真空ポンプ

本発明は真空ポンプに関し、特に、ロータ（回転軸）の軸シールに供給されるシールガスを強制的に排気する排気機構がポンプ内に設けられた真空ポンプに関する。

従来から、半導体デバイス製造装置、液晶パネル製造装置、ソーラパネル製造装置等において、真空ポンプが用いられている。
これら製造装置に用いられる真空ポンプとしては、プロセスチャンバー内に、真空ポンプで使用されている潤滑剤（オイル）が逆流すると、製造工程上重大な問題をもたらすため、真空ポンプ内に吸気された吸気ガスと潤滑剤（オイル）が接触することがない、いわゆるドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプが用いられている。

その一例を特許文献１に示されたスクリュー式ドライ真空ポンプに基づいて説明する。
このスクリュー式ドライ真空ポンプにあっては、軸受、タイミングギヤを潤滑する油或いはグリースが真空ポンプの作動室（ロータ室）へ侵入するのを抑制するため、複数の軸封機構（軸シール）を設けると共に、軸封機構（軸シール）と軸封機構（軸シール）との間にシールガスを供給している。
このシールガスは、レギュレータ等で一定の圧力（正圧）に調整され、流量調節バルブ或いは絞り弁を介して吸込側の軸封機構（軸シール）の間及び吐出側の軸封機構（軸シール）の間に供給されている。

そして、この供給されたシールガスによって、ロータ（回転軸）がシールされ、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等が真空ポンプの作動室（ロータ室）へ侵入するのを抑制している。
一方、供給されたシールガスは、軸封機構、軸受を通って、例えば、電動機側のケーシング、タイミングギヤ側のケーシングに設けられた通気孔から外部に自然に放出される。

前記供給されたシールガスが上記したように軸封機構（軸シール）、軸受を介してポンプ外に流れることによって、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等の真空ポンプ作動室（ロータ室）へ侵入を抑制している。
しかしながら、真空ポンプの作動室（ロータ室）は負圧であるため、供給されたシールガスの一部は、軸封機構（軸シール）を介して、真空ポンプの作動室へ流入する。 このシールガスの作動室（ロータ室）への流入量が多くなると、ポンプ排気速度が低下し、効率が悪化するという技術的課題があった。
一方、供給するシールガスの供給量を少なくすることにより、シールガスの作動室（ロータ室）への流入量を減らすことができるが、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等のポンプ作動室（ロータ室）へ侵入を抑制できないという技術的課題があった。

本発明は、上記技術的課題を解決するためになされたものであり、シールガスを強制的に排気する排気機構を、軸受と軸シールとの間に設けることにより、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等の作動室（ロータ室）へ侵入を抑制し、更にシールガスの作動室（ロータ室）への流入量を抑制した真空ポンプを提供することを目的とする。

上記目的を達成するためになされた本発明にかかる真空ポンプは、互いに噛み合う一対の雄ロータ及び雌ロータと、前記一対のロータを収納するハウジングと、前記ハウジングと一対の雄ロータ及び雌ロータにより形成される作動室とを備えた真空ポンプであって、前記雄、雌ロータの回転軸の少なくとも一端部を、軸受を介して回転可能に支持する支持部材と、前記軸受よりも作動室側の支持部材に設けられた軸シールとを備え、前記軸受と前記軸シールとの間に設けられ、前記雄ロータと共に回転し、軸シール側から軸受側にシールガスの流れを形成する第１の排気機構と、前記軸受と前記軸シールとの間に設けられ、前記雌ロータと共に回転し、軸シール側から軸受側にシールガスの流れを形成する第２の排気機構と、前記支持部材における第１の排気機構と軸シールとの間に形成されたシールガスを導入する第１の導入口と、前記支持部材における第１の排気機構と軸受の間、あるいは前記第１の排気機構の側方に形成されたシールガスを排出する第１の排出口と、前記支持部材における第２の排気機構と軸シールとの間に形成されたシールガスを導入する第２の導入口と、前記支持部材における第２の排気機構と軸受の間、あるいは前記第２の排気機構の側方に形成されたシールガスを排出する第２の排出口と、を備えていることを特徴としている。

