High dynamic input signal of the measurement processing device, corresponding leakage detector, and measurement processing method |
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申请号 | JP2011544911 | 申请日 | 2010-01-11 | 公开(公告)号 | JP2012515412A | 公开(公告)日 | 2012-07-05 |
申请人 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト; | 发明人 | ジユルダン,パスカル; | ||||
摘要 | 本発明は、少なくとも2ディケードの入 力 信号 Toの測定処理デバイスに関し、このデバイスは、その電源電圧Vmに基づいて指数関数的ゲインを有し、前記入力信号Toを受け取る電子増倍管4と、前記増倍管4の電源電圧Vmを提供する電源5と、そのゲインパラメータ10およびシフトパラメータ11が、調整可能であり、前記増倍管4の指数関数的ゲインを変化させながら出力信号範囲を規定する、電源5の制御回路6と、その出力が、電子増倍管4の出力信号IoGに基づいて測定ダイナミックレンジにわたり連続的に電子増倍管4の指数関数的ゲインを変化させるように、制御回路6の入力として受け取られ、前記デバイスの出力信号Voutを形成する、対数圧縮増幅器Tと、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bを事前に決定し、前記事前に決定された指数の値bに基づいて、前記制御回路6のゲインパラメータ値10およびシフトパラメータ値11を計算する測定計算手段とを備える。 本発明は、さらに、対応する漏洩検出器および測定処理方法に関する。 | ||||||
权利要求 | 少なくとも2ディケードの入力信号(Io)の測定処理デバイスであって、 − その電源電圧(Vm)の関数としての指数関数的ゲインを有し、前記入力信号(Io)を受け取る電子増倍管(4)と、 − 電源電圧(Vm)を前記増倍管(4)に提供する電源(5)と、 − そのゲインパラメータ(10)およびオフセットパラメータ(11)が、調整可能であり、前記増倍管(4)の指数関数的ゲインを変化させることによって出力信号の帯域を規定する、電源(5)用の制御回路(6)と、 − その出力が、一方では、電子増倍管(4)の出力信号(IoG)によって、測定ダイナミックレンジにわたって連続的に電子増倍管(4)の指数関数的ゲインを変化させるために、制御回路(6)用の入力として受け取られ、他方では、前記デバイスの出力信号(Vout)を形成する、対数圧縮増幅器(7)と、 − 電子増倍管(4)の指数関数的ゲインの指数の値(b、B)を決定し、前記決定された指数の値(b、B)に基づいて、前記制御回路(6)のゲインパラメータ(10)およびオフセットパラメータ(11)の値を計算する測定計算手段とを備える、測定処理デバイス。 測定計算手段が、測定値に基づいて電子増倍管(4)の指数関数的ゲインの指数の値(b、B)を計算するために、電源電圧(Vm)を変化させ、各電源電圧(Vm)に関して対応する電子増倍管(4)の出力信号(IoG)を表わす信号を測定するのに適している、請求項1に記載の測定処理デバイス。 測定計算手段が、測定信号の値および前記決定された指数の値(b、B)に基づいて、適用される制御回路(6)のゲインパラメータ(10)およびオフセットパラメータ(11)の値を計算するために、電子増倍管(4)の入力部に印加される2つの所定の入力信号(IoPF、IoGF)によって、電子増倍管の出力信号(Vamp1、Vamp2)および電源の出力信号(Vm1、Vm2)を表わす信号を測定するのに適している、請求項1または請求項2に記載の測定処理デバイス。 対数圧縮増幅器(7)が、増幅器(8)および対数圧縮器(9)を備え、前記増幅器(8)の出力(Vamp)が、前記対数圧縮器(9)用の入力として受け取られ、測定計算手段が、電子増倍管(4)の出力信号(IoG)を表わす信号を決定するために、対数圧縮器の増幅器の出力信号(Vamp1、Vamp2)を測定するのに適していることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の測定処理デバイス。 少なくとも1つの所定の入力信号(Io)を印加する駆動可能手段と、前記測定計算手段および前記駆動可能手段を自動的に駆動し、コンピュータプログラムによって前記対数圧縮器(9)および制御回路(6)を実装する処理ユニット(12)とを備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の測定処理デバイス。 