유체 펌프

유체 펌프 {FLUID PUMP}

본 발명은, 하우징내에, 회전 샤프트의 회전에 의해서 동작되는 펌프 기구와, 이 펌프 기구의 회전 샤프트를 구동하는 구동원 (drive source) 을 포함하는 유체 펌프에 관한 것이다.

일본 미심사 공개특허공보 제 평8-78300 호에서는 유체 펌프를 개시하였다. 상기 종래 기술에서, 반도체를 제조하는 공정에 있어서, 반도체 가공 장치로부터 기체 반응 생성물을 배기하는 데에는 진공 펌프를 사용하였다. 이러한 진공 펌프에 있어서, 기체 반응 생성물이 그 내부에서 고화될 수 있다. 이 고화물은, 진공 펌프 장치의 작동중에 기체 반응 생성물과 함께 진공 펌프 외부로 배기된다. 따라서, 과잉 기체 반응 생성물이 고화되지 않으면, 진공 펌프의 연속 작동을 방해하지 않는다.

하지만, 진공 펌프내부에 고화물이 존재한 상태로 진공 펌프의 가동이 정지된 후, 이 진공 펌프를 재가동시킬 때, 이 진공 펌프는 과도한 시동 토크를 필요로 하게 된다. 이로 인하여, 진공 펌프는 전동 모터와 같은 구동원에 의한 재가동이 불가능해질 수 있다. 즉, 회전 부재와 하우징 사이의 간극 (clearance) 에 고화물이 들어가면, 진공 펌프의 온도 저하로 인해 간극이 감소하게 된다. 이로 인하여, 회전부재와 하우징은 가압 고착되어 고화물을 그 사이에 끼워넣게 된다.

상기 문제점을 해결하기 위해서, 진공 펌프는 일반적으로 재가동전에 정비된다. 이로 인하여, 진공 펌프내에 퇴적된 고화물이 제거된다.

하지만, 종래 기술에 있어서, 진공 펌프가 재가동될 때마다 이 진공펌프를 정비해야만 하기 때문에, 이러한 정비는 작동자에게 불편함을 준다.

본 발명은 보수가 용이한 유체 펌프에 관한 것이다.

본 발명은 다음의 특징을 가진다. 유체 펌프는 하우징, 구동원, 회전 유닛, 및 펌프 기구를 포함한다. 구동원은 하우징내에 수용되고 회전용 회전 부재를 포함한다. 회전 유닛은 회전 부재와 회전 샤프트를 포함하고, 이 회전 샤프트는 회전용 회전 부재에 작동 연결되어 있다. 회전 유닛은 하우징의 외부에 준비된 보수용 공구와 결합하는 결합부를 형성한다. 펌프 기구는 하우징내에 배치되어 회전 샤프트의 회전에 따라서 작동된다. 보수용 공구를 결합부와 결합시킬 수 있도록 하우징내에 결합부와 대향하도록 형성된 허용 수단이 형성된다. 보수용 공구가 결합부와 결합된 상태에서 보수용 공구를 회전시킴으로써회전 샤프트가 회전된다.

신규성과 관련된 본 발명의 특징은 첨부된 청구항에서 상세히 설명될 것이다. 본 발명, 본 발명의 목적, 및 본 발명의 장점은 첨부된 도면과 함께 바람직한 실시형태의 이후의 설명을 참고하여 가장 잘 이해될 것이다.

도 1 은 본 발명의 바람직한 제 1 실시형태에 따른 진공 펌프의 종단면도,

도 2a 는 도 1 의 부분 확대도,

도 2b 는 본 발명의 바람직한 제 1 실시형태에 따른 진공 펌프를 보수하는 과정을 나타내는 도면,

도 3a 는 본 발명의 바람직한 제 2 실시형태에 따른 진공 펌프의 종단면도의 부분도, 및

도 3b 는 본 발명의 바람직한 제 2 실시형태에 따른 진공 펌프를 보수하는 과정을 나타내는 부분도.

* 도면의 주요 부분에 대한 도면부호의 설명 *

H1 : 펌프 하우징H2 : 기어 하우징

H3 : 모터 하우징M : 전동 모터

12 : 로터 하우징13 : 전방 하우징

14 : 후방 하우징15 : 실린더 블록

16 : 격벽17 : 통로

18 : 펌프실19, 20 : 회전 샤프트

21 : 래디얼 베어링22 : 볼 베어링

23, 28, 48 : 로터39 : 변속 기어

40 : 샤프트 커플링41 : 출력 샤프트

41a : 육각형 소켓43 : 공구 삽입구멍

45 : 밀봉 볼트47 : 베어링

51 : 커버51a : 관통구

52 : 그로밋50, 55, 56 : 립 밀봉부

본 발명의 바람직한 제 1 실시형태에 따른 유체 펌프는 도 1, 도 2a , 및 도 2b 를 참조하여 설명될 것이다. 바람직한 제 1 실시형태에 있어서, 진공 펌프는 유체 펌프로서 사용된다. 도 1 에서, 도면의 좌측은 전방측이고 우측은 후방측이다.

