移动工作台

申请号 CN201380020827.2 申请日 2013-02-15 公开(公告)号 CN104246899A 公开(公告)日 2014-12-24
申请人 株式会社骏河生产基地; 发明人 大石胜昭; 大泷元启;
摘要 本 发明 的目的在于提供一种具有由 树脂 成型的移动体的移动 工作台 。移动工作台(S)是具备基底(1)、以及与该基底(1)对置设置并移动的移动体(2)的移动工作台(S),移动体(2)由树脂成型,并具有从移动体(2)的面起以相同的高度突出的多个突出面(2a、2a、2a、2a),多个突出面(2a、2a、2a、2a)形成为平坦。
权利要求

1.一种移动工作台,其具备基底、以及与该基底对置设置并移动的移动体,该移动工作台的特征在于,
所述移动体由树脂成型,并具有从所述移动体的面起以相同的高度突出的多个突出面,
所述多个突出面形成为平坦。
2.根据权利要求1所述的移动工作台,其特征在于,
该移动工作台具有:
基底,其设有形成为直线状的第一基底侧槽部、以及与该第一基底侧槽部平行且形成为直线状的第二基底侧槽部,并且该基底由树脂成型;
移动体,其设有形成为直线状的第一移动体侧槽部、以及与该第一移动体侧槽部平行且形成为直线状的第二移动体侧槽部;
第一保持器,其位于所述第一基底侧槽部与所述第一移动体侧槽部之间,对与所述第一基底侧槽部和所述第一移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持;以及第二保持器,其位于所述第二基底侧槽部与所述第二移动体侧槽部之间,对与所述第二基底侧槽部和所述第二移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持,该移动工作台分别形成有能够弹性变形的第一薄壁部与能够弹性变形的第二薄壁部,该第一薄壁部形成在所述第一基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,该第二薄壁部形成在所述第二基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,
所述第一薄壁部与所述第一保持器的滚动体抵接,所述第二薄壁部与所述第二保持器的滚动体抵接。
3.根据权利要求1或2所述的移动工作台,其特征在于,
该移动工作台具备:
弹性构件,其一端与基底连接,另一端与移动体连接;
支承部,其具有内螺纹
移动构件,其具有与所述内螺纹螺合的外螺纹;以及
抵接体,其与所述外螺纹的前端抵接并且与基底连接,
所述支承部采用树脂与所述基底一体成型。
1.(删除)
2.(修改后)一种移动工作台,其具备基底、以及与该基底对置设置并移动的移动体,该移动工作台的特征在于,
所述移动体由树脂成型,并具有从所述移动体的面起以相同的高度突出的多个突出面,
所述多个突出面形成为平坦,
该移动工作台具有:
基底,其设有形成为直线状的第一基底侧槽部、以及与该第一基底侧槽部平行且形成为直线状的第二基底侧槽部,并且该基底由树脂成型;
移动体,其设有形成为直线状的第一移动体侧槽部、以及与该第一移动体侧槽部平行且形成为直线状的第二移动体侧槽部;
第一保持器,其位于所述第一基底侧槽部与所述第一移动体侧槽部之间,对与所述第一基底侧槽部和所述第一移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持;以及第二保持器,其位于所述第二基底侧槽部与所述第二移动体侧槽部之间,对与所述第二基底侧槽部和所述第二移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持,该移动工作台分别形成有能够弹性变形的第一薄壁部与能够弹性变形的第二薄壁部,该第一薄壁部形成在所述第一基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,该第二薄壁部形成在所述第二基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,
所述第一薄壁部与所述第一保持器的滚动体抵接,所述第二薄壁部与所述第二保持器的滚动体抵接。
3.(修改后)根据权利要求1所述的移动工作台,其特征在于,
该移动工作台具备:
弹性构件,其一端与基底连接,另一端与移动体连接;
支承部,其具有内螺纹;
移动构件,其具有与所述内螺纹螺合的外螺纹;以及
抵接体,其与所述外螺纹的前端抵接并且与基底连接,
所述支承部采用树脂与所述基底一体成型。

说明书全文

移动工作台

技术领域

[0001] 本发明涉及一种移动工作台,尤其是涉及一种具有由树脂成型的移动体的移动工作台。

背景技术

[0002] 以往,存在具有相对于基底进行移动的移动体的移动工作台(例如,参照专利文献1)。
[0003] 该移动工作台的移动体由金属形成,由于移动工作台较重,因此尝试利用树脂来实现轻量化。
[0004] 在先技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1:日本特许第4463039号公报

