Inspection method

本発明は、検査方法に関する。

従来から、着色剤を含むインクによる記録媒体（メディア）への記録方法として、インクジェット法による記録方法が用いられている。 インクジェット法では、微細なパターンの形成を好適に行うことができる点等で優れている。
インクジェット法に適用される液滴吐出装置は、予め、印加電圧の波形調整等のインクの吐出に適した調整が施されて用いられる。 このような調整は、一般に、液滴吐出装置に適用されるべきインクの液滴吐出を行い、検査用メディア（検査用ワーク）に吐出されたインクの径からインクの液滴量を求め、インクの検査用メディア（検査用ワーク）への着弾位置から着弾位置精度を求めたうえで行われる（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、インクジェット法に適用されるインクが、着色剤を含まないものや、着色剤の含有率が低いものである場合には、上記のようにして、液滴量、着弾位置等を求めるのが困難である場合がある。

また、インクジェット法に適用される液滴吐出装置では、ノズル近傍にインクの固形分が付着すること等により、経時的に吐出量等が変化したり、着弾位置精度が低下する等の問題がある。 このような問題を解消する目的で、定期的にノズルの洗浄を行い、その後、必要に応じて、上述したような液滴量や着弾位置等の測定を行うが、このような場合においても、インクジェット法に適用されるインクが、着色剤を含まないものや、着色剤の含有率が低いものである場合には、上記と同様の問題があった。

本発明の目的は、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の高精度な検出を行うことができる検査方法を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の検査方法は、基材と、インクを吸収することにより膨潤し、厚さ方向に隆起するインク受容層とを備える検査用メディアを準備する検査用メディア準備工程と、
前記検査用メディアの前記インク受容層に、液滴吐出装置からインクジェット法によりインクを付与するインク付与工程と、
前記検査用メディアを観察する観察工程とを有することを特徴とする。
これにより、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の高精度な検出を行うことができる検査方法を提供することができる。

本発明の検査方法では、前記観察工程は、落射照明を行う照明手段を備えた顕微鏡を用いた観察により行うものであることが好ましい。
これにより、検査用メディアのうちインクを吸収した部位の周縁部と、それに隣接する領域とのコントラスト差を、より大きいものとして観察を行うことができ、インクを吸収した部位の大きさ、位置等の検出をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記観察工程では、前記液滴吐出装置から吐出された液滴の体積の測定を行うことが好ましい。
液滴吐出装置において、インクの液滴の体積（液滴量）の精度は、極めて重要であり、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の体積（液滴量）の測定を精度よく行うことができる。 したがって、観察工程において、液滴吐出装置から吐出されたインクの液滴の体積の測定を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。

本発明の検査方法では、前記観察工程では、前記液滴吐出装置から吐出された液滴の位置情報の検出を行うことが好ましい。
液滴吐出装置において、インクの液滴の着弾位置の位置精度は、極めて重要であり、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の着弾位置の検出を精度よく行うことができる。 したがって、観察工程において、液滴吐出装置から吐出されたインクの液滴の着弾位置の検出を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。

本発明の検査方法では、前記観察工程では、前記液滴吐出装置からの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れの検出を行うことが好ましい。
これにより、液滴吐出装置において、インクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れは、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れを高感度で精度よく検出することができる。 したがって、観察工程において、液滴吐出装置からのインクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れの検出を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。

本発明の検査方法では、前記インク受容層：１ｇ当たりの前記インクの吸収量が０．２ｇ以上であり、
前記基材：１ｇ当たりの前記インクの吸収量が０．１ｇ以下であることが好ましい。
これにより、インク付与工程において、インク受容層のうちインクを吸収した部位を、選択的に、かつ、より効率よく膨潤させることができ、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インク受容層は、着色剤を含む材料で構成されたものであることが好ましい。
これにより、インク受容層のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インク受容層は、ポリビニルブチラールを含むものであることが好ましい。
これにより、観察工程において、インク受容層のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記ポリビニルブチラールは、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が１０質量％以上４０質量％以下のものであることが好ましい。
これにより、インク受容層とインクを構成する溶剤との親和性を特に優れたものとすることができ、インク付与工程において検査用メディアに付与されたインクが、インク受容層のうちインクが付与された部位により好適に保持され、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、インク受容層は、アニオン系アクリルシリコーンを含む材料で構成されたものであることが好ましい。
これにより、インク付与工程において、検査用メディアに付与されたインクが過度に濡れ広がることがより効果的に防止され、インク受容層のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができ、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インク受容層の厚さは、１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、インク付与工程において、検査用メディアに付与されたインクをインク受容層が確実に吸収することができるとともに、インク受容層のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができるため、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。 また、インクジェットのノズルから吐出される液滴量について、より広い範囲で好適に対応することができる。

