触控显示面板结构及其形成方法、触控显示装置

申请号 CN201510152692.6 申请日 2015-04-01 公开(公告)号 CN104698665B 公开(公告)日 2017-11-07
申请人 上海天马微电子有限公司; 天马微电子股份有限公司; 发明人 丁洪; 杜凌霄; 卢峰;
摘要 本 发明 提供一种触控 显示面板 结构及其形成方法、触控显示装置,触控显示面板结构包括 基板 、包括多个扫描线段的扫描线以及触控 电极 线,每条触控电极线分别设置于相邻扫描线段之间的间隔处;第一介质层以及数据线;第二介质层和第一互连结构;贯穿第一、第二介质层的第一过孔;第三介质层以及公共电极层;贯穿第一介质层和第二介质层的第二过孔;多个第三过孔,第三过孔贯穿第三介质层;每个触控电极通过第二过孔、第三过孔与一条触控电极线连接。本发明的有益效果在于,可以在制作过程中可以在一步工艺中同时形成扫描线和触控电极线,不需要像 现有技术 那样单独采用工艺步骤形成触控电极线说,节省了工艺步骤以及掩 模版 。
权利要求

1.一种触控显示面板结构,用于实现触摸感应和显示,其特征在于,包括:
基板
位于所述基板上的多条沿第一方向延伸的扫描线;每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段,相邻所述扫描线段之间具有间隔;
位于所述基板上并与所述多条扫描线同层的多条触控电极线,所述触控电极线沿第二方向延伸,每条触控电极线分别设置于相邻扫描线段之间的间隔处,所述触控电极线与相邻的扫描线段之间不接触
设置于所述多条扫描线和所述多条触控电极线上的第一介质层;
设置于所述第一介质层上的多条数据线,所述多条数据线分别对应地设于所述多条触控电极线上方;
设置于所述多条数据线上方的第二介质层;
设置于所述第二介质层上方的多个第一互连结构;
多个第一过孔,所述第一过孔贯穿所述第一介质层、第二介质层,所述第一互连结构通过所述第一过孔连接相邻的扫描线段;
设置于所述多个第一互连结构上的第三介质层;
设置于第三介质层上的公共电极层;
多个第二过孔,所述第二过孔贯穿所述第一介质层和所述第二介质层;
多个第三过孔,所述第三过孔贯穿所述第三介质层;
每个触控电极通过所述第二过孔、第三过孔与一条所述触控电极线连接。
2.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,还包括和第一互连结构同层的导电垫,所述导电垫设置在第二过孔内。
3.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述第一互连结构横跨两相邻扫描线段之间的间隔,第一互连结构的两端分别通过所述第一过孔与两相邻扫描线段相连。
4.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述触控显示面板结构还包括像素电极阵列,所述像素电极阵列与所述多个第一互连结构位于同层。
5.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述触控显示面板结构还包括像素电极阵列,所述像素电极阵列和所述公共电极层位于同层。
6.如权利要求4所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述像素电极阵列的材料与所述多个第一互连结构的材料相同。
7.如权利要求6所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述像素电极阵列的材料与所述多个第一互连结构的材料均为化铟
8.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述扫描线延伸的第一方向与触控电极线延伸的第二方向相互垂直。
9.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,所述扫描线的材料与所述触控电极线的材料相同。
10.如权利要求1所述的触控显示面板结构,其特征在于,还包括位于第二介质层和多个第一互连结构之间的有机层,所述第一过孔、第二过孔也贯穿所述有机层。
