工作台装置、输送装置和半导体制造装置 |
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| 申请号 | CN201590000291.2 | 申请日 | 2015-01-09 | 公开(公告)号 | CN207624385U | 公开(公告)日 | 2018-07-17 |
| 申请人 | 日本精工株式会社; | 发明人 | 佐藤俊德; | ||||
| 摘要 | 本实用新型涉及 工作台 装置、输送装置和 半导体 制造装置，其中，工作台装置（100）包括：第一部件（1），其能够在规定面内移动；第二部件（2），其能够相对于第一部件进行相对移动；第一导向装置（4），其至少一部分配置于第一部件，引导第二部件以使第二部件通过第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，第一轴与规定面 正交 ；工作台，其具有由第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置（5），其至少一部分与工作台的多个第二部分分别连接，引导工作台以使工作台在与第一轴平行的方向上移动，上述多个第二部分以包围第一部分的方式配置。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种工作台装置，其特征在于，包括： |
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| 说明书全文 | 工作台装置、输送装置和半导体制造装置技术领域[0001] 本实用新型涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置。 背景技术[0003] 专利文献1：日本特开2004－195620号公报实用新型内容 [0004] 在工作台装置中，如果在需要使工作台沿目标轨道移动时，该工作台偏离目标轨道，则有可能导致设置有该工作台装置的输送装置的性能降低。例如虽然需要使工作台在铅垂方向上笔直地移动，但是如果该工作台不笔直地移动，则工作台的定位精度降低。由此，有可能无法将载置于该工作台上的物体配置于期望的位置。 [0005] 本实用新型的目的在于提供一种能够使工作台沿目标轨道移动的工作台装置。此外，本实用新型的目的在于提供一种能够抑制性能降低的输送装置。 [0006] 本实用新型的第一形态，提供一种工作台装置，其包括：第一部件，其能够在规定面内移动；第二部件，其能够相对于上述第一部件进行相对移动；第一导向装置，其至少一部分配置于上述第一部件，引导上述第二部件以使上述第二部件通过上述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动，上述第一轴与上述规定面正交；工作台，其具有由上述第二部件支承的第一部分；以及多个第二导向装置，其至少一部分与上述工作台的多个第二部分分别连接，引导上述工作台以使述工作台在与上述第一轴平行的方向上移动，上述多个第二部分以包围上述第一部分的方式配置。 [0007] 根据本实用新型的第一形态，由于以包围第二部件的方式设置多个第二导向装置，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。第二导向装置在与第一轴平行的方向上对工作台进行引导。因此，工作台能够在与第一轴平行的方向上笔直地移动。由此，能够抑制工作台的定位精度的降低。因此，能够将工作台及由该工作台支承的物体配置在目标位置。 [0008] 在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一部分在上述规定面内包含上述工作台的中央部，上述第二部分在上述规定面内配置于上述工作台的边缘部。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。 [0009] 在本实用新型的第一形态中，也可以是在上述规定面内上述工作台呈矩形，上述第二导向装置与上述工作台的四个角部分别连接。