Article storage facility |
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申请号 | JP2011284257 | 申请日 | 2011-12-26 | 公开(公告)号 | JP2013133194A | 公开(公告)日 | 2013-07-08 |
申请人 | Daifuku Co Ltd; 株式会社ダイフク; | 发明人 | OTSUKA HIROSHI; TAKAHARA MASAHIRO; UEDA TOSHITO; | ||||
摘要 | PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an article storage facility capable of preventing problems in a substrate in a conveyance container housed in a housing part even when inert gas can not be appropriately supplied to the housing part.SOLUTION: The article storage facility includes supply parts 62 for sections, a plurality of supply parts 63 for housing parts, a bypass part 72 for communicating, among the plurality of supply parts 63 for the housing parts, two or more supply parts 63 for the housing part with one another, and a bypass switch valve 73 for switching the bypass part 72 between an open state where the inert gas can flow and a closed state where the inert gas can not flow. | ||||||
权利要求 | 基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、 前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、 前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、 前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部とを備え、 前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、 前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の区画の夫々に供給する区画用供給部分と、前記区画用供給部分にて前記区画に供給された不活性気体を当該区画における前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分とを備えて構成されている物品保管設備であって、 前記複数の収納部用供給部分のうちの2つ以上の前記収納部用供給部分同士を連通させるバイパス部分と、 前記バイパス部分を不活性気体が通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切り換え自在なバイパス用切換弁が設けられている物品保管設備。 前記バイパス部分が、前記複数の収納部用供給部分の2つを組として、組となる2つの前記収納部用供給部分同士を連通させる状態で設けられている請求項1記載の物品保管設備。 前記収納部を上下左右に並設した保管棚が設けられ、 前記バイパス部分が、上下方向又は左右方向に隣接する前記区画の前記収納部用供給部分同士を連通させる状態で設けられている請求項1又は2に記載の物品保管設備。 前記複数の区画の夫々に対して不活性気体が適切に供給されているか否かを検出する区画用供給状態検出手段と、 前記バイパス用切換弁の切り換え状態を検出する切換状態検出手段とが設けられ、 前記区画用供給状態検出手段の検出情報と前記切換状態検出手段の検出情報とに基づいて、不活性気体が適切に供給されておらず且つ当該区画の前記収納部用供給部分に連通されている前記バイパス部分が不活性気体を通流不能な前記区画に属する前記収納部を、搬送容器の収納を禁止する禁止収納部として管理する制御手段が設けられている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品保管設備。 前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体の供給状態の変化により前記禁止収納部に切り換わった前記収納部に収納されている前記搬送容器を前記禁止収納部として管理されていない前記収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている請求項4記載の物品保管設備。 |