11.一种触控显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1至10任一项所述的触控显示面板结构。
12.一种触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,包括:
提供基板;
在所述基板上形成多条沿第一方向延伸的扫描线以及多条沿第二方向延伸触控电极线,其中,每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段,相邻扫描线段之间具有间隔;
每条触控电极线分别设于两相邻扫描线段之间的间隔处,所述触控电极线与相邻的扫描线段之间不接触;
在所述多数扫描线、多条触控电极线上形成第一介质层;
在所述第一介质层上形成多条数据线,所述多条数据线分别对应地设于所述多条触控电极线上方;
在所述多条数据线上方形成第二介质层;
形成贯穿所述第一介质层、第二介质层的多个第一过孔、第二过孔;
在所述第二介质层上形成多个第一互连结构,所述每个第一互连结构通过所述第一过孔使连接相邻的扫描线段;
在所述多个第一互连结构上形成第三介质层;
形成贯穿所述第三介质层的多个第三过孔;
在所述第三介质层上形成公共电极层,所述公共电极层包括多个相互独立的触控电极,所述每个触控电极通过第二过孔、第三过孔和一条所述触控电极线连接。
13.如权利要求12所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,形成扫描线以及触控电极线的步骤包括:
在所述基板上沉积第一导电材料层;
在所述第一导电材料层上形成第一光刻胶层;
提供具有图案的第一掩模版,并通过所述第一掩模版对所述第一光刻胶层进行曝光,以在所述第一光刻胶层中形成图案,部分第一导电材料层从所述第一光刻胶层的图案中露出;
以形成有图案的第一光刻胶层为刻蚀掩模,并刻蚀以去除露出部分的第一导电材料层,剩余的第一导电材料层分别形成所述扫描线以及触控电极线。
14.如权利要求12所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,形成第一互连结构的步骤中还形成和第一互连结构同层的多个导电垫,所述导电垫沉积在第二过孔内。
15.如权利要求12所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,形成第一互连结构的步骤中还形成和第一互连结构同层的像素电极阵列。
16.如权利要求15所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,形成第一互连结构的步骤中还形成和第一互连结构同层的像素电极阵列,包括:
在第二介质层上形成第二导电材料层;
在所述第二导电材料层上形成第二光刻胶层;
提供具有图案的第二掩模版,并通过所述第二掩模版对所述第二光刻胶层进行曝光,以在所述第二光刻胶层中形成图案,部分第二导电材料层从所述第二光刻胶层的图案中露出;
以形成有图案的第二光刻胶层为刻蚀掩模,并刻蚀以去除露出部分的第二导电材料层,剩余的第二导电材料层分别形成第一互连结构以及像素电极阵列。
17.如权利要求12所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,在所述第三介质层上形成公共电极层,还包括形成和所述公共电极层同层的像素电极阵列。
18.如权利要求12所述的触控显示面板结构的形成方法,其特征在于,还包括,在所述多条数据线上方形成第二介质层之后还包括形成位于所述第二介质层之上的有机层的步骤;
形成贯穿所述第一介质层、第二介质层、有机层的多个第一过孔、第二过孔。

说明书全文

触控显示面板结构及其形成方法、触控显示装置

技术领域

[0001] 本发明涉及显示领域,具体涉及一种触控显示面板结构及其形成方法、触控显示装置。

背景技术

[0002] 显示装置以体积小,重量轻,低辐射等优点广泛应用于各种领域。现有的部分显示装置具有触控功能,一般来说,会将显示装置中的公共电极划分为多个区,每一个区块的公共电极共用为一个触控电极。在现有技术中,需要分别给各个触控电极设置相应的引线,进而实现各个主控电极的信号输出。