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。 [0010] 在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一部分包含上述工作台的重心，上述第一部分与规定于上述角部的多个上述第二部分中的每个第二部分之间的距离都相等。由此，能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。 [0011] 在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第一导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第一导轨；以及第一滑动件，其能够相对于上述第一导轨进行相对移动，上述第二导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第二导轨；以及第二滑动件，其能够相对于上述第二导轨进行相对移动。由此，第一导向装置和第二导向装置能够分别对工作台进行高精度的引导。 [0012] 在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第二滑动件在与上述第一轴平行的方向上配置有多个。由此，第二导向装置能够对工作台进行高精度的引导。 [0013] 在本实用新型的第一形态中，也可以是包括：致动器，其产生动力，以使上述第一部件在与上述规定面内的第二轴平行的方向上移动；以及第三导向装置，其在与上述第二轴平行的方向上对上述第一部件进行引导，上述第三导向装置具有直线运动式滚动轴承，该滚动轴承包括：第三导轨；以及第三滑动件，其能够相对于上述第三导轨进行相对移动。由此，第一导向装置、第二导向装置和第三导向装置分别由直线运动式滚动轴承构成。因此，能够分别在与第一轴平行的方向和与第二轴平行的方向上对工作台进行高精度的引导。 [0014] 在本实用新型的第一形态中，也可以是上述第三导轨配置于上述第一部件，且上述第三滑动件被固定。由此，即使第一部件移动，第三滑动件的位置也不变。因此，第一部件能够经由第二部件稳定地支承工作台。 [0015] 本实用新型的第二形态提供具有第一形态的工作台装置的输送装置。 [0016] 根据本实用新型的第二形态，能够抑制输送装置的性能降低。因此，能够将由工作台支承的物体输送到目标位置。 [0017] 本实用新型的第三形态提供具有第一形态的工作台装置的半导体制造装置。 [0019] 图1是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的主视图。 [0020] 图2是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的俯视图。 [0021] 图3是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。 [0022] 图4是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。 [0023] 图5是将第一实施方式涉及的工作台装置的一部分放大的图。 [0024] 图6是表示第一实施方式涉及的导向装置的一个示例的图。 [0025] 图7是用于说明第一实施方式涉及的工作台与导向装置的位置关系的示意图。 [0026] 图8是表示第二实施方式涉及的输送装置和半导体制造装置的一个示例的图。 [0027] 图9是表示第二实施方式涉及的输送装置和检查装置的一个示例的图。 [0028] 符号说明 [0029] 1 第一部件 [0030] 2 第二部件 [0031] 4 导向装置 [0032] 5 导向装置 [0033] 6 支承部件 [0034] 7 致动器 [0036] 9 导向装置 [0037] 10 工作台 [0038] 10P 部分 [0039] 10R 部分 [0040] 11 动力传递装置 [0041] 41 导轨 [0042] 42 滑动件 [0043] 51 导轨 [0044] 52 滑动件 [0045] 91 导轨 [0046] 92 滑动件 [0047] 100 工作台装置 [0048] 200 半导体制造装置 [0049] 300 输送装置 [0050] 400 检查装置 具体实施方式[0051] 以下，参照附图来说明本实用新型的实施方式。