[0001] 本发明属于光学逻辑计算领域，涉及一种基于微环谐振器的可逆光学逻辑器件，具体为一种适用于光通信和光计算领域的基于微环谐振器的可逆异或光学逻辑器件。

[0002] 随着半导体技术的继续发展，芯片或集成电路的集成度越来越高，集成元件的尺寸进一步缩小，传统电学器件的漏电与散热问题无法很好的解决。越来越多的迹象表明，光信息处理与光计算作为代替传统的电信息处理的一种方案具有非常光明的前景。光信号传输的并行性使得光学系统有比电学系统更宽的信息通道；由光纤与各种光学元件构成集成光路，可以大大提高对数据运算、传输和存储的能力，而光学逻辑器件是光计算网络中必不可少的元件，此外光子器件的耗能极低，因此光子器件已经引起了越来越多科研人员的注意。

[0003] 计算机运算都是二进制数计算，而现有的传统的计算方式是基于不可逆逻辑器件实现的，其主要特征表现为是二位二进制数输入后计算结果为一位二进制数输出，输入信息经过运算后就会丢失一位信息，根据Landauer原理，不可逆计算每一次运算都会引起比特位的丢失，并且每丢失一比特信息就会有kTln2热能散发。而可逆逻辑器件主要特征表现为是两位二进制数输入后计算结果为两位二进制数输出，并且输入与输出是一一对应的关系，故输入信息经过运算后不会丢失信息，由于没有比特位的丢失，在结合了光学计算低功耗的特点之后，可以大大降低了计算机工作时的能耗，并解决传统计算机发热量巨大的瓶颈。

[0004] 本发明的目的是提供一种基于微环谐振器的可逆光学逻辑器件，不需要使用强激光作为泵浦光，易于操作。

[0005] 本发明具体通过以下技术方案实现：

[0006] 一种基于微环谐振器的可逆光学逻辑器件，由用绝缘体上的半导体材料制成的两个微环谐振器MRR和一个Y分支耦合器构成。

[0007] 所述的两个微环谐振器MRR为第一微环谐振器和第二微环谐振器，第一微环谐振器包括第一硅基纳米线微环、第一输入光波导、第一直通光波导和第一下载光波导，第一微环谐振器带有硅基电光调制器或硅基热光调制器；第二微环谐振器包括第二硅基纳米线微环、第二输入光波导、第二直通光波导、第三输入光波导和第二输出光波导，第二输入光波导与Y分支直通光波导相连，第三输入光波导与第一下载光波导相连；第二微环谐振器带有硅基电光调制器或硅基热光调制器。

[0008] 所述的Y分支耦合器为第一Y分支耦合器包括第四输入光波导、第一输出光波导和Y分支直通光波导；第四输入光波导位于Y分支耦合器的主直波导上，且与第二直通光波导相连，第一输出光波导和Y分支直通光波导分别位于第一Y分支耦合器的两个分支直波导上。

[0009] 所述的第一输入光波导、第一直通光波导和第四输入光波导依次位于同一根水平设置的直的第一波导上，该第一波导的一端与Y分支耦合器的主直波导相连接；第一下载光波导和第三输入光波导位于水平设置的U形第二波导上，第一下载光波导位于该第一硅基纳米线微环下方，该分段的端部为第一光卸载端口T1；第二波导中位于第二硅基纳米线微环下方的分段上依次设有第三输入光波导和第二输出光波导；U形的第三波导一端与Y分支直通光波导相连接，靠近第三波导第二硅基纳米线微环上方的分段上依次设有第二输入光波导和第二输出光波导，该分段的端部为第二光卸载端口。

[0010] 本发明可逆光学逻辑器具有如下优点：

[0011] 1)利用了光的自然特性实现的可逆光学逻辑器件代替传统的电学逻辑器件，没有传统电学器件的电磁效应以及寄生电阻电容的影响，从而可以实现高速大容量的信息处理。

[0012] 2)利用了光的自然特性实现的可逆光学逻辑器件代替传统的逻辑器件，运算输出结果与输入结果一一对应，没有传统逻辑器件比特位丢失引起的热能散发，从而可以大大降低计算机的能耗。

