物品保管设备以及物品保管方法 |
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| 申请号 | CN201210563965.2 | 申请日 | 2012-12-24 | 公开(公告)号 | CN103171854A | 公开(公告)日 | 2013-06-26 |
| 申请人 | 株式会社大福; | 发明人 | 大塚洋; 高原正裕; 上田俊人; | ||||
| 摘要 | 本 发明 的物品保管设备具备：收纳 基板 的运送容器的多个收纳部，和向多个收纳部供给惰性气体的惰性气体供给路径。多个收纳部被区分成多个区域。惰性气体供给路径具备：向区域供给惰性气体的区域用供给部分，和将由区域用供给部分供给到区域的惰性气体向该区域中的多个收纳部分支供给的收纳部用供给部分。在物品保管设备上设有：使两个以上的收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换 阀 。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部， |
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| 说明书全文 | 物品保管设备以及物品保管方法技术领域[0001] 本发明涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，相对于上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，以及将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分。 背景技术[0002] 在日本国特开2010-182747号公报（专利文献1）中公开了上述这种物品保管设备的一例。装备在专利文献1的物品保管设备上的带洁净功能的物品保管架具备多个收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的收纳部，通过惰性气体供给路径向该收纳部的每一个供给例如氮气或氩气等惰性气体，并通过排放部将该惰性气体向运送容器的内部排放。 [0003] 在上述专利文献1中，在将运送容器收纳在收纳部中后，从排放部向运送容器的内部排放惰性气体，将不利于基板的氧气或水蒸气等从运送容器内排出，使收纳在收纳部中的运送容器为内部被惰性气体充满的状态。这样一来，抑制了产生收容在运送容器中的基板的氧化等不良情况。 [0004] 但是，在上述专利文献1的物品保管设备中，即使在由于区域用供给部分的破损或设在区域用部件部分与收纳部用供给部分的连接部位的流量调整阀等仪器的故障，不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，运送容器收纳在该收纳部中的状态也继续。因此，在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于外气向运送容器内流入等而运送容器内的环境恶化，存在运送容器内的基板上产生不良情况的可能性。 发明内容[0005] 鉴于上述背景，希望实现即使在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，也能够将收纳在该收纳部中的运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然的物品保管设备。 [0006] 本发明所涉及的物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，其中，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，设有使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。 [0007] 根据上述结构，通过将旁通用切换阀切换成打开状态，能够使惰性气体在相互连通的多个收纳部用供给部分彼此之间流通。因此，在因区域用供给部分的破损或设在区域用供给部分与收纳部用供给部分的连接部位的流量调整阀等仪器的故障而发生了向收纳部供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向收纳部供给的事态的情况下，通过将旁通用切换阀切换成打开状态，能够使惰性气体从恰当地供给了惰性气体的区域的收纳部用供给部分经由旁通部分向未恰当地供给惰性气体的区域的收纳部用供给部分流动。其结果，能够抑制收纳在收纳部中的运送容器的基板上产生不良情况。 [0008] 本发明所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本发明也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备的所涉及的作用和效果。 [0009] 即，本发明所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管设备，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，以及将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，其中，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，在上述物品保管设备上设有：使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀，检测惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，检测上述旁通用切换阀的切换状态的切换状态检测装置，以及基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定的控制装置，上述物品保管方法包括由上述控制装置执行的以下的工序：将通过上述供给状态判定而判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域作为对象区域，收纳部管理工序，基于上述切换状态检测装置的检测信息，以设在与上述对象区域的上述收纳部用供给部分连通的上述旁通部分的上述旁通用切换阀处于上述关闭状态为条件，将属于该对象区域的上述收纳部作为禁止运送容器的收纳的禁止收纳部进行管理。 [0010] 以下，对本发明的优选实施方式的例子进行说明。 [0011] 在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述旁通部分设成将上述多个收纳部用供给部分中的两个作为一组，使成组的两个上述收纳部用供给部分彼此连通。 [0012] 根据上述结构，与将旁通部分设成使三个以上的收纳部用供给部分彼此连通的情况相比，能够谋求旁通部分的结构简单化。 [0013] 在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，设有沿上下方向以及左右方向排列地设有上述收纳部的保管架，上述旁通部分设成使在上下方向或者左右方向上邻接的上述区域的上述收纳部用供给部分彼此连通。 [0014] 根据上述结构，与将旁通部分设成使在上下方向或者左右方向上分离的区域的收纳部用供给部分彼此连通的情况相比，能够缩短旁通部分的长度。 [0015] 在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，设有：检测惰性气体相对于上述多个区域的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置，检测上述旁通用切换阀的切换状态的切换状态检测装置，以及基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定的控制装置，将通过上述供给状态判定而判定为未恰当地供给惰性气体的上述区域作为对象区域，上述控制装置构成为，基于上述切换状态检测装置的检测信息，以设在与上述对象区域的上述收纳部用供给部分连通的上述旁通部分的上述旁通用切换阀处于上述关闭状态为条件，将属于该对象区域的上述收纳部作为禁止运送容器的收纳的禁止收纳部进行管理。 [0016] 根据上述结构，在因惰性气体供给路径的破损或设在惰性气体供给路径的中途的压力调整阀等仪器的故障而产生了向区域供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向区域供给的事态的情况下，由区域用供给状态检测装置检测出相对于该区域（以下称为“对象区域”）未恰当地供给惰性气体。并且在设在与对象区域的收纳部用供给部分连通的旁通部分的旁通用切换阀处于关闭状态的情况下，属于该对象区域的收纳部被作为禁止收纳部进行管理。因此，例如在将运送容器向收纳部中收纳之际，通过避免选择未恰当地供给惰性气体的收纳部、而选择能够恰当地供给惰性气体的收纳部作为收纳对象的收纳部，能够将向收纳在该收纳部中的运送容器内供给惰性气体，将收容在运送容器中的基板上产生不良情况的事态防患于未然。 [0017] 而且，在将设在与对象区域的收纳部用供给部分连通的旁通部分的旁通用切换阀切换成打开状态的情况下，能够从旁通部分相对于该对象区域供给惰性气体。在这种情况下，由于旁通用切换阀不是处于关闭状态，所以属于该对象区域的收纳部不被作为禁止收纳部进行管理。因此，例如在将运送容器向收纳部中收纳之际，能够将运送容器向属于对象区域、从旁通部分被供给惰性气体的收纳部中收纳，能够有效利用收纳部。 [0018] 在本发明所涉及的物品保管设备的实施方式中，优选地是，上述控制装置构成为，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向未被作为上述禁止收纳部进行管理的上述收纳部运送。 [0019] 根据上述结构，即使在不再能够相对于收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于能够将收纳在该收纳部中的运送容器向能够恰当地供给惰性气体的收纳部运送，所以能够将在该运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然。 [0020] 在本发明所涉及的物品保管方法的实施方式中，优选地是，作为由上述控制装置执行的工序，还包括退避用运送处理工序，基于上述区域用供给状态检测装置的检测信息，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向不被作为上述禁止收纳部进行管理的上述收纳部运送。附图说明 [0021] 图1是物品保管设备的纵向剖视图；图2是表示相同设备的一部分的纵剖主视图； 图3是收纳部的立体图； 图4是载置着容器的状态下的收纳部的主视图； 图5是未载置容器的状态下的收纳部的主视图； 图6是表示惰性气体向区域的供给方式的附图； 图7是表示惰性气体向收纳部的供给方式的附图； 图8是控制框图； 图9是表示控制装置进行的收纳部的管理状态的一例的附图； 图10是表示控制装置进行的收纳部的管理状态的另一例的附图； 图11是表示控制装置进行的收纳部的管理状态的另一例的附图； 图12是表示旁通用切换阀处于关闭状态的情况下的惰性气体的供给状态的附图； 图13是表示旁通用切换阀处于打开状态的情况下的惰性气体的供给状态的附图； 图14是流程图。 [0022] 附图标记说明：10S：收纳部，10i：排放喷嘴（排放部），20：塔式起重机（运送装置），40：质量流控制器（流通调整装置、流通异常检测装置），50：运送容器，60：氮气供给路径（惰性气体供给路径），62：区域用供给部分，63：收纳部用供给部分，67：压力调整用阀（压力调整装置），68： 压力检测传感器（压力检测装置），69：收纳部用阀（流量调整装置），70：流量调整用阀（流通调整装置），72：旁通部分，73：旁通用切换阀，90：切换状态检测传感器（切换状态检测装置），A：IO扩展模块（中转装置），CH：区域，H：控制装置，P：可编程逻辑控制器（中转异常检测装置），S：供给状态检测装置，S1：区域用供给状态检测装置，S2：收纳部用供给状态检测装置，W：基板。 具体实施方式[0023] 基于附图对将本发明适用于带洁净功能的物品保管设备上的情况下的实施方式进行说明。 [0024] （整体结构）物品保管设备如图1以及图2所示由自动仓库构成，该自动仓库具备沿上下方向以及左右方向排列地设有收纳部10S的保管架10，和作为运送装置的塔式起重机20，该收纳部 10S收纳以密闭状态收容基板W的运送容器50（以下简称为容器50），该塔式起重机20相对于多个收纳部10S以及入出库输送机CV运送容器50。另外，在本实施方式中，基板W是半导体晶片，收容该半导体晶片的前开式标准容器（FOUP：Front Opening Unified Pod）是保管对象的容器50。 [0025] （容器50的结构）如图4所示，容器50具备壳体51和装卸自如的盖体（未图示），该壳体51具备用于取出和放入基板W的开口，该盖体关闭壳体51的开口。 [0026] 如图1、图2以及图4所示，在壳体51的上表面形成有被升降式的运送车D把持的上凸缘52，在壳体51的底部，如后所述设有用于注入作为惰性气体的氮气的供气口50i以及排气口50o。虽然省略了图示，但在供气口50i处设有注入侧开闭阀，在排气口50o处设有排出侧开闭阀。 [0027] 即，容器50在收容着基板W的状态下被盖体关闭开口，同时供气口50i以及排气口50o各自的开闭阀为关闭状态，从而以密闭状态收容基板W。 [0029] 而且，排出侧开闭阀被弹簧等施力部件向关闭方向施力，若容器50内部的压力为高出大气压设定值的设定开阀压力以上，则在其压力的作用下操作而打开。 [0030] （塔式起重机20的结构）如图1所示，塔式起重机20具备：能够沿着设在保管架10的前面一侧的地面部上的行驶轨道行驶移动的行驶台车21，立设在该行驶台车21上的立柱22，设在立柱22的上端并与未图示的上部导轨卡合的上部框23，以及能够以被上述立柱22引导的状态升降移动的升降台24。 [0031] 在升降台24上装备有相对于收纳部10S或入出库的输送机CV移载容器50的移载装置25。 [0032] 并且塔式起重机20构成为，通过行驶台车21的行驶移动、升降台24的升降移动以及移载装置25的移载动作，执行将入出库输送机CV上的容器50向收纳部10S运送的入库作业、将收纳部10S的容器50向入出库输送机CV上运送的出库作业、以及将收纳部10S的容器50向其它的收纳部10S运送的退避作业。 [0033] （收纳部10S的结构）如图2所示，在保管架10上，沿上下方向排列地设有多行（在本例中为8行）收纳部 10S，沿左右方向排列地设有多列（在本例中为9列，图2中仅图示了4列）收纳部10S。在保管架10整体72个部位设有收纳部10S。并且如图6所示，区分成将由沿上下方向排列地设置的4行收纳部10S、和沿左右方向排列地设置的3列收纳部10S构成的合计12个部位的收纳部10S作为一个区域CH，72个部位的收纳部10S属于6个区域CH中的某一个。这样，设在保管架10上的多个收纳部10S被区分成多个区域CH。 [0034] 如图3所示，在多个收纳部10S的每一个上装备有载置支撑容器50的载置支撑部10a，收纳部10S以将容器50载置支撑在载置支撑部10a上的状态收纳该容器50。 [0035] 而且，在载置支撑部10a上设有三个定位突起10b和两个重载传感器10z，三个定位突起10b用于与形成在容器50的底面部上的被卡合部（未图示）卡合而将该容器50定位在规定位置，两个重载传感器10z检测容器50是否载置在载置支撑部10a上（即容器50是否收纳在收纳部10S中）。 [0036] 而且，如图3以及图5所示，在载置支撑部10a上设有作为排放部的排放喷嘴10i和排出用透气体10o，该排放喷嘴10i向收纳在收纳部10S中的容器50的内部供给作为惰性气体的氮气，该排出用透气体10o使从容器50的内部排出的气体流通。 [0037] 如图4所示，排放喷嘴10i设在容器50载置在载置支撑部10a上的规定位置的状态下与装备在其容器50的底面部的供气口50i嵌合的部位。而且，排出用透气体10o设在容器50载置在载置支撑部10a上的规定位置的状态下与装备在其容器50的底面部的排气口50o嵌合的部位。 [0038] 即，若容器50收纳在收纳部10S中并载置在载置支撑部10a上，则该容器50被定位突起10b定位在规定位置，排放喷嘴10i以嵌合状态与供气口50i相连，并且排出用透气体10o以嵌合状态与排气口50o相连。 [0039] 并且通过在容器50载置支撑在载置支撑部10a上的状态下，从排放喷嘴10i排放压力比大气压高出设定值以上的氮气，氮气从容器50的供气口50i注入容器50的内部，容器内的气体从容器50的排气口50o向外部排出。 [0040] （氮气的供给结构）如图6以及图7所示，在物品保管设备上安装有向多个收纳部10S供给氮气的作为惰性气体供给路径的氮气供给路径60。接着对该氮气供给路径60进行说明。另外，图6是表示相对于每一个区域CH供给氮气的结构的附图，图7是表示相对于收纳部10S的每一个供给氮气的结构的附图。另外，在图7中仅表示了沿上下方向排列的两个区域CH。 [0041] 如图6以及图7所示，氮气供给路径60具备：主供给部分61，将由主供给部分61供给的氮气向多个区域CH的每一个分支供给的区域用供给部分62，以及将由区域用供给部分62供给到区域CH的氮气向该区域CH中的多个收纳部10S的每一个分支供给的收纳部用供给部分63。 [0042] 如图6所示，区域用供给部分62具备：与主供给部分61相连的上游区域用供给部62a，和从上游区域用供给部62a分支的多个下游区域用供给部62b。在上游区域用供给部 62a连接有数量与区域CH相同的6路径的下游区域用供给部62b。 [0043] 另外，上游区域用供给部62a为与主供给部分61相同的配管尺寸，下游区域用供给部62b为比上游区域用供给部62a细的配管尺寸。 [0044] 收纳部用供给部分63设有数量与区域CH相同的6路径，如图7所示，收纳部用供给部分63分别具备：与区域用供给部分62相连的上游收纳部用供给部63a，从上游收纳部用供给部63a分支的中游收纳部用供给部63b，以及从中游收纳部用供给部63b分支的下游收纳部用供给部63c。在上游收纳部用供给部63a连接有与区域CH中的收纳部10S的行数相同的4路径的中游收纳部用供给部63b，在中游收纳部用供给部63b连接有与区域CH中的收纳部10S的列数相同的3路径的下游收纳部用供给部63c。 [0045] 另外，上游收纳部用供给部63a以及中游收纳部用供给部63b为与下游区域用供给部62b相同的配管尺寸，下游收纳部用供给部63c为比上游收纳部用供给部63a以及中游收纳部用供给部63b细的配管尺寸。 [0046] 如图6所示，在主供给部分61与区域用供给部分62的连接部位设有主阀65，能够切换成氮气能够从主供给部分61向区域用供给部分62流通的打开状态或不能够流通的关闭状态。通过操作该主阀65，能够以保管架10的单位切换成供给氮气的状态或不供给氮气的状态。 [0047] 如图6以及图7所示，在区域用供给部分62与多个收纳部用供给部分63的连接部位的每一部位设有区域用阀66，作为压力调整装置的压力调整用阀67，以及作为压力检测装置的压力检测传感器68，区域用阀66能够切换成氮气能够从区域用供给部分62向收纳部用供给部分63流通的打开状态或不能够流通的关闭状态，压力调整用阀67通过调整从区域用供给部分62向收纳部用供给部分63流通的氮气的流通量而调整收纳部用供给部分63的氮气的压力，压力检测传感器68检测收纳部用供给部分63的氮气的压力。