过去，作为测定各种流体特别是液体的流量(或者流速)的流量 传感器(或者流速传感器)，使用各种形式的传感器，鉴于价格低廉 而使用简便的原因，所谓热式(特别是旁热式)的流量传感器得到了 使用。
作为这种旁热式流量传感器，使用的是把传感器芯片配置成与作 为流体流通路的配管内的液体之间可传热的传感器，该传感器芯片利 用薄膜技术在基板上通过绝缘层把薄膜发热体和薄膜感温体层压而 成。通过给发热体通电，对感温体加热，使该感温体的电气特性例如 电阻值发生变化。该电阻值的变化(基于感温体的温度上升)随着流 过配管内的流体的流量(流速)相应地变化。这是因为发热体的发热 量中的一部分传递到流体中，在该流体中扩散的热量随着流体的流量 (流速)相应地变化，随之，供应给感温体的热量发生变化，从而该 感温体的电阻值发生变化。该感温体的电阻值的变化，还因流体的温 度而异，因此，还在测定上述感温体的电阻值的变化的电路中装进温 度补偿用的感温元件，以尽量减小因流体的温度导致的流量的测定值 的变化。
关于这种采用薄膜元件的旁热式流量传感器，例如在特开平11- 118566号公报上有记载。在该流量传感器中，为了得到与流体的流量 对应的电气输出，使用了包括电桥电路的电路。
近年来，检测罐或配管系统的流体的泄漏的重要性增加了。例如， 一旦从汽油、柴油以及煤油等燃油的罐中发生漏油，持续有大量的油 漏出，就会发生火灾、环境污染以及资源损失等问题，所以，最理想 的是在发生的初期阶段检测出漏油的发生。因此，有时要求检测例如 1毫升/h以下的极微量的漏油。
在这样的漏油检测中，可以考虑使用上述那种旁热式流量传感 器，但是，该流量传感器存在这样的问题，即在流量值为例如1毫升/h 以下的极微量的区域，由于相对于流量变化的电路的输出的变化变 小，因而流量测定值的误差变大(亦即在测定时能够鉴别的流量差的 比例变大，测定灵敏度下降)。
另外，作为流量传感器，有用配置在配管的特定位置的热源对流 体加热，在对配管内的流体流通而言热源位置的上游侧和下游侧分别 间隔适当的距离来配置感温体，根据配管内的流体流通时产生的上游 侧感温体和下游侧感温体的检测温度差来测定流体流量的二定点温差 检测式的传感器。但是，该传感器用于上述油漏检测时，存在这样的 问题，即如果流量值达到例如3毫升/h以上时，相对于流量变化的电 路的输出的变化变小，所以在大流量值区域，误差变大(亦即在测定 时能够鉴别的流量差的比例变大，灵敏度下降)。
而且，过去汽油加油站等处的燃油罐几乎都是埋设于地下，从该 地下罐汲出燃油的配管也埋设于地下。配管因时效老化，很快出现微 小的龟裂，从龟裂处发生漏油的可能性很大。一旦到了这种事态，就 会导致周围环境污染，而恢复原状要很大的费用。因此，对于这种与 地下罐连接的地下埋设配管，定期进行有无漏油(或者导致漏油的配 管的龟裂)的检查。
过去用于这种配管检查的方法有在把配管密闭的状态下，往该配 管内加压注入空气等气体或水等液体，检测经过规定时间后有无压力 减少的方法。另外，还有与之相反地在把配管内密闭的状态下对该罐 内减压，检测在经过规定时间后有无压力增加的方法。但是，用这些 方法时，在泄漏检查作业之前，必需把配管的所有的开口用腻子等进 行密封，并必需把配管内的油全部抽出来，作业非常麻烦。而且，在 上述密封做得不完全时，用这些方法检测出来的泄漏不一定是反映了 因为配管龟裂等导致的实际的漏油，检查作业既费劲，精度还不一定 高。
为了迅速处理配管内液体的泄漏，能够在配管的龟裂等小、泄漏 少的早期检测至关重要，因此，要求做到少量的泄漏检测。

本发明的目的在于提供一种能够在从极微量的流量区域到比较大 的流量区域的大流量范围内以良好的精度以及灵敏度进行流量测定的 流量测定方法以及流量计。
根据本发明，为实现上面的目的，提供一种流量测定方法，测定 流体流通路内的流体的流量，其特征在于：
就上述流量的值，对于比预先规定的临界流量区域大的高流量区 域，把通过旁热恒温控制式流量测定来测定上述流体的流量而得到的 流量值作为测定值；对于比上述临界流量区域小的低流量区域，把通 过二定点温差检测式流量测定而得到的流量值作为测定值；对于上述 临界流量区域，把通过上述旁热恒温控制式流量测定而得到的流量值 或者通过上述二定点温差检测式流量测定而得到的流量值作为测定 值，使用用于上述旁热恒温控制式流量测定的测定部作为在上述二定 点温差检测式流量测定中对上述流体流通路内的流体进行加热的热 源。
在本发明的一种方式中，上述临界流量区域仅由一个特定流量值 构成。在本发明的一种方式中，首先通过上述旁热恒温控制式流量测 定来测定上述流体的流量，得到的流量值属于上述高流量区域时，或 者属于上述高流量区域以及上述临界流量区域之一时，把该流量值作 为测定值，除此之外，接着通过上述二定点温差检测式流量测定来测 定上述流体的流量，把得到的流量值作为测定值。另外，在本发明的 一种方式中，首先通过上述二定点温差检测式流量测定来测定上述流 体的流量，得到的流量值属于上述低流量区域时，或者属于上述低流 量区域以及上述临界流量区域之一时，把该流量值作为测定值，除此 之外，接着通过上述旁热恒温控制式流量测定来测定上述流体的流 量，把得到的流量值作为测定值。
再有，根据本发明，为实现上面的目的，提供一种流量计，测定 流体流通路内的流体的流量，其特征在于：
具有面对上述流体流通路配置的旁热恒温控制式流量测定部以及 二定点温差检测式流量测定部；和根据用上述旁热恒温控制式流量测 定部得到的第一流量对应输出以及用上述二定点温差检测式流量测定 部得到的第二流量对应输出，得到测定值的运算部，
上述旁热恒温控制式流量测定部具有发热体和与该发热体相邻配 置的第一感温体，上述发热体受基于上述第一感温体的检测温度的反 馈控制，根据该反馈控制的状态得到上述第一流量对应输出；