このように、前記軸受と前記軸シールとの間に排気機構が設けられると共に、シールガスを導入する導入口が排気機構と軸シールとの間に、またシールガスを排出する排出口が排気機構と軸受の間あるいは排気機構の側方に形成されているため、前記導入口から導入されたシールガスは、前記排気機構によって強制的に前記排出口から外部に排出される。

このとき、前記排気機構によって、導入口から作動室側方向に流れるシールガスの流量は減少し、導入口から排出口方向（軸受方向）に流れるシールガスの流量が増大する。
その結果、シールガスの作動室（ロータ室）への流入量を抑制でき、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等の作動室（ロータ室）へ侵入を抑制することができる。
また、シールガスを導入する導入口が、排気機構と軸シールとの間に形成されているため、軸シールの間に導入口を形成した場合に比べて、軸シールの全長を用いて封止（シール）することができ、潤滑油等の作動室（ロータ室）へ侵入をより抑制することができる。

ここで、前記支持部材がハウジングの端面を覆う吸引側プレート及び吐出側プレートであって、前記吸引側プレート及び前記吐出側プレートに、軸受及び軸シールが設けられ、前記雄、雌ロータの回転軸の両端部が回転可能に支持されていることが望ましい。

また、前記排気機構は、前記雄、雌ロータの回転軸に取付けられることにより、前記シールガスを強制的に前記第１、第２の排出口から排出する排気ポンプであることが望ましい。
このように、前記雄雌ロータの回転軸に取付けられる排気機構である場合には、雄雌ロータの回転に伴って、強制的にシールガスを排気することができる。

更に、前記雄ロータ及び雌ロータの外周面がスクリュー形状に形成され、前記ハウジングと一対の雄ロータ及び雌ロータに形成されたスクリューとによって、作動室が形成されることが望ましい。

本発明によれば、軸受、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等の作動室（ロータ室）へ侵入を抑制することができ、更にシールガスの作動室（ロータ室）への流入量を抑制した真空ポンプを得ることができる。

図１は、本発明にかかる第１の実施形態を示す断面図である。

図２は、図１の要部断面図である。

図３は、排気機構を示す平面図である。

図４は、本発明にかかる第２の実施形態を示す断面図である。

図５は、図４の要部断面図である。

本発明をスクリュー式の真空ポンプに適用した場合の第１の実施形態について、図１、図２に基づいて説明する。
図１に示すように、このスクリュー式の真空ポンプ１は、ハウジング４の内部に収納された、互いに噛み合う一対の雄スクリューロータ２、雌スクリューロータ３を備えている。

前記ハウジング４の一端部（吸気側）には、吸入側プレート４Ａが設けられ、また前記ハウジング４の他端部（吐出側）には、吐出側プレート４Ｂが設けられ、前記ハウジング４の両端面を覆っている。 前記吐出側プレート４Ｂには、吐出口６設けられ、ハウジング４には、吸入口５設けられている。
この互いに噛み合う一対の雄ロータ２及び雌ロータ３と、前記一対のロータを収納するハウジング４により、気体を吸引、移送、圧縮する作動室Ａが形成される。 そして、前記吸入口５から吸引された気体は前記作動室Ａを介して前記吐出口６から外部に吐出される。

また、前記雄スクリューロータ２は、吸入側プレート４Ａ、吐出側プレート４Ｂに設けられた軸受７、８によって、ハウジング４（吸入側プレート４Ａ、吐出側プレート４Ｂ）に対して回転可能に支持されている。
同様に、前記雌スクリューロータ３は、吸入側プレート４Ａ、吐出側プレート４Ｂに設けられた軸受９、１０によって、ハウジング４（吸入側プレート４Ａ、吐出側プレート４Ｂ）に回転可能に支持されている。
即ち、吸入側プレート４Ａ、吐出側プレート４Ｂは、前記雄、雌ロータ２，３の回転軸２ａ，３ａの両端部を、軸受７、８、９、１０を介して回転可能に支持する支持部材として機能する。

また、前記軸受７、８の作動室Ａ側には、軸シール１１、１２が設けられている。 また前記軸受９、１０の作動室Ａ側には、軸シール１３、１４が設けられている。
前記シール１１、１２、１３、１４は、軸受７、８、９、１０と作動室Ａとを隔離し、軸受７、８、９、１０、タイミングギヤ１５，１６を潤滑する油或いはグリースが作動室Ａ内に漏洩することを防止している。
この軸シール１１，１２、１３、１４としては、オイルシール、メカニカルシールが用いられる。

