光扫描装置的校准方法和校准装置 |
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| 申请号 | CN201580077865.0 | 申请日 | 2015-03-18 | 公开(公告)号 | CN107427184A | 公开(公告)日 | 2017-12-01 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社; | 发明人 | 藤原真人; 高田祐平; | ||||
| 摘要 | 一种应用于光扫描装置的校准方法，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及 致动器 ，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该校准方法包含如下的步骤：配置步骤(步骤S02)，配置光 位置 检测器，该光位置检测器对来自光纤的前端部的出射光的位置进行检测；以及检测步骤(步骤S03)，向光纤提供光，并且对该光纤的前端部进行驱动，通过光位置检测器来检测出射光的位置。使用干涉条纹抑制单元来执行检测步骤(步骤S03)，该干涉条纹抑制单元抑制在到达光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种光扫描装置的校准方法，该校准方法应用于光扫描装置，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及致动器，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该校准方法包含如下的步骤： |
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| 说明书全文 | 光扫描装置的校准方法和校准装置技术领域[0001] 本发明涉及用于光扫描装置的校准方法和校准装置。 背景技术[0002] 公知有如下的光扫描装置：使光纤周期性地振动而在对象物上扫描出射光。例如，在光扫描型内窥镜中，以描绘振幅周期性地放大、缩小的螺旋(spiral)状的轨道的方式使光纤振动，而向对象物照射照明光。而且，在每个规定的检测时机对因该照明光的照射而得到的反射光、荧光等被检测光进行检测，对检测到的信号分配像素位置而生成图像。因此，要想由光扫描型内窥镜装置生成图像，需要光扫描的各时刻的照明光的照射位置的信息。使用根据光纤的振动开始之后的经过时间来决定照明光的照射位置的方法。由于光扫描型内窥镜存在个体差，因此，每个装置都需要该照射位置的信息。 [0003] 由于使照明光的照射位置与振动开始之后的经过时间相对应，因此，在光扫描型内窥镜中进行如下的校准：预先通过光位置检测器(PSD：Position Sensitive Detector)来取得光纤的前端在什么时间位于什么位置。PSD是对形成在受光面上的光点的位置进行检测的传感器，能够通过使用该PSD来获得光点的重心位置的时间序列数据。由此，能够按照每个光扫描装置预先使照明光所照射的位置与振动开始后的经过时间相对应。 [0004] 但是，公知在PSD所进行的位置检测中，因噪声的影响会产生检测误差。因此，即使使用PSD来进行校准，运算上的光点形成位置会由于该检测误差的原因而偏离实际的光点形成位置。即，运算上的各光点形成位置无法以描绘平滑的螺旋轨迹的方式出现而产生偏差，因此在取得例如描绘出十字线的被摄体的图像的情况下，像图8所示那样形成的图像产生变形。 [0006] 现有技术文献 [0007] 专利文献 [0008] 专利文献1：日本特开2012-147831号 发明内容[0009] 发明要解决的课题 [0010] 但是，在使用多项式近似来进行校准的方法中，虽然能够改善比较小的噪声，但关于在多种扫描场景中进行光扫描的光扫描型内窥镜等，多数情况下无法利用近似式的校正来应对。并且，在使用多项式近似的方法中，虽然根据包含噪声在内的数据来计算平滑的轨迹，但并不是减轻PSD所产生的噪声本身，因此并不是根本的解决对策，很难大幅地提高精度。