[0003] 具体的,请参考图1,以现有技术中的Mid-Com结构的阵列基板为例,这种结构包括形成于基板1上的栅极层2,栅极层2上具有绝缘层3,绝缘层3上具有晶体管结构5以及用于连接晶体管结构5的信号线4;在所述绝缘层3上海设有绝缘层6,所述绝缘层6上设有公共电极10;在绝缘层8上设有像素电极9以及电连接于所述公共电极10的信号线11,所述信号线11用于在公共电极10在触控阶段作为其信号接线,也就是说,这种现有结构需要单独的工艺步骤形成所述信号线11以作为触控电极线。
[0004] 现有技术中的其他结构(例如Top-Com结构)同样需要单独的步骤以形成上述的能够信号线。这会导致整个制作工艺变得更加复杂。并且,这也会增加制造成本。

发明内容

[0005] 本发明解决的问题是提供一种触控显示面板结构及其形成方法、触控显示装置,以减少制作显示装置时的工艺复杂程度。
[0006] 为解决上述问题,本发明提供一种触控显示面板结构,用于实现触摸感应和显示,包括:
[0007] 基板;
[0008] 位于所述基板上的多条沿第一方向延伸的扫描线;每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段,相邻所述扫描线段之间具有间隔;
[0009] 位于所述基板上并与所述多条扫描线同层的多条触控电极线,所述触控电极线沿第二方向延伸,每条触控电极线分别设置于相邻扫描线段之间的间隔处,所述触控电极线与相邻的扫描线段之间不接触
[0010] 设置于所述多条扫描线和所述多条触控电极线上的第一介质层;
[0011] 设置于所述第一介质层上的多条数据线,所述多条数据线分别对应地设于所述多条触控电极线上方;
[0012] 设置于所述多条数据线上方的第二介质层;
[0013] 设置于所述第二介质层上方的多个第一互连结构;
[0014] 多个第一过孔,所述第一过孔贯穿所述第一介质层、第二介质层,所述第一互连结构通过所述第一过孔连接相邻的扫描线段;
[0015] 设置于所述多个第一互连结构上的第三介质层;
[0016] 设置于所述公共电极层位于所述第三介质层上;
[0017] 多个第二过孔,所述第二过孔贯穿所述第一介质层和所述第二介质层;
[0018] 多个第三过孔,所述第三过孔贯穿所述第三介质层;
[0019] 所述每个触控电极通过所述第二过孔、第三过孔与一条所述触控电极线连接。
[0020] 与现有技术相比,本发明的技术方案的有益效果在于,在基板上同层设置有沿第一方向延伸的扫描线以及触控电极线,其中扫描线包括多个扫描线段,且所述扫描线段之间通过第一互连结构电连接;所述触控电极线至少通过第一过孔与公共电极连接。这样的好处在于,在制作过程中可以在一步工艺中同时形成所述扫描线和触控电极线,不需要像现有技术那样单独采用工艺步骤形成触控电极线说,节省了工艺步骤以及掩模版
[0021] 同时,在所述触控电极线正上方形成数据线,且所述数据线在垂直于基板方向上的投影与所述触控电极线重叠,这样所述数据线可以起到帮助触控电极线屏蔽干扰信号的作用,也就是说,有利于减少触控电极线受到的串扰。
[0022] 本发明还提供一种触控显示装置,包括上述的触控显示面板结构。
[0023] 如前文所述,这种触控显示装置有利于节省工艺步骤和成本。
[0024] 本发明还提供一种触控显示面板结构的形成方法,包括:
[0025] 提供基板;
[0026] 在所述基板上形成多条沿第一方向延伸的扫描线以及多条沿第二方向延伸触控电极线,其中,每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段,相邻扫描线段之间具有间隔;每条触控电极线分别设于两相邻扫描线段之间的间隔处,所述触控电极线与相邻的扫描线段之间不接触;
[0027] 在所述多数扫描线、多条触控电极线上形成第一介质层;
[0028] 在所述第一介质层上形成多条数据线,所述多条数据线分别对应地设于所述多条触控电极线上方;
[0029] 在所述多条数据线上方形成第二介质层;
[0030] 形成贯穿所述第一介质层、第二介质层的多个第一过孔、第二过孔;
[0031] 在所述第二介质层上形成多个第一互连结构,所述每个第一互连结构通过所述第一过孔使连接相邻的扫描线段;
[0032] 在所述多个第一互连结构上形成第三介质层;
