Sensing the current and temperature of the standard field-effect transistor

申请号 JP2011520191 申请日 2009-07-23 公开(公告)号 JP2011529188A 公开(公告)日 2011-12-01
申请人 デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド; 发明人 グレン,ジャック・エル; ゴース,マーク・ダブリュー; ザラバディ,セイード; ローベンスタイン,ピーター・エイ;
摘要 An apparatus and method of determining the junction temperature (Tj) and drain-source current (Ids) of a standard FET within a multi-FET module includes a control IC managing one or more 3 terminal standard FETs within the same package, calculating Tj and Tds for one or more FETs in one or more packages, and protecting each FET against short circuit faults while allowing high current transients, such as inrush currents from a lamp load.
权利要求
  • モジュール内に配設された1つ又はより多くの標準型3端子FETのグループ内の少なくとも1つの標準型3端子FETの接合温度(Tj)及びドレーンソース電流(Ids)を決定する方法において、前記グループ内のFETの各々は、共通のケース端子と熱的に且つ電気的に結合され、熱抵抗は前記ケース及び前記モジュールの周囲環境とを相互に接続し、
    前記モジュールに対する周囲温度(Ta)をサンプリングするステップと、
    前記モジュール内の同一のケースと電気的に且つ熱的に結合されたFETの各々に対してドレーン−ソース電圧(Vds)をサンプリングするステップと、
    各FETのオン抵抗(Rds(Tj))に対するTjに依存する等式をロードするステップと、
    前記ケースとモジュールの環境との間の熱抵抗の値(Rth,ca)をロードするステップと、
    共通のケース内にて熱的に結合した全てのFETに対する単一のTjの値を解くステップとを備える、方法。
  • 請求項1に記載の方法において、共通のケース内の熱的に結合したFETの各々のドレーン−ソースオン抵抗(Rds)及びドレーン−ソース電流(Ids)の別個の値を計算すべく、解いたTjを使用するステップを更に備える、方法。
  • 請求項2に記載の方法において、FET Vdsを監視することによりFETが遷移的な過電流状態にあるかどうかを決定すべくFETの各々のRds及び最大の許容された遷移電流(Ids)の解いた値を使用するステップを更に備える、方法。
  • 標準型3端子FETの接合温度(Tj)及びドレーン−ソース電流(Ids)を決定する方法において、前記標準型3端子FETは、複数の標準型3端子FETを保持するモジュール内に配設され、前記モジュール内のFETの各々は、共通のケース端子と熱的に且つ電気的に結合され、熱抵抗は前記ケース及び前記モジュールの周囲環境を相互に接続し、
    前記モジュールの周囲温度(Ta)をサンプリングするステップと、
    前記モジュール内の同一のケースと電気的に且つ熱的に結合されたFETの各々に対してドレーン−ソース電圧(Vds)をサンプリングするステップと、
    各FETのオン抵抗(Rds(Tj))に対するTjに依存する等式をロードするステップと、
    前記ケースとモジュールの環境との間の熱抵抗の値(Rth,ca)をロードするステップと、
    共通のケース内にて熱的に結合した全てのFETに対する単一のTjの値を解くステップと、
    解いたTjの値を使用して、共通のケース内の熱的に結合したFETの各々に対するドレーン−ソースオン抵抗(Rds)及びドレーン−ソース電流(Ids)の別個の値を計算するステップと、
    FET Vdsを監視することによりFETが遷移的な過電流状態にあるかどうかを決定すべく、FETの各々のRds及び最大の許容された遷移電流(Ids)の解いた値を使用するステップとを更に備える、方法。
  • モジュール内に配設された1つ又はより多くの標準型3端子FETのグループ内の少なくとも1つの標準型3端子FETの接合温度(Tj)及びドレーンソース電流(Ids)を決定する装置において、前記グループ内のFETの各々は、共通のケース端子と熱的に且つ電気的に結合され、熱抵抗は前記ケース及び前記モジュールの周囲環境を相互に接続し、
    前記モジュールの周囲温度(Ta)を定期的にサンプリングするよう作用可能な手段と、
    前記モジュール内の同一のケースと電気的に且つ熱的に結合されたFETの各々に対してドレーン−ソース電圧(Vds)を定期的にサンプリングするよう作用可能な手段と、
    各FETのオン抵抗(Rds(Tj)に対するTjに依存する等式を記憶するよう作用可能なメモリ手段と、
    前記ケースとモジュールの環境との間の熱抵抗の値(Rth,ca)を記憶するよう作用可能なメモリ手段と、
    共通のケース内にて熱的に結合した全てのFETに対する単一のTjの値を解き且つその関数として出力を発生させるよう作用可能な制御手段と、を備える装置。
  • 請求項5に記載の装置において、前記制御手段は、共通のケース内の熱的に結合したFETの各々に対するドレーン−ソースオン抵抗(Rds)及びドレーン−ソース電流(Ids)の別個の値を計算すべく、解いたTjを使用するよう更に作用可能である、装置。
  • 請求項6に記載の装置において、前記制御手段は、FET Vdsを監視することによりFETが一時的な過電流状態にあるかどうかを決定すべく、FETの各々のRds及び最大の許容された遷移電流(Ids)の解いた値を使用するよう更に作用可能である、装置。
  • 说明书全文