また、前記タイミングギヤ１５，１６は、前記雄、雌スクリューロータ２，３の一端部に、それぞれ互いに噛み合うように取り付けられている。 また、前記雄スクリューロータ２の一端部には、モータ１７が連結されて、このモータ１７が雄スクリューロータ２を回転させることにより、前記タイミングギヤ１５，１６を介して雌スクリューロータ３が回転するように構成されている。
尚、前記タイミングギヤ１５、１６が収納されるオイルボックス１８の底部には、潤滑油１９が貯溜されている。

前記吸入側プレート４Ａには、例えば、窒素ガスであるシールガスを導入する導入路２０Ａ、２０Ｃとシールガスを排出する排出路２１Ａ、２１Ｃが形成されている。
前記シールガス導入路２０Ａ、２０Ｃは軸シール１１，１３側（作動室Ａ側）に配置され、シールガス排出路２１Ａ、２１Ｃは、軸受７，９側（オイルボックス１８側）に配置されている。
そして、前記導入路２０Ａ、２０Ｃの導入口２０Ａ１、２０Ｃ１と前記排出路２１Ａ、２１Ｃの排出口２１Ａ１、２１Ｃ１は、前記軸シール１１、１３と軸受７、９との間に形成される。

また、前記シールガス導入路２０Ａとシールガス排出路２１Ａは、スクリューロータ２の回転軸の外周面と吸入側プレート４Ａによって形成される連通路２２Ａを介して連通している。
同様に、前記シールガス導入路２０Ｃとシールガス排出路２１Ｃは、スクリューロータ３の回転軸の外周面と吸入側プレート４Ａによって形成される連通路２２Ｃを介して連通している。
即ち、導入口２０Ａ１、２０Ｃ１から導入されたシールガスは、前記連通路２２Ａ、２２Ｃを介して、前記排出口２１Ａ１、２１Ｃ１からシールガスを外部に排出できるように構成されている。

前記軸受７、９と前記軸シール１１、１３との間には、前記雄雌ロータ２，３と共に回転し、軸シール１１，１３側から軸受７，９側にシールガスの流れを形成する排気機構２３，２３が設けられている。
この排気機構２３は、前記連通路２２Ａ、２２Ｃの軸受７、９側に配置され、前記排気機構２３，２３の側面が、排出口２１Ａ１、２１Ｃ１に対向するように配置されている。 この排気機構２３，２３は、前記雄雌スクリューロータ２、３の回転軸２ａ、３ａに取り付けられ、雄雌スクリューロータ２、３の回転に伴って回転するように構成されている。
この排気機構２３，２３は排気ポンプであり、導入されたシールガスの圧力を高め、シールガス排出路２１Ａ、２１Ｃから外部に排出するものである。

同様に、前記吐出側プレート４Ｂにも、シールガスを導入する導入路２０Ｂ、２０Ｄとシールガスを排出する排出路２１Ｂ、２１Ｄが形成されている。
前記シールガス導入路２０Ｂ、２０Ｄは軸シール１２，１４側（作動室Ａ側）に配置され、シールガス排出路２１Ｂ、２１Ｄは、軸受８，１０側に配置されている。
そして、前記シールガスを導入する導入路２０Ｂ、２０Ｄの導入口２０Ｂ１、２０Ｄ１とシールガスを排出する排出路２１Ｂ、２１Ｄの排出口２１Ｂ１、２１Ｄ１は、前記軸シール１２，１４と軸受８，１０との間に形成される。

また、前記シールガス導入路２０Ｂとシールガス排出路２１Ｂは、スクリューロータ２の回転軸の外周面と吐出側プレート４Ｂによって形成される連通路２２Ｂを介して連通している。
同様に、前記シールガス導入路２０Ｄとシールガス排出路２１Ｄは、スクリューロータ３の回転軸の外周面と吐出側プレート４Ｂによって形成される連通路２２Ｄを介して連通している。
即ち、導入口２０Ｂ１、２０Ｄ１から導入されたシールガスは、前記連通路２２Ｂ、２２Ｄを介して、前記排出口２１Ｂ１、２１Ｄ１からシールガスを外部に排出できるように構成されている。

