실시간광학상관시스템

申请号 KR1019930016995 申请日 1993-08-30 公开(公告)号 KR100372214B1 公开(公告)日 2003-08-06
申请人 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드; 发明人 제프리비.샘셀; 레이첼제이.바이언스톡;
摘要 An optical correlation unit (10) for correlating the images of an inspection object and a reference object. The unit uses two phase modulating reflective spatial light modulators (12a, 12b). A first spatial light modulator (12a) receives electronic input in the form of image data representing the inspection object. It modulates incoming light (15) with this input and reflects the modulated output to a first Fourier transform lens (13). This lens provides the optical input to second spatial light modulator (12b), whose electronic input is transform data presenting the complex conjugate of the Fourier transform of the reference image. The electronic input modulates the optical input, resulting in the Fourier product of the two images, which is then transformed to provide correlation data.
权利要求
  • 제1 물체를 나타내는 영상 데이타 및 제2 물체를 나타내는 퓨리어 변환 영상 데이타(Fourier transform image data)로부터 상관 영상(correlation image)을 제공하기 위한 광학 상관 장치에 있어서,
    반사 소자들의 배열과, 상기 각각의 반사 소자로의 전자 입력 - 상기 전자입력은 입력 영상의 한 점을 나타내고, 상기 반사 소자가 반사 소자 표면에 입사한 광의 위상을 변조하는 것을 제어함 -을 수신하기 위한 수단을 포함하고 있는 제1 위상 변조 공간 광 변조기(phase modulating spatial light modulator)와,
    상기 제1 공간 광 변조기의 상기 반사 소자의 표면을 조사하기 위한 동기 광원(a coherent light source)과,
    상기 제1 위상 변조 공간 광 변조기의 표면으로부터 반사된 광을 수신하기 위한 제1 퓨리어 변환 렌즈(Fourier transform lens)와,
    반사 소자들의 배열과, 상기 각각의 반사 소자로의 전자 입력 - 상기 전자 입력은 입력 영상의 점을 나타내며 상기 미러 소자가 미러 소자 표면에 입사한 광의 위상을 변조하는 것을 제어함 -을 수신하기 위한 수단을 포함하고 있고, 상기 제1 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 배치된 제2 위상 변조 공간 광 변조기와,
    상기 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 광을 제2 퓨리어 변환 렌즈로 지향시키는(directing) 수단과,
    상기 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 상기 광을 수신하기 위한 제2 퓨리어 변환 렌즈와,
    상기 제2 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 배치된 영상 포착 디바이스(image capture device)
    를 포함하는 광학 상관 장치.
  • 제2항에 있어서, 상기 제2 공간 광 변조기는 상기 제1 퓨리어 변환 렌즈의 영상 평면에 대하여 소정의 각도로 기울어져 있는 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 공간 광 변조기 중 적어도 하나는 변형성 마이크로-미러 장치(deformable micro-mirror delvice)인 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 광을 지향시키는 상기 수단은 빔 분할기(beam splitter)인 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 공간 광 변조기는 영상 평면으로의 인입 광의 경로 길이를 변경하기 위해 상기 반사 소자들의 위치를 조정함으로써 변조기의 표면에 입사된 광을 변조하는 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 영상 데이타는 실제 물체를 관찰함으로써 얻어지고,상기 물체들 중의 하나를 나타내는 영상 데이타를 얻기 위한 영상 포착 장치(an imaage capture unit)를 더 포함하는 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 변환 데이타는 실제 물체를 관찰함으로써 얻어지고, 상기 물체들 중의 하나를 나타내는 변환 영상 데이타를 얻기 위한 변환 영상 포착 장치를 더 포함하는 광학 상관 장치.
