烤炉

申请号 CN201610185935.0 申请日 2016-03-29 公开(公告)号 CN107238287A 公开(公告)日 2017-10-10
申请人 盟立自动化股份有限公司; 发明人 黄荣龙; 吕峻杰; 陈滢如;
摘要 本 发明 涉及一种烤炉,用于加热和干燥至少一 基板 。所述烤炉包括一操作腔室、一加热板以及一多孔板。所述操作腔室具有至少一排气孔用以排放所述操作腔室内加热的空气。所述加热板,设置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室内产生一加热效果。所述多孔板,设置在所述加热板的边缘和一排气孔上方。所述至少一基板设置于所述加热板上。本发明通过设置所述多孔板,让所述操作腔室中的加热气流较为均匀,进而改善了加热 温度 不均匀现象。藉此,当所述基板为一 液晶 显示器 基板(l iquid crystal display substrate)时,所制成的液晶 显示面板 的Mura现象(板 亮度 不均匀造成各种痕迹的现象)可被改善。
权利要求

1.一种烤炉,用于加热和干燥至少一基板,所述烤炉包括:
2.一操作腔室具有至少一排气孔用以排放所述操作腔室内加热的空气;
3.一加热板,设置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室内产生一加热效果;以及
4.一多孔板,设置在所述操作腔室中,其中所述加热的空气至少部分地流过所述多孔板来流入所述排气孔中;
5.其中所述至少一基板设置于所述操作腔室中来接收所述加热板的加热和干燥。
6.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述加热板的面积跟所述多孔板的面积的比值小于或等于10。
7.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述多孔板设置于所述加热板的边缘和所述至少一排气孔上。
8.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述至少一排气孔系设置于所述操作腔室的周围。
9.如权利要求3项所述之烤炉,其特征在于,所述烤炉还包括一抽气装置,用于从所述至少一排气孔将所述操作腔室中的气体抽出。
10.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述多孔板系完全覆盖所述至少一排气孔,使得所述受热空气在流入所述至少一排气孔前须完全流过所述多孔板。
11.如权利要求6项所述之烤炉,其特征在于,所述基板为一液晶显示器基板。
12.如权利要求7项所述之烤炉,其特征在于,所述烤炉是用在所述液晶显示器基板的湿式制程中。
13.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述基板为一液晶显示器基板。
14.如权利要求7项所述之烤炉,其特征在于,所述烤炉是用在所述液晶显示器基板的湿式制程中。
15.如权利要求10项所述之烤炉,其特征在于,所述烤炉还包括一抽气装置,用于从所述至少一排气孔将所述操作腔室中的气体抽出。
16.如权利要求1项所述之烤炉,其特征在于,所述多孔板系造成所述加热的空气扰流效果,而使所述加热空气均匀分布在所述操作腔室中。

说明书全文

烤炉

技术领域

[0001] 本发明系涉及一种烤炉,尤其是一种用于面板产业来加热和烘干一液晶显示器基板之烤炉。

背景技术

[0002] 在面板产业中,湿式制程发展的已经相当成熟。然而,受限于现有的机构设计,在实际操作中仍存在许多问题。如在烤炉中,因为烤炉内部的空气持续被加热,会导致压升高,为了解决压力升高的问题,现有技术通过在所述烤炉的周围设置排气孔进行减压。如此虽然解决了压力的问题,却同时因为气流不均匀以及温度不均匀,进而造成所制成的液晶显示面板会产生Mura现象(显示器亮度不均匀造成各种痕迹的现象)。
[0003] 因此,有必要提供一种烤炉,以解决上述之问题。