[0013] 3)采用的是绝缘衬底上的硅材料SOI，是指在SiO2绝缘层上生长一层具有一定厚度的单晶硅薄膜，利用SOI材料制成的硅波导，其芯层是Si(折射率为3.45)，包层是SiO2(折射率为1.45)，这样包层和芯层的折射率差很大，所以该波导对光场的限制能力很强使得其弯曲半径可以很小，利于大规模集成。

[0014] 4)仅由二个微环谐振器和一个Y分支耦合器、两根直波导、两根弯曲波导构成，其中没有交叉，故整体器件损耗较小。

[0015] 5)采用现有的CMOS工艺制成，使得器件体积小，功耗低，扩展性好，便于与其他元件整合。附图说明

[0016] 图1是本发明光学可逆逻辑器件的结构示意图；

[0017] 图2是本发明光学可逆逻辑器件中第一微环谐振器的结构示意图；

[0018] 图3是本发明光学可逆逻辑器件中第二微环谐振器的结构示意图；

[0019] 图4是本发明光学可逆逻辑器件中Y分支耦合器的结构示意图；

[0020] 图5是本发明光学可逆逻辑器件中带硅基热光调制器的微环谐振器MRR的电极的结构示意图；

[0021] 图6是本发明光学可逆逻辑器件中带硅基电光调制器的微环谐振器MRR的电极的结构示意图；

[0022] 附图中标示说明：1、第一微环谐振器，2、第二微环谐振器，3、Y分支耦合器，4、Si衬底，5、SiO2层，6、发热电极，7、硅基光波导，10、第一硅基纳米线微环，11、第一输入光波导，12、第一直通光波导，13、第一下载光波导，20、第二硅基纳米线微环，21、第二输入光波导，22、第二直通光波导，23、第三输入光波导，24、第二输出光波导，31、第四输入光波导，32、第一输出光波导，33、Y分支直通光波导。

[0023] 下面结合附图和实施例对本发明光学可逆逻辑器件做进一步的解释说明。

[0024] 如图1所示，本发明光学可逆异或逻辑器件，包括第一微环谐振器、第二微环谐振器，Y分支耦合器为第一Y分支耦合器(3)。

[0025] 如图2所示，第一微环谐振器1包括第一硅基纳米线微环10、第一输入光波导11、第一直通光波导12和第一下载光波导13，第一微环谐振器1带有硅基电光调制器或硅基热光调制器。

[0026] 如图3所示，第二微环谐振器2包括第二硅基纳米线微环20、第二输入光波导21、第二输出光波导22、第三输入光波导23、第二直通光波导24，第二输入光波导21与Y分支直通光波导相连，第三输入光波导23与第一微环谐振器1第一下载光波导13相连；第二微环谐振器2带有硅基电光调制器或硅基热光调制器。

[0027] 如图4所示，Y分支耦合器3，Y分支耦合器3包括第四输入光波导31、第一输出光波导32和Y分支直通光波导33；第四输入光波导31位于Y分支耦合器3的主直波导上，且与第一直通光波导12相连，第一输出光波导32和Y分支直通光波导33分别位于Y分支耦合器3的两个分支直波导上。

[0028] 第一输入光波导11、第一直通光波导12和第四输入光波导31依次位于同一根水平设置的直的第一波导上，该第一波导的一端与Y分支耦合器3的主直波导相连接；第一下载光波导13和第三输入光波导23位于水平设置的“U”形的第二波导上，第一下载光波导13位于该第一硅基纳米线微环10下方，该分段的端部为第一光卸载端口T1；第二波导中位于第二硅基纳米线微环20下方的分段上依次设有第三输入光波导23和第二输出光波导；
“U”形的第三波导一端与Y分支直通光波导33相连接，靠近第三波导第二硅基纳米线微环
20上方的分段上依次设有第二输入光波导21和第二输出光波导22，该分段的端部为第二光卸载端口T2。

[0029] 硅基热光调制器的微环谐振器MRR的电极，如图5所示，Si衬底4上有SiO2层5，SiO2层5上有硅基光波导7，在硅基光波7的上方铺设了一层发热电极6。在发热电极6的引线上施加电压，会有电流通过电极，该电流会产生热量通过热辐射的方式改变硅基光波导7的温度，从而改变环形波导的有效折射率Neff，继而改变MRR的谐振波长，实现动态滤波。