前記軸受８、１０と前記軸シール１２、１４との間には、前記雄雌ロータ２，３と共に回転し、軸シール１２，１４側から軸受８，１０側にシールガスの流れを形成する排気機構２３，２３が設けられている。
この排気機構２３は、前記連通路２２Ｂ、２２Ｄの軸受８、１０側に配置され、前記排気機構２３，２３の側面が、排出口２１Ｂ１、２１Ｄ１に対向するように配置されている。
この排気機構２３，２３は、前記雄雌スクリューロータ２、３の回転軸２ａ、３ａに取り付けられ、雄雌スクリューロータ２、３の回転に伴って回転するように構成されている。
この排気機構２３，２３は排気ポンプであり、導入されたシールガスの圧力を高め、シールガス排出路２１Ｂ、２１Ｄから外部に排出するものである。

次に、雄雌スクリューロータ２、３に設けられた各排気機構２３の構成について図３に基づいて説明する 排気機構２３は、円板状の基体２３ａの板面に羽根部２３ｂが形成され、前記基体２３ａ（円板）の中心部に貫通孔２３ｃが形成され、前記貫通孔２３ｃに、雄雌スクリューロータ２、３の回転軸２ａ，３ａが取付けられる。
そして、雄雌スクリューロータ２、３が回転することにより、排気機構２３は回転する。 その際、前記羽根部２３ｂによってシールガスは、図３の矢印で示すように、円板状の基体２３ａの中心部から径方向に流れ、前記排出口２１Ａ１，２１Ｂ１，２１Ｃ１，２１Ｄ１から強制的に排出される。
この排気機構２３としては、例えば、シロッコファン、ターボファン、プレートファン、リミットロードファン、プロペラ、軸流ファン等を用いることができ、高い圧縮比を得ることができる排気機構が望ましい。

雄雌スクリューロータ２、３に設けられている排気機構２３は、同一の構成であるため、その作用、機能を、図２に基づいて説明する。
前記したように、シールガス導入路２０Ｃの導入口２０Ｃ１が軸シール１３側（作動室Ａ側）に配置され、シールガス排出路２１Ｃの吐出口２１Ｃ１が軸受９側（オイルボックス１８）に配置されている。

真空ポンプ１の運転中、前記シールガスをシールガス導入口２０Ｃ１から供給すると、排気機構２３によって前記連通路２２Ｃに強制的に排気機構２３に向かう流れが形成される。 その結果、前記導入口２０Ｃ１から軸シール１３側（作動室Ａ側）に流れるシールガス量は減少する。
このシールガス量の減少によって、排気速度の低下が抑制され、ポンプ効率の低下が抑制される。
また、シールガス導入口２０Ｃ１が軸シール１３の端部近傍に設けられているため、軸シール１３の間に導入口を設けた場合に比べて、軸シール１３の全体のシール機能を有効に活用することができる。

更に、前記したように、前記連通路２２Ｃには軸シール１３側（作動室Ａ側）から軸受９側（オイルボックス１８）に向かうシールガスの流れが形成されるため、軸受け、タイミングギヤを潤滑する潤滑油が作動室Ａ（ロータ室）内へ侵入するのをより抑制することができる。 また、シールガス排出路２１Ｃの吐出口２１Ｃ１は、排気機構２３によって大気圧より僅かに高い圧力になされるため、軸受け、タイミングギヤを潤滑する潤滑油等の作動室への拡散をより抑制できる。
また排気機構２３に前記潤滑油が侵入した場合にも、前記排気機構２３によって、シールガス排出路２２を介して外部に放出することができるため、作動室Ａ（ロータ室）への拡散をより抑制することができる。

次に、第２の実施形態について、図４、図５に基づいて説明する。 この第２の実施形態は、互いに噛み合う一対の雄雌スクリューロータの内部に軸受、軸シールが設けられたスクリュー式の真空ポンプである。
図４に示すように、このスクリュー式の真空ポンプ３０は、ハウジング３１の内部に収納された、互いに噛み合う一対の雄、雌スクリューロータ３２、３３を備えている。