这样的课题并不限于光扫描型内窥镜，在同样使光纤振动来进行扫描的光扫描型显微镜、光扫描型投影装置等中也同样产生。 [0011] 因此，着眼于这些点而完成的本发明的目的在于，提供如下的光扫描装置的校准方法和校准装置：抑制光位置检测器(PSD)中的噪声的产生，从而改善图像的变形。 [0012] 用于解决课题的手段 [0013] 达成上述目的的光扫描装置的校准方法的发明被应用于光扫描装置，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及致动器，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该校准方法包含如下的步骤： [0014] 配置步骤，配置光位置检测器，该光位置检测器对来自所述光纤的所述前端部的出射光的位置进行检测；以及 [0015] 检测步骤，向所述光纤提供光，并且对该光纤的所述前端部进行驱动，通过所述光位置检测器来检测出射光的位置， [0016] 该光扫描装置的校准方法的特征在于， [0017] 使用干涉条纹抑制单元来执行所述检测步骤，该干涉条纹抑制单元抑制在到达所述光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。 [0018] 优选为，所述干涉条纹抑制单元通过降低能够在所述光位置检测器上产生的反射来抑制干涉条纹。 [0019] 在一个实施方式中，在所述校准方法中，与所述光位置检测器的受光面对置地设置所述受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元能够使所述光透过部件的至少一个面处于低反射状态。 [0020] 或者也可以是，与所述光位置检测器的受光面对置地设置所述受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元构成为在所述光位置检测器的受光面与所述光透过部件之间填充了与空气相比折射率接近所述光透过部件的介质。 [0021] 并且，也可以是，所述干涉条纹抑制单元通过向所述光纤提供可干涉性较低的光而抑制在所述光位置检测器内的干涉条纹的产生。 [0022] 达成上述目的的光扫描装置的校准装置的发明提供一种光扫描装置的校准装置，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及致动器，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该光扫描装置的校准装置的特征在于，其具有：控制部，其对所述致动器进行控制；光位置检测器，其对来自所述光纤的所述前端部的出射光的位置进行检测；存储部，其对基于从所述光位置检测器输出的出射光的位置信息的校准数据进行保存；以及干涉条纹抑制单元，其抑制在到达所述光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。 [0023] 优选为，在所述校准装置中，与所述光位置检测器的受光面对置地具有该受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元是设置于所述光透过部件的至少一个面上的防反射膜。 [0024] 或者也可以是，在所述校准装置中，与所述光位置检测器的受光面对置地具有该受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元构成为在所述光位置检测单元的受光面与所述光透过部件之间填充了与空气相比折射率接近所述光透过部件的介质。 [0026] 另外，在本申请中，“校准”是指：预先使用光位置检测器等来取得光扫描装置的光纤前端或者从光纤前端射出的光的照射光点在什么时间位于什么位置，其中，该光扫描装置的光纤前端使光纤进行扫描振动而进行扫描。并且，“光扫描装置”是指对被支承为能够振动的光纤的前端进行振动驱动而使光在对象物上扫描的装置，包含光扫描型内窥镜、光扫描型显微镜以及光扫描型投影装置等。此外，“光位置检测器”是指对光点在检测面上的位置进行检测的检测器，以下也称为PSD。 [0027] 并且，“干涉条纹抑制单元”是指抑制在PSD内产生的干涉条纹的结构要素，具体而言，包含形成在PSD的保护玻璃的表面上的防反射膜或微细构造、填充在PSD的受光面与保护玻璃之间的高折射率的介质、以及射出可干涉性较低的光的光源等。此外，“光透过部件”是具有使用于校准的照明光透过的波长特性的部件，例如是玻璃或光透过性的树脂。并且，“低反射状态”是指抑制了在光透过部件的界面上所产生的反射的状态，具体而言，包含形成了防反射膜的状态、形成了光的波长量级的微细构造的状态等。 [0028] 发明效果 [0029] 根据本发明，能够提供如下的光扫描装置的校准方法和校准装置：由于使用干涉条纹抑制单元来执行检测步骤，其中，该干涉条纹抑制单元抑制在到达所述光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹，因此抑制光位置检测器(PSD)中的噪声的产生，并改善了图像的变形。附图说明 [0030] 图1是对PSD中的干涉条纹的产生进行说明的图。 [0031] 图2是示出使第1实施方式的校准装置与光扫描型内窥镜连接后的状态的框图。 [0032] 图3是图2的光扫描型内窥镜的前端部的剖视图。 [0033] 图4是将光扫描型内窥镜装置的致动器与照明用光纤一同示出的图，图4的(a)是侧视图，图4的(b)是沿图4的(a)的A-A线的剖视图。 [0034] 图5是图2的PSD的剖视图。 [0035] 图6是示出校准的顺序的流程图。 [0036] 图7是第2实施方式的校准装置的PSD的剖视图。 [0037] 图8是示出由以往的校准方法引起的图像变形的一例的图。 具体实施方式[0038] 在使用附图对本发明的具体的实施方式进行说明之前，对作为本发明的基础的技术性研究内容进行说明。本发明者们为了探寻校准时所产生的位置数据的误差的原因而使用激光扫描型显微镜(LSM)对PSD的位置检测精度进行了研究，其中，该激光扫描型显微镜(LSM)使用电流镜对来进行光扫描。具体而言，在激光扫描型显微镜的观察位置的附近配置有PSD的受光面，扫描激光而取得显微镜图像。关于使用了在激光扫描型显微镜(LSM)中所使用的电流镜的扫描机构，由于扫描轨迹准确并且稳定，因此能够获得位置信息准确的图像。其结果是，观察到在PSD的内部产生干涉条纹，显微镜图像的光量因位置而改变。此外，还观察到如下：观察到的干涉条纹具有间隔窄的干涉条纹和间隔宽的干涉条纹这2种。 [0039] 图1是对PSD中的干涉条纹的产生进行说明的图，是从侧面观察PSD的受光面的剖视图。与PSD 1的受光面2对置地设置有用于保护受光面2的保护玻璃3。保护玻璃3相对于受光面2因制造上的误差而稍稍倾斜。为了方便说明，在图1中强调地示出保护玻璃3的倾斜。PSD 1的受光面2是硅面，相对于入射光产生强烈的反射光。因此，认为产生了干涉条纹，该干涉条纹除了源于该反射光之外还源于保护玻璃3的两面3a和3b的反射。受光面2与保护玻璃之间的倾斜比保护玻璃3的两面3a、3b之间的倾斜大，因此，推定出间隔窄的干涉条纹是因受光面2与保护玻璃3之间的倾斜而产生的，间隔宽的干涉条纹是因保护玻璃3的两面3a、 3b稍稍不平行而产生的。 [0040] 上述内容是从激光扫描型显微镜(LSM)侧观察PSD 1的受光面得到的结果，但认为在PSD 1的受光面2上实际也会产生干涉条纹。例如，如图1的A所示，在直接入射到受光面2上的光与在受光面2上被反射了1次之后在保护玻璃3的内侧面3b上被反射并入射到受光面2的光之间产生间隔窄的干涉条纹。并且，如图1的B所示，直接入射到受光面2的光与在保护玻璃3的内侧面3a和外侧面3b上被分别反射1次并入射到受光面2的光之间产生间隔宽的干涉条纹。在PSD 1上，为了进行正确的测定而具有适当的光量范围，因此若观察中的光量大幅变动，则无法输出正确的光点位置。因此，关于PSD 1的检测误差的原因，本发明者们确信很可能是因为在受光面和保护玻璃上的反射光所引起的干涉条纹，像以下的实施方式所说明的那样采取抑制干涉条纹的手段。 [0041] 以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。 [0042] (第1实施方式) [0043] 图2是示出使本发明的第1实施方式的校准装置与光扫描型内窥镜30连接的状态的框图。校准装置具有校准装置主体10和PSD 20。并且，根据需要，使校准装置主体10与显示器等显示装置18、或者键盘、鼠标、和/或触摸面板等输入装置19连接。光扫描型内窥镜30通过连接部31而与校准装置主体10连接。 [0044] 作为校准的对象的光扫描型内窥镜30是内窥镜装置的所谓镜体部分，具有：贯穿插入在光扫描型内窥镜30的内部的照明用光纤33、对照明用光纤33的前端部33a进行驱动的致动器34、向致动器34传递驱动信号的驱动信号线35、以及被内设于光扫描型内窥镜30的内部(例如，连接部31)的存储器36。并且，在光扫描型内窥镜30中贯穿插入有受光用光纤37(参照图3)，该受光用光纤37接受并传递由照明光的照射所产生的反射光或荧光等被检测光。 [0045] 在内窥镜观察时的状态下，光扫描型内窥镜30通过连接部31而与光扫描型内窥镜装置的未图示的控制装置主体连接，用于内窥镜图像的生成。光扫描型内窥镜装置主体具有：向光扫描型内窥镜30提供光的光源部、用于对致动器34进行驱动的驱动电路、以及根据由光扫描型内窥镜30接受到的像素数据来生成图像的图像处理电路等。例如在日本专利申请公开特开2014-44265号公报、日本特开2014-145941号公报等中公开了这样的光扫描型内窥镜装置。光扫描型内窥镜30通常与控制装置主体分开流通，本发明的校准装置主要在产品发货时用于进行光扫描型内窥镜30的校准。 [0046] 校准装置主体10构成为与内窥镜观察时的控制装置主体同样，能够与光扫描型内窥镜30的连接部31连接。校准装置主体10具有：对校准装置主体10整体进行控制的控制部11、对光扫描型内窥镜30提供校准用的照明光的光源部12、对光扫描型内窥镜30的致动器 34进行驱动的驱动电路13、接受来自PSD 20的输出并对其进行处理的运算电路14、以及对从运算电路14输出的校准数据进行存储的存储部15。 [0047] 光源部12例如具有激光器二极管、DPSS激光器(半导体激发固态激光器)等校准用光源。在利用光扫描型内窥镜30进行内窥镜观察的情况下，虽然有时为了获得彩色图像而使用射出不同波长的光的多个光源，但在校准装置主体10中，在用于校准时只要是最低限的单一光源即可。光源部12的发光时机由控制部11控制。从光源部12射出的光入射到照明用光纤16，利用连接部31与光扫描型内窥镜30的照明用光纤33结合。作为照明用光纤16、33可以使用单模光纤。 [0048] 驱动电路13向光扫描型内窥镜30的致动器34提供与内窥镜观察时相同的驱动信号。像后述那样，在照明用光纤33的前端部被压电元件驱动的情况下，驱动电路13提供压电元件的驱动电压。驱动电路13的输出被提供给驱动信号线17。驱动信号线17利用连接部31与光扫描型内窥镜30的驱动信号线35连接。并且，还通过控制部11来控制驱动电路13的驱动开始的时机。 [0049] 运算电路14经由检测信号线21取得从PSD 20输出的与照明光在受光面上的照射位置对应的检测信号，将该信号转换成照射位置的坐标值(x，y)。此外，运算电路14使转换后的坐标值(x，y)与由控制部11进行的驱动电路13的驱动开始之后的经过时间相对应。并且，在必要的情况下，也可以在运算电路14中使用多项式近似等而使照明光的坐标位置的误差平滑化。构成为由运算电路14计算出的与经过时间相对应的照明光的照射位置信息作为校准数据被保存在存储部15中。 [0050] 接下来，对光扫描型内窥镜30的驱动机构进行说明。图3是图2的光扫描型内窥镜30的插入部32的前端部32a(虚线所示的部分)的剖视图。光扫描型内窥镜30的插入部32的前端部32a构成为包含致动器34、投影用透镜38a、38b、穿过中心部的照明用光纤33以及穿过外周部的多个受光用光纤37。受光用光纤37在内窥镜观察时用于被检测光的检测，不用于校准。致动器34构成为包含：被安装环39固定在插入部32的内部的致动器管40、以及配置在致动器管40内的光纤保持部件41和压电元件42a～42d(参照图4的(a)和(b))。 [0051] 照明用光纤33被光纤保持部件41支承，并且从光纤保持部件41到前端部33a为止的部分是被支承成为能够振动的揺动部33b。并且，投影用透镜38a、38b被配置在插入部32的最前端。投影用透镜38a、38b构成为将从照明用光纤33的前端部33a射出的激光大致会聚到观察对象物上。因此，PSD 20被定位成受光面与该聚光位置一致。另外，投影用透镜不限于由两个透镜构成，也有时由一个或其他多个透镜构成。 [0052] 图4是将光扫描型内窥镜30的致动器34与照明用光纤33一同示出的图，图4的(a)是侧视图，图4的(b)是沿图4的(a)的A-A线的剖视图。照明用光纤33贯穿具有棱柱状的形状的光纤保持部件41的中央，由此被光纤保持部件41固定并保持。光纤保持部件41的4个侧面分别朝向与作为光纤的光轴方向的+Z方向垂直的、+Y方向和+X方向以及它们的相反方向。而且，在光纤保持部件41的+Y方向和-Y方向上固定有Y方向驱动用的一对压电元件42a、 42c，在+X方向和-X方向上固定有X方向驱动用的一对压电元件42b、42d。隔着光纤保持部件 41对置配置的压电元件42b、42d彼此在一方伸长时另一方收缩，使光纤保持部件41产生挠曲，通过重复进行该动作而产生X方向上的振动。关于Y方向的振动也相同。 [0053] 驱动电路13能够对X方向驱动用的压电元件42b、42d和Y方向驱动用的压电元件42a、42c施加同一频率的振动电压或者施加不同频率的振动电压，而对X方向驱动用的压电元件42b、42d和Y方向驱动用的压电元件42a、42c进行振动驱动。当分别对Y方向驱动用的压电元件42a、42c和X方向驱动用的压电元件42b、42d进行振动驱动时，图3、图4所示的照明用光纤33的揺动部33b振动，前端部33a振动并偏转，因此从前端部33a射出的激光对PSD 20的受光面22进行扫描(参照图5)。在螺旋扫描的情况下，对X方向和Y方向施加同一频率且位相彼此相差大致90°且振幅在0与最大值之间变化的振动电压。 [0054] 接下来，对本实施方式中所使用的PSD 20进行说明。图5是图2的PSD 20的剖视图，是从沿着受光面22的方向(与向受光面22的中心入射的入射光的光路大致垂直的方向)观察到的图。在图5中，从照明用光纤33射出的照明光从上方入射。即，关于图2的PSD 20，使图5的PSD 20的受光面22朝向左侧配置。PSD 20具有受光面22和与受光面22对置地分开配置的保护玻璃23。受光面22形成在硅基板上，通常具有较高的反射率。受光面22与保护玻璃23之间成为空气层24。很难使受光面22与保护玻璃23准确地配置成平行状态，保护玻璃23相对于受光面22具有不期望的倾斜(在图5中，强调地示出倾斜。)。并且，保护玻璃23本身也存在少许的楔角，与照明用光纤33的前端部32a对置的外侧面23a和与PSD 20的受光面22对置的内侧面23b并没有完全平行。 [0055] 在保护玻璃23上，在外侧面23a和内侧面23b中的至少任意一方形成有防反射膜(AR涂层)。优选在内侧面23a和外侧面23b的双方形成有防反射膜。防反射膜抑制在保护玻璃23中的至少一方的面23a、23b上反射的光与在受光面22上直接入射的照明光发生干涉。 [0056] 即，防反射膜作为抑制在到达PSD 20的光路上所产生的干涉条纹的干涉条纹抑制单元发挥作用。 [0057] 接下来，使用图6所示的流程图对校准的顺序进行说明。首先，如图1所示，进行校准的本校准装置的使用者使光扫描型内窥镜30的连接部31与校准装置主体10连接(步骤S01)。由此，校准装置主体10的照明用光纤16和驱动信号线17分别与光扫描型内窥镜30的照明用光纤33和驱动信号线35连接。 [0058] 接下来，使用者对光扫描型内窥镜30的插入部32的前端部32a进行固定，并将PSD 20配置成使PSD 20的受光面22与从前端部32a照射的照明光形成光点的聚光面上一致(步骤S02)。这里，PSD 20的检测信号线21与校准装置主体10的运算电路14连接。 [0059] 然后，使用者启动校准装置主体10。