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说明书全文 | 本発明は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部とを備え、前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の区画の夫々に供給する区画用供給部分と、前記区画用供給部分にて前記区画に供給された不活性気体を当該区画における前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分とを備えて構成されている物品保管設備に関する。 かかる物品保管設備の従来例として、半導体ウェハーを収容するFOUP等の搬送容器を収納自在な収納部を複数備え、その収納部の夫々に、不活性気体供給路にて例えば窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体を収納部に供給し、その不活性気体を吐出部にて搬送容器の内部に吐出する、パージ機能付きの物品保管棚を備えたものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。 上記特許文献1では搬送容器を収納部に収納したときに、吐出部から搬送容器の内部に不活性気体を吐出し、基板に不都合な酸素ガスや水蒸気等を搬送容器内から排出させて、収納部に収納される搬送容器を内部が不活性気体で充満された状態とすることで、搬送容器に収容された基板の酸化等の不具合が生じることを抑制するようになっている。 しかしながら、上記した従来の物品保管設備では、区画用供給部分の破損や区画用供給部分と収納部用供給部分との接続箇所に設けられた流量調整弁等の機器に故障が生じたことにより、収納部に適切に不活性気体を供給することができなくなったとしても、その不活性気体を適切に供給することができない収納部に搬送容器を収納した状態が継続することとなる。 そのため、収納部に適切に不活性気体を供給することができなくなった場合に、外気が搬送容器内に流入する等により搬送容器内の環境が悪化することで搬送容器内の基板に不具合が生じる場合があった。 本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、収納部に対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる物品保管設備を提供する点にある。 本発明にかかる物品保管設備は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部とを備え、前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の区画の夫々に供給する区画用供給部分と、前記区画用供給部分にて前記区画に供給された不活性気体を当該区画における前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分とを備えて構成されているものであって、その第1特徴構成は、 すなわち、バイパス用切換弁を開き状態に切り換えることで、連通させた複数の収納部用供給部分同士の間で不活性気体を通流させることができるので、区画用供給部分の破損や区画用供給部分と収納部用供給部分との接続箇所に設けられた流量調整弁等の機器に故障が生じ、収納部に供給される不活性気体が適正供給量より減少する、又は、収納部に全く不活性気体が供給されなくなるなった場合には、バイパス用切換弁を開き状態に切り換えることで、不活性気体が適切に供給されている区画の収納部用供給部分から、不活性気体が適切に供給されていない区画の収納部用供給部分に、不活性気体を流動させることができる。 このように不活性気体が適切に供給されていない区画の収納部用供給部分にバイパス部分を介して不活性気体を供給することで、当該区画の収納部用供給部分に不活性気体を適切に供給することができるようになって、収納部に収納されている搬送容器の基板に不具合が生じることを抑制することができる。 本発明にかかる物品保管設備の第2特徴構成は、第1特徴構成において、前記バイパス部分が、前記複数の収納部用供給部分の2つを組として、組となる2つの前記収納部用供給部分同士を連通させる状態で設けられている点にある。 すなわち、バイパス部分は、組となる2つの収納部用供給部分同士を連通させるだけなので、バイパス部分を、3つ以上の収納部用供給部分同士を連通させる場合に比べて、バイパス部分の構成の簡素化を図ることができる。 本発明にかかる物品保管設備の第3特徴構成は、第1又は第2特徴構成において、前記収納部を上下左右に並設した保管棚が設けられ、前記バイパス部分が、上下方向又は左右方向に隣接する前記区画の前記収納部用供給部分同士を連通させる状態で設けられている点にある。 すなわち、バイパス部分は、上下方向又は左右方向に隣接する区画の収納部用供給部分同士を連通させるため、バイパス部分を、上下方向又は左右方向に離れた区画の収納部用供給部分同士を連通させる場合に比べて、バイパス部分の長さを短くすることができる。 本発明にかかる物品保管設備の第4特徴構成は、第1〜第3特徴構成のいずれか1つにおいて、前記複数の区画の夫々に対して不活性気体が適切に供給されているか否かを検出する区画用供給状態検出手段と、前記バイパス用切換弁の切り換え状態を検出する切換状態検出手段とが設けられ、前記区画用供給状態検出手段の検出情報と前記切換状態検出手段の検出情報とに基づいて、不活性気体が適切に供給されておらず且つ当該区画の前記収納部用供給部分に連通されている前記バイパス部分が不活性気体を通流不能な前記区画に属する前記収納部を、搬送容器の収納を禁止する禁止収納部として管理する制御手段が設けられている構成されている点にある。 すなわち、不活性気体供給路の破損や不活性気体供給路の途中に設けられた圧力調整弁等の機器が故障し、区画に供給される不活性気体が適正供給量より減少する、又は、区画に全く不活性気体が供給されない事態が発生した場合に、区画用供給状態検出手段にて、区画に対して不活性気体が適切に供給されていないことが検出される。 これにより、当該区画に属する収納部が許可収納部から禁止収納部に切り換わる。 