本発明の検査方法では、前記基材は、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリアセタール、ポリ塩化ビニリデン、および、ポリフェニレンサルファイドよりなる群から選択される材料を含むものであることが好ましい。
これにより、観察工程において、インク受容層のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インクは、沸点が１００℃以上の有機溶剤を含むものであることが好ましい。
これにより、インク付与工程において検査用メディアに付与されたインクが、インク受容層のうちインクが付与された部位により好適に保持され、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インクは、非プロトン性の芳香族化合物を液体成分として含むものであることが好ましい。
これにより、インク受容層とインクを構成する溶剤との親和性を特に優れたものとすることができ、インク付与工程において検査用メディアに付与されたインクが、インク受容層のうちインクが付与された部位により好適に保持され、観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

本発明の検査方法では、前記インクは着色剤を含まないものであることが好ましい。
従来においては、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置精度の測定は、着色剤を含むインクについて行われており、これを、着色剤を含まないインクに適用した場合には、十分な精度で液滴の液滴量、位置を求めることはできなかった。 これに対し、本発明では、着色剤を含むインクはもちろん、着色剤を含まないインクであっても、優れた精度で液滴の液滴量、位置等を求めることができる。 すなわち、検査用メディアが着色剤を含まないインクに適用されるものである場合に、本発明による効果がより顕著に発揮される。

本発明の検査方法に用いる検査用メディアの好適な実施形態を模式的に示す断面図である。

図１に示す検査用メディアが、インクを吸収した状態を模式的に示す断面図である。

インクの吐出に用いる液滴吐出装置を示す斜視図である。

インクを吸収した状態の実施例１の検査用メディアについて、落射式の光学顕微鏡を用いた観察により得られた写真である。

インクを吸収した状態の比較例１の検査用メディアについて、落射式の光学顕微鏡を用いた観察により得られた写真である。

以下、本発明の好適な実施形態について、添付する図面を参照しつつ詳細に説明する。
《検査方法》
図１は、本発明の検査方法に用いる検査用メディアの好適な実施形態を模式的に示す断面図、図２は、図１に示す検査用メディアがインクを吸収した状態を模式的に示す断面図、図３は、インクの吐出に用いる液滴吐出装置を示す斜視図である。
本実施形態の検査方法は、検査用メディア１０を準備する検査用メディア準備工程（１ａ）、検査用メディア１０のインク受容層２に、液滴吐出装置からインクジェット法によりインクを付与する工程（１ｂ）と、検査用メディア１０を観察する観察工程（１ｃ）とを有する。

［検査用メディア準備工程］
まず、検査用メディア１０を準備する（１ａ）。
本工程において、検査用メディア１０は、後に詳述する液滴吐出装置１００のステージ１０６上に設置される。
検査用メディア１０は、基材１と、インクを吸収することにより膨潤し、厚さ方向に隆起するインク受容層２とを備えるものである。

以下、検査用メディア１０の構成について詳細に説明する。
（基材）
基材１は、インク受容層２を保持する機能を有するものである。
基材１は、インク受容層２を保持する機能を有するものであれば、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、１ｇ当たりのインクの吸収量（検査用メディア１０に付与されるインクの吸収量）（インクの吸収率）が、０．１ｇ以下のものであるのが好ましく、０．０１ｇ以下のものであるのがより好ましい。 このように、基材１についてのインクの吸収率が十分に小さいものであると、基材１についてのインクの吸収率と、インク受容層２についてのインクの吸収率との差を十分に大きいものとすることができ、後に詳述するインク付与工程においてインク受容層２のうちインクを吸収した部位を、選択的に、かつ、より効率よく膨潤させることができ、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

なお、基材のインクの吸収率は、以下のようにして求めることができる。 すなわち、対象となる部材の欠片（シート）２０ｍｍ×２０ｍｍ×１ｍｍを、液温２５℃に調整された十分な量のインク中に浸漬し、１時間静置した場合における当該部材の重量の増加量からインクの吸収率を求めることができる。
基材１の構成材料としては、例えば、各種プラスチック材料、各種金属材料、各種セラミックス材料、半導体材料、各種ガラス、各種繊維材料、紙等が挙げられるが、基材１は、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリアセタール、ポリ塩化ビニリデン、および、ポリフェニレンサルファイドよりなる群から選択される材料を含むものであるのが好ましい。 これにより、後に詳述する観察工程において、インク受容層２のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。 特に、基材１中における、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリアセタール、ポリ塩化ビニリデン、および、ポリフェニレンサルファイドの含有率の和が８０質量％以上である場合に、上記のような効果がより顕著に発揮される。

基材１がポリエチレンテレフタレートを含むものである場合、基材１中におけるポリエチレンテレフタレートの含有率は、５０質量％以上であるのが好ましく、８０質量％以上であるのがより好ましい。 これにより、耐熱性、平坦性、柔軟性、引っ張り強度を特に優れたものとすることができる。
基材１は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、互いに組成の異なる複数の部位を有していてもよい。 例えば、基材１は、厚さ方向に組成の異なる複数の層が積層された積層体であってもよいし、厚さ方向に組成が傾斜的に変化する部位を有する傾斜材料で構成されたものであってもよい。