도 1 에 도시된 바와 같이, 진공 펌프는, 반도체 가공 공정에서 반도체 가공 장치 (도시되지 않음) 로부터 염화 암모늄과 같은 기체 반응 생성물을 배기하는데 사용된다. 이하, 염화 암모늄을 가스라고 한다.

도 1 을 참조하면, 진공 펌프는 펌프 하우징 (H1), 기어 하우징 (H2), 및 모터 하우징 (H3) 을 포함한다. 펌프 하우징 (H1) 의 후방 단부는 기어 하우징 (H2) 의 전방 단부에 연결된다. 또한, 기어 하우징 (H2) 의 후방 단부는 모터 하우징 (H3) 의 전방 단부에 연결된다. 펌프 하우징 (H1), 기어 하우징 (H2), 및 모터 하우징 (H3) 은 진공 펌프의 하우징을 형성한다. 펌프 하우징 (H1) 은 로터 하우징 (12), 전방 하우징 (13), 및 후방 하우징 (14) 을 포함한다. 전방 하우징 (13) 의 후방 단부는 로터 하우징 (12) 의 전방 단부에 연결된다. 또한, 로터 하우징 (12) 의 후방 단부는 후방 하우징 (14) 의 전방 단부에 연결된다. 펌프 하우징 (H1) 은 다단식 루트형 펌프 기구 (P) 를 수용한다.

로터 하우징 (12) 은 실린더 블록 (15) 과 다수의 격벽 (16) 을 포함한다. 격벽 (16) 은 로터 하우징 (12) 의 전방측에서 후방측으로 서로 평행하게 배치된다. 하우징 (13) 과, 로터 하우징 (12) 의 전방 단부에 배치된 격벽 (16) 사이의 공간에는 펌프실 (18) 이 형성된다. 유사한 방법으로, 서로 이웃하게 위치된 격벽 (16) 들 사이의 공간에도 펌프실 (18) 이 형성된다. 또한, 유사한 방법으로, 로터 하우징 (12) 의 후방 단부에 배치된 격벽 (16) 과, 후방 하우징 (14) 사이의 공간에도 펌프실 (18) 이 형성된다. 각각의 격벽 (16) 을 통하여 통로 (17) 가 연장하여, 이 통로 (17) 를 통하여 펌프실 (18) 이 서로 연결된다.

회전 샤프트 (19, 20) 는, 펌프 하우징 (H1) 내의 래디얼 베어링 (21) 과 복렬 볼 베어링 (22) 에 의해 각각 회전 지지된다. 특히, 회전 샤프트 (19, 20) 의 전방 단부는 전방 하우징 (13) 내의 래디얼 베어링 (21) 에 의해 각각 회전 지지된다. 또한, 회전 샤프트 (19, 20) 의 후방 단부는 후방 하우징 (14) 내의 복렬 볼 베어링 (22) 에 의해 각각 회전 지지된다. 따라서, 래디얼 베어링 (21) 은 회전 샤프트 (19, 20) 를 이 회전 샤프트 (19, 20) 의 회전축 방향으로 이동시킬 수 있는 반면, 복렬 볼 베어링 (22) 은 스러스트 하중을 수용한다. 이로 인하여, 회전 샤프트 (19, 20) 는 복렬 볼 베어링 (22) 에 의해 이 회전 샤프트의 회전축 방향으로 위치된다. 회전 샤프트 (19, 20) 둘 다는, 이 회전 샤프트 (19, 20) 의 회전축이 서로 평행하도록 위치된다. 즉, 회전 샤프트 (19) 의 회전축 방향은 회전 샤프트 (20) 의 회전축과 동일한 방향이다. 회전 샤프트 (19, 20) 은 격벽 (16) 을 통하여 연장한다. 회전 샤프트 (19) 와 함께 다수의 로터 (23) 가 일체로 형성된다. 상기 실시형태에 있어서, 로터 (23) 의 수는 5 개이다. 로터 (23) 와 동일한 수의 로터 (28) 가 회전 샤프트 (20) 와 함께 일체로 형성된다. 다수의 로터 (23) 는 회전 샤프트 (19) 의 회전축을 따라서 도시된 바와 같이 동일한 형상과 크기를 가진다. 또한, 다수의 로터 (28) 는 회전 샤프트 (20) 의 회전축을 따라서 도시된 바와 같이 동일한 형상과 크기를 가진다. 하지만, 로터 (23, 28) 의 두께, 즉 로터 샤프트 (19, 20) 의 회전축 방향으로의 로터 (23, 28) 의 길이는, 서로 다르고, 전방측에서 후방측으로 차례로 감소한다.