通过操作区域用阀66，能够以区域CH的单位切换成供给氮气的状态或不供给氮气的状态。 [0048] 如图7所示，在收纳部用供给部分63与排放喷嘴10i的连接部位设有收纳部用阀69和质量流控制器40，收纳部用阀69能够切换成氮气能够从收纳部用供给部分63向排放喷嘴10i流通的打开状态或不能够流通的关闭状态。通过操作收纳部用阀69，能够以收纳部10S的单位切换成供给氮气的状态或不供给氮气的状态。 [0049] 在质量流控制器40上，如图7中仅由附图标记所示，装备有流量调整用阀70和流量检测传感器71，流量调整用阀70调整从收纳部用供给部分63向排放喷嘴10i供给的氮气的流通量，流量检测传感器70检测从收纳部用供给部分63向排放喷嘴10i流通的氮气的流量。即，质量流控制器40（流量调整用阀70）相当于调整向排放喷嘴10i供给的氮气的流量的流通调整装置。 [0050] 如图7所示，在本实施方式中，将多个收纳部用供给部分63中的两个作为一组，以使成组的两个收纳部用供给部分63彼此连通的方式设有旁通部分72。另外，在图6中省略了旁通部分72。 [0051] 该旁通部分72在本实施方式中设成使属于在上下方向上邻接的两个区域CH的收纳部用供给部分63彼此连通，相对于6个区域CH合计设有3路径。 [0052] 而且，在旁通部分72上设有旁通用切换阀73， 能够切换成旁通部分72的氮气能够流通的打开状态或者旁通分72的氮气不能够流通的关闭状态。旁通用切换阀73基本上切换成关闭状态。因此，以下只要没有特别说明，则旁通用切换阀73的状态为关闭状态。 [0053] 另外，旁通部分72为与上游收纳部用供给部63a相同的配管尺寸。 [0054] （控制结构）如图8所示，控制装置H构成为对保管架10上的容器50的在库状态等进行管理，同时基于来自图外的上位控制器的入库指令以及出库指令控制塔式起重机20的动作。 [0055] 若加以说明，则当控制装置H从上位控制器接受入库指令时，基于在库状态执行选择未收纳容器50的空的收纳部10S中的一个作为收纳对象的收纳部10S，控制塔式起重机20的动作而将容器50从入出库输送机CV向收纳对象的收纳部10S运送的入库运送处理。而且，当控制装置H从上位控制器接受出库指令时，基于在库状态执行控制塔式起重机20的动作而将出库对象的容器50从收纳该容器50的收纳部10S向入出库输送机CV上运送的出库运送处理。 [0056] 控制装置H构成为向可编程逻辑控制器P发送表示氮气的供给量或供给氮气的收纳部10S的供给信息，控制区域用阀66，收纳部用阀69以及流量调整用阀70（质量流控制器40）的动作。接着，对控制该区域用阀66，收纳部用阀69以及流量调整用阀70的动作的控制结构进行说明。 [0057] 压力调整用阀67以及旁通用切换阀73在本实施方式中被手动操作。 [0058] 在控制装置H上通过通信线路能够通信地连接有可编程逻辑控制器P和IO扩展模块A。 [0059] 在可编程逻辑控制器P上连接有6区域量的质量流控制器40。在本实施方式中，由于12台质量流控制器40属于一个区域CH，所以合计有72台质量流控制器40与可编程逻辑控制器P相连。 [0060] IO扩展模块A是分别与多个区域CH相对应地设置的，设有与区域CH的数量相同的6台。在IO扩展模块A上连接有属于对应的区域CH的重载传感器10z，压力检测传感器68，以及多支管74。 [0061] 重载传感器10z如上所述相对于各收纳部10S设有两个，相对于一个区域CH设有24个。这24个重载传感器10z与IO扩展模块A相连。 [0062] 而且，压力检测传感器68以及多支管74是与多个区域CH的每一个相对应地设置的，一个压力检测传感器68和一个多支管74与IO扩展模块A相连。另外，多支管74构成为能够对属于对应的区域CH的一个区域用阀66和12个收纳部用阀69进行切换。 [0063] 并且可编程逻辑控制器P构成为基于来自控制装置H的供给信息而经由IO扩展模块A向多支管74发送指令信息。多支管74基于指令信息而动作，相对于氮气的供给对象的收纳部10S供给氮气。即，控制装置H经由IO扩展模块A执行控制多支管74的动作以及控制收纳部用阀69的切换的流量调整工序。 [0064] 而且，可编程逻辑控制器P构成为基于来自控制装置H的供给信息向质量流控制器40发送指令信息。质量流控制器40使流量调整用阀70动作，调整从排放喷嘴10i排放的氮气的流量而使其成为与指令信息相对应的流量。 [0065] 在因流量调整用阀70发生异常等流量检测传感器71检测的流量达不到与指令信息相对应的流量的状态持续了设定时间的情况下，质量流控制器40向可编程逻辑控制器P输出流通异常信号。