  • 제1항에 있어서, 상기 영상 데이타와 상기 변환 영상 데이타가 포착되는 동안 상기 제1 물체 및 상기 제2 물체를 정렬시키기 위한 이동가능 대(moveable stage)을 더 포함하며, 상기 이동가능 대는 상기 물체들 중의 하나를 다른 하나의 물체에 대하여 이동시키기 위한 플랫폼(platform)을 포함하고 있는 광학 상관 장치.
  • 제1 물체의 영상을 제2 물체의 영상과 상관시키기 위한 방법에 있어서,
    상기 제1 물체의 영상을 나타내는 영상 데이터의 집합을 얻는 단계와,
    상기 제2 물체의 변환 영상의 공액 복소수(complex conjugate)를 나타내는 변환 데이터의 집합을 얻는 단계와,
    상기 영상 데이타를 제1 반사 위상 변조 공간 광 변조기의 전자 입력 수단으로 전달하는 단계와,
    상기 변환 데이타를 제2 반사 위상 변조 공간 광 변조기의 전자 입력 수단으로 전달하는 단계와,
    상기 제1 공간 광 변조기의 표면을 입사 광(incident light)으로 조사하는 단계와,
    상기 영상 데이타의 위상 부호화된 형태(a phase encoded version)가 변조기의 표면으로부터 반사되도록 상기 입사광을 변조시키기 위해 상기 제1 공간 광 변조기를 사용하는 단계와,
    상기 제1 공간 광 변조기의 표면으로부터 반사된 광을 제1 퓨리어 변환 렌즈를 통해 상기 제1 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면 내의 상기 제2 공간 광 변조기로 지향시켜, 상기 제2 공간 광 변조기의 반사 표면 상에서 상기 영상 데이타를 변환하는 단계와,
    상기 영상 데이타의 변환을 변조하기 위해 상기 제2 공간 광 변조기를 사용하는 단계와,
    상기 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 광을 제2 퓨리어 변환 렌즈로 지향시키는 단계와,
    영상 포착 디바이스로 상기 제2 퓨리어 변환 렌즈로부터의 상관 영상을 포착하는 단계
    를 포함하는 영상 상관 방법.
  • 제9항에 있어서, 다른 출력 데이타로부터 상기 상관 영상을 분리시키기 위해 상기 제2 공간 광 변조기를 경사지게 하는 단계를 더 포함하는 영상 상관 방법.
  • 제9항에 있어서, 상관 영상 및 상기 물체 중의 하나의 영상을 나타내는 데이타를 프로세서로 전달하고, 합성 영상을 발생시키기 위해 상기 프로세서를 사용하는 단계를 더 포함하는 영상 상관 방법.
  • 제9항에 있어서, 상기 영상 데이타는 실제 물체로부터 얻어지고, 상기 물체 중 하나의 비디오 영상을 포착하는 단계와 상기 영상을 상기 영상 데이타로 변환시키는 단계를 더 포함하는 영상 상관 방법.
  • 제9항에 있어서, 상기 비디오 영상을 포착하는 단계와 상기 영상을 변환시키는 단계는 나머지 상관 단계들에 대해 실시간으로 수행되는 영상 상관 방법.
  • 제9항에 있어서, 상기 변환 데이타는 실제 물체로부터 얻어지고, 상기 물체중 하나의 퓨리어 영상을 포착하는 단계와, 상기 영상을 상기 변환 데이타로 변환시키는 단계를 더 포함하는 영상 상관 방법.
  • 제1 물체를 나타내는 영상 데이타 및 제2 물체를 나타내는 퓨리어 변환 영상 데이타로부터 상관 영상을 제공하기 위한 광학 상관 시스템(optical correlation system)에 있어서,
    상기 물체들 중 상기 제1 물체를 나타내는 영상 데이타를 얻기 위한 영상 포착 장치와,
    상기 물체들 중 상기 제2 물체를 나타내는 변환 영상 데이타를 얻기 위한 변환 영상 포착 장치와,
    반사 소자들의 배열과, 상기 소자의 위상 변조를 제어하는 각각의 반사 소자들의 전자 입력으로서 상기 영상 데이타를 수신하기 위한 수단을 포함하고 있는 제1 위상 변조 공간 광 변조기와,
    상기 제1 공간 광 변조기의 표면을 조사하기 위한 코히어런트 광원과,
    상기 제1 위상 변조 공간 광 변조기의 표면으로부터 반사된 광을 수신하기 위한 제1 퓨리어 변환 렌즈와,
    반사 소자들의 배열과, 상기 소자에 의한 위상 변조를 제어하기 위해 각각의 반사 소자로의 전자 입력으로 상기 변환 데이타를 수신하기 위한 수단을 포함하고, 상기 제1 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 배치된 제2 위상 변조 공간 광 변조기와,
    상기 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 광을 제2 퓨리어 변환 렌즈로 지향시키는 수단과,
    상기 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 상기 광을 수신하기 위한 제2 퓨리어 변환 렌즈와,
    상기 제2 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 배치된 영상 포착 디바이스
    를 포함하는 광학 상관 시스템.
  • 제15항에 있어서, 상기 영상 데이타와 상기 변환 영상 데이타가 포착되는 동안 상기 제1 물체 및 상기 제2 물체를 정렬시키기 위한 이동가능한 이동대를 더 포함하며, 상기 이동대는 물체들 중 하나를 다른 하나의 물체에 대하여 이동시키기 위한 플랫폼을 구비하고 있는 광학 상관 시스템.
  • 제15항에 있어서, 상기 공간 광 변조기 중 적어도 하나는 변형성 마이크로-미러 디바이스인 광학 상관 시스템.
  • 제15항에 있어서, 상기 공간 광 변조기는 영상 평면으로의 인입 광의 경로 길이를 변경하기 위해 상기 반사 소자의 위치를 조정함으로써 변조기의 표면에 입사된 광을 변조하는 광학 상관 시스템.
  • 说明书全文