本实用新型不限于该实施方式。以下说明的各实施方式的要素能够适当组合。此外，也存在不使用一部分结构要素的情况。在以下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系对各部的位置关系进行说明。设规定面内的一个方向为X 轴方向，在规定面内与X轴方向正交的方向为Y轴方向，与X轴方向及Y 轴方向都正交的方向为Z轴方向。此外，分别将围绕X轴、Y轴和Z轴的旋转(倾斜)方向设为θX、θY和θZ方向。X轴与YZ平面正交。Y轴与 XZ平面正交。Z轴与XY平面正交。XY平面与规定面平行。在本实施方式中，设为XY平面与水平面平行。Z轴方向是铅垂方向。 [0052] 第一实施方式 [0053] 对第一实施方式进行说明。图1是表示本实施方式涉及的工作台装置100的一个示例的主视图。图2是从+Z侧观察图1的工作台装置100的俯视图。图3是从－X侧观察图1的工作台装置100的侧视图。图4是从+X 侧观察图1的工作台装置100的侧视图。图5是将图1的一部分放大的图。 [0054] 工作台装置100包括：工作台10，其能够支承物体S；第一部件1，其能够在XY平面内(水平面内)移动；第二部件2，其能够相对于第一部件 1相对移动；导向装置4，其至少一部分配置于第一部件1，通过第一部件1 的移动引导第二部件2以使第二部件2在Z轴方向上移动；以及多个导向装置5，其至少一部分与工作台10连接，引导工作台10以使工作台10在Z 轴方向上移动。 [0055] 工作台装置100具有基座部件8。在本实施方式中，基座部件8包括：第一基座部件81、以及支承第一基座部件81的第二基座部件82。基座部件 8例如配置于设置工作台装置 100的设施的地面等。设施例如包括工厂。 [0056] 工作台10具有朝向+Z方向的上表面10A、以及朝向上表面10A的相反方向(－Z方向)的下表面10B。物体S载置于工作台10的上表面10A。上表面10A能够支承物体S。 [0057] 工作台10包括部分10P以及多个部分10R。多个部分10R以包围部分 10P的方式配置。在XY平面内部分10P包含工作台10的中央部。工作台 10的部分10P包含工作台10在XY平面内的中心(截面重心)。在本实施方式中，工作台10的部分10P包含工作台10的重心G。部分10R在XY平面内配置于工作台10的边缘部。 [0058] 如图2所示，在本实施方式中，工作台10在XY平面内呈矩形(长方形或正方形)。工作台10具有四个角部。部分10R包含这些角部。在本实施方式中，部分10R以包围部分10P的方式设置在四个部位。 [0059] 工作台10由第二部件2支承。在本实施方式中，第二部件2支承工作台10的部分10P。即，第二部件2支承工作台10的中央部(工作台10的重心G)。在本实施方式中，第二部件 2经由连接部件22支承工作台10。第二部件2与连接部件22之间是固定的。连接部件22与工作台10的部分 10P之间是固定的。另外，第二部件2与连接部件22可以是一体的。 [0060] 导向装置5支承工作台10的部分10R。导向装置5设置有多个(四个) 以分别支承多个(四个)部分10R。导向装置5的至少一部分与工作台10 的部分10R连接。导向装置5与工作台10的四个角部分别连接。 [0061] 第一部件1、第二部件2和导向装置4配置于工作台10的下表面10B 侧(－Z侧)。第二部件2在工作台10的下表面10B侧支承工作台10。 [0062] 导向装置5与工作台10的上表面10A相比配置于下侧(－Z侧)。在本实施方式中，在XY平面内，导向装置5以其至少一部分向工作台10的外侧突出的方式配置。 [0063] 第一部件1和第二部件2是可动部件。第一部件1和第二部件2均在工作台10的下方的空间(－Z侧的空间)内移动。