로터 (23, 28) 는 서로 결합되도록 각 펌프실 (18) 에 수용된다. 로터 (23) 와 대응 로터 (28) 는 그 사이에 약간의 간극을 유지한다. 각 펌프실 (18) 의 부피는 전방측에서 후방측으로 차례로 감소하도록 설정된다. 즉, 전방 하우징 (13) 에 인접한 펌프실 (18) 의 부피가 최대가 되고, 후방 하우징 (14) 에 인접한 펌프실 (18) 의 부피가 최소가 된다.

기어 하우징 (H2) 은 변속 기어 (39) 와 샤프트 커플링 (40) 을 수용한다. 또한, 모터 하우징 (H3) 은 구동원으로서 사용되는 전동 모터 (M) 를 수용한다. 펌프 하우징 (H1), 기어 하우징 (H2), 및 모터 하우징 (H3) 을 포함하는 진공 펌프 하우징은 커버 (51) 내에 내장된다. 이로 인하여, 진공 펌프 하우징내의 기체가 진공 펌프 하우징 외부로 누출되더라도, 커버 (51) 는 누출된 기체가 대기로 방출되지 않도록 한다. 커버 (51) 로 누출된 기체는, 배기 가스 처리 장치(도 1 에 도시되지 않음) 에 의해 회수되어 무독화처리된다.

전동 모터 (M) 는 출력 샤프트 (41), 로터 (48), 및 스테이터 (49) 를 포함한다. 출력 샤프트 (41) 는 모터 하우징 (H3) 내의 베어링 (46, 47) 에 의해 회전 지지된다. 로터 (48) 는 출력 샤프트 (41) 상에 장착된다. 스테이터 (49) 는 모터 하우징 (H3) 의 내부 원주면상에 장착된다. 출력 샤프트 (41) 는 펌프 기구 (P) 의 회전 샤프트 (19) 의 회전축과 동일한 축을 가진다. 출력 샤프트 (41) 는 모터 하우징 (H3) 와 기어 하우징 (H2) 을 통하여 연장한다. 이로 인하여, 출력 샤프트 (41) 의 전방 단부는, 기어 하우징 (H2) 내에서, 회전 부재로서 사용되는 샤프트 커플링 (40) 의 후방 단부에 연결된다. 샤프트 커플링 (40) 의 전방 단부는 회전 샤프트 (19) 의 후방 단부에 연결된다. 회전 부재는 샤프트 커플링 (40) 과 출력 샤프트 (41) 를 포함한다. 회전 유닛은 회전 부재와 회전 샤프트 (19) 를 포함한다.

출력 샤프트 (41) 를 모터 하우징 (H3) 에 밀봉하기 위한 립 밀봉부 (50) 가 모터 하우징 (H3) 내에 위치된다. 본 실시형태에 있어서, 립 밀봉부 (50) 는 샤프트 밀봉 장치로서 사용된다. 또한, 회전 샤프트 (19) 를 후방 하우징 (14) 에 밀봉하기 위한 립 밀봉부 (55) 가 펌프 하우징 (H1) 의 후방 하우징 (14) 내에 배치된다. 게다가, 유사한 방식으로, 회전 샤프트 (20) 를 후방 하우징 (14) 에 밀봉하기 위한 립 밀봉부 (56) 가 펌프 하우징 (H1) 의 후방 하우징 (14) 내에 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 립 밀봉부 (55, 56) 각각은 샤프트 밀봉 장치로서 사용된다. 따라서, 동일한 진공 펌프 하우징내에서도, 펌프 기구 (P) 측에 위치된 펌프 하우징 (H1) 내의 대기와, 전동 모터 (M) 측에 위치된 모터 하우징 (H3) 내의 대기간의 연통은 립 밀봉부 (50, 55, 56) 에 의해 차단된다.