また、基材１は、上記以外の材料（その他の成分）を含むものであってもよい。 このような成分としては、カーボン、チタニア、アルミナ微粒子、シリカ、マイカ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム等が挙げられる。 基材１がその他の成分を含むものである場合、基材１中におけるその他の成分の含有率は、２０質量％以下であるのが好ましく、５質量％以下であるのがより好ましい。

基材１は、いかなる形状はいかなるものであってもよいが、シート状を成すものであるのが好ましい。 これにより、各種インクジェット装置（液滴吐出装置）に好適に適用することができる。
また、基材１の厚さは、１０μｍ以上５００μｍ以下であるのが好ましく、５０μｍ以上２００μｍ以下であるのがより好ましい。 これにより、検査用メディア１０の形状の安定性を特に優れたものとすることができ、検査用メディアの取り扱い性（取扱いのし易さ）を特に優れたものとすることができる。

（インク受容層）
インク受容層２は、インクを吸収する機能を有するものである。 そして、インクを吸収することにより膨潤し、厚さ方向に隆起するものである（図２参照）。 このように、インクを吸収した部位が、選択的に三次元的に形状が変化するものであることにより、後に詳述する観察工程において、インクを吸収した部位（位置情報）や、吸収したインクの体積（液滴の体積）を、容易かつ精確に求めることができる。 また、液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）を高い感度で容易に検出することができる。 特に、従来では液滴の着弾位置や液滴の体積、サテライトの検出が困難であった着色剤を含まないインク（実質的に無色のインク。例えば、波長５００ｎｍの可視光線の透過率が９０％以上のもの）を適用した場合であっても、液滴の着弾位置、液滴の体積（液滴量）等を精確に求めることができる。

インク受容層２は、１ｇ当たりのインクの吸収量（検査用メディア１０に付与されるインクの吸収量）（インクの吸収率）が、０．２ｇ以上のものであるのが好ましく、０．５ｇ以上２．０ｇ以下のものであるのがより好ましい。 このように、インク受容層２についてのインクの吸収率が十分に大きいものであると、基材１についてのインクの吸収率と、インク受容層２についてのインクの吸収率との差を十分に大きいものとすることができ、後に詳述するインク付与工程において、インク受容層２のうちインクを吸収した部位を、選択的に、かつ、より効率よく膨潤させることができ、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

なお、インク受容層の吸収率は、以下のようにして求めることができる。 すなわち、対象となる部材のシート（１００μｍ厚み）を４５度の傾斜をつけて配置し、液温２５℃に調整された十分な量のインクを非常にゆっくりと滴下しながら観察を行い、膨潤しきれずに飽和したインクが重力に従って移動し始める時点のインク重量Ｗｉと面積あたりのインク接触面積に含まれる受容層の重量Ｗｓとの比率Ｗｉ／Ｗｓからインクの吸収率を求める。

インク受容層２は、インクを吸収することにより膨潤し、厚さ方向に隆起するものであれば、いかなる材料で構成されたものであってもよいが、アクリル系樹脂（変性アクリル樹脂を含む）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリル−ブタジエンースチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、メチルメタクリレート・スチレン共重合体（ＭＳ樹脂）、メチルメタクリレート・ブタジエン・スチレン共重合体（ＭＢＳ樹脂）、ポリスチレン樹脂、ポリスチレンゴム、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、スチレンアリルアルコール共重合体、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、ポリアクリルアミド（ＰＡＡ）、および、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）よりなる群から選択される１種または２種以上を含むものであるのが好ましく、ポリビニルブチラールを含むものであるのがより好ましい。 これにより、後に詳述する観察工程において、インク受容層２のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

また、基材１がポリエチレンテレフタレートを含むものである場合において、インク受容層２がポリビニルブチラールを含むものであると、上記のような効果がより顕著に発揮されるとともに、インク受容層２の基材１に対する密着性を特に優れたものとすることができ、高温環境下や、温度変化の大きい環境下で用いる場合であっても、より精確な検査を行うことができ、検査用メディア１０の信頼性を特に優れたものとすることができる。

ポリビニルブチラールは、ポリビニルアルコ−ルを部分的にブチルアルデヒドでアセタール化（ブチラール化）した構造を有するものである。 ポリビニルブチラールは、さらに、酢酸等により水酸基がエステル化されたビニルアルコールを含有するものであってもよい。
インク受容層２がポリビニルブチラールを含むものである場合、当該ポリビニルブチラールは、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が、１０質量％以上４０質量％以下のものであるのが好ましく、２０質量％以下のものであるのがより好ましい。 これにより、インク受容層２とインクを構成する溶剤との親和性を特に優れたものとすることができ、後に詳述するインク付与工程において検査用メディア１０に付与されたインクが、インク受容層２のうちインクが付与された部位により好適に保持され、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