该流通异常信号从可编程逻辑控制器P向控制装置H发送。 [0066] 另外，质量流控制器40相当于检测流量调整用阀70（质量流控制器40）的异常的流通异常检测装置，也相当于检测氮气相对于多个收纳部10S的每一个的供给状态的收纳部用供给状态检测装置S2，以及检测氮气相对于多个收纳部10S的供给状态的供给状态检测装置S。 [0067] IO扩展模块A构成为相对于来自可编程逻辑控制器P的指令信息输出应答信号。在从IO扩展模块A没有相对于指令信息的应答信号的情况下，可编程逻辑控制器P向控制装置H发送IO异常信号。 [0068] 另外，可编程逻辑控制器P相当于检测IO扩展模块A的异常的中转异常检测装置，也相当于检测氮气相对于多个区域CH的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置S1，以及检测氮气相对于多个收纳部10S的供给状态的供给状态检测装置S。 [0069] 多支管74构成为相对于来自可编程逻辑控制器P的指令信息输出应答信号。在从多支管74没有相对于指令信息的应答信号的情况下，可编程逻辑控制器P向控制装置H发送流量异常信号。 [0070] 另外，流量调整装置由多支管74和收纳部用阀69构成，IO扩展模块A相当于中转控制装置H与属于区域CH的多个流量调整装置的通信的中转装置。 [0071] 压力检测传感器68构成为向可编程逻辑控制器P输出检测信息。在压力检测传感器68检测出的压力相对于与指令信息相对应的压力偏离设定压力以上的情况下、即相对于被压力调整用阀67调整后的压力，由压力检测传感器68检测出异常的压力的情况下，可编程逻辑控制器P相对于控制装置H发送压力异常信号。 [0072] 另外，压力检测传感器68相当于检测氮气相对于多个区域CH的每一个的供给状态的区域用供给状态检测装置S1，以及检测氮气相对于多个收纳部10S的供给状态的供给状态检测装置S。 [0073] 控制装置H基于供给状态检测装置S的检测信息执行收纳部管理工序。在收纳部管理工序中，进行判定是否恰当地供给了氮气的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S的禁止收纳部，和除此之外的收纳部10S的许可收纳部，对多个收纳部进行管理。即，控制装置H区别出恰当地供给了氮气的许可收纳部和未恰当地供给氮气的禁止收纳部，对多个收纳部10S进行管理。并且在容器50收纳在因氮气的供给状态的变化而从许可收纳部切换成禁止收纳部的收纳部10S中的情况下，控制装置H执行退避用运送处理工序。在退避用运送处理工序中，执行将收纳在因氮气供给状态的变化而从许可收纳部切换成禁止收纳部的收纳部10S中的容器50向被作为许可收纳部进行管理的收纳部10S运送的退避用运送处理。 [0074] 对控制装置H进行的多个收纳部10S的管理加以说明。另外，图9表示氮气恰当地向属于区域CH的所有收纳部10S供给的区域CH，图10表示氮气未恰当地向属于区域CH的所有收纳部10S供给的区域CH，图11例示了氮气未恰当地向属于区域CH的一部分的收纳部10S供给的区域CH。在图10以及图11中，在发生了故障的仪器（图10中为压力调整用阀67）以及被作为禁止收纳部进行管理的收纳部10S上标注了剖面线。 [0075] 在相对于被压力调整用阀67调整后的压力，由压力检测传感器68检测出异常的压力，从可编程逻辑控制器P发送了压力异常信号的情况下，控制装置H将属于与该检测出异常的压力的区域用供给部分62相对应的区域CH的收纳部10S全部作为禁止收纳进行管理（参照图10）。即，作为供给状态判定，控制装置H进行基于压力检测传感器68的检测信息，相对于被压力调整用阀67调整后的压力，是否由压力检测传感器68检测出异常的压力的判定。控制装置H将从可编程逻辑控制器P发送了压力异常信号为条件，判定为由压力检测传感器68检测出异常的压力，将与该压力检测传感器68相对应的区域CH判定为未恰当地供给氮气的区域CH。控制装置H将属于判定为未恰当地供给氮气的该区域CH（以下称为“对象区域”）的收纳部10S全部判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S，作为禁止收纳部进行管理。 [0076] 在检测出IO扩展模块A的异常，从可编程逻辑控制器P发送了IO异常信号的情况下，控制装置H将属于与该IO扩展模块A相对应的区域的收纳部10S全部作为禁止收纳部进行管理。即，作为供给状态判定，控制装置H进行基于可编程逻辑控制器P的检测信息，是否由可编程逻辑控制器P检测出IO扩展模块A的异常的判定。控制装置H以从可编程逻辑控制器P发送了IO异常信号为条件，判定检测出IO扩展模块A异常，将与该IO扩展模块A相对应的区域CH判定为对象区域。控制装置H将属于该对象区域的收纳部10S全部判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S，作为禁止收纳部进行管理。 [0077] 控制装置H构成为，在检测出多支管74的异常，从可编程逻辑控制器P发送了流量异常信号的情况下，将属于与该多支管74相对应的区域CH的收纳部10S全部作为禁止收纳部进行管理。即，作为供给状态判定，控制装置H进行基于可编程逻辑控制器P的检测信息，是否由可编程逻辑控制器P检测出多支管74的异常的判定。控制装置H以从可编程逻辑控制器P发送了流量异常信号为条件，判定为检测出多支管74的异常，将与该多支管74相对应的区域CH判定为对象区域。控制装置H将属于该对象区域的收纳部10S全部判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S，作为禁止收纳部进行管理。 [0078] 控制装置H构成为，在检测出质量流控制器40的异常，从可编程逻辑控制器P发送了流通异常信号的情况下，将经由该质量流控制器40被供给氮气的收纳部10S作为禁止收纳部进行管理（参照图11）。即，作为供给状态判定，控制装置H进行基于质量流控制器40的检测信息，是否由质量流控制器40检测出流量调整用阀70的异常的判定。控制装置H以从可编程逻辑控制器P发送了流通异常信号为条件，判定为检测出流量调整用阀70（质量流控制器40）的异常。控制装置H将经由该质量流控制器10被供给氮气的收纳部10S判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S，作为禁止收纳部进行管理。 [0079] 这样，控制装置H构成为，将属于基于区域用供给状态检测装置S1的检测信息判定为未恰当地供给氮气的区域CH（对象区域）的收纳部10S全部作为禁止收纳部进行管理，同时将基于收纳部用供给状态检测装置S2的检测信息判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S作为禁止收纳部进行管理。并且控制装置H构成为将未被作为禁止收纳部进行管理的收纳部10S作为许可收纳部进行管理。 [0080] 接着，对由控制装置H执行的退避用运送处理进行说明。 [0081] 如图14所示，控制装置H构成为，当由供给状态检测装置S检测出惰性气体相对于多个收纳部10S的某一个的供给状态变化时（步骤＃01：“是”），基于该变化对收纳部10S的管理状态进行切换（步骤＃02：）。即，控制装置H构成为，当针对作为许可收纳部进行管理的收纳部10S发送了压力异常信号、流通异常信号、流量异常信号以及IO异常信号中的某一种异常信号时，将该收纳部10S的管理状态切换成禁止收纳部，当针对作为禁止收纳部进行管理的收纳部10S也发送了某一种异常信号时，将该收纳部10S的管理状态切换成许可收纳部。 [0082] 并且在基于在库状态，容器50收纳在因氮气的供给状态的变化而管理状态从许可收纳部切换成禁止收纳部的收纳部10S中的情况下，控制装置H执行退避用运送处理，将该容器50向被作为许可收纳部进行管理的收纳部10S运送（步骤＃03）。 [0083] 另外，针对被作为禁止收纳部进行管理的收纳部10S，在执行入库运送处理时不选择为运入对象的收纳部10S，不将容器50收纳在被作为禁止收纳部进行管理的收纳部10S中。 [0084] 具体地说，例如图9所示，在属于区域CH的收纳部10S全部被作为许可收纳部进行管理的情况下、因压力调整用阀67产生故障而由压力检测传感器68检测出异常的压力、向控制装置H发送了压力异常信号的情况如图10所示，成为属于该区域CH的收纳部10S全部被作为禁止收纳部进行管理的状态。在这种情况下，收纳在属于该区域CH的收纳部10S中的容器50全部向在其它的区域CH中被作为容许收纳部进行管理的收纳部10S运送。 [0085] 这样，由于通过执行退避用运送处理，将容器50向被作为许可收纳部进行管理的收纳部10S运送，惰性气体恰当地向该收纳部10S供给，所以能够向容器50内供给惰性气体。因此，即使在惰性气体不再能够恰当地相对于收纳部10S供给的情况下，也能够将收纳在该收纳部10S中的容器50内的基板W上产生不良情况的事态防患于未然。 [0086] 并且在本实施方式中，通过退避用运送处理，在将收纳在属于区域CH的收纳部10S中的容器50全部向其它的区域CH运送之际，存在由收纳部用供给状态检测装置S2检测出未恰当地供给氮气的收纳部10S、和由收纳部用供给状态检测装置S2检测出恰当地供给了氮气的收纳部10S的情况下，优先将收纳在前者的收纳部10S中的容器50向被作为许可收纳部进行管理的收纳部10S运送。在此，前者的收纳部10S是通过基于收纳部用供给状态检测装置S2的检测信息的供给状态判定而判定为未恰当地供给氮气的收纳部10S，后者的收纳部10S是除此之外的收纳部10S。 [0087] 控制装置H构成为控制监视器75的动作，使表示多个收纳部10S的管理状态或产生了异常的仪器的信息显示在监视器75上。 [0088] 如上所述，在本实施方式中，使成组的两个收纳部用供给部分63彼此连通地设有旁通部分72，在监视器75上显示退避用运送处理结束后旁通用切换阀73的操作顺序等引导显示。 [0089] 作业者能够根据监视器75的显示内容和氮气供给路径60的状态以及设在其中途的仪器的状态进行判断而手动操作旁通用切换阀73。 [0090] 如图12以及图13所示，设有作为切换状态检测装置的切换状态检测传感器90，检测旁通用切换阀73的切换状态。并且控制装置H构成为基于切换状态检测传感器90的检测信息，以设在与对象区域的收纳部用供给部分63连通的旁通部分72的旁通用切换阀73处于关闭状态为条件，将属于该对象区域的收纳部10S作为禁止收纳部进行管理。在此，对象区域如上所述是通过区域用供给状态检测装置S1的检测信息的供给状态判定而判定为未恰当地供给氮气的区域CH。即，控制装置H构成为基于区域用供给状态检测装置S1的检测信息和切换状态检测传感器90的检测信息将属于特定的区域CH的收纳部10S作为禁止收纳部进行管理。在此，特定的区域CH是未恰当地供给氮气的区域CH，并且是与该区域CH的收纳部用供给部分63连通的旁通部分72处于氮气不能够流通的状态的区域CH。 [0091] 即，例如图12所示，在由于与上侧的区域CH相对应的压力调整用阀67产生故障而向控制装置H发送了压力异常信号的情况下，属于该区域CH的收纳部10S全部被作为禁止收纳部进行管理。若在这种状态下将设在与上侧的区域CH相连的旁通部分72的旁通用切换阀73切换操作成打开状态，则能够如图13所示，从由旁通部分72连接的下侧的区域CH相对于上侧的区域CH供给氮气。 [0092] 通过旁通用切换阀73被操作而打开，上侧的区域CH不再是上述特定的区域CH，属于上侧的区域CH的收纳部10S的管理状态从禁止收纳部切换成许可收纳部。因此，能够在容器运入处理中选作收纳对象的收纳部10S而收纳容器50，并且在其它的收纳部10S的管理状态被切换成禁止收纳部的情况下，也能够接受收纳在该收纳部10S中的容器50。 [0093] 另外，控制装置H也可以构成为在基于区域用供给状态检测装置S1的检测信息和切换状态检测传感器90的检测信息而旁通用切换阀73被操作打开的情况下控制区域用阀66的动作，将属于未恰当地供给氮气的区域CH（对象区域）的区域用阀66切换成关闭状态。 [0094] 这样，在将旁通用切换阀73切换成关闭状态的状态下，能够以区域CH的单位分别调整向收纳部10S供给的氮气的流量。通过这样构成，并且在因氮气供给路径60的破损或仪器等的故障而发生了向收纳部10S供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向收纳部10S供给的事态的情况下，通过将旁通用切换阀73切换成打开状态，能够使惰性气体从恰当地供给了氮气的区域CH的收纳部用供给部分63向未恰当地供给氮气的区域CH的收纳部用供给部分63流动。 [0095] [其它实施方式]（1）在上述实施方式中，将旁通部分72设成使设在上下方向上邻接的区域CH的收纳部用供给部分63彼此连通，但也可以将旁通部分72设成使在左右方向上邻接的区域CH的收纳部用供给部分63彼此连通。而且，还可以将旁通部分72设成使在上下方向或左右方向上分离（其间夹有其它的区域CH）的区域CH的收纳部用供给部分63彼此连通。 [0096] （2）在上述实施方式中，将旁通部分72设成将多个收纳部用供给部分63中的两个作为一组，使成组的两个收纳部用供给部分63彼此连通，但也可以将旁通部分72设成将多个收纳部用供给部分63中的三个以上或者全部作为一组，使成组的三个以上或者全部的收纳部用供给部分63彼此连通。 [0097] （3）在上述实施方式中，作为检测旁通用切换阀73的切换状态的切换状态检测装置设有切换状态检测传感器90，控制装置H构成为基于切换状态检测装置的检测信息判别旁通部分72是能够流通惰性气体的状态还是不能够流通惰性气体的状态。作为这种切换状态检测装置，也可以取代传感器（例如开闭传感器等）而使用间接地检测旁通用切换阀73的开闭状态的装置。例如，作为切换状态检测装置设置在操作旁通用切换阀73时作业者进行输入操作的装置，该输入装置可以是基于作业者的输入操作检测旁通用切换阀73的开闭状态，其检测信息向控制装置H发送的结构。即，在这种结构中，控制装置H基于来自该输入装置的输入信息判别旁通部分72是能够流通惰性气体的状态还是不能够流通惰性气体的状态。 [0098] （4）在上述实施方式中，例示了基板W为半导体晶片，运送容器50为FOUP的结构，但并不仅限于这种结构，例如也可以是基板W为标线片，运送容器50为标线片容器。而且，惰性气体为氮气，但也可以使用氮气以外的氩气等相对于所收容的基板W的反应性低的各种气体作为惰性气体。 |
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