駆動可能手段のソレノイドバルブ(17、19)に連結する較正ガス注入手段(16、18)を備える、請求項5に記載の測定処理デバイス。 入射ガス流をイオン化するイオン化手段(1)と、イオン化ガス流を偏向させる質量分析計(2)と、請求項1から6のいずれか一項に記載の広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理デバイスとを備え、電子増倍管(4)の入力が、質量分析計(2)の出力と連結している、漏洩検出器。 請求項1から6のいずれか一項に記載の少なくとも2ディケードの入力信号(Io)の測定処理デバイス内で実施される、入力信号の測定処理方法であって、決定された指数の値(b、B)に基づいて、前記制御回路(6)のゲインパラメータ(10)およびオフセットパラメータ(11)の値を計算するために、電子増倍管(4)の指数関数的ゲインの指数の値(b、B)が、決定されることを特徴とする、測定処理方法。 前記電子増倍管(4)の指数関数的ゲインの指数の値(b、B)を決定するために、 − 所定の電流(Io)が、電子増倍管(4)の入力部に印加され、 − 前記増倍管(4)の電源電圧(Vm)が、変化し、 − 前記増倍管4の出力信号(IoG)を表わす、対数圧縮器の増幅器の出力電圧(Vamp)が、測定され、それによって、 前記電子増倍管(4)の指数関数的ゲインの前記指数の値(b、B)に相当する、増幅器の出力電圧(Vamp)と電源電圧(Vm)との間の線形関係の傾きを決定する、請求項8に記載の測定処理方法。 測定信号の値および前記決定された指数の値(b、B)に基づいて、適用される制御回路(6)のゲインパラメータ(10)およびオフセットパラメータ(11)の値を計算するために、電子増倍管(4)の入力部に印加される2つの所定の入力信号(IoPF、IoGF)の関数として、電子増倍管の出力信号(Vamp1、Vamp2)および電源の出力信号(Vm1、Vm2)を表わす信号が、測定される、請求項8または9に記載の測定処理方法。 |
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说明书全文 | 本発明は、広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理デバイス、漏洩検出器、および対応する測定処理方法に関する。 電子増倍管は、増幅機能を有する部品である。 それらのゲインは、通常、極めて高く、10 5までの範囲になる可能性がある。 電子増倍管は、極めて弱い信号が処理される広範囲の適用例に使用される。 引用する価値がある他の適用例のうちに、可視または不可視のイメージ増強管中での光エネルギーの測定(光電子増倍管)、放射線の測定(電離箱)、質量分析法、および特にヘリウム漏洩検出がある。 これらの適用例において、いくつかの場合に処理される信号は、10 8程度のダイナミックレンジを示す。 したがって、電子増倍管および信号圧縮増幅器を備える測定システムを有することが必要である。 この要素は、そのままでは、出力ダイナミックレンジを十分に縮小することができない。 その際に、追加的圧縮を実施するために、電子増倍管のゲインに作用することが必要である。 これは、その電源電圧に作用することによって得られる。 知られているデバイスにおいて、測定システムのゲインは、特に前記電源電圧への作用により、手動スイッチの使用、または、より高度のシステムにおける自動電子スイッチングもしくは複数測定システムのいずれかによって、不連続的に制御される。 伝達機能のこの不連続性は、信号が2つの増幅範囲の境界にあるとき、大幅な応答時間または不安定性などの望ましくない結果を生じさせる。 電子増倍管によって受け取られる信号を処理し、広ダイナミックレンジにわたる信号の連続測定を可能にするデバイスであって、入力信号Ioを受け取る電子増倍管と、制御回路を設けられた増倍管用の高電圧電源と、出力信号を提供し、電子増倍管の出力信号IoGの関数として測定ダイナミックレンジにわたって連続的に電子増倍管のゲインを変化させるように制御回路にさらに作用する圧縮増幅器を含むフィードバックループとを備えるデバイスが、既に文献EP0402827により知られている。 このように実装されるデバイスは、8ディケードまで拡張する広帯域の入力信号にわたり電子増倍管によって受け取られる入力信号を示すことができる使用可能線形出力信号を得るために、高ダイナミックレンジを有する入力信号を処理することを可能にする。 高電圧電源は、電子増倍管のゲインを決定する。 この電源は、デバイスの出力信号を受け取る制御回路によって変調される。 このために、制御回路は、出力信号の帯域を規定する、調整可能なゲインパラメータおよびオフセットパラメータを有する。 