インク受容層２がポリビニルブチラールを含むものである場合、インク受容層２中におけるポリビニルブチラールの含有率は、４０質量％以上９９質量％以下であるのが好ましく、６０質量％以上９８質量％以下であるのがより好ましい。 これにより、インク受容層２のインク吸収量が特に大きいものとなり、より短時間で膨潤によるインク受容層２の形状変化が完了することで、インクが検査用メディア１０の上に着弾してからより短時間で観察を好適に行うことができる。 また、徐々にインクがぬれ広がる前に検査用メディア１０がインクをより確実に吸収して形状変化を起こすために、ぬれ広がりによる誤差を低減しながら、小さな着弾径で高密度・高精度にインクの液滴を配置観察できる。

また、インク受容層２は、アニオン系アクリルシリコーンを含む材料で構成されたものであるのが好ましい。 これにより、後に詳述するインク付与工程において、検査用メディア１０に付与されたインクが過度に濡れ広がることがより効果的に防止され、インク受容層２のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができ、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。
アニオン系アクリルシリコーンとしては、例えば、ＡＱ７１３０（楠本化成社製）、ＡＱ９１４、ＡＳｉ−９１（ダイセルファインケム社製）、シーラスＰＣ−７５１（東亜合成社製）、ＦＢ（村山化学研究所社製）、ＮＥ−５００（信越シリコーン社製）等を用いることができる。

インク受容層２がアニオン系アクリルシリコーンを含むものである場合、インク受容層２中におけるアニオン系アクリルシリコーンの含有率は、５質量％以下であるのが好ましく、２質量％以下であるのがより好ましい。 これにより、検査用メディア１０に付与されたインクが過度に濡れ広がることがより効果的に防止され、かつ付与されたインクがより短時間にインク受容層２に吸収されることで、インク受容層２のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができる。 その結果、ぬれ広がりによる誤差がアニオン系アクリルシリコーンを含まない場合よりもさらに低減でき、より小さな着弾径で高密度・高精度にインクの液滴を配置観察できる。

また、インク受容層２は、着色剤を含む材料で構成されたものであるのが好ましい。 これにより、インク受容層２のうちインクを吸収した部位の識別がより容易となり、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。 より具体的には、インク付与後の検査用メディア１０の観察において、インクを吸収した部位の周縁部（輪郭）と、他の部位とのコントラスト比を特に大きいものとすることができ、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。

インク受容層２が着色剤を含むものである場合、インク受容層２中における着色剤の含有率は、インクの吸収を阻害しないように、１０質量％以下であるのが好ましく、５質量％以下であるのがより好ましい。 これにより、基材１と裏面の界面反射光、インク受容層２と基材１の界面反射光、さらにはインク受容層２の内部反射光が着色剤の添加によって十分低下することで、インク受容層２の表面凹凸に応じて得られる表面反射光が相対的に強くなり、インクを吸収した部位の外周部（輪郭）で生じる表面反射光の急激な変化を高コントラストで明瞭に観察することができるようになる。

インク受容層２が着色剤を含む材料で構成されたものである場合、当該着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料等を用いることができるが、インク受容層２は着色剤として染料を含むものであるのが好ましい。 これにより、再分散に手間を必要とする顔料に比べて、インク受容層２を簡便で短時間の混合により分子レベルで均質で高濃度に着色することができる。

インク受容層２の色調は、特に限定されないが、青色（青色の着色剤を含むもの）であるのが好ましい。 これにより、後に詳述する観察工程において、インク受容層２のうちインクを吸収した部位の識別がさらに容易となり、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をさらに高精度に行うことができる。
インク受容層２は、各部位で均一な組成を有するものであってもよいし、互いに組成の異なる複数の部位を有していてもよい。 例えば、インク受容層２は、厚さ方向に組成の異なる複数の層が積層された積層体であってもよいし、厚さ方向に組成が傾斜的に変化する部位を有する傾斜材料で構成されたものであってもよい。 また、例えば、インク受容層２がアニオン系アクリルシリコーンを含むものである場合、インク受容層２は、外表面側に、その他の部位よりもアニオン系アクリルシリコーンの含有率が高い領域を有するものであってもよい。 これにより、検査用メディア１０に付与されたインクが過度に濡れ広がることがより効果的に防止され、かつ付与されたインクがより短時間にインク受容層２に吸収されることで、インク受容層２のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができる。

インク受容層２の厚さは、１０μｍ以上５００μｍ以下であるのが好ましく、３０μｍ以上２００μｍ以下であるのがより好ましい。 これにより、後に詳述するインク付与工程において、検査用メディア１０に付与されたインクをインク受容層２が確実に吸収することができるとともに、インク受容層２のうちインクが付与された部位をより好適に厚さ方向に隆起させることができるため、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。 また、インクジェットのノズルから吐出される液滴量について、より広い範囲で好適に対応することができる。

また、インク受容層２は、上記以外の材料（その他の成分）を含むものであってもよい。 このような成分としては、ポリウレタン、ポリエポキシ、ポリアミン等が挙げられる。 インク受容層２がその他の成分を含むものである場合、インク受容層２中におけるその他の成分の含有率は、４０質量％以下であるのが好ましく、２０質量％以下であるのがより好ましい。