전동 모터 (M) 의 구동력은, 샤프트 커플링 (40) 과 변속 기어 (39) 를 통하여 회전 샤프트 (20) 에 전달되면서, 샤프트 커플링 (40) 을 통하여 회전 샤프트 (19) 에 전달된다. 기어 하우징 (H2) 내의 회전 샤프트 (19, 20) 사이에 변속 기어 (39) 를 배치시킴으로써, 회전 샤프트 (20) 와 로터 (28) 는 회전 샤프트 (19) 와 로터 (23) 의 반대 방향으로 회전된다. 커버 (51) 의 외부에 배치된 반도체 가공 장치내의 기체는, 우선 전방 하우징 (13) 에 인접한 펌프실 (18) 로 유입된다. 그 후, 전방 하우징 (13) 에 인접한 펌프실 (18) 내의 기체는, 이 펌프실 (18) 내의 로터 (23, 28) 의 회전에 의해, 격벽 (16) 의 통로 (17) 를 통하여, 상기 펌프실 (18) 의 후방측에 위치되고 이 펌프실 (18) 과 이웃하는 펌프실 (18) 로 이송된다. 유사한 방식으로, 펌프실의 부피가 차례로 감소되면서, 펌프실 (18) 내의 기체는 전방측에서 후방측으로 이송된다. 후방 하우징 (14) 에 인접한 펌프실 (18) 로 이송된 기체는, 커버 (51) 의 외부측에 위치된 배기 가스 처리 장치 (도 1 에는 도시되지 않음) 쪽으로 배기된다.

진공 펌프내부에 반응 생성물의 고화물이 존재한 상태에서 진공 펌프의 가동이 정지된 후, 이 진공 펌프를 재가동시킬 때, 이 진공 펌프는 과도한 시동 토크를 필요로 하게 된다. 이로 인하여, 전동 모터 (M) 에 의한 진공 펌프의 재가동이 불가능해질 수 있다. 특히, 진공 펌프의 작동시, 진공 펌프의 온도 상승으로 인해 회전 샤프트 (19, 20) 가 회전축 방향으로 팽창된다. 이로 인하여, 회전 샤프트 (19) 와 일체로 형성된 로터 (23) 와, 이 로터 (23) 의 회전축 방향으로 로터 (23) 와 대향하는 예컨대 격벽 (16) 과의 사이의 간극이 증가하게 된다. 또한, 회전 샤프트 (20) 와 일체로 형성된 로터 (28) 와, 이 로터 (28) 의 회전축 방향으로 로터 (28) 와 대향하는 예컨대 격벽 (16) 과의 사이의 간극이 증가하게 된다. 회전 샤프트 (19, 20) 가 복렬 볼 베어링 (22) 에 의해 이 회전 샤프트의 회전축 방향으로 위치되기 때문에, 진공 펌프 가동이 정지되면, 진공 펌프의 온도 저하로 인해 상기 간극이 감소하게 된다. 따라서, 로터 (23) 와 격벽 (16) 사이의 간극으로 고화물이 유입되면, 진공 펌프의 온도 저하로 인해 상기 간극이 감소하게 된다. 이로 인하여, 로터 (23) 와 격벽 (16) 은 서로 가압 고착되어 고화물을 그 사이에 끼우넣게 된다. 또한, 로터 (28) 와 격벽 (16) 사이의 간극으로 고화물이 유입되면, 진공 펌프의 온도 저하로 인해 상기 간극이 감소하게 된다. 이로 인하여, 로터 (28) 와 격벽 (16) 은 서로 가압 고착되어 고화물을 그 사이에 끼워넣게 된다.

본 실시형태에 있어서, 진공 펌프를 재가동하기 전에 진공 펌프를 보수하기 위해서, 즉 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 사이의 접착물을 제거하기 위해서, 진공 펌프는 다음과 같이 구성된다.

도 1, 도 2a, 및 도 2b 에 도시된 바와 같이, 전동 모터 (M) 에서, 회전 부재로서 사용되는 출력 샤프트 (41) 의 후방 단부의 단부면상에는 육각형 소켓 (41a) 이 형성된다. 출력 샤프트 (41) 의 후방 단부와 샤프트 커플링 (40) 은출력 샤프트 (41) 의 반대측에 위치된다. 육각형 소켓 (41a) 은 결합부로서 사용된다. 공구 삽입구멍 (43) 은 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 과 대향하도록 모터 하우징 (H3) 의 후방벽을 통하여 연장한다. 공구 삽입구멍 (43) 은 허용 수단으로서 사용된다. 도 2a 에 도시된 바와 같이, 진공 펌프의 가동시, 공구 삽입구멍 (43) 은 이 공구 삽입구멍 (43) 을 밀봉하는 밀봉 볼트 (45) 에 의해서 폐쇄된다. 본 실시형태에 있어서, 밀봉 볼트 (45) 는 공구 삽입구멍 개폐 수단으로서 사용된다. 반대로, 도 2b 에 도시된 바와 같이, 진공 펌프의 가동 정지시, 진공 펌프가 보수될 때 모터 하우징 (H3) 으로부터 밀봉 볼트 (45) 를 분리함으로써 공구 삽입구멍 (43) 이 개방된다.