[0033] 形成贯穿所述第三介质层的多个第三过孔;
[0034] 在所述第三介质层上形成公共电极层,所述公共电极层包括多个相互独立的触控电极,所述每个触控电极通过第二过孔、第三过孔和一条所述触控电极线连接。
[0035] 本发明的触控显示面板结构的形成方法可以在同一步骤中形成扫描线以及触控电极线,相对于现有技术额外采用工艺步骤形成触控电极线的方式来说,本发明可以节约工艺步骤,有利于加快制造效率并节省成本。同时,在所述触控电极线正上方形成数据线,且所述数据线在垂直于基板方向上的投影与所述触控电极线重叠,这样所述数据线可以起到帮助触控电极线屏蔽干扰信号的作用,也就是说,有利于减少触控电极线受到的串扰。附图说明
[0036] 图1是现有技术中的阵列基板的结果示意图;
[0037] 图2为本实施例中的基板的俯视图;
[0038] 图3为图2中A-A`方向的剖视图;
[0039] 图4为图2中B-B`方向的剖视图;
[0040] 图5为本实施例中形成数据线后基板的俯视图;
[0041] 图6为图5中A-A`方向的剖视图;
[0042] 图7为图5中B-B`方向的剖视图;
[0043] 图8为本实施例中形成第一互连结构后基板的俯视图;
[0044] 图9为图8中A-A`方向的剖视图;
[0045] 图10为图8中B-B`方向的剖视图;
[0046] 图11为图8中C-C`方向的剖视图;
[0047] 图12为形成公共电极后沿图8中A-A`方向的剖视图;
[0048] 图13为形成公共电极后沿图8中B-B`方向的剖视图;
[0049] 图14为形成公共电极后沿图8中C-C`方向的剖视图;
[0050] 图15为本实施例中触控电极的结构示意图;
[0051] 图16为形成液晶层后沿图8中A-A`方向的剖视图;
[0052] 图17为形成液晶层后沿图8中B-B`方向的剖视图;
[0053] 图18为形成液晶层后沿图8中C-C`方向的剖视图;
[0054] 图19是本发明触控显示面板结构的形成方法在另一实施例中的结构示意图;
[0055] 图20是本发明触控显示面板结构的形成方法在另一实施例中的结构示意图。

具体实施方式

[0056] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
[0057] 如背景技术所描述,现有技术中为了数显触控功能需要额外制作连接公共电极的触控电极线,这增加了制造工艺的步骤,降低了生产效率并且增加了生产成本。
[0058] 针对上述问题,本发明实施例中提供一种阵列基板的形成方法。请参考图2至图18,为本发明触控显示面板结构的形成方法一实施例中各个步骤的结构示意图。
[0059] 首先请参考图2至图4,图2为本实施例中的基板的俯视图,图3为图2中A-A`方向的剖视图,图4为图2中B-B`方向的剖视图。需要说明的是,图2为了清楚表达仅画出了基板100上形成的部分结构(例如,扫描线所包括的扫描线段120以及触控电极线130),其他结构并未画出,但是不应以此限制本发明。
[0060] 首先,提供基板100,所述基板100为形成后续各个部件的基本载体,提供基板100为本领域技术人员常用技术手段,因此本发明在此不作赘述。
[0061] 在本实施例中,所述基板100包括用于形成扫描线的区域10、用于形成触控电极线的区域20以及用于形成晶体管的区域40;用于形成扫描线的区域10和用于形成触控电极线的区域20之间相互交叉围成区域30,区域30用于在后续步骤中形成像素电极。
[0062] 在本实施例中,所述基板100可以玻璃基板,但是本发明对此不作限定。
[0063] 在这之后,在所述基板100上形成多条沿第一方向延伸的扫描线以及多条沿第二方向延伸的触控电极线130,其中,每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段120,相邻所述扫描线段120之间具有间隔50。
[0064] 每条触控电极线130分别设于两相邻扫描线段120之间的间隔50处,也就是说,所述触控电极线130与相邻的扫描线段120之间不接触。
[0065] 同层设置触控电极线130与扫描线的好处在于,在制作过程中可以在一步工艺中同时形成所述扫描线和触控电极线130,不需要像现有技术那样单独采用工艺步骤形成触控电极线130来说,节省了工艺步骤以及掩模版,降低生产成本。