［インク付与工程］
次に、検査用メディア１０のインク受容層２に、液滴吐出装置からインクジェット法によりインクを付与する（１ｂ）。
以下の説明では、インクの吐出は、図３に示すような液滴吐出装置を用いて行うものとして説明する。

図３に示すように、本工程で用いる液滴吐出装置１００は、インク５０を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１からインク５０が供給される吐出走査部１０２とを備える。 吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）をキャリッジに搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、検査用メディア（記録媒体）１０を保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。 タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッドとは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれにインク５０が圧縮空気によって供給される。

第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。 さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。 本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。 第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。 さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。

ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。 また、ステージ１０６は、インク５０を付与すべき検査用メディア（記録媒体）１０をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。 一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。 つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッドの相対位置が変わる（ステージ１０６に保持された検査用メディア１０と、液滴吐出手段１０３とが相対的に移動する）。

制御手段１１２は、インク５０を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。
上記のような液滴吐出装置１００を用いて、インク５０を検査用メディア１０に付与する。 上記のような装置を用いることにより、検査用メディア１０の所望の部位に、効率よくかつ選択的にインク５０を付与することができる。 なお、図示の構成では、液滴吐出装置１００は、タンク１０１、チューブ１１０等を、１種のインク５０に対応する１組分しか有していないが、これらの部材を、複数種のインク５０の分だけ有するものであってもよい。
なお、本発明では、液滴吐出ヘッドは、駆動素子として、ピエゾ素子を用いるものであっても、静電アクチュエータを用いるものであってもよい。 また、液滴吐出ヘッドは、駆動素子として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してインクを吐出する構成であってもよい。

以下、本工程で用いるインクについて詳細に説明する。
（インク）
本工程で、検査用メディア１０に付与されるインク５０は、沸点が１００℃以上の有機溶剤を含むものであるのが好ましく、沸点が２００℃以上の有機溶剤を含むものであるのがより好ましい。 これにより、インクジェット法による吐出後におけるインク５０の不本意な乾燥（液体成分の蒸発）をより効果的に防止することができ、検査用メディア１０に付与されたインク５０が、インク受容層２のうちインク５０が付与された部位により好適に保持され、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。
インク５０を構成する全液体成分中に占める前記有機溶剤の占める割合は、９５質量％以上であるのが好ましく、９９質量％以上であるのがより好ましく、９９．５質量％以上であるのがさらに好ましい。 これにより、上述した効果がより顕著に発揮される。

インク５０を構成する有機溶剤の具体例としては、ｎ−オクタン等の鎖状炭化水素；メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、シクロヘキシルアミン等の脂環式化合物；１，４−ジオキサン、ピリジン、Ｎ−メチルモルホリン、モルホリン、Ｎ−エチルモルホリン等の複素環式化合物；トルエン、エチルベンゼン、キシレン、スチレン、クロロベンゼン、ピリジン等の芳香族化合物；メチルｎ−プロピルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルｎ−ブチルケトン、エチルｎ−ブチルケトン（３−ヘプタノン）、２−ヘプタノン、メチルイソアミルケトン、４−メチル−３−ペンテン−２−オン（メシチルオキシド）、等のケトン類；ギ酸、酢酸等のカルボン酸類；ニトロメタン、ニトロエタン、２−ニトロプロパン、１−ニトロプロパン等のニトロ化合物；酢酸ｓｅｃ−ブチル、酢酸ノルマルプロピル、酪酸メチル、酢酸ｉｓｏ−ブチル、酢酸ｎ−ブチル、イソ酪酸イソブチル、酢酸アミル、乳酸メチル、酢酸１−メチルペンチル、酢酸２−メトキシエチル（エチレングリコールメチルエーテルアセテート）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、等のエステル化合物；２−メチル−２−ブタノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、２−メチル−１−ブタノール、１−ペンタノール、２−エチル−１−ブタノール、２−メチル−１−ペンタノール、１−メトキシ−２−ブタノール、メチルイソブチルカルビノール（４−メチル−２−ペンタノール）、乳酸メチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、等のアルコール類；プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、酢酸２−メトキシエチル（エチレングリコールメチルエーテルアセテート）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、１−メトキシ−２−ブタノール、３−メトキシプロピルアミン、等のエーテル化合物；ジノルマルプロピルアミン、エチレンジアミン、３−メトキシプロピルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、ピリジン、Ｎ−メチルモルホリン、モルホリン、Ｎ−エチルモルホリン、等のアミン類；ジエチルカーボネート（炭酸ジエチル）等の炭酸エステル類；ブチロニトリル等のニトリル類；フェノキシエチルアクリレートやヒドロキシブチルアクリレート、ＶＥＥＡ，エチルカルビトールアクリレート、フェノキシエチルメタクリレート、ペンタメチルピペリジニルメタクリレート等のアクリル／メタクリル化合物等が挙げられる。