前記ハウジング３１の一端部（吸気側）には、吸入側プレート３４が設けられ、また前記ハウジング３１の他端部（吐出側）には、吐出側プレート３５が設けられ、前記ハウジング３１の両端面を覆っている。
尚、前記吐出側プレート３５には、吐出口３６設けられ、吸入側プレート３４には、吸入口３７設けられている。

前記スクリューロータ３２、３３は有底筒状に形成され、外周面にスクリューが形成されると共に、内部に軸受、軸シールが収容される。
符号３８，３９は、吐出側プレート３５に一端部が固定された支持部材である。 この支持部材３８、３９は円筒状に形成され、前記スクリューロータ３２、３３の回転軸３２ａ、３３ａが挿通するように構成されている。
この支持部材３８には軸受４０、４１が設けられ、前記軸受４０、４１によって、前記雄スクリューロータ３２の回転軸３２ａは、支持部材３８に対して回転可能に支持されている。 同様に、この支持部材３９には軸受４２、４３によって、前記雌スクリューロータ３３の回転軸３３ａは、支持部材３９に対して回転可能に支持されている。

また、前記支持部材３８、３９の先端部には、軸シール４４，４５が設けられている。 この軸シール４４、４５によって、軸受４０、４２と雄、雌スクリューロータ３２、３３の内部空間Ｂ１，Ｂ２内とを隔離し、軸受３８、４０の潤滑油が、雄、雌スクリューロータ３２、３３の内部空間Ｂ１，Ｂ２内に漏洩することを防止している。
ここで、雄、雌スクリューロータ３２、３３の内部空間Ｂ１，Ｂ２は、吐出側プレート３５とスクリューロータ３２、３３の端面の間の隙間を介してハウジング４内の作動室Ａに通じており、この軸シール４４、４５によって、軸受３８、４０の潤滑油がハウジング４（作動室Ａ）内に漏洩することを防止している。

更に、軸シール４４，４５は、ハウジング４の作動室Ａ内（スクリューロータ３２、３３の内部空間）から軸受４０、４２に異物が侵入することを防止している。 この軸シール４４、４５は、オイルシール、メカニカルシールが用いられる。

また、前記スクリューロータ３２，３３の一端部には、タイミングギヤ４６，４７が、それぞれ互いに噛み合うように取り付けられている。
更に、スクリューロータ３２の内部空間には、モータ４８が設けられ、スクリューロータ３２の回転軸３２ａを回転駆動するように構成されている。 このモータ４８によるスクリューロータ３２の回転によって、タイミングギヤ４６，４７を介してスクリューロータ３３が回転する。
尚、前記タイミングギヤ４６、４７が収納されるオイルボックス４９の底部には、潤滑油５０が貯溜されている。

図４、図５に示すように、 前記支持部材３８，３９には、シールガスを導入する導入路５１，５２とシールガスを排出する排出路５３、５４が形成されている。
尚、図５は，前記支持部材３８，３９が基本的に同一の構成であるため、雌スクリューロータ３３側のみを示している。

前記シールガス導入路５１，５２は軸シール４４、４５側に配置され、シールガス排出路５３，５４は、軸受側４０、４２に配置されている。
そして、前記導入路５１、５２の導入口５１ａ、５２ａと前記排出路５３、５４の排出口５３ａ、５４ａは、前記軸シール４４，４５と軸受４０，４２との間に形成される。

また、前記シールガス導入路５１とシールガス排出路５３は、スクリューロータ３２の回転軸３２ａの外周面と支持部材３８によって形成される連通路５５を介して連通している。
即ち、導入口５１ａから導入されたシールガスは、前記連通路５５を介して、前記排出口５３ａからシールガスを外部に排出できるように構成されている。

同様に、前記シールガス導入路５２とシールガス排出路５４は、スクリューロータ３３の回転軸３３ａの外周面と支持部材３９によって形成される連通路５６を介して連通している。
即ち、導入口５２ａから導入されたシールガスは、前記連通路５６を介して、前記排出口５４ａからシールガスを外部に排出できるように構成されている。

また、排出口５３ａ、５４ａの側方には、前記スクリューロータ３２、３３の回転軸３２ａ、３３ａに取り付けられ、前記回転軸３２ａ、３３ａと共に回転する排気機構５７，５７が設けられている。
この排気機構５７，５７は前記第１に実施形態で説明した排気機構２３と同一の構成を備えた排気ポンプであり、導入されたシールガスの圧力を高め、シールガス排出路５３，５４から外部に排出するものである。