    [0001] 本発明は、センサ、より具体的には、標準型電界効果トランジスタの電流及び温度を測定する方法及び装置に関する。

    [0002] 自動車の適用例において、ランプ、モータ、ソレノイド等のような電気的負荷は、典型的に、電界効果トランジスタ(FET)又はリレーのような電気スイッチにより制御される。 かかるスイッチは、しばしばモジュールとして互いにグループ化され、また、特注用途専用の集積回路(ASIC)、マイクロコントローラ(μC)として具体化することができ、又はFET自体に集積化することのできるプレドライブ又は制御集積回路(IC)により選択的に起動(非起動)させる。 スイッチは、通常の作動中、十分な電流が負荷に流れるのを許容し、また、FET、負荷又は関係した車両の配線を破壊するであろう過電流又は過温度のとき、電流が流れるのを防止しなければならない。

    [0003] 自己保護機能に加えて、車両のエンジン制御システムは、安全に関連した用途にて使用した負荷が適正に機能することを保証するためFET電流を正確に測定する必要がある。

    米国特許第7,154,291 B2号明細書

    米国特許第4,896,245号明細書

    米国特許第7,248,452号明細書

    米国特許第6,107,669号明細書

    [0004] 幾つかの異なる型式のFETは、スイッチング用途のため適用することができる。 標準型FETは、ソース、ドレーン及びゲートを含む3端子デバイスである。 標準型FETからドレーン−ソース電流(Ids)を感知するため、その抵抗電圧を監視する負荷電流と直列に配置された電流感知抵抗器のような少なくとも1つの追加的な電流感知要素が必要とされる。 電流及び温度感知FET(感知FET)は、標準型FETと同様であるが、1つ又は2つの追加的な特徴を有している。 第一に、感知FETは、負荷電流の僅かな部分を搬送する1つ又はより多くの追加的なソース端子を有することができ、この負荷電流は、外部の制御回路によって監視し、全体的なIdsを決定することができる。 第二に、感知FETは、FETの接合温度(Tj)をサンプリングする1つ又はより多くの集積型温度感知ダイオードを有している。 スマートFETは、感知FETと同様であるが、外部の制御IC無しにて過電流及び過温度からそれ自体を保護する能も有している。 感知FET及びスマートFETは、典型的に、自動車の安全に関連した用途にて使用するのに十分な電流感知精度を有するが、標準型FETよりも実質的に高価である。 ボードのスペースを節約するため多数の感知FET及びスマートFETが定常的に共通のパッケージ内に組み込まれているが、それらのコストは、依然として問題である。

    [0005] FET Vdsを測定することにより、また、FETのオン抵抗(Rds)に対する値を推定することにより外部の電流感知要素を必要とせずに、標準型FETのIdを決定することができることが提案されている。 しかし、Rdsは、温度と共に著しく変化し、このため、Rds(Tj)としてTjの関数として表わされる。 例えば、典型的なFETにおいて、Rds(175C)は、Rds(25C)の値の2倍である。 FETがオフであり、且つ周囲温度(Ta)にあると仮定して、Rdsを通って流れるIdsを付加することにより、FETによってパワー(Ids 2* Rds(Tj))は発散される。 このパワーによって発生された熱は、主として、FET接合部とケースとの間の熱抵抗(Rth,jc)を通って流れ、また、その後、FETケースと周囲温度との間の熱抵抗(Rth,ca)を通って流れ、この場合、Rth,ca>>Rth,jc、従って、Rth,jcは、典型的に無視することができる。 従って、Tjを決定する熱流は、次の等式により説明することができる。