[0030] 可以看出硅基热光调制器和图6所示的硅基电光调制器的调制原理是不相同的，硅基热光调制器是依靠改变硅基光波导的温度来改变波导的有效折射率。硅基电光调制器是依靠改变轨迹光波导中的载流子浓度来改变波导的折射率；由于热辐射的速度远远慢于载流子湮灭的速度。所以电光调制的速度远远大于热光调制的速度，但因为对波导掺杂的原因，电光调制器的结构要比热光调制器的结构更复杂，制作过程也更简单。故一般在需要高速的情形下使用硅基电光调制，而在对器件响应速度要求不高的场合采用硅基热光调制。

[0031] 第一硅基纳米线微环10的结构参数与第二硅基纳米线微环20的结构参数完全相同，当入射的光信号满足谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)时，光信号会通过倏逝场耦合作用从波导耦合进入微环，此时，如有除入射以外的光波导存在，微环中的光信号同样会通过倏逝场耦合作用从微环耦合进波导；谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)中的m表示微环谐振级次，其值为正整数，λ为谐振波长，Neff为波导的有效折射率，r为微环的半径。

[0032] 下面通过分析光信号在图2和图3所示的微环谐振器以及图4所示的Y分支耦合器中光的传输过程，简要说明本发明可逆光学异或逻辑器件的工作原理：

[0033] 对于图2所示的第一微环谐振器1，假定光信号由第一输入光波导11输入，当光信号经过耦合区(第一输入光波导11与第一硅基纳米线微环10距离最近的一个范围)时，光信号通过倏逝场耦合作用进入第一硅基纳米线微环10中，第一硅基纳米线微环10中的光信号也会通过倏逝场耦合作用耦合进入第一下载光波导13中。对于满足谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)的光信号，在从微环耦合到第一直通光波导12时，由于两路光信号的相位差π导致的相消干涉，会在第一直通光波导12中发生消光现象；而不满足该谐振条件的光由于相位差不能满足相消干涉条件，故不满足谐振条件的光信号可以看作毫无影响的通过耦合区从第一直通光波导12输出。

[0034] 对于图3所示的第二微环谐振器2，假定光信号由第二输入光波导21输入(从第一输入端11输入的光信号不满足第一硅基纳米线微环10的谐振条件)，当光信号经过耦合区(第二输入光波导21和第二直通光波导22与第二硅基纳米线微环20距离最近的一个范围)时，满足谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)的光信号通过倏逝场耦合作用进入第二硅基纳米线微环20中，第二硅基纳米线微环20中的光信号也会通过倏逝场耦合作用耦合进入第二输出光波导24，并通过第二输出光波导24输出；而不满足谐振条件的光可以看作毫无影响的通过耦合区从第二直通光波导22输出。当光信号由第三输入光波导23输入(从第一输入端输入的光信号满足第一硅基纳米线微环10的谐振条件)时，光信号经过耦合区(第三输入光波导23与第二硅基纳米线微环20距离最近的一个范围)时，满足谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)的光信号通过倏逝场耦合作用进入第二硅基纳米线微环20中，第二硅基纳米线微环20中的光信号也会通过倏逝场耦合作用耦合进入第二下载光波导22从第二光卸载端口T2卸载；而不满足谐振条件的光可以看作毫无影响的通过耦合区从第二输出光波导24输出。

[0035] 对于图4所示的Y分支耦合器3，当光信号从第四输入光波导31输入，通过第一Y分支耦合器3将光信号均分为两束，分别从第一输出光波导32和第一Y分支直通波导33输出。