そのため、例えば、搬送容器を収納部に収納する際に、収納対象の収納部として、不活性気体が適切に供給されていない収納部を選択することを回避して、不活性気体が適切に供給されている収納部を選択することで、収納部に収納した搬送容器内に不活性気体を供給することができ、搬送容器に収容されている基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。 そして、バイパス用切換弁を開き状態に切り換えることで、不活性気体が適切に供給されなくなった区画に対して、バイパス部分から不活性気体が供給される状態となると、切換状態検出手段にてバイパス部分が不活性気体を供給可能な状態が検出されて、その区画に属する収納部が禁止収納部から許可収納部に切り換わる。 そのため、例えば、搬送容器を収納部に収納する際に、区画用供給状態検出手段にて不活性気体が適切に供給されないことが検出されているものの、バイパス部分から不活性気体が供給される区画に属する収納部に搬送容器を収納することができ、収納部を有効活用できる。 本発明にかかる物品保管設備の第5特徴構成は、第4特徴構成において、前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体の供給状態の変化により前記禁止収納部に切り換わった前記収納部に収納されている前記搬送容器を前記禁止収納部として管理されていない前記収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている点にある。 すなわち、許可収納部から禁止収納部に切り換わった収納部に搬送容器が収納されている場合は、制御手段は退避用搬送処理を実行して、禁止収容部に切り換わった収容部に収納されている搬送容器を、許可収納部として管理されている他の収納部に搬送する。 このように退避用搬送処理を実行して、搬送容器を許可収容部として管理されている収納部に搬送することで、その搬送部には不活性気体が適切に供給されているため、搬送容器内に不活性気体を供給することができる。 このように、収納部に対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。 本発明をパージ機能付きの物品保管設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。 (容器50の構成) 注入側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、給気口51iに供給される窒素ガスの吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。 (スタッカークレーン20の構成) 昇降台24には、収納部10Sや入出庫コンベヤCVに対して容器50を移載する移載装置25が装備されている。 (収納部10Sの構成) 図3に示すように、複数の収納部10Sの夫々には、容器50を載置支持する載置支持部10aが備えられており、収納部10Sは、載置支持部10aに載置支持した状態で容器50を収納するようになっている。 また、図3及び図4に示すように、載置支持部10aには、収納部10Sに収納された容器50の内部に不活性気体としての窒素ガスを供給する吐出部としての吐出ノズル10iと、容器50の内部から排出された気体を通流する排出用通気体10oとが設けられている。 つまり、容器50が収納部10Sに収納されて載置支持部10aに載置されると、位置決め突起10bにて規定位置に位置決めされて、吐出ノズル10iが給気口51iに嵌合状態に接続され、且つ、排出用通気体10oが排気口51oに嵌合状態に接続される。 (窒素ガスの供給構成) 図5及び図6に示すように、窒素ガス供給路60は、メイン供給部分61と、メイン供給部分61にて供給された窒素ガスを複数の区画CHの夫々に分岐供給する区画用供給部分62と、区画用供給部分62にて区画CHに供給された窒素ガスを当該区画CHにおける複数の収納部10Sの夫々に分岐供給する収納部用供給部分63とを備えて構成されている。 図5に示すように、区画用供給部分62は、メイン供給部分61に接続された上流区画用供給部62aと、上流区画用供給部62aから分岐する複数の下流区画用供給部62bとを備えて構成されている。 上流区画用供給部62aには、区画CHの数と同じ6経路の下流区画用供給部62bが接続されている。 図6に示すように、収納部用供給部分63は、区画CHの数と同じ6経路設けられており、その夫々が、区画用供給部分62に接続された上流収納部用供給部63aと、上流収納部用供給部63aから分岐する中流収納部用供給部63bと、中流収納部用供給部63bから分岐する下流収納部用供給部63cとを備えて構成されている。 上流収納部用供給部63aには、区画CHにおける収納部10Sの段数と同じ3経路の中流収納部用供給部63bが接続されており、中流収納部用供給部63bには、区画CHにおける収納部10Sの列数と同じ4経路の下流収納部用供給部63cが接続されている。 図5に示すように、メイン供給部分61と区画用供給部分62との接続箇所には、メイン供給部分61から区画用供給部分62に窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在なメインバルブ65が設けられている。 このメインバルブ65を操作することにより、保管棚10の単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。 図5及び図6に示すように、区画用供給部分62と複数の収納部用供給部分63との接続箇所の夫々には、区画用供給部分62から収納部用供給部分63に窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在な区画用バルブ66と、区画用供給部分62から収納部用供給部分63に通流する窒素ガスの通流量を調整することにより収納部用供給部分63における窒素ガスの圧力を調整する流量調整手段としての圧力調整用バルブ67と、収納部用供給部分63における窒素ガスの圧力を検出する圧力検出センサ68とが設けられている。 