    (1) Tj=Ta+Ids 2* Rds(Tj) Rth,ca
    [0006] Tj、従ってRdsは、動的であり、また、直接的に測定し又は計算しない限り、全体として未知である。 更に、Rdsは、全体としてTjの非線形関数であり、このため、(1)を解くためには、全体として、数学的反復処理を必要とする。 これらのことは、Tj、従ってRdsが独立的に測定されない場合、Vdsを測定することにより標準型FETのIdsを推定する気を失わせる。 同様にVds及びIdsを測定し、また、Rds及びIdsを測定し且つTjの値を測定するため使用することのできるRdsを計算することにより標準型FETのTjの値を決定することができることが提案されているが、この手順は、IdsをVdsと別個に測定することを必要とし、このため、外部の電流感知要素を追加する必要があり、このためコストが増す。

    [0007] 更なる問題点として、多数のFETを共通のドレーン端子、従って、共通のケース端子を有する単一パッケージ内に配置することが望ましい。 FETは共通のケースを有するから、各FETにより発生された熱は、共通の熱経路を通ってケースから環境に流れ、従って、各FETの接合温度は互いに依存するであろう。 共通のケース内の「n」の非平行なFETの接合温度Tjは、次式により説明する(i=1以上からnまでの合計値)。

    (2)Tj=Ta+Σ{Ids(i) 2* Rds(i,Tj)} Rth,ca;
    [0008] (1)と同様に、(2)は、全体として、Tjを高精度にて解くため数学的反復処理を必要とする非線形関数である。

    [0009] 「ドレーン−ソース電圧を測定することによる電界効果トランジスタを通る双方向電流の測定(Measuring Bi−Directional Current Through A Field−Effect Transistor By Virtue Of Drain−To−Source Voltage Measurement)」という名称にてターナ(Turner)に付与された先行技術の米国特許第7,154,291 B2号明細書は、Vds測定値を使用して電界効果トランジスタ(FET)のIds、特に、双方向電流を測定する方法及び装置を説明している。

    [0010] 「FETの過温度の保護回路(FET Overtemperature Protection Circuit)」という名称の先行技術の米国特許第4,896,245号明細書(クウアリッヒ(Qualich))、「半導体デバイスの保護方法及び該保護方法を使用して半導体デバイスを保護する装置(Method of Protecting Semiconductor Device and Protection Apparatus for Semiconductor Device using the same)」という名称の先行技術の米国特許第7,248,452号明細書(オオシマ(Ohshima))、及び「熱抵抗部材を有する負荷起動式半導体回路(Load Actuating Semiconductor Circuit Having a Themally Resistive Member)」という名称の先行技術の米国特許第6,107,669号明細書(モクヤ(Mokuya))は、全て、既知のIdsに対するVdsを監視することによりFET Tjを検出する方法及び装置を説明している。

    [0011] 米国特許第7,154,291 B2号明細書及び米国特許第4,896,245号明細書、米国特許第7,248,452号明細書及び米国特許第6,107,669号明細書の明細書及び教示内容は、参考として引用し本明細書に含めてある。

    [0012] Ids及びTjを推定するためVdsの測定値及びRds(Tj)の既知の温度依存性のみを使用する既存の標準型FETの解法は、自動車の安全性の用途のため精度が不十分であり、その理由は、これらは、Rdsの値となるTjの値を推定し、次に、そのRdsの値を使用してIdsを推定するか又はこれらは、Idsの値を推定し、次に、このIds値を使用してTjの値となるRdsの値を推定するからである。 Tj及びIdsは、推定値から著しく相違するため、特に、多数のFETが共通のケース上にて配置されるため、熱的に結合されるとき、これら方策の精度は、顕著なエラーを有するであろう。

    [0013] 従って、1つ又はより多くの熱的に結合し又は非結合の標準型FETに対して、追加的な電流又は温度感知要素を必要とせずに、Ids及びTjを高精度にて決定する方法が必要とされる。 Ids及びTjの値は決定したとき、過電流又は過温度のストレスに対してデバイスを保護するため使用することができる。