第一部件1和第二部件2 均在基座部件8的上方的空间(+Z侧的空间)内移动。 [0064] 第一部件1能够在XY平面内移动。在本实施方式中，第一部件1能够在X轴方向上移动。XZ平面内的第一部件1的外形呈大致三角形(楔形)。如图1和图5所示，第一部件1具有与XY平面平行的下表面1B、相对于 XY平面倾斜的斜面1G、以及与Z轴平行的侧面1S。斜面1G和侧面1S与下表面1B相比配置于上侧(+Z侧)。斜面1G朝向+X方向向上方(+Z 方向)倾斜。斜面1G的下端部与下表面1B的－X侧的端部连接。斜面1G 的上端部与侧面1S的上端部连接。侧面1S的下端部与下表面1B的+X侧的端部连接。 [0065] 第二部件2以能够移动的方式由第一部件1支承。第一部件1和第二部件2能够相对移动。第二部件2在第一部件1的上方(+Z侧)相对于第一部件1相对移动。 [0066] 第二部件2至少能够在Z轴方向上移动。在本实施方式中，通过第一部件1在X轴方向上的移动，第二部件2在Z轴方向上移动。XZ平面内的第二部件2的外形呈大致三角形(楔形)。如图1和图5所示，第二部件2具有与XY平面平行的上表面2A、相对于XY平面倾斜的斜面2G、以及与Z 轴平行的侧面2S。上表面2A与侧面2S及斜面2G相比配置在上侧(+Z 侧)。斜面 2G朝向+X方向向上方(+Z方向)倾斜。在本实施方式中，斜面1G与斜面2G平行。斜面2G的上端部与上表面2A的+X侧的端部连接。斜面2G的下端部与侧面2S的下端部连接。侧面2S的上端部与上表面2A 的－X侧的端部连接。 [0067] 导向装置4引导第二部件2以使第二部件2通过第一部件1在X轴方向上的移动而在Z轴方向上移动。导向装置4的至少一部分配置于第一部件 1。在本实施方式中，导向装置4包括直线运动导向机构。导向装置4包括：配置于第一部件1的导轨41、以及配置于第二部件2而能够在导轨41上移动的滑动件(滑块)42。导轨41配置于第一部件1的斜面1G上。滑动件 42配置于第二部件2的斜面2G上。 [0068] 导向装置4包括直线运动式轴承。在本实施方式中，导向装置4包括直线运动式滚动轴承。滚动轴承具有滚动体。滚动体包括球和滚子中的一方或双方。即，滚动轴承包括球轴承和滚子轴承中的一方或双方。在本实施方式中，导向装置4包括直线运动式球轴承(linear ball bearing)。 [0069] 图6是表示本实施方式涉及的导向装置4的一个示例的图。导向装置4 包括导轨41、以及能够相对于导轨41进行相对移动的滑动件(滑块、直线运动式轴承)42。导轨41具有朝向上方的表面41A、配置在表面41A的两侧的侧面41B、以及形成于各侧面41B的槽41C。滑动件42具有能够与导轨41的表面41A对置的第一对置面42A、能够与导轨41的侧面41B对置的第二对置面42B、以及其至少一部分配置在导轨41的槽41C中的滚动体 (球)42T。球42T与槽41C的内表面接触地滚动。由于球42T沿着槽41C 滚动，所以滑动件42能够在导轨41上平滑地移动。 [0070] 在本实施方式中，导轨41以相对于XY平面倾斜的方式配置于第一部件1(斜面1G)。导轨41以导轨41的表面41A相对于XY平面倾斜的方式配置。如图5所示，在本实施方式中，导轨41(表面41A)相对于XY平面的倾斜角度是θ。角度θ大于0度且小于90度。滑动件42以使第一对置面 42A与导轨41的表面41A平行的方式配置于第二部件2(斜面2G)。在本实施方式中，在第二部件2的斜面2G配置两个滑动件42。另外，可以在第二部件2配置一个滑动件42。 也可以在第二部件2配置三个以上的多个滑动件42。 [0071] 第二部件2由导向装置4引导，以便通过第一部件1在X轴方向上的移动，而在Z轴方向上移动。第一部件1向－X方向移动时，第二部件2向 +Z方向移动(上升)。第一部件1向+X方向移动时，第二部件2向－Z 方向移动(下降)。工作台10由第二部件2支承。因此，因第二部件2在Z 轴方向上的移动(升降)，工作台10也与第二部件2一起移动。即，第二部件2向+Z方向移动(上升)时，工作台10与第二部件2一起向+Z方向移动。第二部件2向－Z方向移动(下降)时，工作台10与第二部件2一起向－Z方向移动。 [0072] 另外，在导向装置4中，也可以在第一部件1的斜面1G配置滑动件42，并在第二部件2的斜面2G配置导轨41。 [0073] 第一部件1的外形呈大致三角形(楔形)。第二部件2的外形也呈大致三角形(楔形)。即，在本实施方式中，工作台装置100包括所谓楔型升降装置。也可以将第一部件1称为楔部件(第一楔部件)1。也可以将第二部件2称为楔部件(第二楔部件)2。 [0074] 工作台装置100包括：产生动力以使第一部件1在X轴方向上移动的致动器7、以及在X轴方向上对第一部件1进行引导的导向装置9。致动器 7能够使第一部件1在XY平面内移动。致动器7产生用于使第一部件1移动的动力。致动器7产生动力以使第一部件1在XY平面内移动。在本实施方式中，由于致动器7的动作，第一部件1在X轴方向上移动。致动器7 包括旋转马达，由供给的电力动作。如图1所示，致动器7和第一部件1经由动力传递装置11连接。致动器7的动力(驱动力)经由动力传递装置11 传递到第一部件1。 [0075] 在本实施方式中，动力传递装置11将致动器7的旋转运动转换成直线运动。在本实施方式中，致动器(旋转马达)7的轴在θX方向上旋转。动力传递装置11将θX方向的旋转运动转换成X轴方向的直线运动，并传递到第一部件1。由于经由动力传递装置11传递的致动器7的动力(驱动力)，第一部件1在X轴方向上移动。 [0076] 在本实施方式中，动力传递装置11包括滚珠丝杠11B。滚珠丝杠11B 包括：通过致动器7的动作而旋转的丝杠；与第一部件1连接的、配置于丝杠周围的螺母；以及配置于丝杠与螺母之间的滚珠。滚珠丝杠11B的丝杠以能够旋转的方式由支承轴承12支承。在本实施方式中，滚珠丝杠11B在θX 方向上旋转。通过滚珠丝杠11B在θX方向上旋转，螺母及与该螺母连接的第一部件1在X轴方向上移动(直线移动)。 [0077] 在致动器7使滚珠丝杠11B的丝杠向一个方向旋转时，通过该丝杠的旋转，第一部件1向+X方向移动。在致动器7使滚珠丝杠11B的丝杠向相反方向旋转时，通过该丝杠的旋转，第一部件1向－X方向移动。即，基于致动器7的旋转方向(滚珠丝杠11B的丝杠的旋转方向)，决定第一部件1在 X轴方向上的移动方向(+X方向和－X方向中的某一方向)。基于第一部件1的移动方向，决定第二部件2(工作台10)在Z轴方向上的移动方向(－ Z方向和+Z方向中的某一方向)。 [0078] 导向装置9引导第一部件1以使第一部件1通过致动器7的动作而在X 轴方向上移动。导向装置9的至少一部分配置于基座部件8。在本实施方式中，导向装置9包括直线运动导向机构。导向装置9包括：配置于第一部件 1的导轨91；以及配置于基座部件8的、能够相对于导轨91进行相对移动的滑动件(滑块)92。导轨91固定于第一部件1的下表面1B。滑动件92 固定于基座部件8的上表面。导轨91与第一部件1一起移动。滑动件92不移动。滑动件92的位置是固定的。 [0079] 导向装置9包括直线运动式滚动轴承。在本实施方式中，导向装置9包括直线运动式球轴承(linear ball bearing)。第一部件1由导向装置9引导成通过致动器7的动作而在X轴方向上移动。导向装置9是与参照图6进行了说明的导向装置4同样的结构。省略对导向装置9的结构的详细说明。 [0080] 另外，在导向装置9中，可以在基座部件8的上表面配置导轨91，并在第一部件1的下表面1B配置滑动件92。 [0081] 导向装置5包括直线运动导向机构。导向装置5包括导轨51、以及能够相对于导轨51进行相对移动的滑动件(滑块)52。导向装置5包括直线运动式滚动轴承。在本实施方式中，导向装置5包括直线运动式球轴承(linear ball bearing)。工作台10由导向装置5引导而在Z方向上移动。导向装置5 是与参照图6进行了说明的导向装置4同样的结构。省略对导向装置5的结构的详细说明。 [0082] 导轨51固定于工作台10的部分10R。在XY平面内，多个(四个)导轨51以包围第一部件1和第二部件2的方式配置。导轨51与工作台10一起在Z轴方向上移动。 [0083] 滑动件52固定于支承部件6。