    실시간 광학 상관 시스템

    본 발명은 광학 검사 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 검사(inspection)되는 물체를 기준 영상 또는 물체와 비교하는 검사 시스템에 관한 것이다.

    제품 내의 결함을 조사하는 한가지 방법은 그 제품을 바람직한 영상을 갖는 물체와 비교하거나 이미 만족스러운 것으로 알려진 다른 물체와 비교하는 것이다. 전형적인 예는 반도체 형성에 사용되는 웨이퍼의 검사이다. 처리 공정 중에 한장의 웨이퍼가 알려진 양호한 기준 웨이퍼인 기준체 또는 바람직한 영상과 비교된다.

    다양한 방법의 패턴 비교법이 개발되었다. 전형적으로, 기준 영상을 나타내는 신호가 검사되고 있는 제품을 나타내는 신호와 비교되는 상관 기술이 사용된다.광학 상관 시스템에 있어서 두 영상 사이의 정합을 나타내는 상관 피크는 출력되는 광 분포에 있어서 광의 밝은 점으로 표시된다.

    렌즈가 퓨리어(Fourier) 변환 영상을 생성하는데 이용되는 동기 광(coherent light)을 사용하는 광학적인 응용에 있어서, 상관 시스템은 흔히 퓨리어 광학에 기초한다. 이들 시스템은 변환 영상에 대해 수학적으로 함수 f(x,y) 및 변환 함수 F(u,v)로 표현되는 광학 동작을 행한다. 상관의 퓨리어 변환은 한 함수의 퓨리어 변환에 다른 함수의 퓨리어 변환의 공액 복소수을 곱한 것과 동일하다.

    두 영상에 대한 동기 광학 상관에 관한 종래의 접근 방법은 4f 시스템에 퓨리어 홀로그램을 사용하는 것이다. 단일 축을 따라 사용된 렌즈의 초점 길이의 4배인 경로를 광이 따라오기 때문에 4f 시스템이라 불린다. 기준 물체의 광 분포의 퓨리어 변환을 나타내는 포토그래픽 홀로그램 기록(photographic hologranm recording)이 행해진다. 홀로그램은 공간 여과기로서 작용하는데, 그의 투과율은 인입 광의 공액 복소수이다. 그러면, 제1 함수를 나타내는 광이 홀로그램을 통과하면, 홀로그램을 형성하는 원 영상을 나타내는 함수의 공액 복소수에 의해 변조된다. 이 출력광은 상관 출력을 제공하기 위해 제2 렌즈에 의해 역 퓨리어 변환된다.

    포토그래픽 홀로그램을 사용하는 홀로그래픽 방법의 한가지 문제점은 홀로그램이 특정 기준 물체에 대해 고정되어 있다는 것이다. 기준체가 변한다면, 다른 홀로그램을 만들어야 하고, 이는 시간 및 가격면에서 비용을 발생시킨다.