    [0014] 本発明の1つの目的は、追加的な電流又は温度感知要素を使用せずに、1つ又はより多くの熱的に結合し又は非結合の標準型FETのIds及びTjを高精度にて決定する方法を提供することである。

    [0015] 更なる目的は、3端子FETを過度のIds及びTjから保護することである。
    [0016] 本発明の上記及びその他の特徴並びに有利な効果は、図面と共に、本発明の好ましい且つ代替的な実施の形態を詳細に説明する以下の説明を読むことにより明らかになるであろう。

    [0017] 本発明は、例えば、幾つかの図面の全体を通じて同様の部品を同様の参照番号にて示す添付図面により説明する。
    [0021] 図面は、本発明の実施の形態を示すが、図面は、必ずしも正確な縮尺ではなく、また、本発明で示し且つ説明するため、特定の特徴を誇張して示すことがある。 本明細書に記載した例は、1つの形態にて、本発明の1つの実施の形態を示すが、かかる例示は、何らかの態様にて本発明の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。

    [0022] 先ず、添付図面の図1から図3を参照して制御ICのような装置について詳細に説明する。 装置は、本発明の好ましい実施の形態に従って、熱的に結合し又は結合しなくてもよい1つ又はより多くの標準型の3端子又は「ダム(dumb)」電界効果トランジスタの接合温度(Tj)及びドレーンソース電流(Ids)を決定するため使用する。

    本発明のブロック図である。

    2Aは、負荷パワーオンした状態の間のランプの流入イベントのグラフ図であり、ランプ電流を示す。

    2Bは、負荷パワーオンした状態の間のランプの流入イベントのグラフ図であり、形成されるFET Vdsを示す。

    Tjの関数でなければならないVdsをサンプルする間の過電流又は過温度@0001の遷移イベントを把握するVds故障閾値(Vsdf)のグラフ図である。

    [0023] 図1について説明する。 全体として参照番号10で示した測定回路又は装置は、制御回路32内に機能ブロックを保持しており、該制御回路は熱的に結合し又は結合しなくてもよい1つ又はより多くの標準型FETのIds及びTjを高精度にて抽出することができる。 FET HF(1)42及びFET HF(2)43を含むFETのグループ化はそれらのそれぞれのドレーンを共通のケース47に電気的に且つ熱的に装着し、該共通のケース47は、熱抵抗Rth,ca1 71を通じて周囲温度Ta53と熱的に結合されている。 FET HF(3)50を含む第二のFETグループ化は、そのドレーンをケース49に電気的に且つ熱的に装着されており、該ケース49は、熱抵抗Rth,ca2 73を通じてTa53と熱的に結合されている。

    [0024] 測定回路10は、制御集積回路(IC)32を備えており、該制御集積回路は、Ids及びTjを測定するため共通のケース47内に取り付けられることによって熱的に結合される2つ又はより多くの標準型FET42、43と、及び(又は)熱的に隔離したケース49内に取り付けられた標準型FET50とを管理する。 以下により詳細に説明するように、回路IC32は、ケース47、49の1つ又はより多くの内にて各FET42、43、50のTj、及びIdsを計算するためアルゴリズムをデジタル処理する。 測定回路10は、ランプ負荷からの流入電流のような、高電流遷移を許容しつつ、各FET42、43、50を短絡故障から保護する機能を果たす。 図2及び図3を参照。

    [0025] 制御IC32は、電源33及びIC接地34と接続され、また、その内部に一体化した多数の制御ブロック、論理ブロック及び機能ブロックを有している。 高サイドFETゲート駆動回路41は、1つ又はより多くの高サイドFET42、43、50を制御すべく採用される。 各高サイドFET42、43、50のゲート端子及びソース端子は、高サイドゲート駆動回路41と回路を成している。 高サイドFET42、43、50の各々のソース端子は、Zhf(1)、Zhf(2)、Zhf(3)で示したそれぞれの高サイド負荷44、45、51と接続され且つ高サイドゲート駆動回路41と接続されている。 1つ又はより多くの高サイドFET42、43、50のドレーン端子は、車両の接地端子35と接続された関係した電圧源48の電池線46と接続されている。 単一の高サイドゲート駆動回路41のみを示したが、各高サイドFET42、43、50に対して1つずつのように、複数にて具体化することが考えられる。