上述二定点温差检测式流量测定部具有按照上述流体流通路内的 流体流通方向分别配置于上述旁热恒温控制式流量测定部的上游侧和 下游侧的第二感温体和第三感温体，根据上述第二感温体的检测温度 和第三感温体的检测温度之差得到上述第二流量对应输出；
上述运算部，就上述流量的值，对于比预先规定的临界流量区域 大的高流量区域，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值作为 测定值输出，对于比上述临界流量区域小的低流量区域，把根据上述 第二流量对应输出而得到的流量值作为测定值输出，对于上述临界流 量区域，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值或者根据上述 第二流量对应输出而得到的流量值作为测定值输出。
在本发明的一种方式中，上述临界流量区域仅由一个特定流量值 构成。在本发明的一种方式中，上述运算部首先在上述第一流量对应 输出与上述高流量区域对应时，或者与上述高流量区域以及上述临界 流量区域之一对应时，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值 作为测定值，除此以外，把根据上述第二流量对应输出而得到的流量 值作为测定值。另外，在本发明的一种方式中，上述运算部首先在上 述第二流量对应输出与上述低流量区域对应时，或者与上述低流量区 域以及上述临界流量区域之一对应时，把根据上述第二流量对应输出 而得到的流量值作为测定值，除此以外，把根据上述第一流量对应输 出而得到的流量值作为测定值。
在本发明的一种方式中，上述发热体以及上述第一感温体均呈可 通电的薄膜状，通过电绝缘性薄膜层压在一起。在本发明的一种方式 中，上述第一流量对应输出得自包括上述发热体、上述第一感温体以 及温度补偿用的感温体的检测电路。
另外，本发明的目的在于提供一种能够在从极微量的流量区域到 比较大的流量区域的大流量范围内以良好的精度以及灵敏度进行流量 测定的流量测定中使用的流量测定部组件以及采用了该流量测定部组 件的流量测定单元。
根据本发明，为实现上面的目的，提供一种流量测定部组件，用 来测定流体流通路内的流体的流量，其特征在于：
具有安装在上述流体流通路上的旁热恒温控制式流量测定部以及 二定点温差检测式流量测定部，该二定点温差检测式流量测定部由按 照上述流体流通路内的流体流通方向，分别配置在上述旁热恒温控制 式流量测定部的上游侧和下游侧的上游侧感温部以及下游侧感温部构 成，
上述旁热恒温控制式流量测定部具有发热体和与该发热体相邻配 置的第一感温体，上述上游侧感温部具有第二感温体，上述下游侧感 温部具有第三感温体，
上述旁热恒温控制式流量测定部连接着用来与上述发热体以及上 述第一感温体进行电连接的第一配线部，上述上游侧感温部连接着用 来与上述第二感温体进行电连接的第二配线部，上述下游侧感温部连 接着与用来上述第三感温体进行电连接的第三配线部。
在本发明的一种方式中，上述第一配线部、第二配线部以及第三 配线部均用柔性配线基板形成。在本发明的一种方式中，上述旁热恒 温控制式流量测定部、上述上游侧感温部、上述下游侧感温部以及安 装着这些部分的上述流体流通路的部分装在盒子里面。在本发明的一 种方式中，上述盒子上设有分别构成上述第一配线部、第二配线部以 及第三配线部的第一端子、第二端子以及第三端子。
在本发明的一种方式中，上述盒子里面装着具有温度补偿用感温 体的感温部，该感温部连接着延伸到上述盒子外面的热传导构件，上 述盒子上设有构成用来与上述温度补偿用感温体进行电连接的第四配 线部的第四端子。在本发明的一种方式中，上述发热体以及上述第一 感温体均呈可通电的薄膜状，通过电绝缘性薄膜层压在一起。
另外，根据本发明，为实现上面的目的，提供一种流量测定单元， 其特征在于：
具有以上这种流量测定部组件、用来安装该流量测定部组件的单 元基板和安装在该单元基板上的流量测定电路元件。
在本发明的一种方式中，上述流量测定电路元件包括模拟电路元 件而构成，该模拟电路元件根据上述第一感温体的检测温度对上述发 热体进行反馈控制，根据该反馈控制的状态得到第一流量对应输出， 根据上述第二感温体的检测温度和上述第三感温体的检测温度之差得 到第二流量对应输出。
在本发明的一种方式中，上述流量测定电路元件还包括数字电路 元件而构成，该数字电路元件具有根据上述第一流量对应输出以及上 述第二流量对应输出而得到流量测定值的运算部，该运算部，就上述 流量的值，对于比预先规定的临界流量区域大的高流量区域，把根据 上述第一流量对应输出而得到的流量值作为测定值输出；对于比上述 临界流量区域小的低高流量区域，把根据上述第二流量对应输出而得 到的流量值作为测定值输出；对于上述临界流量区域，把根据上述第 一流量对应输出而得到的流量值或者根据上述第二流量对应输出而得 到的流量值作为测定值输出。
在本发明的一种方式中，上述临界流量区域仅由一个特定流量值 构成。在本发明的一种方式中，上述运算部首先在上述第一流量对应 输出与上述高流量区域对应时，或者与上述高流量区域以及上述临界 流量区域之一对应时，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值 作为测定值，除此之外，把根据上述第二流量对应输出而得到的流量 值作为测定值，或者，首先在上述第二流量对应输出与上述低流量区 域对应时，或者与上述低流量区域以及上述临界流量区域之一对应 时，把根据上述第二流量对应输出而得到的流量值作为测定值，除此 之外，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值作为测定值。
另外，本发明的目的在于提供一种能够简单而且准确检测微量泄 漏的配管的泄漏检查装置。另外，本发明的目的在于提供一种能够在 配管内保留该配管内输送的液体的状态下直接检查泄漏的泄漏检查装 置。