これらのゲインパラメータおよびオフセットパラメータを調整するために、従来の方法は、2つの異なる入力電流を注入するステップと、入力電流の各値に関して対応するゲインパラメータおよびオフセットパラメータを調整するステップとを含む。 しかし、この調整は、即効性がない。 実際には、制御回路のゲインパラメータおよびオフセットパラメータは、相互依存しており、相互に影響している。 言い換えれば、制御回路のゲインパラメータの調整は、出力信号の帯域のオフセットおよびゲインの両方の変更につながる。 同様に、制御回路のオフセットパラメータの連続的調整は、出力信号の帯域のオフセットおよびゲインの両方の変更につながる。 これら2つのパラメータの相互依存性は、制御回路のパラメータの微調整を要求し、所望の出力信号帯域を得るのに一定の数の反復を要求する。 注入された入力電流Ioの各変更の後に出力信号IoGの十分な安定を得るのに数分を必要とする可能性があれば、この調整は、比較的長時間かかる可能性がある。 本発明の目的は、これらの欠点を示さない、広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理デバイス、漏洩検出器、および対応する測定処理方法を提案することである。 そのために、本発明の主題は: 制御回路のゲインパラメータ理論値およびオフセットパラメータ理論値の決定前の電子増倍管のゲインの指数の決定は、多数の反復測定を行うことを必要とせず、正確にゲインパラメータ値およびオフセットパラメータ値を決定することを可能にする。 測定処理デバイスの他の特徴によれば、 本発明の主題は、さらに、入射ガス流をイオン化するイオン化手段と、イオン化ガス流を偏向させる質量分析計とを備える漏洩検出器であって、先に説明したように、広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理デバイスを備え、電子増倍管の入力が質量分析計の出力と連結していることを特徴とする、漏洩検出器である。 さらに、本発明の別の主題は、先に説明したように、少なくとも2ディケードの入力信号の測定処理デバイス内で実施される、入力信号の測定処理方法であって、決定された指数の値に基づいて、前記制御回路のゲインパラメータおよびオフセットパラメータのバルブを計算するために、電子増倍管の指数関数的ゲインの指数の値が、決定されることを特徴とする、方法である。 測定処理方法の他の特徴によれば、 他の利点および特徴は、本発明の説明を読むこと、および添付の図面より明らかになる。 これらの図において、同一の要素は、同じ参照番号で与えられる。 図1は、少なくとも2ディケード、すなわち、広ダイナミックレンジの入力信号Ioの測定処理デバイスを示す。 測定処理デバイスは、特に、ヘリウム漏洩検出に関する質量分析法の特定の分野に適用可能である。 目的は、密封性が検査されるチャンバの残存雰囲気中に含まれるヘリウムの分圧を測定することである。 通常、2つのケースが生じる。 チャンバが大容量を有する場合、内部を真空にするのにポンプが使用されるが、基準ガスであるヘリウムが豊富なこのチャンバを取り囲む雰囲気が、生成され、ポンプで汲み上げられたガスは、そのガスもヘリウムが豊富であるかどうかを検査することによって分析される。 チャンバが小さい場合、たとえば1つのケースにおいて、第1のステップは、このケースをチャンバ内の過剰ヘリウム圧力にさらすことであり、次いで真空にされた第2のチャンバ内に収容される。 ポンプで汲み上げられたガスは、同様に分析されて、ヘリウムが豊富であるかどうかを検査される。 このために、入射ガス流をイオン化するイオン化手段1と、イオン化ガス流を偏向させる質量分析計2と、測定処理デバイスとを備える漏洩検出器が、使用される。 質量分析計2は、フィルタを備え、フィルタの目的は、イオン化手段1により、ガス分子における比m/qによって事前にイオン化されたガス分子を空間的に偏向させることであり、ここで、mは分子の質量であり、qはその電荷である。 検討する例において、質量分析計2は、ヘリウムスパイクで較正される。 この空間フィルタの出力部において、入射ヘリウムイオンは、電子に変換され、次に、デバイスの出力信号Voutを得るのに処理される電子流IoGを生成するために増倍される。 デバイスは、その電源電圧Vmの関数として指数関数的に変化するゲインを有し、入力信号Ioを受け取る電子増倍管4と、増倍管4に電源電圧Vmを提供する高電圧電源5と、増倍管4の指数関数的ゲインを変化させることによってデバイスの出力信号の帯域を規定する、電源5用の制御回路6と、対数圧縮増幅器7とを備える。 対数圧縮増幅器7の出力は、一方では、測定ダイナミックレンジにわたって電子増倍管4の出力信号IoGの関数として電子増倍管4の指数関数的ゲインを連続的に変化させる制御回路6用の入力として受け取られ、他方では、デバイスの出力信号Voutを生成する。 