Solvent transport device

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトレジスト、希釈剤等の液体溶剤を輸送するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造分野ではウエハの製造に様々な溶剤が使用される。 多くのコーティング及び現像装置のうちの１つである東京電気（株）によって製造されるテル・マークＶ（商品名）は斯かる溶剤の幾つかを使用する。 トラックによって溶剤廃液が自動的に貯蔵タンクに汲み上げられる。 その後斯かる溶剤は集められて特定の集合位置に輸送される。 斯かる溶剤には危険で且つ可燃性のものがある。

【０００３】５ガロンのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）タンクには、手動で装置の貯蔵タンクに排出するための装置が備えられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、斯かる貯蔵タンクが満杯になると、それを持ち上げ、輸送し更に廃棄することによって安全性を脅かす危険が生ずる。

【０００５】本発明は特に設計された溶剤輸送装置によって斯かる問題を解決することを意図している。 斯かる溶剤輸送装置はネックを有し、斯かるネックは貯蔵タンクの排出部の下側に且つ排出部の閉じ込められた引き出し部の端を覆うように配置されそれによって不用意な漏洩が防止される。 斯かる溶剤輸送装置には多くの溶剤を容易に処理することができるように車両が備えられている。 溶剤輸送装置はカートの液体のレベルをチェックするためのサイトグラスを有しまた安全のためにアース線が備えられている。 斯くして本発明の目的は溶剤を安全に且つ容易に処理するための溶剤輸送装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】斯かる目的及び他の目的は本発明による溶剤輸送装置を提供することによって達成され、斯かる溶剤輸送装置は個々の輸送タンクより多量の溶剤を貯蔵することができる本体と、貯蔵タンクからカートに溶剤を密閉的に輸送することが許されるためのネック部材と、火花によって溶剤が発火するのを防ぐためのアース線と、カート内の液体のレベルを調べるためのサイトグラスと、入口部及び出口部を閉鎖するためのＰＴＦＥ製の２つのキャップと、ＰＴＦＥ製のキャップをねじ込むための係合リングと、漏洩を防止するための溶剤耐性シールガスケットと、持ち上げることなしに溶剤輸送装置を容易に移動させるための車両と、カートを容易に取り扱うことができるように荷重を全ての車両に伝達するためのダブラとを有する。

【０００７】それに限定されるわけではないが、好ましい実施例では、カートは１４ゲージステンレス鋼よりなり、その本体は光沢仕上げされている。 約６インチのネックは鏡面仕上げされておりそれによって錆が防止され、カートを容易に動かすために空気タイヤが使用されている。 好ましい例ではカートは２５ガロンの溶剤を運ぶことができる。

【０００８】

【作用】溶剤の輸送は、ネックを貯蔵タンクの排出部の下側に且つ飛散閉じ込め引き出し部の上側に配置し、貯蔵タンクを空にし、次の装置の貯蔵タンクに移動し、主貯蔵タンクが満杯になるまで斯かる過程を繰り返すことによってなされる。 主貯蔵タンクが満杯になると、主貯蔵タンクは特定の集合場所に容易に且つ安全に運ばれ、
そこで溶剤は主貯蔵タンクの排出部より汲み出されて除去される。 斯かる除去には通常空気ポンプが使用され、
斯かる空気ポンプによって溶剤はカートより５５ガロンドラムに汲み上げられる。 斯くして、重量物を持ち上げる必要性が除去される。

【０００９】新規性を有すると信じられる本発明の目的は、特許請求の範囲の特徴部として記載されている。 しかしながら、本発明自体、その構造と動作方法、及びその他の目的及び利点は、添付の図面とともに以下の記述を参照することによって良く理解されよう。

【００１０】

【実施例】本発明は多くの他の形態の実施例が可能であるが、特定の実施例が図面に描かれ且つここに詳細に説明される。 斯かる開示は本発明の原理の例として見做されるべきであり、本発明を開示された例に限定することは意図されない。

【００１１】図１及び図２に示すように、溶剤輸送装置は主タンク２を有し、斯かる主タンク２は入口部１０を備えたネック１を有し、斯かるネック１は溶剤が容易に主タンク２に流れるように傾斜されている。 ネック部材１は入口部１０の下側に一直線に４５°の角度にて傾斜しており、それによって溶剤は空中に飛散することなく主タンク内に流れる。 主タンク２は１４ゲージステンレス鋼よりなり、外面は光沢仕上げされており、その容量は２５ガロン（９４．６２５リットル）である。 装置全体は長さ４７インチ、幅２４インチ、ハンドル８を含めた高さ３５インチである。 ハンドル８なしの高さは２７
インチである。