根据本发明，为实现上面的目的，提供一种检查从被测定配管的 液体的泄漏的装置，其特征在于：
具有：具备用于与上述被测定配管连通的连接端并具备液体排出 端的内部配管系统；与该内部配管系统连接的临时储存加压液体用 罐；在上述内部配管系统中，在从上述临时储存加压液体用罐到上述 连接端的路线上顺次配置的泵以及流量计，
上述内部配管系统可形成：由上述泵从上述被测定配管通过上述 连接端且不通过上述流量计向上述临时储存加压液体用罐输送液体的 第一路线；由上述泵从上述临时储存加压液体用罐通过上述连接端以 及上述流量计向上述被测定配管压送液体的第二路线；和由上述泵从 上述临时储存加压液体用罐向上述液体排出端输送液体的第三路线，
根据在上述连接端与上述被测定配管连通的状态下，通过上述泵 的液体压送使得从上述第二路线的上述泵到上述连接端的部分的液压 上升时的由上述流量计检测的液体流量，来检查从上述被测定配管的 液体的泄漏。
在本发明的一种方式中，上述内部配管系统还可形成：当在上述 第二路线中从上述泵到上述连接端的部分的液压超过设定值的时候， 把液体从上述泵与上述流量计之间的部分回送到上述临时储存加压液 体用罐的第四路线。在本发明的一种方式中，上述内部配管系统还可 形成：释放在上述第二路线中从上述流量计到上述连接端的部分的至 少一部分液压的第五路线。
另外，在本发明的一种方式中，
上述流量计具有：面对构成上述内部配管系统的流体流通路而配 置的旁热恒温控制式流量测定部以及二定点温差检测式流量测定部； 和根据用上述旁热恒温控制式流量测定部得到的第一流量对应输出以 及用上述二定点温差检测式流量测定部得到的第二流量对应输出，来 得到测定值的运算部，
上述旁热恒温控制式流量测定部具有发热体和与该发热体相邻配 置的第一感温体，上述发热体受基于上述第一感温体的检测温度的反 馈控制，根据该反馈控制的状态得到上述第一流量对应输出；
上述二定点温差检测式流量测定部具有按照上述流体流通路内的 流体流通方向分别配置于上述旁热恒温控制式流量测定部的上游侧和 下游侧的第二感温体和第三感温体，根据上述第二感温体的检测温度 和第三感温体的检测温度之差得到上述第二流量对应输出；
上述运算部，就上述流量的值，对于比预先规定的临界流量区域 大的高流量区域，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值作为 测定值输出；对于比上述临界流量区域小的低流量区域，把根据上述 第二流量对应输出而得到的流量值作为测定值输出；对于上述临界流 量区域，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值或者根据上述 第二流量对应输出而得到的流量值作为测定值输出。
在本发明的一种方式中，上述临界流量区域仅由一个特定流量值 构成。在本发明的一种方式中，上述运算部首先在上述第一流量对应 输出与上述高流量区域对应时，或者与上述高流量区域以及上述临界 流量区域之一对应时，把根据上述第一流量对应输出而得到的流量值 作为测定值，除此以外，把根据上述第二流量对应输出而得到的流量 值作为测定值。另外，在本发明的一种方式中，上述运算部首先在上 述第二流量对应输出与上述低流量区域对应时，或者与上述低流量区 域以及上述临界流量区域之一对应时，把根据上述第二流量对应输出 而得到的流量值作为测定值，除此以外，把根据上述第一流量对应输 出而得到的流量值作为测定值。
在本发明的一种方式中，上述发热体以及上述第一感温体均呈可 通电的薄膜状，通过电绝缘性薄膜层压在一起。在本发明的一种方式 中，上述第一流量对应输出得自包括上述发热体、上述第一感温体以 及温度补偿用的感温体的检测电路。
附图说明
图1是用来说明在实施本发明所涉及的流量测定方法中使用的本 发明所涉及的流量计的一种实施方式的示意剖视图；
图2是表示图1的流量计的构造的局部透视图；
图3是图2的局部剖视图；
图4是图2的局部剖视图；
图5是表示图1的流量计的流量测定系统的框图；
图6是表示图1的流量计的用于流量检测的电路构成的图；
图7是表示用于Vh的换算的标准曲线的一例的图；
图8是表示用于Vout的换算的标准曲线的一例的图；
图9是表示利用本发明所涉及的流量测定方法以及流量计的液体 泄漏监视系统的一种实施方式的示意图；
图10是表示本发明所涉及的流量测定部组件的实施方式的部分 省略分解透视图；
图11A是图10的流量测定部组件的俯视图；
图11B是图10的流量测定部组件的主视图；
图12A是图10的流量测定部组件的横向剖视图；
图12B是图10的流量测定部组件的纵向剖视图；
图13A是表示本发明所涉及的流量测定部组件的实施方式的俯视 图；
图13B是表示本发明所涉及的流量测定部组件的实施方式的主视 图；
图14A是图13A以及图13B的流量测定部组件的横向剖视图；
图14B是图13A以及图13B的流量测定部组件的纵向剖视图；
图15是表示本发明所涉及的流量测定单元的实施方式的透视 图；
图16A是图15的流量测定单元的俯视图；
图16B是图15的流量测定单元的主视图；
图16C是图15的流量测定单元的侧视图；
图17是表示本发明所涉及的流量测定单元的实施方式的透视 图；
图18A是图17的流量测定单元的俯视图；
图18B是图17的流量测定单元的主视图；
图18C是图17的流量测定单元的侧视图；
图19是表示本发明所涉及的流量测定单元的实施方式的透视 图；
图20A是图19的流量测定单元的俯视图；
图20B是图19的流量测定单元的主视图；
图20C是图19的流量测定单元的侧视图；
图21是表示本发明所涉及的流量测定部组件装入流量计的实施 方式的剖视图；
图22是表示本发明所涉及的流量测定单元装入流量计的实施方 式的剖视图；