发明内容

[0004] 有鉴于此,本发明目的在于提供一烤炉,其具有改善上述之问题的功效。
[0005] 为达成上述目的,本发明提供一种烤炉,用于加热和干燥至少一基板。所述烤炉包括一操作腔室、一加热板以及一多孔板。
[0006] 所述操作腔室具有至少一排气孔用以排放所述操作腔室内加热的空气。所述加热板,设置于所述操作腔室底部,用以在所述操作腔室内产生一加热效果。所述多孔板,设置在所述操作腔室中,其中所述加热的空气至少部分地流过所述多孔板来流入所述排气孔中。所述至少一基板设置于所述操作腔室中来接收所述加热板的加热和干燥。
[0007] 在一优选实施例中,所述加热板的面积跟所述多孔板的面积的比值小于或等于10。
[0008] 在一优选实施例中,所述多孔板设置于所述加热板的边缘和所述至少一排气孔上。
[0009] 在一优选实施例中,所述至少一排气孔系设置于所述操作腔室的周围。
[0010] 在一优选实施例中,所述多孔板系完全覆盖所述至少一排气孔,使得所述受热空气在流入所述至少一排气孔前须完全流过所述多孔板。
[0011] 在一优选实施例中,所述基板为一液晶显示器基板。
[0012] 在一优选实施例中,所述烤炉是用在所述液晶显示器基板的湿式制程中。
[0013] 在一优选实施例中,所述基板为一液晶显示器基板。
[0014] 在一优选实施例中,所述烤炉是用在所述液晶显示器基板的湿式制程中。
[0015] 在一优选实施例中,所述烤炉还包括一抽气装置,用于从所述至少一排气孔将所述操作腔室中的气体抽出。
[0016] 在一优选实施例中,所述多孔板系造成所述加热的空气扰流效果,而使所述加热空气均匀分布在所述操作腔室中。
[0017] 相较于现有技术,本发明通过设置所述多孔板,让所述操作腔室中的加热气流较为均匀,进而改善了加热温度不均匀现象。藉此,当所述基板为一液晶显示器基板(liquid crystal display substrate)时,所制成的液晶显示面板的Mura现象(板亮度不均匀造成各种痕迹的现象)可被改善。附图说明
[0018] 图1,绘示本发明的第一优选实施例的烤炉之正视剖视图;
[0019] 图2,绘示根据图1的剖面线2-2所得之顶视剖视图;以及
[0020] 图3,绘示本发明的第二优选实施例的烤炉之正视剖视图。

具体实施方式

[0021] 以下参照附图详细说明的实施例将会使得本发明的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法更加明确。但是,本发明不局限于以下所公开的实施例,本发明能够以互不相同的各种方式实施,以下所公开的实施例仅用于使本发明的公开内容更加完整,有助于本发明所属技术领域的普通技术人员能够完整地理解本发明之范畴,本发明是根据申请专利范围而定义。在说明书全文中,相同的附图标记表示相同的装置组件。
[0022] 参考图1以及图2。图1,绘示本发明的第一优选实施例的烤炉100之正视剖视图。图2,绘示根据图1的剖面线2-2所得之顶视剖视图。所述烤炉100用于加热和干燥至少一基板
150。在此优选实施例中,所述基板150为一在一湿式制程中的液晶显示器基板(liquid crystal display substrate)。所述液晶显示器基板是用以制出一液晶显示面板。换言之,所述烤炉100是用在一液晶显示器基板的湿式制程中。所述烤炉100包括一操作腔室110、一加热板120、一多孔板130、至少一排气孔140。所述至少一排气孔140系设置于所述操作腔室
110的周围。所述加热板120,设置于所述操作腔室110底部。所述多孔板130,设置在所述加热板120的边缘和所述至少一排气孔140上方。所述至少一基板150设置于所述操作腔室110中,优选地是置放在所述加热板120上以接受所述加热板120的加热和干燥。在实际操作中,优选地,所述至少一基板150被放置于所述加热板120的中央(温度最均匀的位置),在加热和干燥的过程中,所述至少一基板150上的液体会受热汽化(接收所述加热板120的接触热以及所述操作腔室110的空气的传导热)。在此,因为设置了所述多孔板130,使得所述操作腔室110的加热空气产生了一定的扰流效果,进而使所述操作腔室110的空气的流动以及温度较为均匀。
[0023] 优选地,在本优选实施例中,所述多孔板130仅设置于所述加热板120的边缘并完全覆盖所述至少一排气孔140,以便让所述操作腔室110的加热空气可以完全通过所述多孔板130从所述至少一排气孔140排出所述操作腔室110的内部。但是,也可以根据不同的设计需求,将所述多孔板130设置在不同的位置,唯一需要注意的是,所述至少一排气孔140要能够通过所述多孔板130与所述操作腔室110的空气接触。换言之,所述加热的空气在流入所述至少一排气孔140中前要至少部分地流过所述多孔板130。
[0024] 优选地,所述加热板120的面积跟所述多孔板130的面积的比值小于或等于10。
[0025] 图3,绘示本发明的第二优选实施例的烤炉200之正视剖视图。本优选实施例与第一优选实施例的差异在于:所述烤炉200还包括一抽气装置160,用于从所述至少一排气孔140将所述操作腔室110中的气体抽出。藉由所述抽气装置160,能够让所述操作腔室110内部的压力维持恒定,进一步稳定加热和干燥效果,使所述至少一基板150能均匀受热而在整个湿式制程中有一均匀的机械、电气和化学特性。如此,由所述至少一基板150所得到的液晶显示面板的Mura现象可被降至最低。
[0026] 虽然本发明已用优选实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,本发明所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明之精神和范围内,当可作各种之更动与润饰,因此本发明之保护范围当视后附之申请专利范围所界定者为准。
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