本工程において検査用メディア１０に付与されるインク５０は、非プロトン性の芳香族化合物（例えば、トルエン、エチルベンゼン、キシレン、スチレン、クロロベンゼン等）を液体成分（有機溶剤）として含むものであるのが好ましい。 これにより、インク受容層２とインク５０を構成する溶剤との親和性を特に優れたものとすることができ、検査用メディア１０に付与されたインク５０が、インク受容層２のうちインク５０が付与された部位により好適に保持され、後に詳述する観察工程において、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置等の測定をより高精度に行うことができる。
非プロトン性の芳香族化合物としては、例えば、トルエン、エチルベンゼン、キシレン、スチレン、クロロベンゼン等が挙げられる。

本工程において検査用メディアに付与されるインク５０は、着色剤を含まないものであるのが好ましい。 従来においては、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、位置精度の測定は、着色剤を含むインクについて行われており、これを、着色剤を含まないインクに適用した場合には、十分な精度で液滴の液滴量、位置を求めることはできなかった。 これに対し、本発明では、着色剤を含むインクはもちろん、着色剤を含まないインクであっても、優れた精度で液滴の液滴量、位置等を求めることができる。 すなわち、検査用メディア１０が着色剤を含まないインク５０に適用されるものである場合に、本発明による効果がより顕著に発揮される。

本工程において検査用メディア１０に付与されるインク５０は、いかなる用途のものであってもよく、一般消費者向けのものであってもよいが、工業用のものであるのが好ましい。 工業用に適用されるインクジェット用のインクは、一般に、液滴の量の均一性、位置精度がより高いレベルで要求されるが、上述したように、本発明では、液滴の液滴量、位置等を高い精度で測定することができるため、工業用のインクが用いられる場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。 また、工業用のインクとしては、例えば、医療・バイオ系（例えば、培養液、蛍光等の試験液、造形液、反応液等）、メッキ、有機ＥＬ、接着剤、紫外線硬化剤、透明導電体等、着色剤を含まない、無色または光の透過率が高いインクが多く用いられているが、上述したように、本発明においては、このようなインクを用いた場合であっても、液滴の液滴量、位置等を高い精度で測定することができる。

また、検査用メディア１０に付与されるインク５０が有機ＥＬ用のインクである場合、インクに含まれる材料が極めて純度の高い材料で構成されており色をつけることが出来ないうえ、１層の厚みを非常に薄く均一に形成する必要があるので、蛍光など材料にダメージを与える発光的な手段を用いることなく、極めて高精度にインクの液量を制御して配置することができる。

［観察工程］
次に、インク５０が付与された検査用メディア１０を観察する（１ｃ）。 これにより、インク５０の吐出に用いた液滴吐出装置１００における異常の有無や、各ノズル間での液滴吐出特性のばらつき、印可電圧の波形の調整の要否等の判断を好適に行うことができる。

本工程は、落射照明を行う照明手段を備えた顕微鏡を用いた観察により行うものであるのが好ましい。 これにより、検査用メディア１０のうちインク５０を吸収した部位の周縁部と、それに隣接する領域とのコントラスト差を、より大きいものとして観察を行うことができ、インク５０を吸収した部位の大きさ、位置等の検出をより高精度に行うことができる。

落射照明を行う際、照明の中心軸（落射方向）と、検査用メディア１０の法線方向とのなす角（絶対値）は、３°以下であるのが好ましく、１°以下であるのがより好ましく、０°であるのがさらに好ましい。 これにより、液滴の膨潤した形状をより確実に真円状のものとして撮像することができる。 これに対して、照明の中心軸（落射方向）と、検査用メディア１０の法線方向とのなす角（絶対値）が大きすぎると、膨潤したドットの影が不均一になり、円形に見える影の部分に濃淡がついてしまい、結果的に円の一部が欠けているとように見えてしまう可能性がある。

本工程では、液滴吐出装置１００から吐出されたインク５０の液滴の体積の測定を行うのが好ましい。 液滴吐出装置において、インクの液滴の体積（液滴量）の精度は、極めて重要であり、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の体積（液滴量）の測定を精度よく行うことができる。 したがって、本工程において、液滴吐出装置１００から吐出されたインク５０の液滴の体積の測定を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。 なお、本発明において、液滴の体積の測定とは、液滴の体積の絶対値（単位：ピコリットル）を求めるものだけでなく、検査用メディア上における液滴のドット径の測定や、各液滴間での体積のばらつき（相対的な関係）の測定等を含む概念である。

本工程では、液滴吐出装置１００から吐出されたインク５０の液滴の位置情報の検出を行うのが好ましい。 液滴吐出装置において、インクの液滴の着弾位置の位置精度は、極めて重要であり、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の着弾位置の検出を精度よく行うことができる。 したがって、本工程において、液滴吐出装置１００から吐出されたインク５０の液滴の着弾位置の検出を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。