    공간 광 변조기(spatial light modulator)에 의한 상관은 포토그래픽 기록을 사용하는 홀로그래픽 방법에 대한 대안을 제공한다. 실제로, 공간 광 변조기는 실시간의 프로그램가능한 홀로그램으로서 작용한다. 예시적인 시스템에서, 입력 영상은 렌즈에 의해, LCD 형의 투과 공간 광 변조기가 기준 영상을 나타내고 있는 변환평면으로 퓨리어 변환된다. 공간 광 변조기를 통해 투과된 전체 광은 다시 퓨리어 변환되어 결과적으로 변환 곱을 형성한다. 다수의 공간 광 변조기의 이점이 프로그램이 가능하다는 점에 있긴 하지만, 이것을 사용할 때, 이 장치의 낮은 분해능(resolution) 및 느린 기입-사용-소거 속도 때문에 문제점이 발생한다. 다른 문제점은 영상 평면들 사이의 크기 및 정합 차에 대한 퓨리어 변환 동작의 민감성 때문에 발생된다.

    상술한 기술의 변형 중에 결합 변환 시스템 (joint transform system)이 있는데, 이 시스템에서는 2 영상이 2개의 서로 다른 입력 평면 상에 제공된다. 두 영상은 모두 동일 변환 렌즈에 의해 퓨리어 변환되어 그들의 퓨리어 생성물은 동일 평면 상에 들어간다. 그러나, 이들 시스템은 전형적으로, 홀로그래픽 여과기로서 포토그래픽 홀로그램 또는 공간 광 변조기를 포함하므로 상술했던 시스템과 관련된 문제점을 갖고 있다.

    그러므로, 프로그램가능하며 실시간으로 기준체의 변화에 응답할 수 있는 광학 상관 시스템이 필요하다.

    본 발명의 일면에 의한 광학 상관 유니트(optical correlaion unit)는 제1 물체를 나타내는 영상 데이타 및 제2 물체를 나타내는 퓨리어 변환 영상 데이타로부터 상관 영상을 제공한다. 이 상관 장치는 반사 위상 변조 소자(reflective phase modulating elements)를 갖고 있는 2개의 공간 광 변조기를 사용한다. 제1위상 변조 공간 광 변조기는 각 미러 소자(mirror elements)에 전자기적 입력을 수신하는데, 이것은 물체 중의 하나를 나타내는 영상 데이타이다. 이 데이타는 제1 공간 광 변조기의 표면을 조사하는 동기 광원으로부터 나온 광의 미러 소자에 의한 위상 변조를 제어한다. 제1 퓨리어 변형 렌즈는 제1 위상 변조 공간 광 변조기의 표면으로부터 반사된 광을 수신한다. 제2 위상 변조 공간 광 변조기는 제2 물체의 변환을 나타내는 전자적인 입력을 수신한다. 이 제2 공간 광 변조기는 제1 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 배치된다. 빔분할기는 제2 공간 광 변조기로부터 반사된 광을 제2 퓨리어 변환 렌즈로 유도한다. 제2 퓨리어 변환 렌즈의 퓨리어 영상 평면에 위치한 영상 포착 장치는 상관 영상을 포착한다.

    본 발명의 한 장점은 비교되는 물체 중의 하나 또는 둘 모두가 저장된 영상데이타에 의해 표현될 수 있다는 것이다. 이와 달리, 물체 중 어느 하나 또는 둘 모두의 영상 데이타는 물체를 관찰함으로써 원형 그대로 얻을 수도 있다.

    본 발명의 전형적인 응용에 있어서, 실제 물체는 그의 영상 데이타를 기준 물체의 영상 데이타와 비교함으로써 원형 그대로 검사된다. 이러한 유형의 응용에서, 영상 포착 장치가 검사되는 물체를 나타내는 영상 데이타를 얻기 위해 사용된다. 물체는 실시간으로 검사되며, 그의 표면은 한부분씩 주사되어 기준 물체 또는 기준 물체에 의해 나타내지는 저장 데이터와 비교된다.

    본 발명의 기술적인 이점은 상관 장치로의 입력이 검사되는 물체 또는 기준 물체에 광학적으로 접속되지 않는다는 점이다. 그러므로, 상관 장치는 입력 데이타와 통신하기 위한 데이타 링크만을 이용하여 물리적으로 멀리 떨어져 있을 수 있다.