【００１２】主タンク２は溶剤を除去するための排出部１１を有する。 排出部１１は２．７５インチの径を有する。 溶剤は空気ポンプによって主タンク２より排出部１
１を経由して除去される。 主タンク２はまた溶剤のレベルを見るためのサイトグラス４を有する。

【００１３】主タンク２には接地クランプ１５が取り付けられており、その端子は貯蔵ビン７の前方の上面に固定されている。 接地クランプ１５はコーティング及び現像装置の都合良い接地点に取り付けられ、それによって可燃性溶剤を発火させることがある火花の発生を防止する。 貯蔵ビン７はそれぞれ幅１２インチ、深さ６インチである。 選択された実施例では、２つの貯蔵ビン７が備えられ、一方の貯蔵ビンは他方の貯蔵ビンの前に配置されている。 貯蔵ビン７もまた光沢仕上げされた１４ゲージステンレス鋼よりなり、洗浄剤、安全剤又は他の様々な有用な物を収容するために使用される。

【００１４】主タンクは車両５、６によって搬送される。 前側の車両５は固定的に取り付けられ、後側の車両６は通常の回転キャスター支持装置の上にて枢動しそれによって操縦が容易化される。 前側の車両５は荷重を移転させるためにダブラ３に取り付けられている。 ダブラ３はカートの荷重を大きな表面に分散させるから車両の基礎をより強くし、主タンク２の外側壁を厚くすることによってカートをより耐久性あるものにする。 ２組の車両５、６には空気タイヤが使用される。

【００１５】主タンク２の後側には肉体力のためのハンドル８が取り付けられており、それによって装置が押される。 斯かるハンドルは握るのに都合が良いように且つ押すのに容易な高さに設計されている。 選択された実施例では、ハンドル８は１インチ径のステンレス鋼管よりなり、幅１４インチで上端は地面より３５インチ離れている。

【００１６】図３にキャップ１２を示す。 斯かるキャップ１２は入口部１０及び排出部１１をシールする。 キャップ１２は機械等級のＰＴＦＥよりなるギザギザの付いた２つのねじキャップ１２と、主タンク２の内側とネック部材１の内側に取り付けられた２つの係合リング１３
と、密なシールを確保するための溶剤耐性の２つのシールガスケット１４とを含む。 キャップ１２は係合リング１３及びシールガスケット１４の中にねじ込められる。

【００１７】当業者は多くの変形例が可能であることを理解するであろう。 例えば、タンクはより多くの溶剤を貯蔵するように設計され、ネック部材は必要に応じてより長く又はより短く作られ、ネックはカートの前側にて直線に対して異なる角度にて形成されてよく、ネックは枢動可能に形成されてよく、共用不可能な溶剤のために複数のタンクを設けてよく、また他の様々な変形例が可能である。

【００１８】本発明について特定の実施例を参照して説明し解説したが、開示された本発明の概念より逸脱することなく斯かる特定の実施例に対する変形及び修正が可能であることは理解されよう。 本発明の斯かる変形及び修正は特許請求の範囲に記載された精神及び範囲内にて含まれることが意図されている。

【００１９】

【発明の効果】本発明の溶剤輸送装置によれば、溶剤を安全に且つ容易に処理することができる利点がある。

【００２０】本発明の溶剤輸送装置によれば、重量物を持ち上げることなく溶剤を除去することができる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の溶剤輸送装置の側面構成を示す図である。

【図２】本発明の溶剤輸送装置の平面構成を示す図である。

【図３】本発明の溶剤輸送装置の入口部及び排出部のためのキャップを実寸で表した図である。

【図４】図１の溶剤輸送装置の斜視図である。

【符号の説明】

１ ネック部材 ２ 主タンク ３ ダブラ ４ サイトグラス ５、６ 車両 ７ 貯蔵ビン ８ ハンドル ９ 上面 １０ 入口部 １１ 排出部 １２ キャップ １３ リング １４ シールガスケット １５ 接地クランプ

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