질량 유량 제어 장치 |
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| 申请号 | KR20187006630 | 申请日 | 2016-09-09 | 公开(公告)号 | KR20180051520A | 公开(公告)日 | 2018-05-16 |
| 申请人 | HITACHI METALS LTD; | 发明人 | SONODA MASASHI; KISHINE YUUJI; | ||||
| 摘要 | 유량계에의해계측되는가스의계측유량이설정유량과일치하도록유량제어밸브에제어신호를출력하여밸브개방도를제어하는유량제어를실행하는제어수단은, 온도계에의해계측되는가스의계측온도가기준온도보다도높을수록밸브개방도의변경량의절댓값이커지도록제어신호의강도를조정하고, 계측온도가기준온도보다도낮을수록밸브개방도의변경량의절댓값이작아지도록제어신호의강도를조정한다. 이에의해, 가스의계측온도가기준온도와상이한것에기인하는유량제어밸브의밸브개방도의변경에있어서의응답시간의변화를저감할수 있다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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