    결과적으로, 입력 신호의 위상 인코딩은 상관 피크에 집중되어 있는 입력 신호 에너지에 대한 % 로서 높은 효율을 나타낸다. 또한, 검사되는 물체 영상의 비디오 데이타를 수신하기 위해 공간 광 변조기를 사용함으로써 다양한 모양을 갖고 있는 검사 물체로부터 데이타를 얻을 수 있고, 반사광의 양호한 상태를 고려하지 않아도 된다.

    이하, 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

    제1도는 본 발명에 따른 광학 상관 장치(10)의 블럭도이다. 시스템으로의 입력 중 하나가 영상 데이타, f inspec (x,y)로서, 이는 검사되는 물체를 나타낸다. 시스템으로의 다른 입력이 퓨리어 변환 데이타 F * ref (u,v)로서 기준 물체의 영상의 퓨리어 변환의 공액 복소수를 나타낸다. 영상 데이타 및 변환 데이타는 모두 저장 데이타 소스 또는 실시간 영상 데이타 포착(acquisition)으로부터 얻을 수 있다. "실시간"이란 용어는 비교되는 실제 물체가 관찰 되는대로 상관 프로세스가 실행될 수 있다는 의미이다. 또한, 한 세트의 입력 데이타는 저장 소스로부터 나오고 다른 세트의 입력 데이터는 실시간 데이타 포착으로부터 나올 수도 있다. 획득된 영상 데이타 및 변환 데이터를 위한 데이타 포착 장치를 제3및 4도와 관련하여 이하에 설명한다.

    제1도에 도시된 바를 실행하기 위해, 영상 데이타 및 변환 데이타는 그들을 정렬하는데 사용될 수 있는 공통의 기준점을 갖고 있다고 가정한다. 검사 물체 및기준 물체를 정렬하기 위한 이동 단은 제5도와 관련하여 이하에 설명된다.

    제1도의 시스템은 2개의 변형가능한 마이크로미러 공간 광 변조기(12a 및 12b)를 포함한다. 본 발명의 기본적인 전제는 이들 공간 광 변조기 (SLM)(12a 및 12b)가 상관을 목적으로 위상 변조된 영상을 제공하기 위해 사용된다는 것이다. 각각의 SLM(12)는 광학적인 입력을 변조하는데 사용되는 전기적인 입력을 갖고 있다.

    본 발명의 동작의 개요로서, 검사 물체의 영상 데이타, f inspec (x,y)는 제1 SLM(12a)에 입력되고, 제1 SLM은 검사 물체의 위상 변조된 영상을 출력한다. 이 영상은 영상 평면이 렌즈로부터 초점거리에 있을 때 영상의 퓨리어 변환을 제공하는 렌즈들의 공지된 특성을 이용하여, 제1 변환 렌즈(13)에 의해 퓨리어 변환된다. 상술한 바에 의한 변환 영상은 SLM(12b)의 표면을 조사한다. 동시에, SLM(12b)는 기준 영상으로부터의 퓨리어 변환 데이타 F * ref (u,v)에 따라 위상 변조된다. 결과적으로, SLM(12b)의 표면으로부터 2개의 퓨리어 변환된 영상들의 곱이 반사된다. 이 반사는 다시 변환 렌즈(14)에 의해 퓨리어 변환되어 결과적으로 상관 영상을 발생시킨다.

    제2도는 상관 장치(10)에 사용하기에 적당한, 위상 변조 SLM의 미러 소자(20)의 실시예를 도시한다. 각 미러 소자(20)에서, 미러(22)의 위치는 그 표면으로부터 영상 평면으로 역으로 편향되는 광의 위상을 결정한다.

    제2도의 것과 유사한 미러 소자(20)을 갖고 있는 SLM들은 일반적으로 변형가능한 마이크로미러 디바이스(Deformable Micro-mirror Device: DMD)로서 공지되어있다. 그러나, 다른 임의의 형태의 반사 위상 변조 SLM이 사용될 수도 있다. 일반적으로, 반사 위상 변조 SLM은 SLM으로부터 반사된 광이 위상 변조된 픽셀빔으로 인코트되도록 개별적인 픽셀 소자를 조정하는 방식으로 동작한다.