本工程では、液滴吐出装置１００からのインク５０の液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れの検出を行うのが好ましい。 液滴吐出装置において、インクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れは、液滴吐出装置を用いて製造される記録物の品質等に大きな影響を与えるものであるが、本発明によれば、インクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れを高感度で精度よく検出することができる。 したがって、本工程において、液滴吐出装置１００からのインク５０の液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れの検出を行うことにより、本発明の効果がより顕著に発揮される。 なお、本発明において、本工程において行う「ミストによる汚れの検出」とは、実際に発生したミストの量、位置に関する情報の取得に加え、液滴の吐出に伴うミストの発生が所定値未満（検出限界未満）であることの確認も含む概念である。
なお、本工程では、ＣＣＤカメラ等の撮像手段により得られた画像データに所定の処理（画像処理）を施したものについて、観察（評価）を行ってもよい。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記のものに限定されるものではない。

例えば、前述した実施形態では、検査用メディアが、基材とインク受容層とからなるものである場合について代表的に説明したが、本発明において、検査用メディアは、基材、インク受容層以外の部位を有するものであってもよい。 例えば、基材とインク受容層との間に少なくとも１層の中間層を有していてもよい。 このような中間層を有することにより、例えば、基材とインク受容層との密着性を特に優れたものとすることができる。 また、本発明において、検査用メディアは、インク受容層の外表面側（インク受容層の基材に対向する面とは反対の面側）に、少なくとも１層の被膜を有していてもよい。 これにより、インク受容層の反射率を高くして、ベースとなる光の量を多くすることができ、結果として、バックグラウンドの光量が高まることで暗い部分とのコントラストをより大きくすることができる。 その結果、インクを吸収して形状が変化した部分のエッジをより明瞭に識別することができ、測定の精度をより高いものとすることができる。

以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
（実施例１）
［１］検査用メディアの製造（検査用メディア準備工程）
まず、厚さ：１００μｍの表面が平滑なポリエチレンテレフタレート製のシート材（基材）を用意した。 このシート材の表面粗さＲａは、０．２μｍであった。

次に、このシート材の一方の面に、インク受容層形成用組成物を付与した。 インク受容層形成用組成物としては、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が８５質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が１２質量％であるポリビニルブチラールと、テトラヒドロフランと、アニオン系アクリルシリコーンとしてのＡＱ７１３０（楠本化成社製）と、青色染料としてのＣ． Ｉ． Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ ５との混合物を用いた。

次に、インク受容層形成用組成物が均一に表面に付与されたシート材を、温度：６０℃に調整された恒温槽（第１の恒温槽）内に投入し、１５分間の熱処理（第１の熱処理）を行い、引き続き、温度：１２０℃に調整された恒温槽（第２の恒温槽）内に入れ替え、１５分間の第２の熱処理を行った。 これにより、厚さ：１００μｍポリエチレンテレフタレート製の基材上に、厚さ：８０μｍのインク受容層が設けられた検査用メディアが得られた。

［２］インクの付与（インク付与工程）
上記のようにして得られた検査用メディアのインク受容層が設けられた面側に向けて、インクジェット式の液滴吐出装置から、有機ＥＬ用のインクを吐出した。 なお、有機ＥＬ用のインクとしては、ポリ（９，９'−ジオクチルフルオレン−ｃｏ−Ｎ−（４−ブチルフェニル）ジフェニルアミン）（Ｆ８−ＴＦＢ）：１質量部、ジベチルナフタレン：９９質量部からなるものを用いた。 また、この有機ＥＬ用のインクは、実質的に無色のインクであり、波長５００ｎｍの可視光線の透過率が９５％以上のものであった。

［３］観察（観察工程）
上記のようにしてインクの液滴が付与された各検査用メディアについて、落射式の光学顕微鏡を用いて、照明の中心軸（落射方向）と、検査用メディアの法線方向とのなす角（絶対値）が０°となるようにして観察を行い、インクの液滴の位置精度、インクの液滴の着弾径（液滴量）、インクの液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）についての観察を行った。
（実施例２〜１０）
シート材の種類、インク受容層形成用組成物の組成を変更することにより、表１に示すような構成となるようにした以外は、前記実施例１と同様にして検査用メディアを製造し、前記実施例１と同様にしてインクの付与、観察を行った。

（比較例１）
前記実施例１で用いたのと同様のシート材を用意し、これをそのまま検査用メディアとして用い、この検査用メディアについて、前記実施例１と同様にしてインクの付与、観察を行った。 すなわち、本比較例では、インク受容層を形成せずに、シート材をそのまま検査用メディアとして用いた。

（比較例２）
シート材として、普通紙（セイコーエプソン社製、スーパーファイン専用光沢フィルムＭＪＡ３ＮＳＰ６）を用意し、これをそのまま検査用メディアとして用い、この検査用メディアについて、前記実施例１と同様にしてインクの付与、観察を行った。
（比較例３）
インク受容層形成用組成物として、カルボキシメチルセルロースと、ヒドロキシエチルセルロースとの混合物を用いた以外は、前記実施例１と同様にして検査用メディアを製造し、この検査用メディアについて、前記実施例１と同様にしてインクの付与、観察を行った。