このように、第２の実施形態では、前記シールガス導入路５１の導入口５１ａが軸シール４４側に配置され、シールガス排出路５３が軸受４０側に配置されている。 また、雌スクリューロータ３３側の前記シールガス導入路５２の導入口５２ａが軸シール４５側に配置され、シールガス排出路５４が軸受４２側に配置されている。 更に、排気機構５７、５７によって、供給されたシールガスを強制的に排気するように構成されている。

したがって、真空ポンプ３０の運転中、前記シールガスをシールガス導入路５１、５２から供給すると、排気機構５７、５７によって前記連通路５５，５６に強制的に流れが形成されるため、導入口５１ａ、５２ａから軸シール４４，４５側に流れるシールガス量を減少させることができる。
その結果、ポンプの排気速度の低下を抑制でき、ポンプ効率の悪化を抑制できる。 また、シールガス導入口５１ａ，５２ａが軸シール４４，４５の端部近傍に設けられているため、軸シールの全体（全長）のシール機能を有効に活用することができる。

また、前記したように、前記連通路５５，５６には軸シール４４，４５側から軸受４０，４２側に向かうシールガスの流れが形成されるため、軸受４０，４２を潤滑する潤滑油が、雄、雌スクリューロータ３２、３３の内部空間Ｂ１，Ｂ２を介して、作動室Ａ（ロータ室）内へ侵入するのを抑制することができる。
更に、シールガス排出路５３，５４の吐出口５３ａ，５４ａは、排気機構５７，５７によって大気圧より僅かに高い圧力になされるため、軸受４０，４２を潤滑する潤滑油等の作動室への拡散を抑制できる。
また排気機構５７，５７に前記潤滑油が侵入した場合にも、前記排気機構５７，５７によって、シールガス排出路５３，５４を介して外部に放出することができるため、作動室Ａ（ロータ室）への拡散を抑制することができる。

尚、真空ポンプ３０の外部に吸引ポンプを設け、シールガス排出路５３、５４に連結する場合に比べて、上記第１、第２の実施形態にあっては、真空系の配管構成が簡単になり、またバルブの切り換えなど煩雑な操作が不要になり、制御系を簡単で安価なものにすることができる。

また、上記第１、第２の実施形態にあっては、排気機構の側面と排出口とが対向するように配置した場合を説明したが、排気機構が連通路側から吸引し、後方（軸受側）に吐出する排気ポンプである場合には、前記排気機構と軸受の間（排気機構後方）にシールガスを排出する排出口を形成するのが好ましい。

更に、雄、雌スクリューロータの一方にのみモータを取り付け、タイミングギヤを介して回転する真空ポンプを示したが、雄、雌スクリューロータの両方にモータを取り付けたスクリュー式真空ポンプにも適用できる。
また本発明は、スクリュー式真空ポンプに限定されることなく、軸受と、軸シールを備える真空ポンプにも適用することができる。

１ スクリュー式真空ポンプ２ 雄スクリューロータ３ 雌スクリューロータ４ ハウジング４Ａ 吸入側プレート（支持部材）
４Ｂ 吐出側プレート（支持部材）
７，８，９，１０ 軸受１１，１２，１３，１４ 軸シール２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ （シールガス）導入路２０Ａ１，２０Ｂ１，２０Ｃ１，２０Ｄ１ （シールガス）導入口２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ （シールガス）排出路２１Ａ１，２１Ｂ１，２１Ｃ１，２１Ｄ１ （シールガス）排出口２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ 連通路２３ 排気機構（排気ポンプ）
２３ａ 基体２３ｂ 羽根部２３ｃ 貫通孔３０ スクリュー式真空ポンプ３２ 雄スクリューロータ３３ 雌スクリューロータ３４ 吸入側プレート３５ 吐出側プレート３８ 支持部材３９ 支持部材４０，４１，４２，４３ 軸受４４，４５ 軸シール５１，５２ （シールガス）導入路５１ａ，５２ａ （シールガス）導入口５３，５４ （シールガス）排出路５３ａ，５４ａ （シールガス）排出口５５，５６ 連通路５７ 排気機構（排気ポンプ）