    [0026] 各高サイドFET42、43、50の各々に対するドレーン−ソース電圧(Vds)故障比較器回路40が提供される。 Vdsの故障閾値は、ランプへの突入電流のような許容可能な遷移電流を許容すべく時間と共に変化させる。 比較器回路は、故障閾値が故障の期限時間を大幅に上廻ったとき、FETのゲート駆動装置を直接、不作動にする命令を発する機能を果たす。

    [0027] 制御IC32は、各FET42、43、50のVdsを直列又は並列にてサンプリングする機能を果たす1つ又はより多くのサンプルホールド回路58を含む。 サンプルホールド回路58は、高サイドゲート駆動装置41と回路を成している。

    [0028] 制御IC32は、サンプリングしたVds信号を変換する作用を果たすサンプルホールド回路58と回路を成す1つ又はより多くのアナログ対デジタル変換器(ADC)60を含む。 制御IC32は、各FETケースに対するTjを計算するデジタル回路ブロック63と、ブロック63からのTjの計算値を使用して各FETのRds(Tj)を解くデジタル回路ブロック65と、ブロック65からのRds(Tj)の計算値を使用して各FETに対するIds=Vds/Rds(Tj)の値を計算するデジタル回路ブロック66と、PWM制御回路67とを含み、これらは全て、記憶したデジタルアルゴリズムを作動させる機能を果たすADC60と相互に接続されている。

    [0029] 制御IC32は、周囲温度の感知回路64と、不揮発性メモリ66とを含み、該不揮発性メモリは、各FET42、43、50のRds(Tj)用の記憶した等式と、ケース47と環境53との間の記憶した熱抵抗Rth,ca1 71と、ケース49と環境53との間の記憶した熱抵抗Rth,ca2 73とを保持する。

    [0030] 要するに、回路10は、標準型(ダム)FETのTj及びIdsを解く機能を果たす。 制御IC32は、Ta53をサンプリングすることにより機能する。 制御IC32は、所定のFETに対してドレーン−ソース電圧(Vds)をサンプリングする。 参照番号42、43で示したような、パッケージ内に共通のドレーンを有する1つ以上の非平行なFETが存在する場合、同一のケースに装着した各FETのVdsはサンプリングされる。 制御モジュールIC32は、各FETのRds(Tj)用及び熱抵抗71、73用のプログラムされた値を不揮発性メモリ66内に含む。 1つの好ましい方策は、Rds(Tj)=aTj +bTj+cを規定することであり、この場合、係数a、b、cの各々は、各FETに対して特異的なものとし、また、不揮発性メモリ66に記憶される。

    [0031] 各FETを過度の定常状態の温度から保護するため、計算したTjを予め規定した最大値とデジタル論理にて比較し、また、過温度状態であると決定された場合、FETをオフにすることができる。 各FETを過度の定常状態の電流(Ids)から保護するため、計算したIdsの値を予め規定した最大値とデジタル論理にて比較し、また、過電流状態であると決定された場合、FETをオフにすることができる。

    [0032] ランプの突入電流イベント又は強い短絡のような、遷移的なサージ電流(電流の急増)から保護するため、最大の許容可能な遷移Ids(Idsf)は、各FETに対して不揮発性メモリからロードされる。 Idsfは時間と共に変化させ、図2に示したもののようなランプの突入電流及びその他の遷移的電流イベントを許容することができる。 Idsfは、Rds(Tj)の最新の計算値を使用してVdsf=Idsf Rds(Tj)により、許容された最大のVds(Vdsf)に関係付けることができ、また、これらの遷移イベントは、FET Tj、従って、Rds(Tj)の値を実質的に変化させないよう持続時間及びエネルギの点にて十分に短い又は小さいことが理解される。 電圧比較器を使用してVdsを監視し、Vds>Vdsfであり、そのとき、Ids>Idsfである場合、FETを遮断して過度のストレスから保護する。 遷移的なランプの突入電流を許容するように、各FETのVdsfを時間の関数として変化させ(図2A及び図2B参照)、また、Tjの関数として変化させることができる(図3参照)。

    [0033] FETをロードにオンするように切り換える命令を受け取ったとき、デジタルアルゴリズムは、各FETのケース47/49に対して次の機能を実行する。
    [0034] (I)Taをロードする。

