1.一种聚合物，包括：
聚合单体，所述单体由化学式1表示：
[化学式1]
其中，在化学式1中，
R10选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，R11是直链、支链、或环状C1至C10亚烷基基团，其中部分碳被氧取代或未取代，R12以多个存在，而每个R12是相同或不同的，并且选自由氢、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，
a是1至10的整数，以及
R13是OH或SH。
2.根据权利要求1所述的聚合物，其中，所述由化学式1表示的单体是由以下化学式
1-1表示的单体：
[化学式1-1]
3.根据权利要求1所述的聚合物，其中，所述聚合物具有3,000至50,000的重均分子量。
4.根据权利要求1所述的聚合物，其中，所述聚合物是使选自由以下化学式2至6表示的单体组成的组中的至少一种单体与由化学式1表示的单体共聚合的共聚物：
[化学式2]
其中，在化学式2中
R20选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，R21是单键或直链、支链、或环状C1至C10亚烷基基团，以及
R22至R24是相同或不同的，并且选自由氢、氟、C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及O(R25)组成的组，
其中R25选自由氢、氟、C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及Si(R26)3组成的组，
其中R26选自由氢、氟、甲基基团、以及三氟甲基基团组成的组；
[化学式3]
其中，在化学式3中，
R30选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，R31是单键或直链、支链、或环状C1至C10亚烷基基团，以及
R32至R34是相同或不同的，并且选自由氢、氟、C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及O(R35)组成的组，
其中R35选自由氢、氟、C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及Si(R36)3组成的组，
其中R36选自由氢、氟、甲基基团、以及三氟甲基基团组成的组；
[化学式4]
其中，在化学式4中，
R40选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，R41是单键或直链、支链、或环状C1至C10亚烷基基团，其中部分碳被氮取代或未取代，以及
R42选自由C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团以及OH基团组成的组；
[化学式5]
其中，在化学式5中，
R50选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，R51是单键或直链、支链、或环状C1至C10亚烷基基团，其中部分碳被氮取代或未取代，以及
R52选自由C1至C10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及OH基团组成的组；
[化学式6]
其中，在化学式6中，
R60选自由氢、氟、C1至C5烷基基团、以及C1至C5氟烷基基团组成的组，以及R61选自由氢、C1至C 10烷基基团、C1至C10氟烷基基团、以及C1至C10羟烷基基团组成的组。
5.根据权利要求4所述的聚合物，其中，所述由化学式2表示的单体选自由以下化学式
2-1至2-9表示的单体组成的组：
[化学式2-1]
[化学式2-2]
[化学式2-3]
[化学式2-4]
[化学式2-5]
[化学式2-6]
[化学式2-7]
[化学式2-8]
[化学式2-9]
6.根据权利要求4所述的聚合物，其中，所述由化学式3表示的单体是由以下化学式
3-1表示的单体：
[化学式3-1]
7.根据权利要求4所述的聚合物，其中，所述由化学式4表示的单体是由以下化学式
4-1表示的单体：
[化学式4-1]
8.根据权利要求4所述的聚合物，其中，所述由化学式5表示的单体是由以下化学式
5-1或5-2表示的单体：
[化学式5-1]
[化学式5-2]
9.根据权利要求4所述的聚合物，其中，所述由化学式6表示的单体是选自由以下化学式6-1至6-3表示的单体组成的组中的单体：
[化学式6-1]
[化学式6-2]
[化学式6-3]
10.根据权利要求4所述的聚合物，其中，基于整个聚合物，以约1至99mol％的比率共聚合所述由以上化学式2至6表示的单体。
11.一种保护层组合物，包括：
根据权利要求1至10中任一项所述的聚合物；以及
溶剂。
12.一种图案化方法，包括：
在基板上形成光致抗蚀剂层；
在所述光致抗蚀剂层上形成根据权利要求11所述的顶部涂层组合物的保护层；以及通过液体浸没式光刻来形成图案。