此外，使用者经由输入装置19对控制部11指示校准的开始。控制部11一边通过光源部12射出照明光一边通过驱动电路13启动致动器34而开始螺旋扫描。PSD 20在螺旋扫描的至少一个周期中依次检测照明光的光点位置的轨迹(步骤S03)。 [0060] 这里，由于在PSD 20的保护玻璃23的至少外侧面23a和内侧面23b中的任意一方形成有防反射膜，因此抑制受光面22中的干涉条纹的产生。由此，入射到PSD的照明光量不会因扫描位置而变动，能够准确地检测照明光的光点位置。 [0061] PSD 20将与检测到的光点位置对应的检测信号(例如，与光点位置对应的电压值)依次输出给运算电路14。运算电路14从控制部11接受驱动电路13的启动后的经过时间的信息，使根据检测信号计算出的光点位置的坐标信息与时间信息相关联，而成为校准数据。此外，根据情况来进行PSD 20的检测误差的校正或检测出的轨迹的平滑化、数据的异常值的检测等处理。由运算电路14计算出的校准数据被保存在校准装置主体10内的存储部15中(步骤S04)。存储部15能够作为校准装置主体10内部的存储装置。或者，存储部15也可以是能够相对于校准装置主体10装卸的移动型的存储介质(存储器卡等)。 [0062] 接下来，在结束了校准数据在存储部15中的保存之后，存储部15的校准数据被输出给光扫描型内窥镜30内部的存储器36(步骤S05)。另外，在存储部15是移动型的存储介质的情况下，使用者从校准装置主体10取下该存储部15，而作为存储器36插入到光扫描型内窥镜30的规定的部位。在该情况下，该移动型的存储介质的装卸作业也可以在结束了下一步骤S06之后进行。 [0063] 在校准数据被输出到光扫描型内窥镜30内部的存储器36之后，使用者将光扫描型内窥镜30的连接部31从校准装置主体10取下(步骤S06)。 [0064] 如上所述，光扫描型内窥镜30在存储器36中保持校准数据。在使用光扫描型内窥镜30来进行内窥镜观察时，光扫描型内窥镜30与具有光源、驱动电路和图像处理部的控制装置主体连接。控制装置主体从光扫描型内窥镜30的存储器36读出校准数据，根据该校准数据使所取得的像素值与像素位置相对应而进行图像生成。 [0065] 根据本发明，通过使用上述校准装置按照上述校准顺序来进行校准，而将精度较高的校准数据保存在光扫描型内窥镜30中。特别是，由于在保护玻璃23的外侧面23a和内侧面23b中的至少一方形成了防反射膜，因此能够抑制在受光面22上产生干涉条纹而使PSD 20的输出变得不准确的情况。由此，在使用该光扫描型内窥镜30来进行内窥镜观察时，能够生成变形更少的图像。由此，能够期待使用了光扫描型内窥镜30的诊断精度也会提高。 [0066] 并且，以往在内窥镜图像产生了变形的情况下，很难判别该变形是由于PSD内部的噪声引起的、还是由于附着在透镜或PSD上的灰尘等异物引起的。但是，在进行了本发明的校准之后，抑制了PSD内部的干涉条纹，因而还具有容易判别附着在透镜或PSD上的异物的效果。此外，若执行了本发明的校准方法，则能够除去难以通过近似式校正的在大范围中产生的图像的变形。因此，还具有如下的效果：在因上述的灰尘等而产生了局部性的变形的情况下，提高由近似式进行的校正的精度。 [0067] 在光扫描型内窥镜30中，进行光扫描的插入部32的前端部32a非常小，很难将对照明用光纤33的前端部33a的位置进行检测的传感器等配置到前端部上。因此，本发明的校准方法在应用于光扫描型内窥镜30时特别优选。 [0068] (第2实施方式) [0069] 图7是第2实施方式的校准装置的PSD 20的剖视图。在第2实施方式中，代替在保护玻璃23上形成防反射膜，而在PSD 20的受光面22与保护玻璃23之间填充了与空气相比折射率接近保护玻璃的折射率的凝胶等介质25。由此，使保护玻璃23与介质25之间的折射率差比保护玻璃23与空气之间的折射率差小，而减轻了反射光的产生。优选介质25的折射率接近保护玻璃23的折射率。特别是，通过使介质25的折射率与保护玻璃23的折射率一致，能够抑制在保护玻璃23与介质25之间的界面上的反射。使其他的结构与第1实施方式相同，因此对相同或对应的结构要素标注相同的参照标号并省略说明。 [0070] 根据本实施方式，通过减少保护玻璃23与介质25之间的反射，而减少在受光面22上的干涉条纹的产生。由此，与第1实施方式同样，在使用该光扫描型内窥镜30来进行内窥镜观察时，能够生成变形更少的图像。 [0071] (第3实施方式) [0072] 在本发明的第3实施方式中，代替第1实施方式的PSD 20而使用与图1所示的不具有防反射膜的PSD 1相同的PSD，此外，使图2的光源部12使用SLD(Super Luminescent Diode：超发光二极管)、LED等可干涉性较低的光源。使其他的结构与第1实施方式相同，并省略说明。 [0073] 根据本实施方式，由于作为照明光使用了可干涉性较低的光，因此在PSD 20中不容易产生干涉条纹。由此，与第1实施方式同样，在使用该光扫描型内窥镜30来进行内窥镜观察时，能够生成变形更少的图像。 [0074] 并且，虽然作为PSD使用不具有防反射膜的PSD，但也可以与PSD 20同样地使用具有防反射膜的PSD。在该情况下，通过防反射膜与低可干涉性的光源这双方的效果，能够进一步抑制干涉条纹，因此能够得到更好的效果。 [0075] 另外，本发明并不仅限于上述各实施方式，能够进行多种变形或变更。例如，光扫描装置的扫描轨道不限定于螺旋扫描。例如，在进行光栅扫描或利萨如扫描的情况下，也能够应用本发明。并且，作为对光扫描装置的光纤进行驱动的方法不限于使用压电元件的方法，也可以通过使用了电磁线圈和永磁铁的电磁性的驱动方法来构成光纤前端部的致动器。在该情况下，驱动电路对电流进行控制而代替对施加给致动器的电压进行控制。 [0076] 此外，在上述实施方式中，使控制部、光源部、驱动电路、运算电路和存储部内设在同一校准装置主体中，它们也可以为分体的硬件。虽然使保护PSD的受光面的部件为玻璃，但不限于此，也可以使用光透过性的树脂等。并且，虽然使上述实施方式应用于光扫描装置的发货前的校准，但不限于此，也可以为了对开始使用后的光扫描装置进行校准而应用。此外，在上述实施方式中，虽然与观察用的控制装置主体分开地设置了校准专用的校准装置主体，但也可以使校准装置主体的功能内设于观察用的控制装置主体中，而使使用者能够随时进行校准。 [0077] 并且，光扫描装置不限于光扫描型内窥镜，也可以应用于扫描光纤的光扫描型显微镜或光扫描型投影装置(投影仪)。并且，在上述实施方式中，作为光扫描装置的光扫描型内窥镜不具有光源和驱动电路，但也能够对内设有光源和驱动电路的光扫描装置应用本发明。在该情况下，校准装置包含：至少与光扫描装置连接的校准装置主体的控制部、抑制了干涉条纹的产生的PSD、以及保存由PSD检测出的位置信息的存储装置，只要根据控制部的控制对光扫描装置进行驱动而扫描光纤，通过PSD来检测光点的位置，并与时间信息相关联地保存在存储装置中即可。除此之外，作为校准装置的结构能够实现各种变形方式。 [0078] 此外，在上述实施方式中，采用了在校准装置主体中设置存储部而临时保存校准数据的结构，但也可以不在校准装置主体中设置存储部，而将由运算电路计算出的校准数据直接输出给光扫描装置的存储器。 [0079] 产业上的可利用性 [0080] 本发明的校准装置和校准方法能够用于光扫描装置的校准，特别是优选用于产品发货前的校准等。 [0081] 标号说明 [0082] 10：校准装置主体；11：控制部；12：光源部；13：驱动电路；14：运算电路；15：存储部；16：照明用光纤；17：驱动信号线；18：显示装置；19：输入装置；20：PSD；21：检测信号线；22：受光面；23：保护玻璃；23a：外侧面；23b：内侧面；24：空气层；25：介质；30：光扫描型内窥镜；31：连接部；32：插入部；32a：前端部；33：照明用光纤；33a：前端部；33b：揺动部；34：致动器；35：驱动信号线；36：存储器；37：受光用光纤；37a：前端部；38a、38b：投影用透镜；39：安装环；40：致动器管；41：光纤保持部件；42a、42b、42c、42d：压电元件。 |
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