支承部件6固定于基座部件8。滑动件 52在Z轴方向上配置有多个。在本实施方式中，导向装置5具有沿Z轴方向配置的两个滑动件52。另外，导向装置5可以具有沿Z轴方向配置的三个以上的任意数量的滑动件52。 [0084] 图7是用于说明本实施方式涉及的工作台10与导向装置5的位置关系的一个示例的图。在本实施方式中，包含工作台10的重心G的部分10P由第二部件2支承。 [0085] 如图7所示，在XY平面内，工作台10是四边形。部分10R分别规定于工作台10的四个角部。这四个角部10R分别由导向装置5支承。 [0086] 工作台10具有第一角部10Ra、第二角部10Rb、第三角部10Rc和第四角部10Rd。将第一角部10Ra与第二角部10Rb沿Y轴方向配置。将第三角部10Rc与第四角部10Rd沿Y轴方向配置。第一角部10Ra和第二角部10Rb 配置在第三角部10Rc和第四角部10Rd的+X侧。将第一角部10Ra与第四角部10Rd沿X轴方向配置。将第二角部10Rb与第三角部10Rc沿X轴方向配置。第一角部10Ra和第四角部10Rd配置在第二角部10Rb和第三角部 10Rc的+Y侧。 [0087] 第一角部10Ra、第二角部10Rb、第三角部10Rc和第四角部10Rd分别与导向装置5的导轨51连接。 [0088] 在XY平面内，部分10P(重心G)与第一角部10Ra的距离是Ha。部分10P(重心G)与第二角部10Rb的距离是Hb。部分10P(重心G)与第三角部10Rc的距离是Hc。部分10P(重心G)与第四角部10Rd的距离是 Hd。在本实施方式中，距离Ha、距离Hb、距离Hc、距离Hd相等。即，在本实施方式中，四个导向装置5(导轨51)分别连接于在XY平面内与工作台10的重心G在放射方向上距离相等的部分(10Ra、10Rb、10Rc、10Rd)。 [0089] 此外，在本实施方式中，在X轴方向上，第一角部10Ra与第四角部10Rd 之间的距离Dxa等于第二角部10Rb与第三角部10Rc之间的距离Dxb。在 Y轴方向上，第一角部10Ra与第二角部10Rb之间的距离Dya等于第三角部10Rc与第四角部10Rd之间的距离Dyb。 [0090] 接着，对上述工作台装置100的动作的一个示例进行说明。通过致动器 7的动作，致动器7的动力经由动力传递装置11传递到第一部件1。通过致动器7的动作，第一部件1在X轴方向上移动。第一部件1由导向装置9 引导而在X轴方向上平滑地移动。通过导向装置9，第一部件1在X轴方向上沿目标轨道(期望的轨道)移动。在本实施方式中，通过导向装置9，第一部件1能够在X轴方向上笔直地移动。 [0091] 通过第一部件1在X轴方向上移动，第二部件2在Z轴方向上移动。第二部件2由导向装置4引导而在Z轴方向上平滑地移动。由于第二部件2 在Z轴方向上移动，由该第二部件2支承的工作台10也与第二部件2一起在Z轴方向上移动。 [0092] 在本实施方式中，在第二部件2的周围设置有多个导向装置5，该导向装置5包括：固定于工作台10的导轨51、以及使该导轨51能够移动地进行支承的滑动件52。该多个导向装置5抑制工作台10在X轴方向和Y轴方向上移动，而容许工作台10在Z轴方向上移动。由此，工作台10在Z轴方向上沿目标轨道(期望的轨道)移动。在本实施方式中，借助于导向装置 5，工作台10能够在Z轴方向上笔直地移动。 [0093] 致动器7动作，以使由工作台10支承的物体S配置于目标位置。在本实施方式中，设置有在Z轴方向上对工作台10进行引导的导向装置5。因此，能够使工作台10沿目标轨道(期望的轨道)移动。因此，工作台装置 100能够将物体S配置于目标位置。 [0094] 如以上说明的那样，根据本实施方式，由于以包围第二部件2的方式设置多个导向装置5，工作台10能够在目标轨道上高精度地移动。导向装置5 在Z轴方向上对工作台10进行引导。因此，工作台10能够在Z轴方向上笔直地移动。由于以包围第二部件2(工作台10)的方式配置四个导向装置 5，工作台装置100在XY方向的刚度提高。因此，工作台10的动作稳定。此外，由于设置有多个导向装置5，工作台装置100具有抗外力作用的牢固性。