    제2도의 실시예는 "캔틸레버(cantilever)" 형 DMD에 사용되는 것의 특정 버전인 굽힘(flexure) 빔 미러 소자(20)이다. 임의의 평평한 반사 표면일 수 있는 강체(22)는 4개의 힌지(24)에 의해 지지된다. 서로 직각을 이루는 캔틸레버 힌지(24)의 장방형 정렬로 인하여 미러(22)는 상하 운동을 할 수 있다. 운동을 제공하기 위해, 전극(26)이 미러(22)로부터 일정 간격 떨어져, 각각의 미러(22) 아래에 배치된다. 각각의 전극(26)은 전기 입력 라인(27)을 통해 인가된 전압에 의해 개별적인 번지지정이 가능한다. 각각의 미러 소자(20)에 관련된 메모리 셀(29)는 요구되는 인가 전압상태를 저장하고 DMD의 모든 미러 소자 (20)이 동시적으로 조정될 수 있도록 한다.

    선정된 전압이 전극(26)에 인가되면, 미러(22)는 정전기적으로 전극으로 유인된다. 힌지(24)는 미러(22)가 인가된 전압의 양에 의해 결정될 수 있는 거리만큼 전극(26)의 위아래로 이동할 수 있도록 한다. 인가된 전압이 제거되면, 힌지(24)는 복원력을 제공하여 이러(22)를 위상 변화가 0인 상태로 리셋시킨다.

    제2도의 미러 소자(20)을 갖고 있는 SLM(12a 및 12b)는 집적 회로 기술을 사용하여 제조될 수 있다. 제조의 용이성을 위해, 미러(22)는 스페이서 층(28) 상에 조립된다. 스페이서 물질은 에칭되어 전극(26)과 미러(22) 사이에 갭을 갖고 있는 4개의 지지 기둥(28a)를 남긴다.

    제1도를 다시 참조하면, 레이저와 같은 동기 광원(15)로부터 SLM(12a)에 대해 조사가 행해진다. 이 광은 빔 분할기(16)을 경유하여 SLM(12a)로향한다. SLM(12a)는 전자적 입력 데이타 f inspec (x,y)를 수신하는데, 이는 광원(13)으로부터 그 표면상에 입사된 광을 변조시킨다. SLM(12a)로부터 반사된 입력 영상은 검사 물체의 위상이 인코드된 영상이다. 실제로, SLM(12a)는 진폭 변조된 검사 영상을 위상 변조된 영상으로 변환시킨다.

    SLM(12a)로부터의 위상이 인코드된 영상은 빔 분할기(beam splitter)(16)을 통과하고 제1 퓨리어 변환 렌즈(13)을 통과한다. 변환 영상은 SLM(12b)의 표면 상에 나타나는데, 이것은 렌즈(13)으로부터 1 초점 거리 즉, 퓨리어 영상 평면에 있다. 결과적으로, SLM(12b)로의 광학적인 입력은 검사 물체 F inspec (u,v)의 퓨리어 변환된 영상이다.

    SLM(12b)로의 전기적인 입력은 변환 데이타 F * ref (u,v)인데, 이것은 기준 물체의 변환 영상의 공액 복소수를 나타낸다. SLM(12b)로부터는 전기적인 입력으로 광학적인 입력을 변조시킨다. 수학적인 용어로, SLM(12b)의 반사된 출력은 2개의 변환 함수의 곱으로서 표현될 수 있다.

    물론, 상기 퓨리어 함수 중의 한 함수를 다른 함수의 공액 복소수로 곱하여도 동일한 결과가 되므로, 본 발명의 선택적인 실시예에서는 F * inspec (u,v)가F ref (u,v)에 곱해질 수 있다.

    SLM(12b)로부터 반사된 출력 광은 빔 분할기(17)을 경유하여 퓨리어 변환 렌즈(13)으로부터 인입되는 광의 경로를 벗어난다. 이러한 방향이 바뀐 광은 제2 퓨리어 변환 렌즈(14)에 의해 변환되는데, 이 렌즈는 그의 초점 위치에 영상 포착 디바이스(15)를 갖고 있다.

    영상 포착 디바이스(15)에 수신된 영상 데이타는 다음과 같이 수학적으로 표현될 수 있다.

