칭량 장치, 기판 액 처리 장치, 칭량 방법, 기판 액 처리 방법 및 기억 매체 |
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| 申请号 | KR1020180036618 | 申请日 | 2018-03-29 | 公开(公告)号 | KR1020180111649A | 公开(公告)日 | 2018-10-11 |
| 申请人 | 发明人 | ||||||
| 摘要 | 기판액 처리장치에있어서이용되는처리액을고정밀도로정량공급하는것이다. 기판액 처리장치(A1)는, 처리액을저류하는저류관(61)과, 저류관(61)에처리액을도입하는도입배관(62)과, 저류관(61)으로부터처리액을송출하는송출배관(63)과, 저류관(61)에저류된처리액의표면에가스를분사함으로써처리액의평미레질을행하는가스공급부(65)를구비한다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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