도 2a 와 도 2b 를 참조하면, 관통구 (51a) 는 공구 삽입구멍 (43) 과 대향하도록 커버 (51) 의 후방벽을 관통한다. 도 2a 에 도시된 바와 같이, 진공 펌프의 가동시, 관통구 (51a) 는 그로밋 (grommet) (52) 에 의해 폐쇄된다. 본 실시형태에 있어서, 그로밋 (52) 은 관통구 개폐 수단으로서 사용된다. 반대로, 도 2b 에 도시된 바와 같이, 진공 펌프의 가동 정지시, 진공 펌프가 보수될 때 커버 (51) 로부터 그로밋 (52) 을 분리함으로써 관통구 (51a) 가 개방된다.

도 2b 를 참조하면, 진공 펌프의 가동 정지시 이 진공 펌프가 보수될 때, 우선 그로밋 (52) 이 커버 (51) 로부터 분리된 후, 볼트 구동 수단 (도면에서 도시되지 않음) 이 관통구 (51a) 를 통하여 커버 (51) 내부로 삽입된다. 이로 인하여, 밀봉 볼트 (45) 가 모터 하우징 (H3) 으로부터 분리된다.

전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 이 커버 (51) 의외부로 노출된 상태에서, 커버 (51) 외부에 준비된 육각형 렌치 (KG) 가 관통구 (51a) 와 공구 삽입구멍 (43) 을 통하여 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 에 삽입되어 결합하게 된다. 본 실시형태에 있어서, 육각형 렌치 (KG) 는 진공 펌프를 보수하기 위한 보수 공구로서 사용된다. 따라서, 전동 모터 (M) 에 의해서는 토크를 기대할 수 없더라도, 육각형 렌치 (KG) 가 이 육각형 렌치의 레버 작동으로 유발된 비교적 큰 토크로 회전될 때, 이 토크량이 출력 샤프트 (41) 에서 샤프트 커플링 (40) 을 통하여 회전 샤프트 (19) 로 전달된다. 동시에, 이 토크량이 출력 샤프트 (41) 에서 샤프트 커플링 (40) 과 변속 기어 (39) 를 통하여 회전 샤프트 (20) 로 전달된다. 이로 인하여, 고화물에 의해 서로 접착된 로터 (23) 와 예컨대 격벽 (16) 의 접착 상태가 강제로 분리된다. 또한, 고화물에 의해 서로 접착된 로터 (28) 와 예컨대 격벽 (16) 의 접착 상태가 강제로 분리된다. 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 간의 접착 상태가 분리된 후, 육각형 소켓 (41a) 으로부터 육각형 렌치 (KG) 가 분리된다. 그 후, 밀봉 볼트 (45) 에 의해 공구 삽입구멍 (43) 이 폐쇄된 후, 그로밋 (52) 에 의해 관통구 (51a) 도 폐쇄된다. 이러한 공정 후에, 진공 펌프가 재가동된다.

진공 펌프를 보수할 시 육각형 렌치 (KG) 의 회전 방향은 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 의 회전 방향과 동일하거나 그 반대일 수 있음에 주목해야 한다.

본 발명의 바람직한 제 1 실시형태에 따라서, 다음의 효과를 얻을 수 있다.

(1) 전술한 바와 같이, 단순한 보수시 육각형 렌치 (KG) 로 펌프 기구 (P) 의 회전 샤프트 (19, 20) 를 회전시킴으로써 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 간의 접착이 분리된다. 따라서, 진공 펌프는 종래의 정비없이 재가동된다. 이로 인해, 작동자에게 불편함을 덜어준다.

(2) 육각형 렌치 (KG) 를 모터 하우징 (H3) 으로 삽입시키도록 모터 하우징 (H3) 내에는 공구 삽입구멍 (43) 이 형성된다. 육각형 렌치 (KG) 는, 공구 삽입구멍 (43) 과 같은 단순한 구조물에 의해 모터 하우징 (H3) 의 출력 샤프트 (41) 와 결합한다. 추가적으로, 공구 삽입구멍 (43) 은, 밀봉 볼트 (45) 를 부착함으로써 폐쇄되고, 밀봉 볼트 (45) 를 분리함으로써 개방된다. 따라서, 진공 펌프의 가동시, 공구 삽입구멍 (43) 이 밀봉 볼트 (45) 에 의해서 폐쇄된다면, 진공 펌프 하우징의 밀봉이 만족스럽게 유지된다. 더욱이, 진공 펌프가 보수될 때, 공구 삽입구멍 (43) 은, 모터 하우징 (H3) 으로부터 밀봉 볼트 (45) 를 분리하는 단순한 작업으로 개방된다. 이로 인하여, 육각형 렌치 (KG) 는 모터 하우징 (H3) 으로 삽입될 수 있다.

