The pressure seal for the vacuum pump |
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申请号 | JP2002521836 | 申请日 | 2001-08-09 | 公开(公告)号 | JP2004507641A | 公开(公告)日 | 2004-03-11 |
申请人 | アルカテル; | 发明人 | デユラン,パスカル; ブルジヨワ,エマニユエル; | ||||
摘要 | 本発明は、2つのステータハーフシェル101、102と、2つの直接取り付けられる端部部品31、32とを、一体の連続した圧 力 シール33を間にはさんで組み立てることにある 真空 ポンプに関する。 圧力シール33は2つの環状末端部分34、35を備え、それらの末端部分は一般に互いに平行であり、かつ、一般にそれらに垂直な2つの側部部材36、37により接続される。 したがって、多段乾式真空ポンプを製作するために組み立てるべき構成部品の数が低減され、一方外部雰囲気に対する十分な不透過性を提供している。 | ||||||
权利要求 | 直列に配置される複数の圧縮段(4〜8)から構成される多段乾式真空ポンプであって、該真空ポンプは、2つのはめ込みエンドピース(31、32)により両端部で閉じられるステータ内で回転するように取り付けられた少なくとも1つのロータを有し、前記ステータが、2つのハーフシェル(101、102)を、長手方向組立て面(30)で、径方向で共に組み立てることによって製作され、したがって、各圧縮段(4〜8)が、それぞれの前記ハーフシェル(101、102)の2つの対応する部分に含まれ、前記2つのハーフシェル(101、102)が、共に組み立てられると全ての圧縮段(4〜8)を含み、連続的な一体ガスケット(33)が、前記圧縮段(4〜8)を外部雰囲気から隔離するように、前記ハーフシェル(101、102)の前記長手方向組立て面(30)における周縁部の径方向の密封性と、前記ハーフシェル(101、102)と前記はめ込みエンドピース(31、32)との間での軸方向の端部密封性とを提供する役割を果たすことを特徴とする真空ポンプ。 前記ガスケット(33)が、2つの環状末端部分(34、35)を備え、該環状末端部分が、概ね互いに平行であり、かつ環状末端部分に対して概ね垂直な2つの長手方向に伸びる部分(36、37)によって相互接続されることを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。 組み立てた状態において、前記ガスケット(33)の前記長手方向に伸びる部分(36、37)が、前記長手方向組立て面(30)内において、前記2つのハーフシェル(101、102)の間で横方向に圧縮され、一方、前記2つの環状末端部分(34、35)が、一方では一緒に作用する前記2つのハーフシェル(101、102)と、他方では前記それぞれのはめ込みエンドピース(31、32)との間で圧縮されることを特徴とする、請求項2に記載の真空ポンプ。 第1のはめ込みエンドピース(31)が、共に組み立てた前記2つのハーフシェル(101、102)により構成されるステータボディの第1の端部内で、対応する軸方向の凹所(45)をふさぐように形成された軸方向ノーズ(44)を有し、ガスケット(33)の第1の環状末端部分(34)が、前記軸方向ノーズ(44)に対して前記2つのハーフシェル(101、102)によって径方向に圧縮されることを特徴とする、請求項2または3に記載の真空ポンプ。 前記軸方向ノーズ(44)が、前記ガスケット(33)の前記第1の環状末端部分(34)を受けるために周縁部の環状みぞ(46)を含むことを特徴とする、請求項4に記載の真空ポンプ。 少なくとも1つの前記ハーフシェル(101)が、長手方向組立て面(30)内に、前記ガスケット(33)の前記長手方向に伸びる部分(36、37)を受けるために2つの長手方向のみぞ(47、48)を有することを特徴とする、請求項3から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 前記ガスケット(33)の第2の環状末端部分(35)が、前記2つのハーフシェル(101、102)の端部表面(49)に対し第2のはめ込みエンドピース(32)によって軸方向に圧縮されることを特徴とする、請求項3から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 前記2つのハーフシェル(101、102)が、ハーフシェルの第2の端部表面(49)内にそれぞれのみぞ(50)を備え、みぞが、前記ガスケット(33)の前記第2の環状末端部分(35)を受けるように形成されることを特徴とする、請求項7に記載の真空ポンプ。 前記ガスケット(33)が、断面において実質的に円形であり、長方形の断面のみぞ(46、47、48、50)内に受け入れられることを特徴とする、請求項2から8のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 前記ポンプが、ルーツ型の、またはクロー型の、または組み合せられたルーツおよびクロー型の多段一次ポンプを構成することを特徴とする、請求項1から9のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 前記長手方向組立て面(30)が平面であり、かつ2つの連動するロータシャフトの軸(I−I、II−II)を含み、 前記ガスケット(33)の前記長手方向に伸びる部分(36、37)が、概ね互いに平行であり、かつ、対になって径方向に向い合うそれぞれの接続領域(38〜41)において、環状末端部分(34、35)に接続されることを特徴とする、請求項2から9のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 |
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说明书全文 | 【0001】 |