁连接。
8.根据权利要求7所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述螺旋桨(4)的顶部和底部外壁均设置有弧形槽(401)。
9.根据权利要求8所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述第三导风管(8)的圆周内壁通过螺栓连接有水平设置的齿口挡板(24)。
10.根据权利要求9所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，所述第三导风管(8)的圆周一端和另一端外壁均通过螺栓连接有第三弹簧(23)，且两个第三弹簧(23)的另一端外壁分别通过螺栓与第二导风管(5)的内壁连接。
一种半导体基板的吹尘夹具
技术领域
背景技术
半导体有着极为密切的关连，半导体基板是指半导体材料的支撑板，在半导体基板的生产
过程中，为了保证半导体材料工作的稳定性，需要对其进行除尘处理。
上述专利中的液晶玻璃基板除尘装置存在以下不足：1在对需要除尘的物件进行夹持的过
程中，不能有效的提高被除尘物件的固定效果，另外，不能有效的保护被除尘物件，使得被除尘物件容易受到磨损；2在对需要除尘的物件进行除尘的过程中，直接通过鼓风机对其进行鼓风，不能很好的利用风流，不能通过便捷的改变风流实现对被除尘装置实现全面的除
尘。
发明内容
同一个竖直设置的第三导风管，所述第三导风管的顶部设置有第二导风管，且第二导风管
的圆周顶部内壁通过螺栓连接有水平设置的支撑杆，所述支撑杆的底部中央外壁通过轴承
连接有竖直设置的第二转动轴，且第二转动轴的圆周外壁通过螺栓连接有螺旋桨，所述第
二导风管的圆周两侧底部内壁均通过轴承连接有水平设置的第一转动轴，且两个第一转动
轴的相邻一侧外壁分别通过轴承与第三导风管的圆周两侧外壁连接，两个所述第一导风管
一端的顶部外壁均通过铰链连接有同一个竖直设置的支撑顶板，两个第一导风管的相邻一
侧顶部外壁均通过螺栓连接有竖直设置的第一弹簧，且两个第一弹簧的底部外壁均通过螺
栓连接有同一个水平设置的凹型支撑管，所述支撑底板一端的两侧底部外壁均通过螺栓连
接有固定夹块，且两个固定夹块夹口的另一端外壁均通过螺栓连接有支撑块，所述支撑顶
板一端的中部外壁通过螺栓连接有提拉把手，所述支撑顶板底部的一端的中部内壁通过螺
栓连接有两个相邻设置的第二弹簧，所述支撑顶板底部的一端的中部内壁通过螺栓连接有
两个相邻设置的套管，且两个第二弹簧分别位于两个套管的内部，两个所述第二弹簧的底
部外壁均通过螺栓连接有支撑柱，且两个支撑柱的底部外壁均通过螺栓连接有橡胶垫，两
个所述支撑柱的圆周外壁分别与两个套管的内壁滑动连接。
内壁通过螺栓连接有第二支撑网板。
壁均通过螺栓连接有等距离设置的第一喷风管，且第一喷风管分别位于两个相互靠近的第
二挡板之间，所述第一喷风管的圆周一端内壁通过轴承连接有固定杆，且固定杆的一侧外
壁通过铰链连接有水平设置的第一挡板。
一开口，且第一开口的内壁均通过螺栓连接有第三喷风管，所述凹型支撑管的凹口另一端
内壁开设有均匀设置的第二开口，且第二开口的外壁均通过螺栓连接有橡胶套。
设置的第四通孔，且两个第四通孔的圆周中部内壁通过螺栓连接有竖直设置的支撑板，所
述支撑板的两侧中部外壁均通过螺栓连接有水平设置的第四弹簧，且两个第四弹簧的另一
端外壁均通过螺栓连接有水平设置的第一卡块，两个所述第一卡块的外壁均与第四通孔的
内壁滑动连接，所述支撑盒的两侧顶部内壁均通过螺栓连接有水平设置的第二卡块，所述
支撑盒的两侧中部外壁均设置有第四开口，且两个第四开口的内壁均滑动连接有按压柱，
两个所述按压柱的相互远离的一端外壁均通过螺栓连接有按压块，两个所述按压块相邻一