图23是表示本发明所涉及的配管泄漏检查装置的一种实施方式 的图；
图24是用来说明图23的装置的动作的图；
图25是用来说明图23的装置的动作的图；
图26是用来说明图23的装置的动作的图；
图27是用来说明图23的装置的动作的图；
图28是表示本发明所涉及的配管泄漏检查装置的一种实施方式 的图；
图29是用来说明图28的装置的动作的图；
图30是用来说明图28的装置的动作的图；
图31是用来说明图28的装置的动作的图；
图32是用来说明图28的装置的动作的图；
图33是表示本发明所涉及的配管泄漏检查装置的一种实施方式 的图；
图34是用来说明图33的装置的动作的图；
图35是用来说明图33的装置的动作的图；
图36是用来说明图33的装置的动作的图；
图37是用来说明图33的装置的动作的图；
图38是表示本发明所涉及的配管泄漏检查装置的一种实施方式 的图；
图39是用来说明图38的装置的动作的图；
图40是用来说明图38的装置的动作的图；
图41是用来说明图38的装置的动作的图；
图42是用来说明图38的装置的动作的图；
图43是用来说明本发明所涉及的配管泄漏检查装置中使用的流 量计的一种实施方式的示意剖视图；
图44是表示利用本发明所涉及的配管泄漏检查装置的液体泄漏 监视系统的一种实施方式的示意图。

下面，参照附图说明本发明的实施的方式。所有附图中对应的部 分、构件或装置标注同样的标号。
图1是用来说明在实施本发明所涉及的流量测定方法中使用的本 发明所涉及的流量计的一种实施方式的示意剖视图，图2是表示其构 造的局部透视图，图3和图4是其局部剖视图，图5是表示本实施方 式的流量测定系统的框图，图6是表示用于其流量检测的电路构成的 图。本实施方式利用在罐内液体从罐体的泄漏检测中。
如图1所示，筒状的测定管12的下部插入罐内液体(例如汽油、 柴油或煤油及其它可燃性液体)2中。该测定管12，其上端部在大气 中开口，下端部在罐内液体2中开口。在测定管12内，在其下端部 稍微靠上的位置，设有沿上下方向延伸的测定细管14，罐内液体2在 该测定细管14内流通。在本实施方式中，该测定细管14被用作液体 流通路，当发生罐内液体2的泄漏时，在没有向罐内补充液体或从罐 中汲出液体的条件下，如图所示，罐内液体2的液面就会低于测定管 12内的液面，因此，液体在测定细管14内向下流通。把测定细管14 的截面积相对于测定管12的截面积设定得充分地小(例如1/50以下、 1/100以下、甚至1/300以下)，即使在微小的液体泄漏的时候，也能 够使测定细管14内产生可测定流量的液体流通。
如图1所示，面对测定细管14配置着旁热恒温控制式流量测定 部16以及二定点温差检测式流量测定部18。二定点温差检测式流量 测定部18具有分别配置于旁热恒温控制式流量测定部16的上侧和下 侧的感温部18a、18b。另外，配置着用来检测测定管12内的液体的 温度的感温部20。
如图2以及图3所示，测定细管14延伸贯穿旁热恒温控制式流 量测定部16。旁热恒温控制式流量测定部16具有与测定细管14的外 面接触配置的传热构件161、与该传热构件161接合的薄膜感温体(第 一感温体)162和在该薄膜感温体162上通过电绝缘性薄膜164层压 在一起的薄膜发热体163。薄膜感温体162和薄膜发热体163分别形 成所需要的图形，在用来给它们通电的电极上连接着配线162’、163’。 传热构件161由例如厚0.2mm、宽2mm左右的金属或合金构成。
另外，这些薄膜感温体162、电绝缘性薄膜164以及薄膜发热体 163也可以是把在配置于该薄膜发热体163的一侧的支持基板上堆积 形成的薄膜和该支持基板一起，与在薄膜感温体162的一侧接合，并 使其与传热构件161对置而成的结构。作为上面这种支持基板，可以 使用例如由硅或铝等构成的厚0.4mm左右、2mm左右见方的矩形状 的基板。
配线162’、163’与柔性配线基板等配线基板24上形成的配线(未 图示)连接。传热构件161、薄膜感温体162、电绝缘性薄膜164、薄 膜发热体163以及配线162’、163’与配线基板24的一部分以及测定 细管14的一部分一起用由合成树脂构成的密封构件22密封。
如图2以及图4所示，测定细管14延伸贯穿二定点温差检测式 流量测定部的一边的感温部18a。感温部18a具有与测定细管14的外 面接触配置的传热构件181和与该传热构件181接合的薄膜感温体(第 二感温体)182。薄膜感温体182形成所需要的图形，在用来给它通 电的电极上连接着配线182’。传热构件181和传热构件161一样，由 例如厚0.2mm、宽2mm左右的金属或合金构成。另外，薄膜感温体182 也可以是象上述那样把在支持基板上形成的薄膜与该支持基板一起， 与薄膜感温体182的一侧接合，并使其与传热构件181对置而成的结 构。
配线182’与配线基板24上形成的配线(未图示)连接。传热构 件181、薄膜感温体182以及配线182’与配线基板20的一部分以及 测定细管14的一部分一起用由合成树脂构成的密封构件23密封。
二定点温差检测式流量测定部的另一边的感温部18b也具有和上 述感温部18a同样的构成，与配线基板24的一部分以及测定细管14 的一部分一起用由合成树脂构成的密封构件密封。不过，相当于感温 部18a中起第二感温体作用的薄膜感温体的部分，在感温部18b中起 第三感温体的作用。
包括旁热恒温控制式流量测定部16的薄膜感温体162、薄膜发 热体163及其配线162’、163’和上述感温部20，构成图5的第一检 测电路30。另外，包括二定点温差检测式流量测定部的感温部18a的 薄膜感温体(第二感温体)182以及感温部18b的薄膜感温体(第三 感温体)，构成图5的第二检测电路32。从第一检测电路30输出对应 旁热恒温控制式流量测定的流量值的输出(下面称“流量值输出”或 “流量对应输出”)Vh，从第二检测电路32输出对应二定点温差检测 式流量测定的流量值的输出(下面单称“流量值输出”)Vout。这些流 量值输入到图5中示出的运算部34。
