专利汇可以提供積層体、及び半導体装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且要約書 電気特性及び信頼性が良好な積層体を提供する。 絶縁体と、導電体と、絶縁体と導電体との間の第1の 酸化 物と、を有し、第1の酸化物は、c軸 配向 した第1の結晶領域を有し、 第1の結晶領域のc軸は、 絶縁体側の第1の酸化物の面と概略垂直であ る積層体とする。または、絶縁体と、導電体と、絶縁体と導電体との間の第1の酸化物と、絶縁体を はさんで第1の酸化物と対向する第2の酸化物と、 を有し、 第1の酸化物は、 c軸配向した第1の結 晶領域を有し、 第1の結晶領域のc軸は、 絶縁体側の第1の酸化物の面と概略垂直であり、 第2の酸 化物は、 c軸配向した第2の結晶領域を有し、 第2の結晶領域のc軸は、 絶縁体側の第2の酸化物の 面と概略垂直である積層体とする。,下面是積層体、及び半導体装置专利的具体信息内容。
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