[0066] 此外,在本实施例中,所述触控电极线130上还包括以凸出部131,所述凸出部131的线宽相对于触控电极线130的其它部分更宽(请结合参考图4)。所述凸出部131用于在后续步骤中与公共电极电连接,这将在后续进行详细说明。
[0067] 在本实施例中,可以采用以下方式形成所述扫描线和触控电极线130:
[0068] 在所述基板100上沉积第一导电材料层;
[0069] 具体的,在本实施例中,可以采用金属材料形成所述第一导电材料层。但是这只是一个示例,本发明对第一导电材料层的材料并不作限定。
[0070] 在所述第一导电材料层上形成第一光刻胶层;
[0071] 提供具有图案的第一掩模版,并通过所述第一掩模版对所述第一光刻胶层进行曝光,以在所述第一光刻胶层中形成图案,部分第一导电材料层从所述第一光刻胶层的图案中露出;
[0072] 以形成有图案的第一光刻胶层为刻蚀掩模,并刻蚀以去除露出部分的第一导电材料层,剩余的第一导电材料层分别形成所述扫描线以及触控电极线130。
[0073] 可以看出,仅采用一张第一掩模版便可以形成所述扫描线以及触控电极线130,相对于现有技术中分别形成所述扫描线以及触控电极线来说,节省了掩模版。
[0074] 在形成所述扫描线以及触控电极线130的步骤之后,请参考图5至图7,图5为本实施例中形成数据线210后基板100的俯视图,图6为图5中A-A`方向的剖视图,图7为图5中B-B`方向的剖视图。同样的,图5为了清楚表达仅画出了基板100上形成的部分结构(数据线210),其他结构并未画出,但是不应以此限制本发明。
[0075] 在所述基板100、扫描线以及触控电极线130上形成第一介质层200。
[0076] 在形成第一介质层200之后,在所述第一介质层200上形成数据线210,并使所述数据线210对应地设于所述触控电极线130的上方,所述数据线210在垂直于基板100方向上的投影与所述触控电极线130有重叠。
[0077] 所述数据线210可以屏蔽其他结构对触控电极线130的干扰信号,也就是说,有利于降低触控电极线130受到的串扰。
[0078] 在形成所述数据线210的步骤之后,在所述第一介质层200以及数据线210上方形成第二介质层300。具体请参考图8至图11,其中图8为本实施例中形成第一互连结构310后基板100的俯视图,图9为图8中A-A`方向的剖视图,图10为图8中B-B`方向的剖视图,图11为图8中C-C`方向的剖视图。
[0079] 在形成第二介质层300的步骤之后,形成穿过所述第一介质层200以及第二介质层300的第一过孔141、第二过孔142。
[0080] 所述第一过孔141用于使后续步骤中形成的第一互连结构310与扫描线中的扫描线段120之间电连接。所述第一过孔141的位置应当与扫描线中包含的各个扫描线段120相互对应,具体来说,第一过孔141位于各个扫描线段120正上方的第一介质层200以及第二介质层300中,进而保证后续形成第一互连结构能够通过所述第一过孔141与扫描线段120相连接。
[0081] 所述第二过孔142用于后续将公共电极层的触控电极和触控电极线130相互连接,在以下工序中会详细描述。
[0082] 在形成第一过孔141、第二过孔142的步骤之后,在所述第二介质层300上形成有机层320,所述有机层320中具有图案,以将部分第二介质层300露出,露出部分的第二介质层300上用于形成第一互连结构310。所述有机层320用于增加基板100表面的平坦度,因为基板100表面各个部分形成的各个材料层的结构不同,基板100表面可能会有较大起伏而影响后续其他材料层的形成,因此可以通过形成有机层320来抵消这些表面起伏,因为有机材料的保形覆盖较好。
[0083] 但是需要说明的是,形成有机层320仅仅是本发明的一个实施例,本发明对是否必须形成所述有机层320不作限定。
[0084] 在形成所述有机层320的步骤之后,在有机层320中露出的第二介质层300上形成第一互连结构310,并使所述第一互连结构310的两端分别通过所述第一过孔141与两相邻扫描线段120分别相连,以使扫描线段120之间电连接。图8中画出了一个第一互连结构310,该第一互连结构310跨过相邻的两个扫描线段120之间的空隙以及设于该空隙中的触控电极线130,第一互连结构310的两端将该相邻的扫描线段120之间电连接。