侧的顶部和底部外壁均通过螺栓连接有水平设置的第六弹簧，且四个第六弹簧的另一端外
壁均通过螺栓与支撑盒的外壁连接。
风管在第二导风管内的摆动效果，进而使得支撑顶板和支撑底板之间的半导体基板上的残
渣灰尘被振动滑落，实现初步的除尘效果。
管在第二导风管内的振动，进而提高振动除尘的效果，另外，在螺旋桨上设置的弧形槽，使得风流在弧形槽的内外产生不同的流速，进而提高了螺旋桨的转动速率，使得振动的效果
更佳。
一挡板进行上下的摆动，进而使得第一喷风管可以喷出不同方向的风，提高了吹扫灰尘的
范围，实现全面充分除尘的效果。
撑顶板和支撑底板带动半导体基板振动时，凹型支撑管会产生向下的离心力，进而会提高
对半导体基板的固定效果。
设置对第一卡块实现伸缩，进而可以实现固定杆和固定盒之间的卡接，结合支撑顶板的内
端设置的第二弹簧、支撑柱和橡胶垫，可以通过橡胶垫对半导体基板的抵压，进一步提高了半导体基板的夹持稳定。
套会鼓气，并给半导体基板一个压力，不仅有利于半导体基板的固定，另外还保护了半导体基板，避免了半导体基板受到磨损。
附图说明
具体实施方式
一个竖直设置的第三导风管8，第三导风管8的顶部设置有第二导风管5，且第二导风管5的
圆周顶部内壁通过螺栓连接有水平设置的支撑杆6，支撑杆6的底部中央外壁通过轴承连接
有竖直设置的第二转动轴7，且第二转动轴7的圆周外壁通过螺栓连接有螺旋桨4，当风流通过第二导风管5内部时，风流会带动螺旋桨4转动，使得第二导风管5底部产生螺旋的风流，进而不断的改变进入齿口挡板24两侧风流的流速差，进一步提高第三导风管8在第二导风
管5内的振动，进而提高振动除尘的效果，第二导风管5的圆周两侧底部内壁均通过轴承连
接有水平设置的第一转动轴3，且两个第一转动轴3的相邻一侧外壁分别通过轴承与第三导
风管8的圆周两侧外壁连接，两个第一导风管1一端的顶部外壁均通过铰链连接有同一个竖
直设置的支撑顶板15，两个第一导风管1的相邻一侧顶部外壁均通过螺栓连接有竖直设置
的第一弹簧9，且两个第一弹簧9的底部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的凹型支撑
管10，支撑底板2一端的两侧底部外壁均通过螺栓连接有固定夹块14，且两个固定夹块14夹口的另一端外壁均通过螺栓连接有支撑块13，支撑顶板15一端的中部外壁通过螺栓连接有
提拉把手17，支撑顶板15底部的一端的中部内壁通过螺栓连接有两个相邻设置的第二弹簧
18，支撑顶板15底部的一端的中部内壁通过螺栓连接有两个相邻设置的套管，且两个第二
弹簧18分别位于两个套管的内部，两个第二弹簧18的底部外壁均通过螺栓连接有支撑柱
19，且两个支撑柱19的底部外壁均通过螺栓连接有橡胶垫21，两个支撑柱19的圆周外壁分
别与两个套管的内壁滑动连接。
壁通过螺栓连接有第二支撑网板16，两个第一导风管1的相互远离一侧内壁均通过螺栓连
接有等距离倾斜设置的第二挡板102，且相邻两个第二挡板102水平对称设置，两个第一导
风管1的相邻一侧内壁均通过螺栓连接有等距离设置的第一喷风管103，且第一喷风管103
分别位于两个相互靠近的第二挡板102之间，第一喷风管103的圆周一端内壁通过轴承连接
有固定杆，且固定杆的一侧外壁通过铰链连接有水平设置的第一挡板101，当风流进入第一导风管1内时，风流会在第一挡板101和第二挡板102流动，由于第一挡板101在第一喷风管
103内通过铰链可以转动，风流经过第一挡板101和第二挡板102时，可以带动第一挡板101
进行上下的摆动，进而使得第一喷风管103可以喷出不同方向的风，提高了吹扫灰尘的范