此外，即使在因第一部件1和第二部件2的表面精度等而使工作台10 产生移动误差的情况下，多个导向装置5也会吸收该误差。由此，能够抑制工作台10的定位精度的降低，从而将工作台10及由该工作台10支承的物体S配置于目标位置。 [0095] 此外，在本实施方式中，包含工作台10的中央部的部分10P由第二部件2支承，工作台10的四个角部(部分)10R由导向装置5支承。部分10P 包含工作台10的重心G。部分10P与四个角部10R(10Ra、10Rb、10Rc、 10Rd)之间的距离(Ha、Hb、Hc、Hd)都相等。由此，工作台10能够在目标轨道上高精度地移动。 [0096] 此外，在本实施方式中，导向装置5包括直线运动式滚动轴承。由此，工作台10由导向装置5进行导向，能够在Z轴方向上笔直地移动。 [0097] 此外，在本实施方式中，导向装置5具有在Z轴方向上配置的多个(两个)滑动件52。由此，工作台10(滑动件52)在Z轴方向上移动时，即使滑动件52发生振动，其振动也被平均化。因此，微振动也被抑制到最小限度。因此，导向装置5能够高精度地对工作台10进行引导。 [0098] 此外，在本实施方式中，将包括滚动体的滑动件92固定于基座部件8，导轨91与第一部件1一起移动。由此，即使工作台10(第二部件2)在Z 轴方向上移动，滑动件92的位置也不变化。因此，第一部件1能够经由第二部件2稳定地支承工作台10。特别是，在第一部件1的移动距离(行程) 较长时是有效的。 [0099] 此外，在本实施方式中，导向装置4、导向装置5和导向装置9均由具有滚动轴承的直线运动导向机构构成。导向装置4、导向装置5和导向装置 9均具有结构实质上相同的滚动轴承。因此，工作台10在上述导向装置4、导向装置5和导向装置9的引导下，能够分别在Z轴方向和X轴方向上沿目标轨道高精度地移动。 [0100] 另外，在本实施方式中，在第二部件2的周围配置四个导向装置5。可以在第二部件2的周围配置两个或三个导向装置5。也可以在第二部件2的周围配置五个以上的任意数量的导向装置5。 [0101] 另外，在本实施方式中，工作台10呈矩形。在XY平面内，工作台10 可以呈圆形，也可以呈六边形或八边形这样的多边形。 [0102] 另外，在本实施方式中，导向装置4包括具有滚动体的滚动轴承。导向装置4可以包括不具有滚动体的直线运动式滑动轴承。导向装置4也可以包括直线运动式气体轴承。另外，导向装置4也可以不具有滑动件。例如，也可以使第二部件2的斜面2G沿着设置于第一部件1的导轨移动，以使第二部件2在Z轴方向上移动。在这种情况下，设置于第一部件1的导轨具有作为对第二部件2进行引导的导向装置的功能。 [0103] 同样，导向装置9可以包括直线运动式滑动轴承。导向装置9也可以包括直线运动式气体轴承。另外，导向装置9也可以不具有滑动件。 [0104] 同样，导向装置5可以包括直线运动式滑动轴承。导向装置5也可以包括直线运动式气体轴承。另外，导向装置5也可以不具有滑动件。 [0105] 第二实施方式 [0106] 对第二实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或等同的结构部分标注相同的符号，简化或省略其说明。 [0107] 图8是表示具有本实施方式涉及的工作台装置100的半导体制造装置 200的一个示例的图。半导体制造装置200包括能够制造半导体器件的半导体器件制造装置。半导体制造装置200包括输送装置300，其能够输送用于制造半导体器件的物体S。输送装置300包括本实施方式涉及的工作台装置 100。另外，在图8中简略地示出工作台装置100。 [0109] 半导体制造装置200对配置于处理位置PJ1的物体S进行用于形成器件图案的处理。工作台装置100将由工作台10支承的物体S配置于处理位置 PJ1。输送装置300包括：能够向工作台装置100的工作台10输送(搬入) 物体S的搬入装置301、以及能够从工作台10输送(搬出)物体S的搬出装置302。通过搬入装置301向工作台10输送(搬入)处理前的物体S。通过工作台装置100将由工作台10支承的物体S输送到处理位置PJ1。