(3) 육각형 렌치 (KG) 를 모터 하우징 (H3) 또는 공구 삽입구멍 (43) 으로 접근시키도록, 커버 (51) 내에는 관통구 (51a) 가 형성된다. 육각형 렌치 (KG) 는, 커버 (51) 에 삽입되고, 관통구 (51a) 와 같은 단순한 구조물에 의해 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 와 결합된다. 추가로, 관통구 (51a) 는, 그로밋 (52) 을 커버 (51) 에 부착시킴으로써 폐쇄되고, 그로밋 (52) 을 커버 (51) 로부터 분리시킴으로써 개방된다. 따라서, 진공 펌프의 가동시, 관통구 (51a) 가 그로밋 (52) 에 의해 폐쇄되었다면, 커버 (51) 의 밀봉이 만족스럽게 유지된다. 더욱이, 진공 펌프가 보수될 때, 관통구 (51a) 는 커버 (51) 로부터그로밋 (52) 을 분리하는 단순한 작업으로 개방된다. 이로 인하여, 육각형 렌치 (KG) 는 커버 (51) 로 삽입될 수 있다.

(4) 펌프 하우징 (H1) 내의 대기와 모터 하우징 (H3) 내의 대기 사이의 진공 펌프의 내부 공간은 립 밀봉부 (50, 55, 56) 에 의해 폐쇄된다. 따라서, 바람직한 본 실시형태에 기재된 바와 같이, 펌프 기구 (P) 가 반도체 가공 장치에 의해 생성된 유독 가스 등의 기체 반응 생성물을 취급하고, 또한 진공 펌프가 보수될 때 모터 하우징 (H3) 의 내부 공간이 대기로 개방되더라도, 작업자의 안전이 충분히 보장된다.

본 발명의 바람직한 제 2 실시형태에 따른 유체 펌프는 특히 도 3a 와 도 3b 를 참조하여 설명될 것이다. 바람직한 제 2 실시형태에 있어서, 진공 펌프도 유체 펌프로서 사용되고, 바람직한 제 1 실시형태와 유일한 차이점이 설명될 것이다. 바람직한 제 1 실시형태의 도면부호는 바람직한 제 2 실시형태의 동일 부재 또는 대응 부재에 실질적으로 동일하게 사용되고, 중복 설명부는 생략되었다. 바람직한 제 2 실시형태에 있어서, 진공 펌프는, 모터 하우징 (H3) 의 내부 공간이 대기로 개방되지 않은 상태에서, 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 간의 접착을 분리하도록 보수된다.

출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 과 대향하는 위치에 모터 하우징 (H3) 의 후방벽을 관통하는 원형구멍 (61) 이 형성된다. 이 원형구멍 (61) 에는 원통형 중간 부재 (62) 가 삽입되어, 중간 부재는 이 중간 부재의 축 방향을 따라서 미끄러지고 이 축을 중심으로 선회된다. 본 실시형태에 있어서, 중간부재 (62) 는 허용 수단으로서 사용된다. 중간 부재 (62) 의 전방 단부에는 육각형 돌출부 (62a) 가 제공되고, 중간 부재 (62) 의 후방 단부에는 플랜지 (62b) 가 제공된다. 육각형 돌출부 (62a) 는, 전방으로 돌출하여, 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 과 결합된다. 플랜지 (62b) 는 진공 펌프 하우징의 외부에 또한 커버 (51) 의 내부에 배치된다. 중간 부재 (62) 의 후방단부면내에는 육각형 소켓 (62c) 이 형성되어, 이 육각형 소켓은 육각형 렌치 (KG) 와 결합하게 된다.

원형구멍 (61) 의 내부 원주면과 중간 부재 (62) 의 외부 원주면 사이에는 밀봉 부재 (63) 가 개재되어 모터 하우징 (H3) 의 내부와 외부간의 연통을 차단한다. 밀봉 부재 (63) 는 O-링이다. 모터 하우징 (H3) 의 후방벽의 외부면과 중간 부재 (62) 의 플랜지 (62b) 의 전방면 사이에는 스프링 (64) 이 개재되어, 이 스프링은 중간 부재 (62) 에 힘을 가하여 이 중간 부재 (62) 을 출력 샤프트 (41) 로부터 더 멀리 이동시킨다. 따라서, 정상 상태에서, 중간 부재 (62) 의 육각형 돌출부 (62a) 는 스프링 (64) 의 힘을 받아 출력 샤프트 (41) 로부터 더 멀리 이동된다. 즉, 정상 상태에서, 중간 부재 (62) 의 육각형 돌출부 (62a) 와 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 간의 결합이 분리된다.