    여기서, 외부의 변형 동작에 의해 결과적으로 상관 영상이 반전된다. 곱셈은 4항 값으로, 이중 한 항이 상관 데이타를 나타낸다. 다른 항은 합성 및 0차 데이타를 나타내는데, 이것은 공지된 광학 필터 기술을 사용하여 여과될 수 있다.

    양호한 실시예에서, SLM(12b)는 렌즈(13)으로부터 영상 평면에 대해 조금 기울어져 있다. 제1도에서, 이각은 x축에 수직인 y 축과 SLM(12b)의 단면 축 사이에 각 θ로 표시되어 있다. 결과적으로, 상관 항에 의해 표시되는 영상은 영상 포착 장치(15)에서 0차 및 합성 항에 의해 발생되는 영상으로부터 공간적으로 오프셋되어 있다. 그러므로, 바이어스 항이 변조 함수 내에 나타나는데, 이는 4개의 곱셈 항 중에 선형 위상 차를 발생시킨다.

    원한다면, 검사 영상 데이타 f inpec (x,y)는 SLM(12a) 뿐만이 아니라 프로세서 장치(18)과도 통신할 수 있다. 그러면, 영상 데이타는 디스플레이 또는 프린터 상에 영상을 제공하기 위해 프로세서 장치(18)에 의해 사용될 수 있는데, 결함의 정확한 위치를 나타내기 위해 그 위에 상관 데이타를 겹쳐 놓을 수도 있다.

    제3도는 검사 물체(31)을 나타내는 영상 데이타 f inspec (x,y)를 포착하기 위한 입력 데이타 포착 장치(3)을 나타낸다. 검사 물체(31)의 영상은 광원(32)로부터 나온 광으로 이를 조사함으로써 형성된다. 전형적으로, 반점 효과를 방지하기 위해 백색 또는 단색의 비동기 광을 생성하는 광원(13)을 사용할 수 있다. 빔 분할기(33)은 광원(32)로부터 나온 광의 일부를 검사 물체(31)로 반사시킨 다음 이 광은 빔 분할기를 통해 렌즈(34a 및 34b)로 반사시킨다. 렌즈(34a 및 34b)는 전자 영상 포착 디바이스(35) 상에 영상을 형성한다. 양호한 실시예애서, 영상 포착 디바이스(35)는 전합 결합 디바이스 (CCD) 이지만, 다수의 공지된 영상 포착 디바이스 중 어느 것도 사용될 수 있다. 영상 포착 디바이스(35)는 검사 물체(31)의 진폭 인코드 영상을 나타내는 전자 데이타 f inspec (x,y)를 발생시킨다. 제1도에 도시된 바와 같이, 이 데이타는 이 데이타를 위상 인코드 데이타로 변환시키는 SLM(12a)와 통신가능하게 연결되어 있다.

    제4도는 기준 물체(41)의 변환 영상을 나타내는 데이타 F ref (u,v)를 포착하기 위한 기준 데이타 포착 장치를 도시한다. 기준 물체(41)은 위상 변조된 영상을 제공할 수 있다고 가정된다. 사용될 수 있는 기준 물체(41)의 형태는 응용에 의해 결정된다. 예를 들면, 웨이퍼 검사에 응용될 때는 장방형의 집적 회로가 기준 물체(41)로서 사용될 수 있다. 위상 변조된 영상을 제공할 수 있다면, 실제의 3차원 물체가 사용될 수 도 있다.

    기준 물체(41)은 광원(42)로부터 나온 동기 광으로 조사된다. 동기 광은 기준 물제(41)이 전형적으로 동기 영상이기 때문에 사용된다. 그러나, 비동기 기준 물체(41)에 대해서는 비동기 광원이 사용될 수 있다. 양호한 실시예에서 동기 광원(42)는 (도되지 않은) 빔 익스펜더(beam expander)를 갖고 있는 레이저이다.

    빔 분할기(43)은 기준 물체(41)을 조사하기위해 광원 (42)로부터 나온 광을 통과시킨다. 빔 분할기는 또한 기준 물체(41)로부터 반사된 광이 퓨리어 변환 렌즈(44)로 향할 수 있도록 한다. 렌즈(44)는 영상 포착 디바이스(45) 상에 기준 영상의 퓨리어 변환을 생성한다.