[0085] 在本实施例中,还包括一与所述第一互连结构310同层设置且相互绝缘的导电垫311,所述导电垫311沉积在第二过孔142中,用于在将后续形成的公共电极与第一介质层
200上的触控电极线130电连接。
[0086] 本实施例还包括形成像素电极阵列。具体的,本实施例形成FFS结构的触控显示面板结构,也就是说,形成的像素电极阵列与公共电极层之间不同层。具体的,本实施例中的公共电极层位于像素电极阵列上方。
[0087] 由于本实施例中在第二介质层300上形成了有机层320,因此本实施例中的像素电极阵列形成于所述有机层320上。
[0088] 具体的,本实施例在第二介质层300上形成与第一互连结构310同层设置的像素电极阵列350(所述像素电极阵列350请参考图14),为了节省工艺步骤,可以同时形成所述像素电极阵列350以及第一互连结构310:
[0089] 在第二介质层300上形成第二导电材料层;
[0090] 在所述第二导电材料层上形成第二光刻胶层;
[0091] 提供具有图案的第二掩模版,并通过所述第二掩模版对所述第二光刻胶层进行曝光,以在所述第二光刻胶层中形成图案,部分第二导电材料层从所述第二光刻胶层的图案中露出;
[0092] 以形成有图案的第二光刻胶层为刻蚀掩模,并刻蚀以去除露出部分的第二导电材料层,剩余的第二导电材料层分别形成第一互连结构310以及像素电极阵列350。
[0093] 通过上述步骤可以通过一张第二掩模版形成第一互连结构310以及像素电极阵列350,相对现有技术来说节省了工艺步骤和成本。
[0094] 在本实施例中,可以采用化铟形成所述像素电极阵列350和所述第一互连结构310。但是这只是一个示例,不应以此限定本发明。
[0095] 请参考图12至图14,其中图12对应于图9,为图9形成公共电极层410后沿图8中A-A`方向的剖视图;图13对应于图10,为图9形成公共电极层410后沿图8中B-B`方向的剖视图;图14对应于图11,为形成公共电极层410后沿图8中C-C`方向的剖视图;在形成所述像素电极阵列350之后,将在所述像素电极阵列350上形成公共电极层410。如前文所述,本实施例中的公共电极层410位于像素电极阵列350上方,因此在本实施例中,在形成公共电极层410之前,在素电极阵列、所述第一互连结构310、有机层320以及本实施例中的导电垫311上形成400。所述公共电极层410将形成于所述第三介质层400上。
[0096] 在这之后,在所述第三介质层400中形成与所述第二过孔143相连通的第三过孔330。后续形成的公共电极层410将通过所述第三过孔330和第二过孔141与触控电极线130相连接。
[0097] 在形成所述第三介质层400的步骤之后,请参考图15,为本实施例中触控电极的结构示意图。在所述第三介质层400上形成公共电极层410,所述公共电极层410包括多个相互独立的触控电极411,该多个触控电极411在显示时用被施加公共信号,在触控时作为施加触控信号。所述公共电极层410在垂直于基板100的方向上与所述像素电极阵列350对置设置,并通过所述第二过孔142以及第三过孔330(还通过本实施例中的导电垫311)与所述触控电极线130的凸出部131电连接。
[0098] 在形成所述公共电极层410的步骤之后,本实施例中还包括,在所述公共电极层410上形成液晶层。请参考图16至图18,其中图16对应于图12,为形成液晶层500后沿图8中A-A`方向的剖视图;图17对应于图13,为形成液晶层后沿图8中B-B`方向的剖视图;图18对应于图14,为形成液晶层500后沿图8中C-C`方向的剖视图。
[0099] 形成的液晶层500位于所述公共电极层410上方,也就是说,本实施例中所形成的触控显示面板结构为液晶触控显示面板结构。
[0100] 但是需要说明是,本发明对是否必须形成所述液晶层500不作限定,在其他类型的触控显示面板结构,例如以OLED为光源的触控显示面板结构中显然不需要形成液晶层500。所以,不应以此限定本发明。