진공 펌프가 보수될 때, 우선 커버 (51) 로부터 그로밋 (52) 이 분리되어, 이 커버 (51) 내부로 육각형 렌치 (KG) 가 삽입된다. 이로 인하여, 육각형 렌치 (KG) 는 중간 부재 (62) 의 육각형 소켓 (62c) 에 삽입하여 결합된다. 이 상태에서, 육각형 렌치 (KG) 와 중간 부재 (62) 가 스프링 (64) 에 대항하여 모터하우징 (H3) 의 내부 쪽으로 밀려질 때, 이 중간 부재 (62) 는 출력 샤프트 (41) 의 후방 단부로 접근하게 된다. 이로 인하여, 육각형 돌출부 (62a) 는 출력 샤프트 (41) 의 육각형 소켓 (41a) 에 삽입하여 결합된다. 따라서, 육각형 렌치 (KG) 와 출력 샤프트 (41) 가 중간 부재 (62) 를 통하여 서로 결합되어서 일체로 회전하게 된다. 이 상태에서, 육각형 렌치 (KG) 를 회전시킴으로써, 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 간의 접착이 분리된다.

본 실시형태에서는 제 1 실시형태의 효과 (1), (3), (4) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 추가로, 진공 펌프는, 모터 하우징 (H3) 의 내부 공간이 대기로 개방되지 않은 상태에서, 로터 (23, 28) 와 격벽 (16) 간의 접착을 분리하도록 보수된다. 따라서, 본 실시형태에 기재된 바와 같이, 펌프 기구 (P) 가 반도체 가공 장치에 의해 생성된 유독 가스 등의 기체 반응 생성물을 취급하더라도, 진공 펌프가 보수될 때, 작업자의 안전이 보다 더 개선된다.

즉, 바람직한 제 1 및 제 2 실시형태에서, 펌프 하우징 (H1) 의 대기와 모터 하우징 (H3) 의 대기 사이의 진공 펌프 하우징의 내부 공간이 립 밀봉부 (50, 55, 56) 에 의해 폐쇄되더라도, 이 립 밀봉부 (50, 55, 56) 는 펌프 하우징 (H1) 의 기체가 모터 하우징 (H3) 으로 누출되는 것을 완전히 방지하지 못한다. 따라서, 본 실시형태의 구조물에 있어서, 작업자의 안전이 충분히 고려된다.

본 발명에 있어서, 이후의 다른 실시형태도 실시된다.

바람직한 제 1 및 제 2 실시형태에서, 결합부로서 사용되는 육각형 소켓 (41a) 은 회전 부재로서 사용되는 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 내에 형성된다. 즉, 진공 펌프가 보수될 때, 펌프 기구 (P) 의 회전 샤프트 (19, 20) 는 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트 (41) 를 통하여 회전된다.

바람직한 제 1 및 제 2 실시형태와 상이한 제 1 대안 실시형태에 있어서, 회전 샤프트 (19, 20) 의 전방 단부면내에는 육각형 소켓이 형성된다. 상기 제 1 대안 실시형태와 상이한 실시형태에 있어서, 전방 하우징 (13) 내에는 육각형 소켓과 대향하는 공구 삽입구멍이 형성된다. 이 공구 삽입구멍은 육각형 렌치 (KG) 를 펌프 하우징 (H1) 안으로 삽입시킨다. 상기 제 1 대안 실시형태와 또 대안 실시형태에 있어서, 바람직한 제 2 실시형태에서의 원형구멍 (61), 중간 부재 (62), 육각형 돌출부 (62a), 플랜지 (62b), 육각형 소켓 (62c), 밀봉 부재 (63), 및 스프링 (64) 과 유사한 중간 구성품 (61, 62, 62a, 62c, 63, 64) 이 전방 하우징 (13) 내에 육각형 소켓과 대향하도록 형성된다. 즉, 제 1 대안 실시형태에 있어서, 진공 펌프는, 이 진공 펌프가 보수될 때, 육각형 렌치 (KG) 에 의해서 회전 샤프트 (19, 20) 가 바로 회전되도록 구성된다. 특히, 중간 구성품을 포함하는 또 다른 제 1 대안 실시형태에 있어서, 진공 펌프가 보수될 때, 펌프 하우징 (H1) 의 내부 공간이 대기로 개방되지 않는다. 따라서, 펌프 기구 (P) 가 반도체 가공 장치에 의해 생성된 유독 가스 등의 기체 반응 생성물을 취급할 때, 작업자의 안전이 특히 보장된다.

