用于液料的分配设备

本发明涉及一种用于液料的分配设备，该分配设备用于液料，特 别是化学物质、药物原料和类似的不应与外部大气相接触的介质，例 如生物介质。这些液料通常是在设计为园筒或类似物的供料容器中输 送的，而在所有情况下，不得不在用户那里以相对较小的数量进行分 配，例如在一家半导体工厂。通常在瓶子内或生产工段内进行分配。 液料或者通过在过高压力下向供料容器供给惰性气体来传送，或者通 过泵来传送。

公知的分配设备都设计成箱式整体，其具有一个用于供料容器的 容纳空间和进行分配所需的安装和计量装置。分配不同液料所需的多 个此类分配设备的安装需要相对较大的安装区域。然而尤其在半导体 工厂和研究实验室中，安装区域是有限的和/或昂贵的。

因此，本发明的目的是设计一种所述普通类型的分配设备，其方 式是，关于安装的可能性方面，尤其以装料为目的，得到高度的灵活 性。所以，即使在可用安装区域各不相同的情况下，也总能实现节约 空间的安装。

根据本发明，这个目的通过一用于液料的分配设备来实现，该分 配设备包括至少一个箱式供料模块和一个箱式分配模块，该箱式分配 模块可与该供料模块连接起来并且具有一个可从前侧进入的分配空 间，供料模块具有一个正方形的平面轮廓，其具有等于分配模块的深 度的边长，该分配模块设计有一个矩形的平面轮廓。

将分配设备分成供料模块和分配模块，并使供料模块的正方形平 面轮廓的边长适应于矩形的分配模块的深度，这使得供料模块在所有 情况下都可以与分配模块连接起来，以装料为目的，其方式是使得可 用空间得到最佳的利用。特别是当通常不得不将多个这种类型的分配 设备安装在同一个房间内的时候，这将会使房间的平面区域得到最佳 的利用。这种模块式设计还可能将供料模块安装在供应仓库内，而将 分配模块安装在单独的安装房间内。

根据由组织流程或生产流程所预先确定的任务，可能以灵活的方 式将供料模块和分配模块结合起来，因此，即使仅有很小的空间可供 利用，也可实现用于全部所需的不同液料的供应系统。

优选的是，一用于可更换地容纳一个供料容器的可拉出小车可移 出到供料模块的前侧之外。

根据一个优选实施例，供料模块的可拉出小车上设有一个底槽， 该底槽与一前面板连接起来，并且可拉出小车的两个侧面中的至少一 个是敞开的。结果就可以进行可拉出小车的侧面装料。如果可拉出小 车的两个侧面都是敞开的，则可以特别灵活地利用空间，从而可以根 据分配设备的布置和可达性来选择性地从一侧或另一侧进行装料。

根据本发明，将分配设备分成至少一个供料模块和一个分配模块， 这也使得在所有情况下都可能将分配模块和两个供料模块连接在一 起。结果，在所有情况下，在第一供料容器完全清空之前，一个第二 供料容器可以作好准备，因此，在第一供料容器清空以后，可能以简 单的方式转换到已充满的第二供料容器。接着在后面的时间里，可将 空的供料容器更换。

本发明的原理的其它有利的改进是另外的从属权利要求的主题。

下面，通过附图所表示的一个典型实施例来对本发明进行更详细 的说明，其中：

图1在透视图中局部分解地示出一个用于液料的分配设备，该分 配设备包括有两个供料模块和一个分配模块，

图2a)至d)利用图解在平面图中示出几种安装分配设备的可能性， 以及

图3在一个建筑物的平面图中示出安装的实例。

图1所示的分配设备用于诸如半导体生产所用的化学物质、药物 原材料或生物介质的液料。该分配设备具有两个箱式供料模块1和一 个箱式分配模块2，这些模块相互连接在一起。只是为了更清楚地进行 表示，在图中分配模块2是单独的，并被表示为与中央供料模块1之 间隔开一个距离。

该中央供料模块1的实例示出，每个供料模块1具有一个可以移 出到前侧之外的可拉出小车3。该可拉出小车具有一个底槽4，该底槽 4连接在供料模块1的前面板5上。

从图1中可明显看出，可拉出小车3的至少一个侧面6是敞开的， 但最好两个侧面6都是敞开的。底槽4具有一个滚轮道7，该滚轮道7 的滚轮回转轴线沿拉出方向布置，亦即与前面板5成直角。

为了向供料模块1装料，可将供料容器8从敞开的侧面6推到可 拉出小车3的滚轮道7上，直至所述供料容器处于如图1所示的位置， 该供料容器8可以是，例如一个直立的园筒或多个较小的容器。在所 示的典型实施例中，可拉出小车3的侧面开口用柔性的侧帘9封闭起 来，该柔性的侧帘9包括有独立的垂直条带，并在连接起来的期间形 成一挡板。

可拉出小车在其下侧设有底部转动轮10，因此，可拉出小车可以 以所示的方式拉出到供料模块1的前侧之外，并且在供料容器8更换 完毕后再将其推回。

容纳在供料模块1中的供料容器8通过连接软管(未示出)连接 到分配模块2的分配及计量装置(未示出)上。在所示的典型实施例 中，该分配模块2连接在供料模块1的右侧壁11上。

在所有情况下，供料模块1的侧壁11和与该侧壁11相对的分配 模块2的那个侧壁12上切出窗口13，供料容器8和分配模块2的分配 装置之间的线连接穿过这些窗口。将可拉出小车3移出以后，可在装 配状态下对分配模块2内的装置进行维护。

分配模块2具有一个可移出到前侧之外的可拉出小车14，该可拉 出小车14的前面板15上设有一个门16，该门16提供通往分配模块2 内的分配空间17的门路。门16打开以后，将被充填的瓶子或其它容 器可导入分配模块2，并且连接起来。

分配模块2内可以设有多个用于不同液料的分配装置。因此，可 以使用一个单独的分配模块2甚至同步地分配多种液料，而不必为每 种液料设立一个单独的分配模块。所以可以实现显著的成本节约。

供料模块1和分配模块2具有相同的高度，因此将它们连接起来 以后，得到一个紧凑的节约空间的整体。两个供料模块1中的每一个 都具有正方形的平面轮廓，其具有等于分配模块2的深度t的边长a， 该分配模块2设计有矩形的平面轮廓。

分配模块2可以以不同的方式和一个或多个供料模块1连接起来 以形成一个整体的分配设备。这由图2a)至d)所示的一些典型实例来 表示。

根据图2a，分配[sic]模块1在其右侧壁11上与分配模块2连接 起来。根据图2b，以对应于图1中的表示方式，两个供料模块1在其 相对的侧壁上相互连接在一起，而如所述那样，中央供料模块1在其 右侧壁11上与分配模块2连接起来。

在根据图2c的实例中，供料模块1在其左侧壁18上与分配模块2 连接起来。在根据图2d的实例中，供料模块1的后侧壁19或背壁与 分配模块2连接起来。

为了得到灵活地安装的可能性，有利的是，在所有的情况下，在 每个供料模块1的所有三个侧壁11、18和19及分配模块2的两个侧 面上都设有窗口，该窗口根据要求打开。

依据现有的空间条件，所示的用于供料模块1和分配模块2的连 接的不同方法可以具有不同的布置方式，然而，在所有的情况下，这 些布置方式都是节约空间的。例如，多个所述分配设备可以相互依次 安装成一行。除此之外或作为替代，也可以将多个这类分配设备结合 成岛形的组，如图3所示。无论如何，分配模块1都可与相联的供料 模块1以这样的方式连接起来，以致在一般的空间条件下两个模块都 是易于使用的。