[0036] 上面分析的是静态的微环谐振器工作特性，总结而言，微环谐振器会固定的是某些波长(满足谐振条件的波长)的信号被下载，某些波长的信号直通(不满足谐振条件的波长)；本器件工作时，还需要微环谐振器的谐振波长动态可调。由谐振条件(m×λ＝Neff×2π×r)看出，改变硅基纳米线微环的半径R和有效折射率Neff都将改变硅基纳米线微环的谐振波长。此处通过调节微环波导的有效折射率Neff来改变硅基纳米线微环的谐振波长。有效折射率与制造硅基纳米线微环材料的折射率有关，而改变该材料的折射率有两种方法：一是对材料加热，改变材料的温度，利用热光效应改变材料折射率，即上述的硅基热光调制器；二是利用电光效应通过载流子注入改变材料的折射率，即上述的硅基电光调制器。由于热调制速度受热对流速度影响，而电调制速度取决于载流子寿命，故电调制速度较快，在高速系统中采用电调制。

[0037] 下面以热调制机构为例说明本发明可逆异或光学逻辑器件的工作过程：

[0038] 首先，由于我们设定的工艺参数完全一致，故纳米线微环10与纳米线微环20完全谐振波长(理论上完全一致。

[0039] 对于图1所示的可逆光学逻辑器件，在光信号输入端(input)输入处于工作波长的连续信号光(cw)，然后分别对两个微环加上调制电压对微环加热从而改变微环的谐振波长，并定义输出端口有光输出时用逻辑“1”表示，输出端口无光输出时用逻辑“0”表示，该可逆光学异或逻辑器件共有四种工作状态。

[0040] 下面结合结构图详细分析本发明可逆光学逻辑器件的工作原理：当第一硅基纳米线微环10加低电平(逻辑“0”)、第二硅基纳米线微环20也加低电平(逻辑“0”)时，这时该两个微环都处于谐振状态，在光的输出端口Y1和Y2都没有光输出(逻辑值都为“0”)；当第一硅基纳米线微环10加高电平(逻辑“1”)、第二硅基纳米线微环20加低电平(逻辑“0”)，第二硅基纳米线微环20处于谐振状态，第一硅基纳米线微环10处于非谐振状态，在光的输出端口Y1和Y2有光输出(逻辑值都为“1”)；当第一硅基纳米线微环10加低电平(逻辑“0”)、第二硅基纳米线微环20加高电平(逻辑“1”)，这时第二硅基纳米线微环20处于非谐振状态，第一硅基纳米线微环10处于谐振状态，在光的输出端口Y2有光输出(逻辑值为“1”)，在光的输出端口Y1无光输出(逻辑值为“0”)；当第一硅基纳米线微环10加高电平(逻辑“1”)，第二硅基纳米线微环20也加高电平(逻辑“1”)，这时该两个微环都处于非谐振状态，在光的输出端口Y1有光输出(逻辑值为“1”)，在光的输出端口Y2无光输出(逻辑值为“0”)。由此可以看出本发明光学逻辑器件输入的是二个待计算的一位二进制高低电平电信号和一个处于工作波长处的连续激光信号，输出的是经过异或运算后的光信号；因此本光学可逆器件可以完成二个一位二进制数的可逆异或运算。各微环谐振器MRR的基本单元为带热调制机构或电调制机构的微环谐振器MRR光开关，待计算的2位电信号对各自的MRR的作用方式如下：我们设定微环10、20在未加调制的谐振波长为工作波长，因此当加在微环10或20上的调制电信号为高电平时，MRR的谐振频率发生偏移，在输入激光的波长处失谐；当加在微环10或20上的调制电信号为低电平时，MRR在输入激光的波长处谐振，光信号被下载；在本可逆光学逻辑器件的一个光学端口输入特定工作波长的连续激光，待计算的2位高低电平电信号分别作用于第一硅基纳米线微环10和第二硅基纳米线微环20，在两个信号输出端口就以光逻辑的形式输出与2位输入的电信号相对应的可逆异或计算结果，从而完成了可逆光学逻辑器件的功能。

[0041] 本发明光学可逆器件完成可逆异或计算的真值表如表1所示：

[0042] 表1 光学可逆异或逻辑器件的真值表

[0043]A B Y1(A) Y2(XOR)
0 0 0 0
1 0 1 1
0 1 0 1
1 1 1 0

[0044]

[0045] 以上所述的具体实施例，对本发明的目的，技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述的仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改，同等替换，改进等，均应该包含在本发明的保护范围之内。