바람직한 제 1 및 제 2 실시형태에 있어서, 회전 부재로서 사용되는 전동 모터 (M) 의 출력 샤프트내에는 결합부로서 사용되는 육각형 소켓 (41a) 이 형성된다. 즉, 진공 펌프는, 이 진공 펌프가 보수될 때, 전동 모터 (M) 의 출력샤프트 (41) 를 통하여 펌프 기구 (P) 의 회전 샤프트 (19, 20) 가 회전되도록 구성된다.

바람직한 제 1 및 제 2 실시형태와 상이한 제 2 대안 실시형태에 있어서, 변속 기어 (39) 의 기어는 회전 부재로서 사용되고, 기어의 기어 이 (tooth) 는 결합부로서 사용됨을 이해해야 한다. 추가로, 기어 하우징 (H2) 내에는 기어의 기어 이와 대향하는 공구 삽입구멍이 형성된다. 게다가, 진공 펌프는, 이 진공 펌프가 보수될 때, 진공 펌프를 보수하는 보수용 공구의 기어 이와 변속 기어 (39) 의 기어를 공구 삽입구멍을 통하여 서로 결합함으로써, 이 변속 기어 (39) 를 통하여 회전 샤프트 (19, 20) 가 회전되도록 구성된다. 이 경우에 있어서, 진공 펌프가 보수되더라도, 펌프 하우징 (H1) 의 내부 공간은 대기로 개방되지 않는다. 따라서, 펌프 기구 (P) 가 반도체 가공 장치에 의해 생성된 유독 가스 등의 기체 반응 생성물을 취급할 때, 작업자의 안전이 특히 보장된다.

바람직한 제 1 실시형태에 있어서, 회전 샤프트 (19) 는 샤프트 커플링 (40) 을 통하여 회전 부재로서 사용되는 출력 샤프트 (41) 에 연결된다. 하지만, 샤프트 커플링 (40) 이 항상 필요한 것은 아니다. 전술한 실시형태와 상이한 제 3 대안 실시형태에 있어서, 회전 샤프트 (19) 와 출력 샤프트 (41) 는 서로 일체로 형성되어 회전 유닛으로서 사용된다.

바람직한 제 3 실시형태에 있어서, 밀봉 볼트 (45) 는 공구 삽입구멍의 개폐수단으로서 사용된다. 하지만, 공구 삽입구멍의 개폐수단은 밀봉 볼트 (45) 에만 한정되지 않는다. 전술한 실시형태와 상이한 제 4 대안 실시형태에서도,공구 삽입구멍의 개폐수단은 밀봉 볼트 (45) 에만 한정되지 않는다. 본 실시형태에 있어서, 분리가능한 패널 (panel) 은 공구 삽입구멍의 개폐수단으로서 사용된다. 이 패널은 하우징 (H1, H2, H3) 의 외부면상에 고정 연결되어 공구 삽입구멍 (43) 을 덮는다.

바람직한 제 1 실시형태에 있어서, 그로밋 (52) 은 관통구의 개폐수단으로서 사용된다. 하지만, 전술한 실시형태와 상이한 제 5 대안 실시형태에 있어서, 관통구의 개폐수단은 그로밋 (52) 에만 한정되지 않는다. 본 실시형태에 있어서, 분리가능한 패널은 관통구의 개폐수단으로서 사용된다. 패널은 커버 (51) 의 외부면상에 고정 연결되어 관통구 (51a) 를 덮는다.

상기 모든 실시형태에 있어서, 진공 펌프를 보수하기 위한 공구는 수동 공구이다. 하지만, 상기 실시형태와 상이한 제 6 대안 실시형태에 있어서, 상기 공구는 수동 공구에만 한정되지 않는다. 본 실시형태에 있어서, 상기 공구로서 전동 공구를 사용한다.

상기 모든 실시형태와 상이한 제 7 대안 실시형태에 있어서, 장기간 진공 펌프의 정지 상태로 인해 유발된, 로터 (23, 28) 와 하우징 (H1, H2, H3) 간의 헐거워진 접착이 효과적으로 분리된다.

상기 모든 실시형태에 있어서, 진공 펌프는 유체 펌프로서 사용된다. 하지만, 상기 실시형태와 상이한 제 8 대안 실시형태에 있어서, 유체 펌프는 진공 펌프에만 한정되지 않는다. 본 실시형태에 있어서, 유압 펌프 또는 물 펌프는 유체 펌프로서 사용된다.

따라서, 본 실시예와 실시형태는 설명적이고 비한정적이며, 본 발명은 본원의 상세부에만 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범위내에서 변형될 수 있다.

상기 구성의 본 발명에 의하여, 유체 펌프의 보수가 용이해져 작업자를 번거로운 작업으로부터 해방시킬 수 있다.