如图6所示，在用来得到流量值输出Vh的第一检测电路30中， 来自未图示的电源电路的直流电压输入Vin供给电桥电路40。电桥电 路40包含包括薄膜感温体162的感温部Rf、包括温度补偿用的薄膜 感温体的感温部20(Rc)、电阻器△R、R1以及可变电阻器R2而形 成。电桥电路40的a、b点的电位Va、Vb输入到差动放大电路42。 另外，差动放大电路42优选的是包括调节下面说明的反馈控制的响 应特性的可变电阻或积分电路等的电路。
另外，输入Vin通过控制供给包括薄膜发热体163的发热部Rh 的电流的晶体管44，供给薄膜发热体163。对晶体管44的控制输入 端子(栅极)输入差动放大电路42的输出。亦即，在旁热恒温控制 式流量测定部16中，根据薄膜发热体163的发热，通过传热构件161， 受液体吸热的影响，薄膜感温体162进行感温。然后，作为该感温的 结果，得到图6所示电桥电路40的a、b点的电位Va、Vb之差。
(Va-Vb)的值在感温体162的温度随流体的流量而变化时变化。 通过预先适当设定电桥电路40的电阻器△R、R1以及可变电阻器R2 的电阻值，能够在作为标准的所希望的流体流量的情况下使(Va-Vb) 的值为零。在该标准流量下，差动放大电路42的输出恒定(对应标 准流量的值)，晶体管44的电阻值也恒定。此时，施加在薄膜发热体 163上的分压也恒定，此时的电压输出Vh为表示上述标准流量的输 出。
流体流量增减时，差动放大电路42的输出就随(Va-Vb)的值而 改变极性(随感温体162的电阻-温度特性的正负而异)和大小，与此 相应，差动放大电路42的输出发生变化。
当流体流量增加时，感温体162的温度下降，所以从差动放大电 路42对晶体管44的栅极进行使晶体管44的电阻值减小的控制输入， 使薄膜发热体163的发热量增加(即使功率增加)。
反之，当流体流量减小时，感温体162的温度上升，所以从差动 放大电路42对晶体管44的栅极进行使晶体管44的电阻值增加的控 制输入，使薄膜发热体163的发热量减小(即使功率减小)。
象上面这样，不管流体流量如何变化，薄膜发热体162的发热总 会受到反馈控制，使感温体162检测的温度成为目标值。而此时施加 在薄膜发热体162上的电压与流体流量相对应，因此把它作为流量值 输出Vh取出。
象上面这样，进行旁热恒温控制式流量测定。本发明中所说的旁 热恒温控制式流量测定，是指把发热体和第一感温体相邻配置，使发 热体受基于第一感温体的检测温度(实际上是与温度检测对应而被检 测的电特性)的反馈控制，从该反馈控制的状态得到第一流量对应输 出。
另外，如图6所示，在用来得到流量值输出Vout的第二检测电 路32中，直流电压输入Vin供给电桥电路46。电桥电路46包含包括 薄膜感温体182的感温部18a(T1)、包括薄膜感温体的感温部18b(T2)、 电阻器R3以及可变电阻器R4而形成。电桥电路46的c、d点的电位 Vc、Vd输入到差动放大电路48。通过预先适当设定电桥电路46的电 阻器R3以及可变电阻器R4的电阻值，能够从差动放大电路48得到 相当于感温部18a的检测温度与感温部18b的检测温度之差的电压输 出。
综上所述，在旁热恒温控制式流量测定部16中，薄膜发热体163 发热，其热量的一部分通过传热构件161传递给液体，被用来作为液 体加热的热源。进行控制，使薄膜感温体(第一感温体)162的温度 达到规定值，该温度能够对应液体而设定得比使该液体起火的温度 低，因此也能够适用于可燃性流体的流量测定。
在没有液体流通时，感温部18a的检测温度与感温部18b的检测 温度相同，而一旦发生液体流通时，热源引起的液体加热的影响，下 游侧比上游侧强，所以感温部18a的检测温度与感温部18b的检测温 度就变得不一样。相当于感温部18a的检测温度与感温部18b的检测 温度之差的电压输出与流体流量相对应，因此把它作为流量值输出 Vout。
象上面这样，进行二定点温差检测式流量测定。本发明中所说的 二定点温差检测式流量测定是指根据由分别配置于旁热恒温控制式流 量测定部的上游侧和下游侧的第二感温体和第三感温体检测的温度差 (实际上是与检测温度差对应而被检测的电特性的差)得到第二流量 对应输出。
下面，说明上述运算部34的动作。
运算部34根据Vh以及Vout，利用分别内置的标准曲线进行向 对应的流量值的换算。图7表示用于Vh换算的标准曲线的一个实例， 图8表示用于Vout换算的标准曲线的一个实例。如这些图所示，把流 量值为F1以上、F2以下的区域预先设定为临界流量区域。设定该临 界流量区域的上限以及下限的流量值F1、F2，例如可以是1毫升 /h(mL/h)～2毫升/h(mL/h)的范围内的值。流量值不到F1的区域作为低 流量区域，流量值超过F2的区域作为高流量区域。如图7所示，在 用于Vh换算的标准曲线上，与流量值F1对应的输出作为Vh1，与流 量值F2对应的输出作为Vh2。另外，如图8所示，在用于Vout换算 的标准曲线上，与流量值F1对应的输出作为Vout1，与流量值F2对 应的输出作为Vout2。
在运算部34中，对于高流量区域，把基于第一流量对应输出Vh 得到的流量值作为测定值输出，对于低流量区域，把基于第二流量对 应输出Vout得到的流量值作为测定值输出，对于临界流量区域，把基 于第一流量对应输出Vh得到的流量值或者基于第二流量对应输出 Vout得到的流量值作为测定值输出。
