闪烁器面板以及放射线检测器 |
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| 申请号 | CN201380038103.0 | 申请日 | 2013-04-18 | 公开(公告)号 | CN104508756B | 公开(公告)日 | 2017-02-22 |
| 申请人 | 浜松光子学株式会社; | 发明人 | 上西秀典; 式田宗功; 楠山泰; | ||||
| 摘要 | 在本 发明 所涉及的闪烁器面板(2A)中，通过厚度为150μm以下的玻璃 基板 (11)成为 支撑 体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和 热膨胀 系数的问题。另外，在该闪烁器面板(2A)中以 覆盖 玻璃基板(11)的一面(11a)侧和侧面(11c)侧的形式形成有机 树脂 层部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板(11)的侧面(11c)的杂散光之外，通过不将有机树脂层(12)形成于玻璃基板(11)的另一面(11b)侧，从而能够确保光到达玻璃基板(11)的另一面(11b)侧的透过性。(12)。由此，玻璃基板被增强并且能够抑制边缘 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种闪烁器面板，其特征在于： |
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| 说明书全文 | 闪烁器面板以及放射线检测器技术领域[0001] 本发明涉及闪烁器面板以及放射线检测器。 背景技术[0002] 作为现有的闪烁器面板有例如专利文献1所记载的闪烁器面板。在现有的闪烁器面板的结构中，作为闪烁器层的支撑体是使用0.05mm的玻璃基板。另外，缓和来自框体外部的力的缓冲材料和刚性比闪烁器层更高的高刚性构件被配置于框体与闪烁器层之间。 [0003] 另外，在专利文献2所记载的闪烁器面板中，以聚酰亚胺类树脂膜或者聚对二甲苯膜进行覆膜的石墨基板被作为支撑体来进行使用。再有，在专利文献3所记载的闪烁器面板中，由无定形碳构成的基板的整个面被聚对二甲苯膜等中间膜覆盖。 [0004] 现有技术文献 [0005] 专利文献 [0006] 专利文献1：日本特开2006-58124号公报 [0007] 专利文献2：国际公开WO2009/028275号册子 [0008] 专利文献3：日本特开2007-279051号公报 发明内容[0009] 发明所要解决的技术问题 [0010] 例如关于适用于被称作为薄膜晶体管(TFT)面板的固体检测器的闪烁器面板，要求能够满足相对于固体检测器的形状追随性的可挠性。另外，如果在TFT面板的热膨胀系数与闪烁器面板的基板的热膨胀系数之间存在着差异的话，则闪烁器面板的基板上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕会由于工作时的热而相对于受光面发生移动，恐怕会产生校正的工夫变得繁杂的问题。 [0011] 为了解决像这样的可挠性的问题或热膨胀系数的问题，例如可以考虑将厚度为150μm以下的极薄玻璃作为闪烁器面板的基板来使用。然而，在使用极薄玻璃的情况下，玻璃的端部(边缘部分)相对于冲击而会有发生发脆、缺损或龟裂的问题。 [0012] 本发明为了解决上述技术问题而完成，其目的在于提供一种既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性的闪烁器面板以及使用了该闪烁器面板的放射线检测器。 [0013] 解决技术问题的手段 [0014] 为了解决上述技术问题，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、在形成有有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0015] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体，从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过不将有机树脂层形成于玻璃基板的另一面侧从而能够确保光到达玻璃基板的另一面侧的透过性。 [0016] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、在形成有有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0017] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过有机树脂层处于玻璃基板的另一面侧从而能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够抑制玻璃基板翘曲。 [0019] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0020] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层被形成于玻璃基板的另一面侧从而能够确保到达玻璃基板的另一面侧的光的透过性。 [0021] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜被的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0022] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层处于玻璃基板的另一面侧从而就能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够抑制玻璃基板翘曲。 [0023] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧以及另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在贴附有树脂薄膜的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖贴附有树脂薄膜的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0024] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧以及另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够进一步有效抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过树脂薄膜层被形成于玻璃基板的一面侧以及另一面侧从而能够抑制玻璃基板翘曲。 [0025] 另外，在上述闪烁器面板中，树脂薄膜可以选自PET、PEN、COP以及PI。 [0026] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0027] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层，并且以覆盖玻璃基板的另一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，通过在表面整体至少形成有机树脂层以及树脂薄膜层中的任意一方，从而能够抑制玻璃基板翘曲。 [0028] 另外，本发明所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成的有机树脂层、以覆盖玻璃基板的一面侧的形式贴附的树脂薄膜层、在形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有有机树脂层以及树脂薄膜层的玻璃基板和闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。 [0029] 在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成有机树脂层，并且以覆盖玻璃基板的一面侧的形式形成有树脂薄膜层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板侧面的杂散光之外，通过在表面整体至少形成有机树脂层以及树脂薄膜层中的任意一方，从而能够抑制玻璃基板翘曲。 [0030] 另外，在上述闪烁器面板中，有机树脂层可以选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂，树脂薄膜可以选自于PET、PEN、COP以及PI。 [0031] 另外，本发明所涉及的放射线检测器的特征在于，具备：以上所述的闪烁器面板、与形成有保护层的闪烁器层相对配置的受光元件。 [0032] 在该放射线检测器中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该放射线检测器中，通过有机树脂层或者树脂薄膜层，玻璃基板能够被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。 [0033] 发明效果 [0035] 图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0036] 图2是表示本发明的第2实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0037] 图3是表示本发明的第3实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0038] 图4是表示本发明的第4实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0039] 图5是表示本发明的第5实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0040] 图6是表示本发明的第6实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 [0041] 图7是表示本发明的第7实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。 具体实施方式[0042] 以下是参照附图并就本发明所涉及的闪烁器面板以及放射线检测器的优选的实施方式进行详细说明。 [0043] [第1实施方式] [0044] 图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，放射线检测器1A通过将受光元件3固定于闪烁器面板2A来构成。受光元件3例如就是将光电二极管(PD)和薄膜晶体管(TFT)排列于玻璃基板上来进行构成的TFT面板。 [0045] 受光元件3是以受光面3a相对于闪烁器面板2A中的后述的闪烁器层13进行相对的形式被贴附于闪烁器面板2A的一面侧。还有，作为受光元件3除了TFT面板之外还可以使用通过光学纤维面板(Fiber optic plate)(FOP：将数微米的光纤做成束的光学装置，例如可以列举浜松光子学株式会社制的J5734)来连接CCD等图像传感器的光学器件。 [0046] 闪烁器面板2A由以下构件构成：成为支撑体构成的玻璃基板11、保护玻璃基板11的有机树脂层12、将入射的放射线转换成可见光的闪烁器层13、保护闪烁器层13受湿气侵袭的耐湿性的保护层14。 [0047] 玻璃基板11是一种例如厚度为150μm以下优选为100μm以下的极薄的基板。通过玻璃基板11的厚度变得极薄从就能够获得充分的放射线透过性以及可挠性，并且能够确保在对受光元件3的受光面3a实行贴附的时候的对闪烁器面板2A的追随性。 [0048] 有机树脂层12是由例如硅类树脂、聚氨酯类树脂、环氧类树脂、氟类树脂等并以覆盖玻璃基板11的一面11a以及侧面11c的形式构成。作为有机树脂层12的形成方法例如可以列举由旋转涂布法等的涂布。有机树脂层12的厚度例如成为100μm左右。 [0049] 闪烁器层13例如是通过由蒸镀法来使掺杂了Tl的CsI柱状结晶生长并沉积，从而被形成于形成有有机树脂层12的玻璃基板11的一面11a侧。闪烁器层13的厚度例如成为250μm。闪烁器层13吸湿性强，如果就这样露出，恐怕会由于空气中的湿气而发生潮解。因此，对闪烁器层13来说耐湿性的保护层14就成为了必要。 [0050] 保护层14例如是以通过使用CVD法等气相沉积法来使聚对二甲苯等生长，从而覆盖形成有有机树脂层12的玻璃基板11和闪烁器层13的形式进行形成的。保护层14的厚度例如成为10μm左右。 [0051] 在具有以上所述那样的结构的放射线检测器1A中，从玻璃基板11侧入射的放射线在闪烁器层13被转换成光，并被受光元件3检测出。在闪烁器面板2A上，通过厚度为150μm以下的玻璃基板11成为支撑体，从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性。 [0052] 通过玻璃基板11具有充分的可挠性，从而就能够满足在将闪烁器面板2A贴附于受光元件3的受光面3a的时候的对形状的追随性。另外，在作为受光元件3而使用TFT面板并且受光面3a为玻璃制的面板的情况下，能够使受光面3a的热膨胀系数与闪烁器面板2A的玻璃基板11的热膨胀系数相一致。为此，就能够防止玻璃基板11上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层13的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕由于工作时的热而相对于受光面3a发生移动，并且还能够避免校正的工夫变得繁杂。 [0053] 另外，在该闪烁器面板2A中，有机树脂层12是以覆盖玻璃基板11的一面11a以及侧面11c的形式被形成的。由此，玻璃基板11被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。这还有助于提高制造时或使用时的操作性。再有，除了能够防止来自玻璃基板11的侧面11c的杂散光之外，通过不将有机树脂层12形成于玻璃基板11的另一面11b侧，从而能够确保光到达玻璃基板11的另一面11b侧的透过性，到达受光元件3侧的光的反射发生衰减，其结果能够维持分辨率。 [0054] 另外，通过以覆盖玻璃基板11的一面11a以及侧面11c的形式形成有机树脂层12，从而能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。 [0055] [第2实施方式] [0056] 图2是表示本发明的第2实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第2实施方式所涉及的放射线检测器1B在以下所述方面与第1实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2B上有机树脂层12是以不覆盖玻璃基板11的一面11a而覆盖另一面11b的形式进行形成的。 [0057] 即使是在像这样的结构中也与上述实施方式相同地，因为玻璃基板11被有机树脂层12补强，所以能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生，并且能够防止来自玻璃基板11的侧面11c的杂散光。 [0058] 另外，通过有机树脂层12处于玻璃基板11的另一面11b侧，从而就能够消除闪烁器层13的内部应力，并且抑制玻璃基板11的翘曲。玻璃基板11的翘曲的抑制效果在玻璃基板为10cm×10cm程度的小型基板的情况变得特别显著。 [0059] [第3实施方式] [0060] 图3是表示本发明的第3实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第3实施方式所涉及的放射线检测器1C在以下所述方面与第1实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2C上，并非是有机树脂层12而是树脂薄膜层16覆盖玻璃基板11的一面11a的形式被贴附，并且侧面11c没有被有机树脂层12覆盖。 [0061] 更加具体地来说树脂薄膜层16在玻璃基板11上通过使用层压等从而被贴附于形成有闪烁器层13的面(一面11a)侧。 [0062] 作为树脂薄膜层16例如可以使用PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、COP(环烯烃聚合物)、PI(聚酰亚胺)等。另外，树脂薄膜层16的厚度例如成为100μm的程度。另外，优选树脂薄膜层16的边缘部与玻璃基板11的边缘部相一致，或者成为突仅出一点的程度。 [0063] 即使是在像这样的结构中，因为玻璃基板11被树脂薄膜层16补强，所以与以上所述实施方式相同地，也能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，通过将树脂薄膜层16形成于玻璃基板11的另一面11b侧，从而与第1实施方式相同地，到达玻璃基板11的另一面11b侧的光的透过性被确保，到达受光元件3侧的光的反射发生衰减，其结果，能够维持分辨率。 [0064] 另外，通过以覆盖玻璃基板11的一面11a的形式形成树脂薄膜层16，从而能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。 [0065] [第4实施方式] [0066] 图4是表示本发明的第4实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第4实施方式所涉及的放射线检测器1D在以下所述方面与第3实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2D上，树脂薄膜层16是以不覆盖玻璃基板11的一面11a而覆盖另一面11b的形式被贴附。 [0067] 即使是在像这样的结构中，因为玻璃基板11被树脂薄膜层16补强，所以与以上所述实施方式相同地，也能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，通过树脂薄膜层16处于玻璃基板11的另一面11b侧，从而与第2实施方式相同能够消除闪烁器层13的内部应力并且能够抑制玻璃基板11的翘曲。 [0068] [第5实施方式] [0069] 图5是表示本发明的第5实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第5实施方式所涉及的放射线检测器1E在以下所述方面与第3和第4实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2E上树脂薄膜层16是以覆盖玻璃基板11的两面的形式被贴附。 [0070] 即使是在像这样的结构中，因为玻璃基板11的一面11a以及另一面11b的两面被树脂薄膜层16增强，所以也能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，通过将相同材质的树脂层形成于玻璃基板11的一面11a侧以及另一面11b侧的两面，从而能够抑制玻璃基板11的翘曲。 [0071] 另外，通过以覆盖玻璃基板11的一面11a以及另一面11b的形式形成树脂薄膜层16，从而能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。 [0072] [第6实施方式] [0073] 图6是表示本发明的第6实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第6实施方式所涉及的放射线检测器1F在以下所述方面与第1实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2F上追加了树脂薄膜层16。更加具体地来说在以有机树脂层12覆盖一面11a侧以及侧面11c侧的形式进行形成的玻璃基板11上，以进一步覆盖另一面11b侧的形式贴附树脂薄膜层16。 [0074] 在如此结构中因为玻璃基板11的整个面被有机树脂层12以及树脂薄膜层16补强，所以能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，与第1实施方式相同通过以覆盖玻璃基板11的侧面11c的形式形成有机树脂层12，从而就能够防止来自玻璃基板11的侧面11c的杂散光。另外，通过将树脂层分别形成于玻璃基板11的一面11a侧以及另一面11b侧，从而变得能够抑制玻璃基板11的翘曲。 [0075] 另外，通过以覆盖玻璃基板11的整个面的形式形成有机树脂层12以及树脂薄膜层16，从而能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。 [0076] [第7实施方式] [0077] 图7是表示本发明的第7实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，第7实施方式所涉及的放射线检测器1G在以下所述方面与第2实施方式有所不同，即，在闪烁器面板2G上追加了树脂薄膜层16。更加具体地来说在以有机树脂层12覆盖另一面11b侧以及侧面11c侧的形式进行形成的玻璃基板11上，进一步以覆盖一面11a侧的形式贴附树脂薄膜层16。 [0078] 在如此结构中因为玻璃基板11的整个面被有机树脂层12以及树脂薄膜层16增强，所以与第6实施方式相同能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，与第6实施方式相同地，通过以覆盖玻璃基板11的侧面11c的形式形成有机树脂层12，从而就能够防止来自玻璃基板11的侧面11c的杂散光，通过将树脂层分别形成于玻璃基板11的一面11a侧以及另一面11b侧，从而变得能够抑制玻璃基板11的翘曲。 [0079] 另外，通过以覆盖玻璃基板11的整个面的形式形成有机树脂层12以及树脂薄膜层16，从而能够以在形成闪烁器层13的时候成为适宜的表面能量以及表面粗糙度的形式调整玻璃基板11的表面状态。 [0080] 符号说明 [0081] 1A～1G. 放射线检测器 [0082] 2A～2G. 闪烁器面板 [0083] 3. 受光元件 [0084] 11. 玻璃基板 [0085] 11a. 一面 [0086] 11b. 另一面 [0087] 11c. 侧面 [0088] 12. 有机树脂层 [0089] 13. 闪烁器层 [0090] 14. 保护层 [0091] 16. 树脂薄膜层 |
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