電子増倍管4は、たとえば、図2および3に示されるマイクロチャネルウエハである。 マイクロチャネルウエハは、質量分析計2から発生する粒子の流れを入射電子の流れに変換し、電子増倍管として入射電子のこの流れに作用する。 マイクロチャネルウエハは、入射流の軸に、ほぼ配置される、多数のマイクロチャネル4aを含む。 各マイクロチャネル4aは、別個の電子増倍管である。 マイクロチャネル4aは、2次電子放出比が1よりも大きい、高抵抗率を有する層で覆われる。 したがって、マイクロチャネル4a中の連続的衝突および連鎖による入射電子が、ウエハの出力部に、多数の電子を生成する。 電子のこの数は、ゲインに相当する。 マイクロチャネル4aの組は、ウエハの2つの平面のそれぞれの上の金属層4bのコーティングによって電気的に接続する。 高電圧電源5からの電源電圧Vmは、その2つの面の間に印加される。 電源電圧Vmは、通常、400から1500ボルトの間にある。 電子増倍管のゲインを決定するのは、これである。 電源電圧Vmは、たとえば、電源5の入力部に印加される信号Veに比例し、制御回路6から得られる(関係(1))。 10 4から10 5程度のマイクロチャネルウエハのゲインは、マイクロチャネルウエハに印加される電源電圧Vmの指数関数である。 第1の実施形態によれば、増倍管4の指数関数的ゲインは、a*Vm bに相当し、ここで、aは倍率に相当し、bは指数関数的ゲインの指数に相当する。 したがって、指数関数的ゲインは、電源電圧Vmそれ自体をb倍した積に比例する。 粒子の流れを受け取る電子増倍管4には、関係(2)による電子流IoGを生成する電子コレクタ(図示せず)が続くことができる。 この電流IoGは、圧縮増幅器7内に注入され、圧縮増幅器7は、信号IoGを増幅し、そのダイナミックレンジを縮小するためにその圧縮を行う。 次に、この圧縮増幅器7の出力信号Voutを利用することができる。 デバイスは、たとえば、出力信号Voutを表示するために、出力信号を表示する手段を備える。 図1に示されるように、対数圧縮増幅器7は、増幅器8および対数圧縮器9を備える。 増幅器8の出力Vampは、対数圧縮器9の入力として受け取られ、関係(2)から派生した関係(3)による、一定のゲインKampで増幅された電子流IoGに相当する。 対数圧縮器9は、圧縮機能を出力Vampに適用し、その結果、出力信号Voutは、Log(Vamp)に相当する(関係(4))。 電子増倍管4の高電圧電源5は、出力信号Voutを受け取る制御回路6によって変調される。 したがって、電源電圧Vmは、電子流IoGが最小またはゼロのとき最大になり、電子流IoGが最大のとき最小になる。 この結果は、測定システムのダイナミックレンジの追加的圧縮である。 圧縮増幅器7は、対数増幅器であり、増倍管4の電源5用の制御回路6は、電源5によって生成される高電圧Vmが出力信号Voutの線形関数であるような線形増幅器である。 デバイスの出力信号の帯域を規定するために、線形増幅制御回路6は、調整可能なゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11を有する。 関係(5)が、適用される。 たとえば、制御回路6および圧縮増幅器7は、アナログ電子回路であり、ゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11は、ポテンショメータによって調整することができる。 増幅器8は、たとえば、演算増幅器である。 マイクロプロセッサを備える処理ユニット12内に実装されるコンピュータプログラムによって実装される対数圧縮器9および制御回路6を提供することも可能である。 その際、デバイスは、増幅器8の出力部で圧縮器9の入力部にアナログ/デジタル変換器13、アナログ信号Veを生成するために電源5の入力部にデジタル/アナログ変換器14、およびデバイスの出力部Voutにデジタル/アナログ変換器15を備える。 図4は、第1の実施形態による、対数目盛x軸上の対応する入力信号Ioの関数としての、漏洩検出器用の信号処理デバイスの出力信号Voutの例を示す。 出力信号Voutと入力電流Ioの対数との間の関係は、線形である。 したがって、処理デバイスは、10 8のダイナミックレンジ(ほぼ10 −14から10 −6アンペアの間で変化する)を有するヘリウムイオンの入射流を電子流IoGに変換し、出力信号の帯域が0から8ボルトの間にある出力信号Voutを生成するためにこの電子流を増幅することを可能にする。 したがって、デバイスは、利用することができる線形出力信号Voutを得るために、高ダイナミックレンジを有する入力信号を処理することを可能にし、8ディケードの入力信号の広帯域にわたり電子増倍管4によって受け取られる入力信号を示すことを可能にする。 