    미러(46)은 광원으로부터 온 광을 수신하여 영상 포착 디바이스(45)로 반사시킨다. 이 반사된 광은 기준 영상 데이타로부터 축이 이격되어 있다. 이것을 기준 빔을 제공하여 위상 정보가 퓨리어 영상으로부터 추론될 수 있게 한다. 영상 포착장치(45)에 의해 검출된 영상 데이타는 F ref (u,v)로 표현될 수 있다. 영상 포착 디바이스(35)와 마찬가지로, 영상 포착 디바이스(45)는 양호하게는 전하결합장치(CCD: Charge Coupled Device)이다.

    영상 포착 디바이스로부터의 퓨리어 변환 영상은 처리되어 그의 공액 복소수를 제공한다. 이 처리는 소정의 전용 또는 일반적인 프로세싱 디바이스(46)에 의해 실행되는데, 이것은 프로세서(18)일 수 있다. 변환 영상 F * ref (u,v)를 나타내는 전자신호는 SLM(2a)와 통신된다.

    제5도는 검사 물체(31)과 기준 물체(41)을 정렬하고 큰 물체가 한 부분씩 검사될 수 있도록 하기 위한 이동 단(50)을 도시한다. 제1도에서, 검사 물체 영상 및 기준 물체 변환 영상은 변환 영상의 초점이 렌즈(14)에 정합되도록 정렬된 것으로 가정된다.

    이동 단(50)은 최소한 한 방향으로 이동 가능하여, 검사 및 기준 물체(31및 41)의 깊이 또는 폭이 그들의 영상 포착 장치(30 및 40)의 시계 내에서 주사될 수 있게 한다. 이동 단(50)은 영상 포착 유니트(40)의 중심에 기준 물체(41)의 중심을 조준하는데 사용된다.

    플랫폼(52 및 53)은 검사 물체 및 기준 물체(31 및 41)을 각각 유지시킨다. 플랫폼 중의 하나인 제1도의 플랫폼(53)는 정합을 위해 이동 단(50)에 대해 이동가능하다.

    동작시, 프로세서(55)는 영상 포착 디바이스(35 및 45)의 비디오 출력을 수신한다. 이 데이타는 물체(31 및 41)로부터의 영상이 영상 포착 장치(30 및 40) 상에 정밀 조준되도록 플랫폼(51)의 이동을 제어하는데 사용된다. 이러한 정렬이 달성되면, 이동 단(50)은 물체(31)의 임의의 선택된 부분을 검사하기 위해 y-3 표면 내에서 이동될 수 있다.

    다른 실시예들

    본 발명이 특정 실시예에 대해 설명되었으나, 이것은 본 발명을 제한하고자 하는 의도가 아니다. 기술된 실시예의 다양한 변형 및 선택적인 실시예들도 본 분야의 기술에 숙력된 사람들에게는 명백한 것으로, 첨부된 특허 청구 범위는 본 발명의 범위에 해당하는 상기의 모든 변형들을 포함한다.

    제1도는 본 발명에 따른 광학 상관 장치를 도시한 도면.

    제2도는 제1도의 상관 장치에 사용되는 것으로서, 변형가능한 마이크로-미러 디바이스(micro-mirror device)를 도시한 도면.

    제3도는 검사되는 물체를 나타내는 데이타를 제공하기 위한 영상 포착 장치(image capture unit)를 도시한 도면.

    제4도는 기준 물체를 나타내는 변환 데이타를 제공하기 위한 영상 포착 장치를 도시한 도면.

    제5도는 검사되는 물체와 기준 물체를 정렬하기 위한 이동 단을 도시한 도면.

    도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

    10 : 광학 상관 장치

    12, 12a, 12b : 공간 광 변포기(SLM)

    13, 14 : 퓨리어 변환 렌즈

    15, 35, 45 : 영상 포착 디바이스

    16, 17, 33 : 빔 분할기

    18, 46 : 프로세서 장치

    20 : 미러 소자

    22 : 미러

    24 : 힌지

    26 : 전극

    27 : 입력 라인

    31 : 검사 물체

    32, 42 : 광원

    41 : 기술 물체

    50 : 이동 단

    QQ群二维码
    意见反馈