1.用于运输自由基的装置(1；1’)，该装置包括：
等离子体发生器，包括其中可以形成等离子体的室(2)，该室包括用于接收输入气体的进口(5)，和用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者的一个或多个出口(6)；以及
中空的导向体(9)，用于朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在所述等离子体中形成的自由基；
其中所述室的进口连接到压力装置(40)，该压力装置用于向所述室中提供脉动的压力，以便在所述导向体中产生流。
2.如权利要求1所述的装置，其中所述压力装置是阀。
3.用于运输自由基的装置(1；1’)，该装置包括：
等离子体发生器，包括其中可以形成等离子体的室(2)，该室包括用于接收输入气体的进口(5)，和一个或多个出口(6)，该出口用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者；以及
中空的导向体(9)，其连接到所述室的一个或多个出口，用于朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在所述等离子体中形成的自由基；
其中所述室内的压力可以临时增大，以形成具有足够强度的流，以拖引自由基。
4.如权利要求3所述的装置，其中所述临时的压力增大被周期性执行。
5.如前述权利要求中任一项所述的装置，进一步包括压力调节器(8)，该压力调节器(8)具有进口和出口，所述进口具有第一横截面面积，所述出口具有第二横截面面积，所述第一横截面面积大于所述第二横截面面积，所述压力调节器的进口连接到所述一个或多个室的出口，所述压力调节器的出口连接到所述导向体。
6.如权利要求5所述的装置，其中所述压力调节器配备有用于接收另外的进口气体的另外的进口(35)。
7.用于运输自由基的装置(1；1’)，该装置包括：
等离子体发生器，包括其中可以形成等离子体的室(2)，该室包括用于接收输入气体的进口(5)，和一个或多个出口(6)，该出口用于排除在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者；
中空的导向体(9)，其连接到所述室的一个或多个出口，用于朝向要除去的污染沉积物所在的区域或空间引导在所述等离子体中形成的自由基；以及
压力调节器(8)，具有进口和出口，所述进口具有第一横截面面积，所述出口具有第二横截面面积，所述第一横截面面积大于所述第二横截面面积，所述压力调节器的进口连接到所述一个或多个室的出口，所述压力调节器的出口连接到所述导向体；
其中所述压力调节器配备有用于接收另外的进口气体的另外的进口(35)。
8.如权利要求5至7中任一项所述的装置，其中所述压力调节器采取漏斗(8)的形式。
9.如权利要求5至8中任一项所述的装置，其中所述压力调节器的出口配备有所述导向体可拆装地附接到其上的延伸部分。
10.如权利要求9所述的装置，进一步包括护罩(400)，用于放置在所述导向体与所述压力调节器的出口的延伸部分之间的连接上。
11.如前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述中空的导向体采取管子(9)的形式。
12.如权利要求11所述的装置，其中所述管子具有弯曲(11)或转弯(13)。
13.如前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述等离子体发生器进一步包括围绕在所述室外侧的射频线圈(4)，用于在所述室内生成等离子体。
14.如前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述室配备有限流器，诸如有孔壁。
15.用于连接到含有等离子体的室的压力调节器，所述压力调节器具有进口和出口，所述进口用于接收在室中产生的等离子体和自由基中的至少一者，且具有第一横截面面积，所述出口具有第二横截面面积，所述第一横截面面积大于所述第二横截面面积，所述压力调节器的进口连接到等离子体室，所述压力调节器的出口可拆装地附接到中空体。
16.如权利要求15所述的压力调节器，其中所述压力调节器采取漏斗(8)的形式。
17.如权利要求16或17所述的压力调节器，其中所述压力调节器配备有用于接收进口气体的另外的进口(35)。
18.光刻系统，包括：
子束发生器，用于生成多个子束；
多个子束操纵器元件，用于操纵所述子束；以及
如权利要求1至14中任一项所述的装置，其中所述装置用于在其中生成等离子体和自由基，并用于将所述自由基引导到所述子束操纵器元件中的一个或多个子束操纵元件的表面上。
19.如权利要求18所述的光刻系统，其中所述光刻系统是带电粒子光刻系统，并且其中每个子束操纵器元件包括由子束通过的多个孔径。
20.如权利要求18或19所述的光刻系统，其中所述光刻系统是包括多个独立式的且可拆装的模块的模块化光刻系统，每个模块包括所述子束操纵器元件中的一个或多个。
21.如权利要求20所述的光刻系统，进一步包括用于容纳所述模块中的一个或多个的对准框架(208)。
22.如权利要求21所述的光刻系统，其中所述装置的室被集成到所述对准框架中。
23.用于运输自由基的方法，该方法包括：
提供如权利要求1至14中任一项所述的装置，使所述中空的导向体的端部靠近所述表面；
将输入气体引入所述室中；
在所述室中形成等离子体和自由基；以及
朝向所述中空的导向体的端部产生自由基的流。
24.如权利要求23所述的方法，其中产生流包括借助于诸如阀的压力装置向所述室中提供脉动的压力。
25.用于运输自由基的方法，该方法包括：
提供如权利要求1至14中任一项所述的装置，使所述中空的导向体的端部靠近所述表面；
将输入气体引入所述室中；
在所述室中形成等离子体和自由基；以及
临时增大所述室内的压力，以形成具有足够强度的流，以拖引自由基。
26.如权利要求25所述的方法，其中临时地增大所述压力被周期性执行。
27.如权利要求26所述的方法，其中临时地增大所述压力是借助于诸如阀的压力装置执行的。
28.如权利要求23至27中任一项所述的方法，其中所述装置的等离子体发生器包括围绕所述室的外侧的射频线圈(4)，并且其中形成等离子体包括使所述射频线圈通电。
29.如权利要求25至27中任一项所述的方法，其中所述装置的等离子体发生器包括围绕所述室的外侧的射频线圈(4)，并且其中形成等离子体包括使所述射频线圈通电，并且其中在压力增大期间关断所述射频线圈。
30.如权利要求23至29中任一项所述的方法，其中所述装置进一步包括压力调节器，所述压力调节器具有进口和出口，所述进口具有第一横截面面积，所述出口具有第二横截面面积，所述第一横截面面积大于所述第二横截面面积，所述压力调节器的进口连接到所述一个或多个室的出口，所述压力调节器的出口连接到所述导向体，其中所述压力调节器配备有另外的进口，并且其中所述方法进一步包括通过所述另外的进口引入另外的进口气体。
31.如权利要求30所述的方法，其中所述另外的进口气体是氮气或氧气。
32.如权利要求23至31中任一项所述的方法，其中所述输入气体是氧气。