デバイスは、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bを決定し、決定された指数値bに基づいて制御回路6のゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の値を計算する、測定計算手段をさらに備える。 たとえば、測定計算手段は、測定値に基づいて電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bを計算するために、電源電圧Vmを変化させ、各電源電圧Vmに関して対応する電子増倍管4の出力信号IoGを表わす信号を測定するのに適している。 測定を容易にするために、測定計算手段が、電子増倍管4の出力信号IoGを表わす、増幅器8の出力信号Vampを測定することができるようにする。 デバイスは、所定の入力信号Ioを印加し、電源電圧Vmを変化させる駆動可能手段を備えることもでき、その結果、処理ユニット12は、測定計算手段および駆動可能手段を自動的に駆動することができる。 たとえば、デバイスは、駆動可能手段のソレノイドバルブ17に連結する、少なくとも1つの較正ガス注入手段16を備える。 したがって、駆動可能手段は、較正ガス注入手段16の下流のソレノイドバルブ17の開放を制御することができる。 次に、ガス流は、イオン化手段1および質量分析計2に向かって導かれて、イオンの所定の入射流Ioを電子増倍管4に印加する。 測定計算手段が、電子増倍管4の入力部に印加される2つの所定の入力信号IoPF、IoGFによって、増幅器の出力信号Vamp1、Vamp2および電源の出力信号Vm1、Vm2などの、電子増倍管の出力信号を表わす信号を測定することができるようにすることも可能である。 測定信号の値および決定された指数値bに基づいて、測定計算手段は、適用される制御回路6のゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の値を計算することができる。 たとえば、デバイスは、2つの所定の入力信号IoPF、IoGFを自動的に印加するために、処理ユニット12によって駆動することができる手段を備える。 第1の所定の入力信号IoPFは、たとえば、少量の較正ガス注入に相当し、第2の所定の入力信号IoGFは、少量注入よりも少なくとも約100倍大きい、より多量の較正ガス注入に相当する。 したがって、先に説明したように、デバイスは、駆動可能手段の対応するソレノイドバルブ17、19に連結する、2つの較正ガス注入手段16、18を備えることができる。 動作中、広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理デバイス内で実施される、広ダイナミックレンジの入力信号の測定処理方法は、以下のステップを含む。 決定された指数値bに基づいて、制御回路6のゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の値を計算するために、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bが、決定される。 制御回路6のゲインパラメータ理論値10およびオフセットパラメータ理論値11の決定前の電子増倍管4のゲインの指数bの決定は、多数の反復測定を行うことを必要とせず、正確にゲインパラメータ値10およびオフセットパラメータ値11を決定することを可能にする。 たとえば、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bを決定するための第1のステップは、電子増倍管4の入力部に所定の電流Ioを印加することである。 次に、増倍管4の電源電圧Vmは、たとえば、制御回路6を実装するコンピュータプログラム内のVeの設定点を変更することによって変化し、増倍管4の出力信号IoGを表わす、対数圧縮器の増幅器の出力電圧Vampが、測定される。 関係(6)は、増幅器の出力電圧Vampの対数と電源電圧の対数との間の線形関係の傾きが、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bに相当するように、関係(3)から導かれる。 次に、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bに相当するLog(Vamp)とLog(Vm)との間の線形関係の傾きが、決定される。 電源5の出力Vmは、電源5の入力Veに比例している(関係(1))ので、電源5の出力Vmを測定する代わりに、電源5の知られている入力Veを使用することが可能である。 Log(Ve)の関数としての線形関係Log(Vamp)の傾きは、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bに相当する。 