发明内容

[0007] 发明要解决的课题
[0008] 然而,在将移动工作台的移动体通过树脂来成型的情况下,尤其是,移动体的上表面成为与其他构件进行安装的安装面,因此需要安装精度,换句话说,对树脂成型的方式而言,产生了难以在树脂成型的移动体的上表面的整体范围内体现平坦面的精度这样的问题。
[0009] 本发明的目的在于,提供一种考虑到上述问题而设计的移动工作台。
[0010] 用于解决课题的手段
[0011] 技术方案1所述的移动工作台是具备基底、以及与该基底对置设置并移动的移动体的移动工作台,所述移动体由树脂成型,并具有从所述移动体的面起以相同的高度突出的多个突出面,所述多个突出面形成为平坦。
[0012] 另外,技术方案2所述的移动工作台在技术方案1所述的移动工作台的基础上,该移动工作台具有:基底,其设有形成为直线状的第一基底侧槽部、以及与该第一基底侧槽部平行且形成为直线状的第二基底侧槽部,并且该基底由树脂成型;移动体,其设有形成为直线状的第一移动体侧槽部、以及与该第一移动体侧槽部平行且形成为直线状的第二移动体侧槽部;第一保持器,其位于所述第一基底侧槽部与所述第一移动体侧槽部之间,对与所述第一基底侧槽部和所述第一移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持;以及第二保持器,其位于所述第二基底侧槽部与所述第二移动体侧槽部之间,对与所述第二基底侧槽部和所述第二移动体侧槽部接触并滚动的滚动体进行保持,该移动工作台分别形成有能够弹性变形的第一薄壁部与能够弹性变形的第二薄壁部,该第一薄壁部形成在所述第一基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,该第二薄壁部形成在所述第二基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,所述第一薄壁部与所述第一保持器的滚动体抵接,所述第二薄壁部与所述第二保持器的滚动体抵接。
[0013] 另外,技术方案3所述的移动工作台在技术方案1或2所述的移动工作台的基础上,该移动工作台具备:弹性构件,其一端与基底连接,另一端与移动体连接;支承部,其具有内螺纹;移动构件,其具有与所述内螺纹螺合的外螺纹;以及抵接体,其与所述外螺纹的前端抵接并且与基底连接,所述支承部采用树脂与所述基底一体成型。
[0014] 发明效果
[0015] 根据技术方案1所述的移动工作台,由于从移动体的面起以相同的高度突出的多个突出面形成为平坦,因此在移动体由树脂成型的情况下,与以移动体的面整体体现安装面的平面度的精度的结构相比,正因为体现尺寸精度的部分小,故容易体现精度,而且能够将移动工作台经由移动体的平坦的多个突出面高精度地安装于其他构件。
[0016] 以往,在基底侧槽部与滚动体的间隙调整中,通过改变滚动体的大小而进行预压调整,因此,必须准备多个滚动体的大小,但是,根据技术方案2所述的移动工作台,在上述的技术方案1所述的发明效果的基础上,该移动工作台分别形成有能够弹性变形的第一薄壁部与能够弹性变形的第二薄壁部,该第一薄壁部形成在第一基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,该第二薄壁部形成在第二基底侧槽部的大致半圆部、或者U字形状部、或者大致V字形状部、或者哥特式圆弧槽部的靠近所述移动体一侧的前端部,所述第一薄壁部与所述第一保持器的滚动体抵接,所述第二薄壁部与所述第二保持器的滚动体抵接,通过如上的方式,即使不准备多个滚动体的大小,也能够进行预压调整,并且由于基底以及移动体由树脂成型,因此也能够实现移动工作台的轻量化。
[0017] 另外,根据技术方案3所述的移动工作台,除上述的技术方案1或2所述的发明效果之外,由于支承部采用树脂与基底一体成型,因此能够实现构成移动工作台的部件件数的削减以及制造移动工作台的工时的削减化。附图说明
[0018] 图1是本发明的一实施例的移动工作台的概略的立体图。
[0019] 图2是图1的2-2线的概略的剖视图。
[0020] 图3是图1的3-3线的概略的剖视图。
[0021] 图4是图1的移动工作台的概略的主视图。
[0022] 图5是放大表示图4的一部分的概略的局部放大主视图。
[0023] 图6是放大表示图4的一部分的概略的局部放大主视图。
[0024] 图7是表示从图1的移动工作台去除移动体的状态的基底的概略的立体图。
[0025] 图8是分解表示图7的一部分的概略的局部分解立体图。
[0026] 图9是分解表示图8的移动体的一部分的概略的局部分解立体图。
[0027] 符号说明
[0028] S 移动工作台
[0029] 1 基底
[0030] 2 移动体
[0031] 2a 突出面