そして、区画用バルブ66を操作することで、区画CHの単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。 図6に示すように、収納部用供給部分63と吐出ノズル10iとの接続箇所には、収納部用供給部分63から吐出ノズル10iに窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在な収納部用バルブ69と、マスフローコントローラ40とが設けられている。 そして、収納部用バルブ69を操作することで、収納部10Sの単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。 図6に示すように、複数の収納部用供給部分63の2つを組として、組となる2つの収納部用供給部分63同士を連通させる状態で、バイパス部分72が設けられている。 (制御構成) 制御手段Hは、プログラマブルロジックコントローラPに窒素ガスの供給量や窒素ガスを供給する収納部10Sを示す供給情報を送信して、区画用バルブ66、収納部用バルブ69及び流量調整用バルブ70(マスフローコントローラ40)の作動を制御するように構成されている。 次に、この区画用バルブ66、収納部用バルブ69及び流量調整用バルブ70の作動を制御する制御構成について説明する。 制御手段Hには、プログラマブルロジックコントローラPとIO拡張モジュールAが通信自在に通信線にて接続されている。 IO拡張モジュールAは、複数の区画CHの夫々に対応して設けられており、区画CHの数と同じ6台設けられている。 IO拡張モジュールAには、対応する区画CHに属する在荷センサ10z、圧力検出センサ68、及び、マニホールド74が接続されている。 そして、プログラマブルロジックコントローラPは、制御手段Hからの供給情報に基づいて、IO拡張モジュールAを介してマニホールド74に指令情報を送信するように構成されている。 マニホールド74は指令情報に基づいて作動し、窒素ガスを供給する供給対象の収納部10Sに対して窒素ガスを供給するように構成されている。 マスフローコントローラ40は、流量調整用バルブ70に異常が生じる等により流量検出センサ71にて検出する流量が指令情報に応じた流量に達しない状態が設定時間の間継続した場合には、通流異常信号をプログラマブルロジックコントローラPに出力するように構成されている。 その通流異常信号はプログラマブルロジックコントローラPから制御手段Hに送信される。 IO拡張モジュールAは、プログラマブルロジックコントローラPからの指令情報に対して返答信号を出力するように構成されている。 プログラマブルロジックコントローラPは、指令情報に対してIO拡張モジュールAから返答信号がない場合、IO異常信号を制御手段Hに送信するように構成されている。 マニホールド74は、プログラマブルロジックコントローラPからの指令情報に対して返答信号を出力するように構成されている。 プログラマブルロジックコントローラPは、指令情報に対してマニホールド74から返答信号がない場合、流量異常信号を制御手段Hに送信するように構成されている。 圧力検出センサ68は、検出情報をプログラマブルロジックコントローラPに出力するように構成されており、プログラマブルロジックコントローラPは、圧力検出センサ68にて検出された圧力が、指令情報に応じた圧力に対して設定圧力以上の乖離があった場合には、圧力異常信号を制御手段Hに対して送信するように構成されている。 制御手段Hは、供給状態検出手段Sの検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されている許可収納部と窒素ガスが適切に供給されていない禁止収納部とに区別する状態で複数の収納部10Sを管理し、窒素ガスの供給状態の変化により許可収納部から禁止収納部に切り換わった収納部10Sに収納されている容器50を許可収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている。 制御手段Hによる複数の収納部10Sの管理について説明を加える。 尚、図8(a)は、区画CHに属する全ての収納部10Sに窒素ガスが適切に供給されている区画CHを示し、図8(b)は、区画CHに属する全ての収納部10Sに窒素ガスが適切に供給されていない区画CHを示し、図8(c)は、区画CHに属する一部の収納部10Sに窒素ガスが適切に供給されていない区画CHを例示している。 そして、図8において、故障が生じた機器(図8(b)では圧力調整バルブ)及び禁止収納部として管理されている収納部10Sについてはグレー色で示している。 制御手段Hは、圧力検出センサ68の検出情報に基づいて、圧力調整用バルブ67にて調整された圧力に対して圧力検出センサ68にて異常な圧力が検出され、プログラマブルロジックコントローラPから圧力異常信号が送信された場合は、その異常な圧力が検出された区画用供給部分62に対応する区画CHに属する収納部10Sの全てを禁止収納部として管理するように構成されている。 (図8(b)参照) そして、制御手段Hが、プログラマブルロジックコントローラPの検出情報(通流異常信号)に基づいて、プログラマブルロジックコントローラPにて異常が検出されたマスフローコントローラ40を介して窒素ガスが供給される収納部10Sを禁止収納部として管理するように構成されている。 (図8(c)参照) このように、制御手段Hは、区画用供給状態検出手段S1の検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されている区画CHに属する収納部10Sの全てを許可収納部として管理し、収納部用供給状態検出手段S2の検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されていない収納部10Sを禁止収納部として管理するように構成されている。 そして、禁止収納部として管理されていない収納部10Sを、許可収納部として管理するように構成されている。 次に、制御手段Hによる退避用搬送処理について説明する。 そして、制御手段Hは、在庫状態に基づいて、窒素ガスの供給状態の変化により管理状態が切り換えられた収納部10Sに容器50が収納されている場合、退避用搬送処理を実行して、管理状態が禁止収納部に切り換えられた収納部10Sに収納されている容器50を、許可収納部として管理されている収納部10Sに搬送するようになっている。 具体的には、例えば、図8(a)に示すように、区画CHに属する収納部10Sが許可収納部として管理されている場合において、圧力調整用バルブ67が故障することで圧力検出センサ68にて異常な圧力が検出され、制御手段Hに圧力異常信号が送信された場合は、図8(b)に示すように、区画CHに属する収納部10Sの全てが禁止収納部として管理されることとなる。 このような場合は、区画CHに属する収納部10Sに収納されている容器50の全てを、他の区画CHにおける許容収納部として管理されている収納部10Sに搬送される。 このように退避用搬送処理を実行して、容器50を許可収納部として管理されている収納部10Sに搬送することで、その収納部10Sには不活性気体が適切に供給されているため、容器50内に不活性気体を供給することができる。 そのため、収納部10Sに対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部10Sに収納されている容器50内の基板Wに不具合が生じることを未然に防ぐことができる。 そして、退避用搬送処理により、区画CHに属する収納部10Sに収納されている容器50の全てを他の区画CHに搬送するにあたり、収納部用供給状態検出手段S2により窒素ガスが適切に供給されていないことが検出されている収納部10Sと、収納部用供給状態検出手段S2により窒素ガスが適切に供給されていることが検出されている収納部10Sとがある場合、前者の収納部10Sに収納されている容器50を優先的に許可収納部として管理されている収納部10Sに搬送するように構成されている。 制御手段Hは、複数の収納部10Sの管理状態や異常が生じた機器を示す情報を表示するべくモニター75の作動を制御するように構成されている。 そして、図示はしないがバイパス用切換弁73の切り換え状態を検出する切換状態検出手段としての切換状態検出センサが設けられており、制御手段Hは、区画用供給状態検出手段S1の検出情報と切換状態検出センサの検出情報とに基づいて、窒素ガスが適切に供給されておらず且つ当該区画CHの収納部用供給部分63に連通されているバイパス部分72が窒素ガスを通流不能な区画CHに属する収納部10Sを禁止収納部として管理するように構成されている。 つまり、例えば、図9(a)に示すように、上側の区画CHに対応する圧力調整用バルブ67が故障することで制御手段Hに圧力異常信号が送信された場合は、その区画CHに属する収納部10Sの全てが禁止収納部として管理されることとなる。 このような状態で、この区画CHに接続されているバイパス部分72に設けられたバイパス用切換弁73を開き状態に切り換え操作することで、図9(b)バイパス部分72にて接続されている適切に窒素ガスが供給されている区画CHから窒素ガスが供給されるようになっている。 このように、バイパス用切換弁73を閉じ状態に切り換えることで、区画CHの単位で収納部10Sに供給される窒素ガスの流量を各別に調整することができながら、窒素ガス供給路60の破損や機器等が故障し、収納部10Sに供給される不活性気体が適正供給量より減少する、又は、収納部10Sに全く不活性気体が供給されなくなるなった場合に、バイパス用切換弁73を開き状態に切り換えることで、窒素ガスが適切に供給されている区画CHの収納部用供給部分63から、窒素ガスが適切に供給されていない区画CHの収納部用供給部分63に、不活性気体を流動させることができる。 〔別実施形態〕 (2)上記実施形態では、バイパス部分72を、収納部用供給部分63の2つを組として、組となる2つの収納部用供給部分63同士を連通させる状態で設けたが、収納部用供給部分63の3つ以上又は全てを組として、組となる3つ又は全ての収納部用供給部分63同士を連通させる状態で設けてもよい。 (3)上記実施形態では、バイパス用切換弁73の切り換え状態を検出する切換状態検出手段を設け、制御手段Hを、切換状態検出手段の検出状態に基づいて、バイパス部分72が不活性気体を通流可能な状態か通流不能な状態かを判別するように構成したが、バイパス用切換弁73を操作したときに作業者が入力操作する入力手段を設け、制御手段Hを、入力手段からの入力情報に基づいて、バイパス部分72が不活性気体を通流可能な状態か通流不能な状態かを判別するように構成してもよい。 (4)上記実施形態では、基板Wを半導体ウェハーとし、搬送容器50をFOUPとする構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、基板Wをレチクルとし、搬送容器50をレチクル容器としてもよい。 また、不活性気体を窒素ガスとしたが、不活性気体としては、窒素ガス以外にもアルゴンガス等、収容される基板Wに対して反応性の低い各種の気体を使用することができる。 10S 収納部 10i 吐出部 20 搬送装置 60 不活性気体供給路 62 区画用供給部分 63 収納部用供給部分 CH 区画 F 搬送容器 H 制御手段 S2 収納部用供給状態検出手段 W 基板 |