通过搬出装置302从工作台10输送(搬出)处理后的物体S。 [0110] 工作台装置100使工作台10移动而将由工作台10支承的物体S移动到处理位置PJ1。如上述实施方式所说明的那样，工作台10由导向装置5进行引导。因此，工作台装置100能够使工作台10在目标轨道上移动，能够将由工作台10支承的物体S配置于处理位置(目标位置)PJ1。 [0111] 例如，在半导体制造装置200包括通过光学系统201对物体S的器件图案进行测算的测算装置的情况下，处理位置PJ1包含光学系统201的焦点位置(测算位置)。通过将物体S配置于处理位置PJ1，半导体制造装置200 能够通过光学系统201取得形成于物体S的器件图案的图像。在半导体制造装置200包括用于在物体S上形成膜的成膜装置的情况下，处理位置PJ1是能够供给用于形成膜的材料的位置。通过将物体S配置于处理位置PJ1，在物体S上形成用于形成器件图案的膜。 [0112] 在处理位置PJ1上对物体S进行了处理之后，通过搬出装置302从工作台10输送该处理后的物体S。由搬出装置302输送(搬出)的物体S被输送到进行后续工序的处理装置。 [0113] 在本实施方式中，工作台装置100能够将物体S配置于处理位置(目标位置)PJ1。因此，能够抑制制造出不合格的产品。即，通过工作台装置100 能够抑制半导体制造装置200中物体S的定位精度的降低。因此，能够抑制不合格的产品的产生。 [0114] 图9是表示具有本实施方式涉及的工作台装置100的检查装置400的一个示例的图。检查装置400对由半导体制造装置200制造出的物体(半导体器件)S2进行检查。检查装置400包括能够输送物体S2的输送装置300B。输送装置300B包括本实施方式涉及的工作台装置100。另外，在图9中简略地示出工作台装置100。 [0115] 检查装置400对配置于检查位置PJ2的物体S2进行检查。工作台装置 100将由工作台10支承的物体S2配置于检查位置PJ2。输送装置300B包括：能够向工作台装置100的工作台10输送(搬入)物体S2的搬入装置301B；以及能够从工作台10输送(搬出)物体S2的搬出装置302B。通过搬入装置301B向工作台10输送(搬入)检查前的物体S2。通过工作台装置100 将由工作台10支承的物体S2输送到检查位置PJ2。通过搬出装置302B从工作台10输送(搬出)检查后的物体S2。 [0116] 工作台装置100使工作台10移动而将由工作台10支承的物体S2移动到检查位置PJ2。如上述实施方式所说明的那样，工作台10由导向装置5 进行引导。因此，工作台装置100能够使工作台10在目标轨道上移动。工作台装置100能够将由工作台10支承的物体S2配置于检查位置(目标位置) PJ2。 [0117] 在本实施方式中，检查装置400使用检测光以光学方式对物体S2进行检查。检查装置400包括：能够射出检测光的照射装置401；以及能够接收从照射装置401射出并由物体S2反射的检测光的至少一部分的受光装置 402。在本实施方式中，检查位置PJ2包含检测光的照射位置。通过将物体 S2配置于检查位置PJ2，以光学方式检查物体S2的状态。 [0118] 在检查位置PJ2对物体S2进行了检查之后，由搬出装置302B从工作台 10输送该检查后的物体S2。 [0119] 在本实施方式中，工作台装置100能够将物体S2配置于检查位置(目标位置)PJ2，因此能够抑制检查出现问题。即，检查装置400能够良好地判断物体S2是否不合格。由此，能够抑制例如将不合格的物体S2输送到后续工序或者出厂。 [0120] 另外，在本实施方式中，工作台10在Z轴方向上移动。在本实施方式中，工作台10可以在相对于Z轴倾斜的方向上移动。也可以是，第一部件 1在相对于XY平面倾斜的方向上移动，第二部件2在相对于Z轴倾斜的方向上移动。即，XY平面可以与水平面平行，也可以相对于水平面倾斜。导向装置5能够在该倾斜的方向上对工作台10进行引导。通过导向装置5，工作台10能够在该倾斜的方向上笔直地移动。 |
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