[0101] 此外,本发明也不限定于上述实施例中所描述的像素电极阵列350与所述公共电极层410不同层设置的FFS结构的触控显示面板结构,在本发明的其他实施例中,也可以形成IPS结构的触控显示面板结构。请参考图19和图20为本发明另一实施例中触控显示面板结构的结构示意图,本实施例与上一实施例的区别在于,所述像素电极阵列350a与所述公共电极层410a同层设置,具体的,可以先采用与上一实施例相同的方式,在形成第一互连结构310a的步骤之后,形成公共电极层410a的步骤之前,在所述第二介质层300a以及第一互连结构310a(请参考图20)以及有机层320a上形成第三介质层400a。在这之后,在所述第三介质层400a中形成与所述第二过孔142a相连通的第三过孔330a,然后在所述第三介质层400a上形成像素电极阵列350a(请参考图19),以及与所述像素电极阵列350a同层设置的公共电极层410a。所述公共电极层410a通过所述第二过孔142a以及第三过孔330a(还通过本实施例中的导电垫311a)与所述触控电极线130a的凸出部131电连接(与上一实施例相同)。
也就是说,本实施例与上一实施例的区别在于,本实施例将所述像素电极阵列350a与所述公共电极层410a同层设置,为IPS结构的触控显示面板结构。
[0102] 此外,本发明还提供一种触控显示面板结构,用于实现触摸感应和显示。请参考图8以及图16至图18,为本实施例中触控显示面板结构的结构示意图,其中图8为本实施例中的基板100的俯视图,图16为图8中A-A`方向的剖视图,图17为图8中B-B`方向的剖视图,图
18为图8中C-C`方向的剖视图。本实施例的触控显示面板结构包括:
[0103] 基板100;所述基板100为形成后续各个部件的基本载体,提供基板100为本领域技术人员常用技术手段,因此本发明再次不作赘述。
[0104] 在本实施例中,基板100包括用于形成扫面线的区域10、用于形成触控电极线130的区域20以及用于形成晶体管的区域40;区域10和区域20之间相互交叉围成区域30,区域30用于形成像素电极阵列和公共电极层410。
[0105] 在本实施例中,基板100可以玻璃基,但是本发明对此不作限定。
[0106] 位于基板100上的多条沿第一方向延伸的扫描线;每条扫描线包括多个沿第一方向排布的扫描线段120,相邻扫描线段120之间具有间隔50;
[0107] 位于基板100上并与该多条扫描线同层的多条触控电极线130,触控电极线130沿第二方向延伸,每条触控电极线130分别设于两相邻扫描线段120之间的间隔50中,触控电极线130与相邻的扫描线段120之间不接触;
[0108] 在本实施例中,扫描线所在的第一方向与触控电极线130所在的第二方向相互垂直。但是只是一个示例,本发明对此并不作限定。
[0109] 同层设置触控电极线130与扫描线的好处在于,在制作过程中可以在一步工艺中同时形成所述扫描线和触控电极线130,不需要像现有技术那样单独采用工艺步骤形成触控电极线来说,节省了工艺步骤以及掩模版。
[0110] 在本实施例中,扫描线的材料与所述触控电极线130的材料相同。这样可以通过形成一层材料,并采用掩模版对该层材料进行刻蚀以分别形成所述扫描线与所述触控电极线130,进而有利于节约工艺步骤。
[0111] 设于基板100、扫描线以及触控电极线130上的第一介质层200;
[0112] 设于第一介质层200上的多条数据线210,数据线210对应地设于所述触控电极线130正上方,所述数据线210在垂直于基板100方向上的投影与所述触控电极线130重叠;所述数据线210可以起到帮助触控电极线130屏蔽干扰信号的作用,也就是说,有利于减少触控电极线130受到的串扰。
[0113] 设于第一介质层200以及数据线210上方的第二介质层300;
[0114] 贯穿第一介质层200、第二介质层300的多个第一过孔141、多个第二过孔142,第二过孔142用于后续连接触控电极和触控走线。
[0115] 设于第二介质层300上方的多个第一互连结构310,第一互连结构310通过所述第一过孔141使所述扫描线段120之间电连接。