具体实施方式

[0032] 参照附图(图1至图9)对本发明的一实施例的移动工作台进行说明。
[0033] 图1以及图4所示的附图标记S是在激光加工、放电加工半导体制造等的精密装置中使用的移动工作台,移动工作台S大致具备基底1、与该基底1对置设置并移动的移动体2。移动体2借助移动机构3来移动。
[0034] 基底1由树脂成型,基底1设有形成为直线状的第一基底侧槽部11[支承滚动体41的第一基底侧槽部11例如剖面形状为大致半圆部。第一基底侧槽部11的剖面形状除大致半圆部之外,也可以是U字形状部或者大致V字形状部,但期望的是两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部。]以及与该第一基底侧槽部11平行且形成为直线状的第二基底侧槽部
12[支承滚动体51的第二基底侧槽部12例如剖面形状为大致半圆部。第二基底侧槽部12的剖面形状除大致半圆部之外,也可以是U字形状部或者大致V字形状部,但期望的是两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部。]。
[0035] 另外,在第一基底侧槽部11的大致半圆部(或者未图示的U字形状部、或者未图示的大致V字形状部、或者未图示的两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部)的靠近移动体2一侧的前端部形成有能够弹性变形的第一薄壁部11a(参照图4以及图5)。
[0036] 另外,在第二基底侧槽部12的大致半圆部(或者未图示的U字形状部、或者未图示的大致V字形状部、或者未图示的两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部)的靠近移动体2一侧的前端部,与第一薄壁部11a相同地形成有能够弹性变形的第二薄壁部12a(参照图
4以及图6)。
[0037] 移动体2与基底1相同地由树脂成型,如图1、图2以及图3所示,具有从移动体2的面起以相同的高度h突出的多个突出面2a、2a、2a、2a,多个突出面2a、2a、2a、2a的上表面形成为平坦。
[0038] 如此将多个突出面2a、2a、2a、2a的上表面形成为平坦是因为,在移动体2由树脂成型的情况下,与以移动体2的面整体体现安装面的平面度的精度的结构相比,正因为体现尺寸精度的部分小,故容易体现精度,而且能够将移动体2经由移动体2的平坦的多个突出面2a、2a、2a、2a高精度地安装于其他构件。
[0039] 另外,移动体2设有形成为直线状的第一移动体侧槽部21[支承滚动体41的第一移动体侧槽部21与第一基底侧槽部11相同地例如剖面形状为大致半圆部。第一移动体侧槽部21的剖面形状除大致半圆部之外,也可以是U字形状部或者大致V字形状部,但期望的是两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部。]以及与该第一移动体侧槽部21平行且形成为直线状的第二移动体侧槽部22[支承滚动体51的第二移动体侧槽部22与第二基底侧槽部12相同地例如剖面形状为大致半圆部。第二移动体侧槽部22的剖面形状除大致半圆部之外,也可以是U字形状部或者大致V字形状部,但期望的是两个圆弧组合而成的哥特式圆弧槽部。]。
[0040] 而且,如图4所示,以使第一基底侧槽部11与第一移动体侧槽部21对置以及第二基底侧槽部12与第二移动体侧槽部22对置的方式对基底1与移动体2进行配置。
[0041] 另外,在第一基底侧槽部11与第一移动体侧槽部21之间具有第一保持器4,第一保持器4对与第一基底侧槽部11和第一移动体侧槽部21接触并滚动的滚动体41(例如为图4所示那样的球体的滚珠等)进行保持。
[0042] 另外,在第二基底侧槽部12与第二移动体侧槽部22之间具有第二保持器5,第二保持器5对与第二基底侧槽部12和第二移动体侧槽部22接触并滚动的滚动体51(例如为图4所示那样的球体的滚珠等)进行保持。
[0043] 而且,使第一薄壁部11a与第一保持器4的滚动体41接触,使第二薄壁部12a与第二保持器5的滚动体51接触(参照图4、图5以及图6)。
[0044] 需要说明的是,以往,在基底侧槽部与滚动体的间隙调整中,通过改变滚动体的大小而进行预压调整,因此,必须准备多个滚动体的大小,但如上所述,通过使第一薄壁部11a与第一保持器4的滚动体41接触,使第二薄壁部12a与第二保持器5的滚动体51接触,即使不准备多个滚动体的大小,也能够进行预压调整。
[0045] 附图标记6是弹性构件,弹性构件6的一端与基底1连接,弹性构件6的另一端与移动体2连接。
[0046] 具体来说,弹性构件6的一端与基底1的立设部13连接,弹性构件6的另一端与移动体2的垂下部23连接。
[0047] 需要说明的是,在图7中,为了说明弹性构件6的连接状态,垂下部23被描绘为从基底1起立起设置,但垂下部23以从移动体2起垂下的方式安装于在移动体2上设置的槽部24(参照图4)。
[0048] 另外,图8所示的附图标记14是在内表面具有内螺纹14a的支承部,支承部14采用树脂与基底1一体成型。
[0049] 如此,由于支承部14采用树脂与基底1一体成型,因此能够实现构成移动工作台S的部件件数的削减与移动工作台S的制造工时的削减化。
[0050] 另外,图1以及图7所示的附图标记15是与基底1连接的抵接体,抵接体15在图1所示的组装好的移动工作台S中借助弹性构件6的弹与移动体30的前端、换句话说外螺纹30a的前端抵接。
[0051] 上述的移动机构3例如通过手动或者未图示的达,能够利用具有正反旋转的外螺纹30a的移动体30进行移动。移动构件30的外螺纹30a与设于支承部14的内壁的内螺纹14a螺合。
[0052] 因而,使移动体30的前端与抵接体15通过弹性构件6的弹力相抵接(参照图1),利用移动机构3使移动构件30克服弹性构件6进行移动,能够使移动体2移动到适当的位置
[0053] 另外,当利用移动机构3使移动构件30向反向移动时,能够追随移动构件30的移动并且利用弹性构件6的弹力使移动体2移动到适当的位置。
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