具体地说，首先通过旁热恒温控制式流量测定来测定流体的流量 (即得到基于第一流量对应输出Vh而得到的流量值)，得到的流量值属 于高流量区域时(即输出Vh超过Vh2时)，把该流量值作为测定值输 出，除此之外，通过二定点温差检测式流量测定来测定流体的流量(即 得到基于第二流量对应输出Vout而得到的流量值)，把得到的流量值 作为测定值。或者，也可以当基于第一流量对应输出Vh而得到的流 量值属于高流量区域和临界流量区域之一时(即输出Vh在Vh1以上 时)，把该流量值作为测定值输出，除此之外，把基于第二流量对应 输出Vout而得到的流量值作为测定值。
作为另外的方法，首先通过二定点温差检测式流量测定来测定流 体的流量(即得到基于第二流量对应输出Vout而得到的流量值)，得 到的流量值属于低流量区域时(即输出Vout不到Vout1时)，把该流 量值作为测定值输出，除此之外，通过旁热恒温控制式流量测定来测 定流体的流量(即得到基于第一流量对应输出Vh而得到的流量值)， 把得到的流量值作为测定值。或者，也可以当基于第二流量对应输出 Vout而得到的流量值属于低流量区域和临界流量区域之一时(即输出 Vout在Vout2以下时)，把该流量值作为测定值输出，除此之外，把 基于第一流量对应输出Vh而得到的流量值作为测定值。
在本发明中，临界流量区域也可以是仅由一个特定流量值构成 的。该特定流量值相当于上述F1和F2一致的情况，上面的说明直接 适用。
根据从运算部34输出的流量(瞬间流量)测定值，进行与适当 时间有关的累计，就能够算出累计流量。得到的瞬间流量以及累计流 量的值能够适当显示，能够存储在适当存储器中，并能够通过适当的 通信线路向所需要的外部装置传输。
象上面这样，进行流量测定，根据作为该流量测定的结果而从运 算部34输出的流量测定值，进行泄漏检测，当该流量测定值超过测 定误差时，就认为有罐内液体的泄漏。该泄漏检测优选的是，例如在 夜间等不向罐内补充液体或从罐中汲出液体的条件下进行。图9表示 利用上面这种罐内液体的泄漏检测，并包括配管系统的泄漏检测的液 体泄漏监视系统的一种实施方式。
图9中示出了上述测定管12从地下罐的计量口向罐内液体2、 向下插入的状态。另外，在测定管12的上部形成了与外界空气的连 通孔(未图示)。在测定管12的上部，配置着包括上述第一检测电路 30、第二检测电路32以及运算部34的罐体泄漏检测装置。另外，罐 上连接着从该罐汲出的液体可以流通的埋设配管，附带着检测该配管 的液体的泄漏的配管泄漏检测装置。在该配管泄漏检测装置中，能够 利用上述的本发明所涉及的流量测定方法以及流量计。
上述罐体泄漏检测装置以及配管泄漏检测装置与对每个相应罐体 设置的个别监控装置通过有线或无线的内部通信手段而连接，可进行 信号授受。从个别监控装置对罐体泄漏检测装置以及配管泄漏检测装 置分别定期地(例如1天1次)询问检测结果(泄漏的有无及其程度[流 量]等)。从泄漏检测装置获取的泄漏数据，存储在个别监控装置的存 储器中。该存储器中存储的数据由表示罐体泄漏检测结果的部分以及 表示配管泄漏检测结果的部分构成。
上述个别监控装置与对多个罐体设置的集中监控装置之间通过电 话线路、互联网或专用线路的通信手段可进行信号授受。集中监控装 置对各个个别监控装置分别随时询问存储在个别监控装置的存储器中 的上述检测结果。从个别监控装置获取的泄漏数据，存储在集中监控 装置的存储器中，通过适当显示以及打印等而输出。该存储器中存储 的数据由各个别监控装置(或者由个别监控装置监控的地下罐)的识 别番号的部分和表示与此对应的罐体泄漏检测结果的部分以及表示配 管泄漏检测结果的部分构成。
个别监控装置例如配置在汽油加油站办公室、设施管理办公室或 者保安室等与罐体相同或者邻近的地点。另外，也可以总括对于多个 罐体的上面这种个别监控装置的功能而做成一个复合监控装置。另 外，个别监控装置或复合监控装置中存储的泄漏数据能够从该监控装 置直接读出、显示。相比之下，集中监控装置可以配置在集中管理中 心或公共检查机关等与各罐体的位置无关的位置。
在参照上面的图1～图9说明的流量计中，可以使用本发明所涉 及的流量测定部组件以及流量测定单元。此时，感温部18a为上游侧 感温部，感温部18b为下游侧感温部。另外，包括第一检测电路30 以及第二检测电路32，构成模拟电路。该模拟电路的流量值输出Vh、 Vout输入到图5中示出的运算部34。包括该运算部34，构成数字电 路。
图10是表示本发明所涉及的流量测定部组件的又另外的实施方 式的部分省略透视图，图11A和图11B分别是其俯视图和主视图，图 12A和图12B分别是其横向剖视图和纵向剖视图。
在本实施方式中，旁热恒温控制式流量测定部16、上游侧感温 部18a、下游侧感温部18b以及安装它们的流体流通路14的部分装在 盒子100内。该盒子100上设有向外伸出而构成第一配线部的第一端 子116，该第一配线部与旁热恒温控制式流量测定部16的薄膜发热体 163以及薄膜感温体162电连接。另外，盒子100上设有向外伸出而 构成第二配线部的第二端子118a，该第二配线部与上游侧感温部18a 的薄膜感温体182电连接，同样地，设有向外伸出而构成与下游侧感 温部18b的薄膜感温体电连接的第三配线部的第三端子118b。
并且，盒子100里面装着具有温度补偿用感温体的感温部20， 该感温部20连接着向盒子100外面伸出的传热构件201。在上述图1 的实施方式中，因为感温部20检测液体的温度作为环境温度，使用 的是传热构件伸到液体中的结构，而在本实施方式中，感温部20检 测盒子100的周围的气温作为环境温度。在盒子100上面，设有向外 伸出而构成与温度补偿用感温体电连接的第四配线部的第四端子 120。
在本实施方式中，如图12A所示，第一端子～第四端子分别用连 接线与旁热恒温控制式流量测定部16、上游侧感温部18a、下游侧感 温部18b以及感温部20的规定的薄膜发热体或薄膜感温体连接在一 起。