[0116] 在本实施例中,还包括一与所述第一互连结构310同层设置且相互绝缘的导电垫311,导电垫311用于将后续形成的触控电极与第一介质层200上的触控电极线130电连接,导电垫311沉积在第二过孔142中。
[0117] 具体的,在本实施例中,所述第一互连结构310横跨两相邻扫描线段120之间的间隔50,第一互连结构310的两端分别通过所述第一过孔141与两相邻扫描线段120相连,以使扫描线段120之间电连接。
[0118] 在本实施例中,在所述第二介质层300上还形成有机层320。在第二介质层300上设置有机层320的情况下,第一互连结构310位于有机层320的上层,具体地,有机层320中具有图案,以将部分第二介质层300露出,露出部分的第二介质层300上用于形成第一互连结构310。
[0119] 所述有机层320用于增加基板100表面的平坦度,因为基板100表面各个部分形成的各个材料层的结构不同,基板100表面可能会有较大起伏而影响后续其他材料层的形成,因此可以通过形成有机层320来抵消这些表面起伏,因为有机材料的保形覆盖能力较好。
[0120] 但是需要说明的是,形成有机层320仅仅是本发明的一个实施例,本发明对是否必须形成所述有机层320不作限定。
[0121] 设置在第一互连结构310上层的第三介质层400,第三介质层400中设有有贯穿第三介质层400的第三过孔330,第三过孔330与第二过孔142相对应。在本实施例中,第三过孔330暴露出第二过孔142内的导电垫311。
[0122] 本发明的触控显示面板结构还包括在第三介质层400上的公共电极层410,该公共电极层410包括多个相互独立的触控电极411,在显示时该多个触控电极411被施加公共电压,在触控时该多个触控电极411并施加触控信号,该公共电极层410的每个触控电极411通过第二过孔142和第三过孔330与所述触控电极线130电连接。
[0123] 同时,所述触控显示面板结构还包括像素电极阵列,所述像素电极阵列与所述第一互连结构310同层设置。
[0124] 具体的,在本实施例中,所述像素电极阵列的材料与所述第一互连结构310的材料相同,这样的好处在于,可以形成一层材料层并对该材料层进行刻蚀以得到像素电极阵列和第一互连结构310,这样有利于节省工艺步骤。
[0125] 具体的,所述像素电极阵列的材料与所述第一互连结构310的材料均为氧化铟锡。但是这只是一个示例,本发明对此并不作限定。
[0126] 在本实施例中,在所述公共电极350上方还设有液晶层500。
[0127] 但是需要说明是,本发明对是否必须形成所述液晶层500不作限定,在其他类型的触控显示面板结构,例如以OLED为光源的触控显示面板结构中显然不需要形成液晶层500。所以,不应以此限定本发明。
[0128] 此外,本发明也不限定于上述实施例中所描述的像素电极阵列与所述公共电极层410不同层设置的FFS结构的触控显示面板结构,在本发明的其他实施例中,也可以形成IPS结构的触控显示面板结构。请参考图19和图20为本发明另一实施例中触控显示面板结构的结构示意图,本实施例与上一实施例的区别在于,所述像素电极阵列350a与所述公共电极层410a同层设置:所述第二介质层300a、第一互连结构以及有机层320a上设有第三介质层
400a,所述公共电极层410a以及像素电极阵列350a均设于所述第三介质层400a上,所述第三介质层400a中设有与所述第一过孔相连通的第二过孔330,所述公共电极层410a通过所述第一过孔以及第二过孔330(还通过本实施例中的导电垫311a)与所述触控电极线电连接。此外,本发明还提供一种触控显示装置,包括上述的触控显示面板结构。这种触控显示装置。如前文所述,这种触控显示装置有利于节省工艺步骤和成本。
[0129] 综上所述,本发明提供的触控显示面板结构及其形成方法、触控显示装置可以在一步工艺中同时形成所述扫描线和触控电极线,不需要像现有技术那样单独采用工艺步骤形成触控电极线说,节省了工艺步骤以及掩模版,这样有利于加快制造效率并节省成本。
[0130] 虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
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