    [0035] (II.)各FETのIdsfをロードする。
    [0036] (III.)Vdsfの値を各FETのIdsf Rds(Ta)として計算し且つそれぞれのVds故障比較器にロードする。

    [0037] (IV)FETをオンにし、Vdsは、Vds故障比較器により、予想される負荷電流に応じて時間の関数として変化するであろう値Vdsfに対して、監視する。

    [0038] (V)共通のケース上にて非平行な各FET(i)のVds(i)の値をロードする。
    [0039] (VI)各FET(i)に対する0から1のPMWデューティサイクル(pd(i))をロードし又はFETがDCモードにある場合、1に設定する。

    [0040] (VII.)共通のケース上にて非平行な各FETの記憶したRds(Tj)の値をロードする。
    [0041] (VIII.)熱抵抗Rth,caの記憶値をロードする。

    [0042] (IX.)共通のケース内で「n」の非平行なFETの接合温度Tjは、次式を使用して解く(i=1以上からnまでの合計値)。
    (3)Tj=Ta+Σ(Pd(i) Vds(i) /Rds(i,Tj) Rth,ca
    図1に示した実施の形態の場合、FET HF(1)42及びFET HF(2)43の接合温度はケース47のケース温度と同一であり、また、Rth,caを使用して公式により計算する。

    (4)Tj=Ta+{(Pd(1) Vds(1) /Rds(1,Tj)+Pd(2) Vds(2) /Rds(2,Tj)} Rth,ca1
    同様に、FET HG(3)50の接合温度はケース49のケース温度と同一であり、Rth,ca2を使用して公式により計算する。

    (5)Tj=Ta+(Pd(3) Vds(3) /Rds(3,Tj)) Rth,ca2
    [0043] (X.)一般に、Rds(Tj)が2次多項式、すなわちTjであり、共通のケース内に「n」の非平行なFETがある場合、Tjの解法は、2n+1次の多項式を解くことにより見つけることができよう。

    [0044] (XI.)各別個のケース内にてFETのTjを計算した後、パッケージ内の非平行な各FETのRds(Tj)の値を計算する。
    [0045] (XII)Vds故障比較器に対して使用されるVdsfの値は、最新のVdsf=Idsf Rds(Tj)としてRds(Tj)の計算値を反映するように更新する。

    [0046] (XIII)共通のケース内にて非平行な各FETのRds(Tj)の値を計算した後、共通のケース内にて非平行な各FETのIds=Vds(i)/Rds(i,Tj)の値を計算する。

    [0047] (XIV)共通のケース内にて非平行な各FETのTj及びIdsが見つかったならば、それらの値は、記憶した最大の許容値とデジタル論理にて比較し、FETが過電流又は過温度状態にあると推定される場合、FETはオフに切り換えられる。

    [0048] (XV)FETがオン切り換え命令を受信したならば、全てのFET Ids及びTjの値が決定される迄、アルゴリズムは、各FETパッケージに対して、繰り返す。

    [0049] (XVI)共通のケース内にて1つ又はより多くのFETがオンに切り換えられ、計算されたTjを取得した場合、現在、オフ状態にある残りのFETは、同一のTjを有するものと推定される。 オフ状態FETがオンになるよう命令された場合、アルゴリズムステップ(I)から(III)にてVds故障比較器に対して使用されるそれらの当初のRds値は、Rds(Ta)ではなく、Rds(Tj)となるであろう。

    [0050] 本発明は、上述した特徴及び有利な効果を提供するよう特定の実施の形態及び変更例に関して説明し、また、これらの実施の形態は、当該技術の当業者に明らかであるように改変可能であることを理解すべきである。

    [0051] 更に、基本的な構成要素を構成するため、多くの代替例、共通の低廉な材料を採用することができると考えられる。 従って、上記の説明は、限定的な意味にて解釈されるべきではない。

    [0052] 本発明は、一例としての態様にて説明したが、使用した用語は、限定的ではなく、説明する用語の性質であることを意図することを理解すべきである。
    [0053] 当然、上記の説明に照して、本発明の多くの改変例及び変更例が可能である。 このため、添付した請求項の範囲内にて、参照番号は単に説明の目的及び便宜のためであり、何ら限定的なものではないこと、また、以下の請求項に記載した本発明は、均等論を含んで特許法の理論に従って解釈され、また、具体的に説明したもの以外の形態にて実施することが可能であることを理解すべきである。

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