图13A以及图13B分别是表示本发明所涉及的流量测定部组件 的又另外的实施方式的俯视图以及主视图，图14A以及图14B分别是 其横向剖视图以及纵向剖视图。本实施方式没有感温部20、传热构件 201以及第四端子120，这一点与上述图10～图12B的实施方式不同。 另外，在本实施方式中，具有用来在单元基板上实装后述流量测定单 元的预备端子130。可以利用该预备端子130中的某几个来配线。
图15是表示本发明所涉及的流量测定单元的一种实施方式的透 视图，图16A、图16B以及图16C分别是其俯视图、主视图以及侧视 图。本实施方式是把上述图10～图12B的流量测定部组件200安装在 该单元基板220上，使第一～第四端子平行于形成了所需电路的单元 基板220，并在该单元基板220上安装了构成流量测定电路元件的模 拟电路元件222。这样，形成上述图5以及图6示出的第一检测电路 30以及第二检测电路32。流量测定电路元件还可以包括构成上述图5 示出的运算部34的数字电路元件。
图17是表示本发明所涉及的流量测定单元的又另外的实施方式 的透视图；图18A、图18B以及图18C分别是其俯视图、主视图以及 侧视图。本实施方式是把流量测定部组件200安装在该单元基板220 上，使第一～第四端子垂直于单元基板220，这一点与上述图15～16C 的流量测定单元不同。
图19是表示本发明所涉及的流量测定单元的又另外的实施方式 的透视图，图20A、图20B以及图20C分别是其俯视图、主视图以及 侧视图。本实施方式使用上述图13A～图14B的实施方式的结构作为 流量测定部组件200，这一点与上述图15～18C的流量测定单元不同。
图21是表示本发明所涉及的流量测定部组件装入流量计的一种 实施方式的剖视图。在本实施方式中，使用除了配线基板24的形状 之外，与图2的实施方式相同的流量测定部组件。流体流通路14的 上下两端附设了开口端部构件15a、15b。另外，配线基板24与配线 基板25连接，该配线基板25的配线与配线存放部25’内的配线连接。 配线存放部25’内的配线与图5以及图6示出的检测电路30、32连 接。
图22是表示本发明所涉及的流量测定单元装入流量计的又另外 的实施方式的剖视图。在本实施方式中，使用图19～图20C的实施方 式的流量测定单元。单元基板220的配线与配线存放部25’内的配线 连接。配线存放部25’内的配线与图5示出的运算部34连接。
图23是表示本发明所涉及的配管泄漏检查装置的一种实施方式 的图。在图23中，用于液体(例如汽油、柴油或煤油及其它可燃性 液体)的地下埋设的罐1上连接着用来汲出该罐内的液体的配管4。 该配管上有单向阀6以及封闭阀8，液体汲出时，封闭阀打开，液体 借助配置在其上侧(就液体汲出方向而言的下游侧)的未图示的活塞 式抽水泵通过单向阀6向上方输送。
上述配管4的从单向阀6到封闭阀8的部分为检查区间7，该部 分相当于本发明中所说的被测定配管。该被测定配管7埋设于地下， 其中间设有分支部，该分支部上形成用来与泄漏检查装置连接的连接 端5。
另外，本实施方式的泄漏检查装置50具有如图所示的内部配管 系统。该内部配管系统具备用来连通被测定配管7的连接端52，并具 备液体排出端54。另外，检查装置50具有与内部配管系统连接的临 时储存加压液体用罐56和在内部配管系统中从临时储存加压液体用 罐56到连接端52的路线上顺次配置的泵58以及流量计60。泵58在 本实施方式中为可逆向送液的齿轮泵。内部配管系统具有三通电磁 阀、流量计保护用的单向阀、压力传感器以及四个电磁阀(其中三个 常关[NC]、另外一个常开[ON])作为其余构成要素。
下面参照图24～图27说明内部配管系统的功能和本实施方式的 泄漏检查装置的动作。在检查之前，把检查装置侧的连接端52与被 测定配管侧的连接端5连接，使该连接端52与被测定配管7连通。 而且，这种连接状态也可以常时保持。另外，在检查装置的液体排出 端54与地下罐1之间配设了管道。
图24表示给液动作。如图示那样设定四个电磁阀的开关状态 (OPEN/CLOSE)，通过使泵58作动(逆向送液动作)，从被测定配 管7通过连接端5、52并不通过流量计60以及三通电磁阀而向临时 储存加压液体用罐56输送液体，把用于泄漏检查的液体储存在该临 时储存加压液体用罐56内。该液体输送路线为第一路线。
图25表示泄漏检查时的加压动作。如图示那样设定四个电磁阀 的开关状态，使泵58作动(顺向送液动作)，从临时储存加压液体用 罐56通过三通电磁阀、流量计60以及连接端52、5向被测定配管7 压送液体。该液体输送路线为第二路线。在该第二路线中，当压力传 感器检测出从泵58到连接端52的部分的液压超过了设定值(例如 20kPa)时，位于泵58与流量计60之间的三通电磁阀就打开到NC侧， 形成向临时储存加压液体用罐56回送液体的路线(第四路线)。这种 三通电磁阀的动作由从压力传感器输入超过设定压力值的信号的流量 计60内的CPU的指令来控制。
在该检查中，泵58的液体压送开始后，经过一段时间，超过设 定压力值的信号就从压力传感器输入到流量计，之后，由流量计进行 流量测定，此时测定的流量超过测定误差时，即可判定为有泄漏。
图26表示检查结束时的压力释放动作。停止泵58的动作，如图 示那样设定四个电磁阀的开关状态，从而释放第二路线中从流量计60 到连接端52的部分中至少一部分(流量计保护用的单向阀的下游侧) 的液压，把液体的一部分回送到临时储存加压液体用罐56。该液体输 送路线为第五路线。
图27表示检查结束后的排液动作。如图示那样设定四个电磁阀 的开关状态，使泵58作动(顺向送液动作)，从而从临时储存加压液 体用罐56通过三通电磁阀以及流量计60，并通过另外的并行路线， 向液体排出端54输送液体，把液体回送到地下埋设罐1。该液体输送 路线为第三路线。