表１に前記各実施例および比較例で用いた検査用メディアの構成をまとめて示す。 なお、表中、ポリエチレンテレフタレートを「ＰＥＴ」、ポリブチレンテレフタレートを「ＰＢＴ」、ポリカーボネートを「ＰＣ」、ポリイミドを「ＰＩ」、ポリ塩化ビニルを「ＰＶＣ」、ポリアミドを「ＰＡ」、ポリオキシメチレンを「ＰＯＭ」、ポリフェニレンサルファイドを「ＰＰＳ」、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が８５質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が１２質量％であるポリビニルブチラールを「ＰＶＢ１」、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が８３質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が１４質量％であるポリビニルブチラールを「ＰＶＢ２」、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が７８質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が１９質量％であるポリビニルブチラールを「ＰＶＢ３」、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が７５質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が２２質量％であるポリビニルブチラールを「ＰＶＢ４」、ブチルアルデヒドでアセタール化されたビニルアルコールの含有率が６１質量％であり、酢酸でエステル化されたビニルアルコールの含有率が３質量％であり、エーテル化（アセタール化を含む）、エステル化されていない水酸基を有するビニルアルコールの含有率が３６質量％であるポリビニルブチラールを「ＰＶＢ５」、アニオン系アクリルシリコーンとしてのＡＱ７１３０（楠本化成社製）の固形分を「ＡＱ７１３０」、ポリエーテルイミドを「ＰＥＩ」、アクリロニトリル−ブタジエンースチレン共重合体を「ＡＢＳ」、アクリロニトリル−スチレン共重合体を「ＡＳ」、メチルメタクリレート・スチレン共重合体を「ＭＳ」、ポリウレタンを「ＰＵ」、メチルメタクリレート・ブタジエン・スチレン共重合体を「ＭＢＳ」、カルボキシメチルセルロースを「ＣＭＣ」、ヒドロキシエチルセルロースを「ＨＥＣ」、青色染料としてのＣ． Ｉ． Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ ５を「ＳＢ５」、Ｃ． Ｉ． Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｒｅｄ ２７を「ＳＲ２７」、Ｃ． Ｉ． Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ ３５を「ＳＢ３５」、Ｃ． Ｉ． Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌａｃｋ ３を「ＳＫ３」で示した。 また、前記各実施例の検査用メディアのインク受容層：１ｇ当たりの前記インクの吸収量は、いずれも、０．２ｇ以上であり、前記各実施例の検査用メディアの基材：１ｇ当たりの前記インクの吸収量は、いずれも、０．１ｇ以下であった。 また、比較例３の検査用メディアのインク受容層：１ｇ当たりの前記インクの吸収量は、０．０１ｇ以下であった。 なお、基材のインクの吸収量、インク受容層のインクの吸収量は、それぞれ、前述した方法を用いて求めた。

［４］評価 前記各実施例および比較例の検査方法について、観察工程で行った位置精度、液滴の着弾径（液滴量）、および、サテライトの観察について、それぞれ、以下の基準に従い評価した。
［４．１］位置精度 Ａ：液滴の着弾位置を容易に検出することができ、液滴の着弾の位置精度の測定を 容易に行うことができた。
Ｂ：液滴の着弾位置の検出にやや難があるものの、液滴の着弾の位置精度の測定を 行うことができた。
Ｃ：液滴の着弾位置の検出が困難であり、液滴の着弾の位置精度の測定を適切に行 うことができなかった。
Ｄ：液滴の着弾位置の検出がきわめて困難であり、液滴の着弾の位置精度の測定を 行うことができなかった。

［４．２］液滴の着弾径（液滴量）
Ａ：液滴の周縁部を容易に識別することができ、液滴の着弾径（液滴量）の測定を 容易に行うことができた。
Ｂ：液滴の周縁部を識別にやや難があるものの、液滴の着弾径（液滴量）の測定を 行うことができた。
Ｃ：液滴の周縁部を識別が困難であり、液滴の着弾径（液滴量）の測定を適切に行 うことができなかった。
Ｄ：液滴の周縁部を識別がきわめて困難であり、液滴の着弾径（液滴量）の測定を 行うことができなかった。

［４．３］サテライト Ａ：液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）の位置とミストサイ ズを容易に検出することができた。
Ｂ：液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）の有無を検出するこ とができた。
Ｃ：液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）を検出することがで きなかった。

これらの結果を表２にまとめて示す。 また、実施例１、比較例１について、インクの液滴が付与された検査用メディアを落射式の光学顕微鏡で観察した際の写真を、それぞれ、図４、図５として示した。

表２から明らかなように、本発明では、インクジェット法により吐出された液滴の液滴量、着弾位置、液滴の吐出に伴い生じたミストによる汚れ（サテライト）を、いずれも、高い精度で検出、測定することができた。 これに対し、比較例では、満足のいく結果が得られなかった。

１０…検査用メディア（記録媒体） １…基材 ２…インク受容層 ５０…インク １００…液滴吐出装置 １０１…タンク １０２…吐出走査部 １０３…液滴吐出手段 １０４…第１位置制御装置（移動手段） １０６…ステージ １０８…第２位置制御装置（移動手段） １１０…チューブ １１２…制御手段