围，实现全面充分除尘的效果，凹型支撑管10的顶部中央外壁设置有第三通孔，且第三通孔的内壁通过螺栓连接有竖直设置的第二喷风管1001，凹型支撑管10顶部两端的外壁开设有
均设置的第一开口，且第一开口的内壁均通过螺栓连接有第三喷风管1002，凹型支撑管10
的凹口另一端内壁开设有均匀设置的第二开口，且第二开口的外壁均通过螺栓连接有橡胶
套1003，支撑顶板15底部一端的两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的固定杆20，支撑底
板2的顶部一端的两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑盒22，两个支撑盒22的顶部
中央外壁设置有第三开口，且两个第三开口的内壁分别与两个固定杆20圆周外壁滑动连
接，两个固定杆20的两侧外壁均开设有同一个水平设置的第四通孔，且两个第四通孔的圆
周中部内壁通过螺栓连接有竖直设置的支撑板2003，支撑板2003的两侧中部外壁均通过螺
栓连接有水平设置的第四弹簧2002，且两个第四弹簧2002的另一端外壁均通过螺栓连接有
水平设置的第一卡块2001，两个第一卡块2001的外壁均与第四通孔的内壁滑动连接，支撑
盒22的两侧顶部内壁均通过螺栓连接有水平设置的第二卡块2205，支撑盒22的两侧中部外
壁均设置有第四开口，且两个第四开口的内壁均滑动连接有按压柱2203，两个按压柱2203
的相互远离的一端外壁均通过螺栓连接有按压块2204，两个按压块2204相邻一侧的顶部和
底部外壁均通过螺栓连接有水平设置的第六弹簧2202，且四个第六弹簧2202的另一端外壁
均通过螺栓与支撑盒22的外壁连接，固定杆20的底部中央外壁设置有第五弹簧2201，且第
五弹簧2201的底部外壁通过螺栓与支撑盒22的底部内壁连接，螺旋桨4的顶部和底部外壁
均设置有弧形槽401，第三导风管8的圆周内壁通过螺栓连接有水平设置的齿口挡板24，风
流通过齿口挡板24时，会在齿口挡板24的两侧产生不同的流速，进而带动第三导风管8顺着第一转动轴3在第二导风管5内来回摆动，进而使得支撑顶板15和支撑底板2之间的半导体
基板上的残渣灰尘被振动滑落，实现初步的除尘效果，第三导风管8的圆周一端和另一端外壁均通过螺栓连接有第三弹簧23，且两个第三弹簧23的另一端外壁分别通过螺栓与第二导
风管5的内壁连接。
导体基板进一步的固定，然后通过鼓风机向第二导风管5内部鼓风，风流通过齿口挡板24
时，会在齿口挡板24的两侧产生不同的流速，进而带动第三导风管8顺着第一转动轴3在第
二导风管5内来回摆动，结合第三弹簧23的弹性效果，可以提高第三导风管8在第二导风管5内的摆动效果，进而使得支撑顶板15和支撑底板2之间的半导体基板上的残渣灰尘被振动
滑落，实现初步的除尘效果，当风流通过第二导风管5内部时，风流会带动螺旋桨4转动，使得第二导风管5底部产生螺旋的风流，进而不断的改变进入齿口挡板24两侧风流的流速差，进一步提高第三导风管8在第二导风管5内的振动，进而提高振动除尘的效果，当风流进入
第一导风管1内时，风流会在第一挡板101和第二挡板102流动，由于第一挡板101在第一喷
风管103内通过铰链可以转动，风流经过第一挡板101和第二挡板102时，可以带动第一挡板
101进行上下的摆动，进而使得第一喷风管103可以喷出不同方向的风，提高了吹扫灰尘的
范围，进而提高了除尘的效果，除尘结束后，通过按压按压块2204，使得两个第一卡块2001从第二卡块2205之间滑出，并打开支撑顶板15，取出除尘后的半导体基板，完成操作。
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