图28是表示本发明所涉及的配管的泄漏检查装置的又另外的实 施方式的图。本实施方式与图23～图27的实施方式不同的是使用调压 用的单向阀代替三通电磁阀，使用三通电磁阀代替一个电磁阀。
下面参照图29～图32说明本实施方式的泄漏检查装置的动作与 内部配管系统的功能。不过，在此主要说明与图23～图27的实施方式 的不同点。
图29表示给液动作。该动作与就图24说明的动作相同。
图30表示泄漏检查时的加压动作。该动作与就图25说明的动作 实质上相同，但在第二路线中从泵58到连接端52的部分的液压超过 调压用单向阀的设定值(例如20kPa)时，该调压用单向阀打开，形 成把液体回送到临时储存加压液体用罐56的路线(第四路线)。
图31表示检查结束时的压力释放动作。该动作与就图26说明的 动作相同。
图32表示检查结束后的排液动作。该动作与就图27说明的动作 相同。
图33是表示本发明所涉及的配管的泄漏检查装置的又另外的实 施方式的图。在本实施方式中，使用不能逆向送液的电磁泵作为泵 58’，在内部配管系统中使用了两个电磁阀和三个三通电磁阀。
下面参照图34～图37说明本实施方式的泄漏检查装置的动作与 内部配管系统的功能。不过，在此主要说明与图23～图27的实施方式 的不同点。
图34表示给液动作。第一路线通过三个三通电磁阀形成。
图35表示泄漏检查时的加压动作。第二路线通过两个三通电磁 阀形成，第四路线通过一个三通电磁阀形成。
图36表示检查结束时的压力释放动作。第五路线通过一个三通 电磁阀形成。
图37表示检查结束后的排液动作。第三路线不通过流量计60， 而通过三个三通电磁阀形成。
图38是表示本发明所涉及的配管的泄漏检查装置的又另外的实 施方式的图。本实施方式与图33～图37的实施方式不同的是增加了调 压用的单向阀。
下面参照图39～图42说明本实施方式的泄漏检查装置的动作与 内部配管系统的功能。不过，在此主要说明与图33～图37的实施方式 的不同点。
图39表示给液动作。该动作与就图34说明的动作相同。
图40表示泄漏检查时的加压动作。第二路线与图35的相同，但 第四路线通过调压用的单向阀形成。
图41表示检查结束时的压力释放动作。该动作与就图36说明的 动作相同。
图42表示检查结束后的排液动作。该动作与就图37说明的动作 相同。
根据上述这种本发明实施方式的泄漏检查装置，因为检查装置自 己取入在被测定配管内输送的液体，把它作为加压液体使用，进行加 压检查，所以不需要在检查前从被测定配管中抽出液体，将其保管在 其它场所，检查后再恢复的操作，或者导入检查用的气体或液体的操 作，检查作业明显减轻。另外，可以常时地把检查装置连接在被测定 配管的连接端上，因此，持续检查很容易，能够早期发现泄漏。
作为流量计60，没有特别限制，不过优选的是能够微量测定的 流量计。作为能够准确测定从微小流量到较大流量的流量计，以与参 照上述图1～图9说明的流量计相同的流量计为例。
图43是用来说明流量计60的一种实施方式的示意剖视图。该流 量计60在结构上与上述图1的流量计相同，直接适用与图1～图8的 有关说明。
如图43所示，在筒状的测定管12内设有测定细管14，液体(流 体)在该测定细管14内流通。在本实施方式中，该测定细管14用作 构成内部配管系统的流体流通路，当从上述被测定配管7发生液体泄 漏时，在泄漏检查时实现了规定的加压状态之后，液体就按箭头的方 向在测定细管14内流通。
与就图1～图8说明的一样进行流量测定，根据作为该流量测定 的结果而从运算部34输出的流量测定值，在该流量测定值超过测定 误差时，就作为存在被测定配管内液体的泄漏的泄漏检测。该泄漏检 测优选的是，例如在夜间等不向罐内补充液体或从罐中汲出液体的条 件下进行。图44表示利用上述这种配管的泄漏检测，并包括地下罐 的泄漏检测的液体泄漏监视系统的一种实施方式。
图44示出了罐体泄漏检测装置(罐体泄漏检查装置)112从地下 罐的计量口到罐内液体2，向下插入的状态。在该罐体泄漏检测装置 中，能够利用上述的流量计。另外，附设了检测从上述被测定配管7 的液体的泄漏的配管泄漏检测装置(配管泄漏检查装置)50。
上述罐体泄漏检测装置以及配管泄漏检测装置通过有线或无线的 内部通信手段与对每个相应罐体设置的个别监控装置连接，可进行信 号授受。该连接如图23所示，通过设置在配管泄漏检测装置等上面 的I/O接口而形成。从个别监控装置对罐体泄漏检测装置以及配管泄 漏检测装置分别定期地(例如1天1次)询问检测(检查)的结果(泄 漏的有无及其程度[流量]等)。从泄漏检测装置获取的泄漏数据，存储 在个别监控装置的存储器中。该存储器中存储的数据由表示罐体泄漏 检测结果的部分以及表示配管泄漏检测结果的部分构成。关于图44 的装置，适用就上述图9说明的事项。
工业实用性
综上所述，根据本发明，可提供一种能够在从极微量的流量区域 到比较大的流量区域的大流量范围内以良好的精度和灵敏度进行流量 测定的流量测定方法以及流量计。另外，根据本发明，可提供一种即 使流体为燃料油等可燃性液体时，也能够充分降低起火引发火灾的危 险性的流量测定方法以及流量计。因此，利用本发明的流量测定方法 以及流量计，对微量的流体泄漏也能够简单、准确而安全地检测。
另外，综上所述，根据本发明，可提供一种适用于流量计的流量 测定部组件以及流量测定单元，能够在从极微量的流量区域到比较大 的流量区域的大流量范围内以良好的精度和灵敏度进行流量测定，并 且即使流体为燃料油等可燃性液体时，也能够充分降低起火引发火灾 的危险性，并且对微量的流体泄漏也能够简单、准确而安全地检测。
另外，综上所述，根据本发明，可提供一种对微量的泄漏也能够 简单而且准确地检测的配管泄漏检查装置。另外，根据本发明，可提 供一种能够在配管内保留该配管内输送的液体的状态下，再利用它作 为加压液体，简单并有效地进行泄漏检查的泄漏检查装置。