しかし、電源5の出力電圧Vmの測定は、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bをより正確に決定することを可能にする。 電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値bを知っていれば、この方法は、制御回路6のゲインパラメータ値10およびオフセットパラメータ値11が理論的に決定される次のステップを含むことができる。 このために、たとえば、多量の較正ガス注入の信号に相当する、第1の所定の電流IoGFが、電子増倍管4の入力部に印加される。 所定の電流IoGFならびに理論的ゲインパラメータおよびオフセットパラメータとともに、増幅器8の出力信号を示すのにVampGF、電源5の出力信号を示すのにVmGF、デバイスの出力信号を示すのにVoutGFが使用され、所望のVoutGF信号を得る。 所定の電流IoPFならびに初期ゲインパラメータおよびオフセットパラメータとともに、増幅器8の初期出力信号を示すのにVamp0、電源5の出力信号を示すのにVm0が使用される。 電子増倍管の出力信号Vamp0および電源の出力信号Vm0が、測定される。 この2つの測定点は、図1の点によって示される。 VampGFおよびVamp0に適用される関係(3)から、関係(7)が導かれる。 さらに、VampGFは、関係(4)から導くことができる。 したがって、Vm0(したがって関係(1)によるVe0)、Vamp0、bおよび所望のVoutGFを知っていれば、VeGFを決定することが可能である。 次に、たとえば、より少量の較正ガス注入の信号に相当する、第2の所定の電流IoPFが、電子増倍管4の入力部に印加される。 所定の電流IoPFならびに理論的ゲインパラメータおよびオフセットパラメータとともに望まれるデバイスの出力信号を示すのに、VoutPFが使用される。 所定の電流IoPFならびに初期ゲインパラメータおよびオフセットパラメータとともに、増幅器8の出力信号を示すのにVamp1、電源5の出力信号を示すのにVm1が使用される。 先の第1の所定の電流IoGFに関する理由と同じ理由を適用することによって、Vm1、Vamp1、bおよび所望のVoutPFを知っていれば、VePFを決定することが可能である。 次に、適用されるゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の理論値が、所望の信号値VoutGF、VoutPF、計算値VeGFおよびVePF、ならびに指数関数的ゲインの指数の決定値bに基づいて、計算される。 実際には、2つの電流IoGFおよびIoPFに関して制御回路6のゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11を計算する試みが行われる。 ここで、VeGFおよびVePFが決定されるので、VeGFおよびVePFに適用される関係(5)によって、ゲインパラメータおよびオフセットパラメータを計算することが可能である。 第2の実施形態によれば、増倍管4の指数関数的ゲインは、A*exp(B*Vm)に相当し、Aは、倍率に相当し、Bは、指数関数的ゲインの指数に相当する。 したがって、指数関数的ゲインは、電源電圧Vmと指数Bとの積の指数関数の基数eに比例する。 関係(2)は、(2')になる。 次に、関係(3')および(4')が得られる。 関係(6')が、関係(3')から導かれる。 次に、電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値Bに相当する、ln(Vamp)とVmとの間の線形関係の傾きが、決定される。 電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数の値Bを知っていれば、制御回路6のゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の値が、理論的に決定される。 実際には、VampGEおよびVamp0に適用される関係(3')に基づいて、第1の所定の電流IoGFに関して関係(7')からVeGFを決定することが可能である。 次に、同様に、VePFを決定するのに、第2の所定の電流IoPFが適用される。 次に、所望の信号値VoutGF、VoutPF、計算値VeGFおよびVePF、ならびに指数関数的ゲインの指数の決定値Bに基づいて、適用されるゲインパラメータ10およびオフセットパラメータ11の理論値が計算される。 その結果、制御回路6のゲインパラメータ理論値10およびオフセットパラメータ理論値11の決定前の電子増倍管4の指数関数的ゲインの指数b、Bの決定は、多数の反復測定を行うことを必要とせず、正確にゲインパラメータ値10およびオフセットパラメータ値11を決定することを可能にする。 |