ASML荷兰有限公司
该申请人涉及专利文献：5468，涉及专利：3544件
覆盖主要的IPC大类包括：G03(2855)、H01(1033)、G01(341)、G02(259)、H05(233)、G06(227)、G21(65)、G05(51)、F16(40)、H02(35)
专利类型分布状况：发明公开(3543)、实用新型(1)
专利不同法律状态数据分布状况：有效专利(1355)、实质审查(1236)、失效专利(575)、无效专利(219)、公开(159)
该领域主要的发明人有：H·巴特勒(60)、W·T·特尔(45)、任伟明(39)、A·J·登博夫(38)、王勇新(33)、J·洛夫(30)、A·J·布里克(29)、M·J-J·维兰德(26)、N·潘迪(26)、方伟(26)
详细地址：荷兰 荷兰维德霍温
相关专利文献 (5468件)
| 专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
|---|---|---|
| 发明公开 | 光刻装置中的电动势力制动 | CN121752950A |
| 发明公开 | 多节距SEM套刻标记和缝合区域算法 | CN121729645A |
| 发明公开 | 光学系统和方法 | CN121729644A |
| 发明公开 | 基于衍射图案来优化源、掩模、和波前以减少M3D衰落的方法和系统 | CN121729642A |
| 发明授权 | 对准畸变图像 | CN115398346B |
| 发明授权 | 量测方法和用于测量衬底上的周期性结构的装置 | CN115004113B |
| 发明公开 | 使用多变量信号的剩余使用寿命估计 | CN121713122A |
| 发明公开 | 各向异性抗蚀剂图案化 | CN121713120A |
| 发明公开 | 基于干涉的对准感测的集成光子芯片 | CN121693704A |
| 发明授权 | 孔径组件、射束操纵器单元、操纵带电粒子束的方法以及带电粒子投射装置 | CN115362525B |
近10年该领域专利申请趋势
专利分类情况
IPC分类
核心专利文献
相关企业
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | ASML荷兰有限公司 | 5468 |
相关发明人
| 排名 | 发明人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | H·巴特勒 | 60 |
| 2 | W·T·特尔 | 45 |
| 3 | 任伟明 | 39 |
| 4 | A·J·登博夫 | 38 |
| 5 | 王勇新 | 33 |
| 6 | J·洛夫 | 30 |
| 7 | A·J·布里克 | 29 |
| 8 | M·J-J·维兰德 | 26 |
| 9 | N·潘迪 | 26 |
| 10 | 方伟 | 26 |
相关代理机构
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 3335 |
| 2 | 北京市金杜律师事务所 | 1665 |
| 3 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 465 |
| 4 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 3 |
相关代理人
| 排名 | 代理人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 王波波 | 755 |
| 2 | 张启程 | 584 |
| 3 | 王茂华 | 507 |
| 4 | 王益 | 446 |
| 5 | 胡良均 | 424 |
| 6 | 吴敬莲 | 334 |
| 7 | 张宁 | 260 |
| 8 | 王静 | 249 |
| 9 | 郑振 | 247 |
| 10 | 王新华 | 239 |
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