一种垂直电设备

专利类型 发明公开 法律事件 公开; 实质审查;
专利有效性 实质审查 当前状态 实质审查
申请号 CN202411330166.X 申请日 2024-09-24
公开(公告)号 CN119685900A 公开(公告)日 2025-03-25
申请人 苏州太阳井新能源有限公司; 申请人类型 企业
发明人 姚宇; 申义铭; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 第一发明人 姚宇
权利人 苏州太阳井新能源有限公司 权利人类型 企业
当前权利人 苏州太阳井新能源有限公司 当前权利人类型 企业
省份 当前专利权人所在省份:江苏省 城市 当前专利权人所在城市:江苏省苏州市
具体地址 当前专利权人所在详细地址:江苏省苏州市吴中区甪直镇凌港路128号3幢4层 邮编 当前专利权人邮编:215000
主IPC国际分类 C25D17/00 所有IPC国际分类 C25D17/00C25D21/10C25D21/00C25D17/02
专利引用数量 0 专利被引用数量 0
专利权利要求数量 13 专利文献类型 A
专利代理机构 专利代理人
摘要 本 申请 公开了一种垂直电 镀 设备,包括 阳极 单元、 电镀 槽、 阴极 单元、驱动机构和电源;阳极单元由多个阳极组件共同组成,多个阳极组件沿预设方向间隔分布或者连续分布,以形成阳极单元;每个阳极组件包括沿预设方向延伸的阳极件;阳极单元设置于电镀槽内,电镀槽内还填充有电镀液;阴极单元被配置为安装待电镀件;驱动机构被配置为推动阴极单元在阳极单元中移动;电源正极与阳极单元连接,电源负极与阴极单元连接。通过驱动机构推动阴极单元在阳极单元中移动,驱动阴极单元中安装的待电镀件在阳极单元中移动,使得待电镀件能够在电镀液中移动,提升了电镀效率。
权利要求

1.一种垂直电设备,其特征在于,包括:
阳极单元,所述阳极单元由多个阳极组件共同组成,多个所述阳极组件沿预设方向间隔分布或者连续分布,以形成所述阳极单元;每个阳极组件包括沿预设方向延伸的阳极件;
电镀槽,所述阳极单元设置于所述电镀槽内,所述电镀槽内还填充有电镀液;
阴极单元,所述阴极单元被配置为安装待电镀件;
驱动机构,被配置为推动所述阴极单元在所述阳极单元中移动;
电源,所述电源正极与所述阳极单元连接,所述电源负极与所述阴极单元连接。
2.根据权利要求1所述的垂直电镀设备,其特征在于,当每个所述阳极组件中均包含两个所述阳极件时,两个所述阳极件之间具有一定间距以形成阳极通道,多个所述阳极通道相连通形成电镀通道。
3.根据权利要求2所述的垂直电镀设备,其特征在于,还包括:
阳极底座,所述阳极底座上设置有过液通道和安装槽,所述安装槽设置在过液通道的两侧,所述阳极件安装于所述安装槽中;
液体循环机构,与所述电镀槽连接,被配置为驱动电镀液循环流动,形成液体环路;
供液组件,用于向电镀通道内输送电镀液;
所述液体循环机构连通所述供液组件,所述供液组件连通所述过液通道,以向所述电镀通道内输送电镀液。
4.根据权利要求3所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述电镀槽内平设置有第一隔板,并通过所述第一隔板将所述电镀槽内分成电镀子槽和供液仓,所述电镀子槽位于所述供液仓上方;
所述阳极单元设置于电镀子槽内,所述供液仓内设置有供液组件,并且通过所述供液组件向所述电镀子槽输送电镀液。
5.根据权利要求4所述的垂直电镀设备,其特征在于,
所述供液组件至少包括分流管
所述分流管与所述液体循环机构之间通过所述匀流组件连通,所述匀流组件包括供液管和匀流管,所述供液管两端分别连通所述匀流管和所述液体循环机构,所述供液管连接所述匀流管长度方向的中部位置,所述匀流管的两端以所述供液管的连接处为中心点,等距向远离所述中心点的方向延伸;
所述分流管一端设置于所述匀流管上,并且与所述匀流管连通,另一端与所述电镀通道连通,以向所述电镀通道内输送电镀液。
6.根据权利要求4所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述供液组件还包括喷流管,所述喷流管包括喷流总管和喷流支管,所述喷流总管一端与所述液体循环机构连通,另一端与喷流支管连接;
所述喷流支管上设置有喷头,所述喷头与所述电镀子槽连通;
所述第一隔板上设置有多个供液口,所述过液通道与至少一个所述供液口位置相对应;
位于同一所述电镀通道下方的所述供液口和所述喷头的数量相等,并且位置上下对应,所述喷头穿过所述供液口与所述电镀通道连通,以使得电镀液经所述喷流管流至所述过液通道内。
7.根据权利要求4所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述液体循环机构至少包括储液桶、循环和循环管道;
所述循环管道包括循环进液管和循环出液管,所述供液管和所述喷流管均与所述循环出液管连通,所述循环出液管与所述储液桶的出液口连接;
所述电镀槽内还设置有第二隔板,通过水平设置的所述第一隔板和所述第二隔板,将电镀槽从上至下依次分隔为电镀子槽、供液仓和储液槽,所述储液槽位于所述供液仓下方,且与所述供液仓相互独立;
所述电镀子槽具有与所述储液槽连通的循环槽,所述循环槽与所述供液仓相互独立;
所述循环进液管一端与所述循环泵连接,另一端与所述储液槽连接,所述循环泵与所述储液桶连接;
所述循环进液管与所述储液槽连接一端设置有过滤器,所述过滤器位于所述储液槽内,所述过滤器上开设有多个过滤孔,所述电镀子槽内的电镀液依次流经所述循环槽、所述储液槽、所述过滤器及所述循环进液管,进入所述储液桶中。
8.根据权利要求1‑7中任一项所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述阴极单元包括导电组件和安装组件;
所述安装组件至少包括阴极支撑架和阴极连杆,所述阴极支撑架用于安装待电镀件,所述阴极支撑架安装于所述阴极连杆上;
所述导电组件至少包括导电,沿所述电镀槽的长度设置有基板,所述基板上设置有导电条,所述导电块与所述阴极连杆端部连接,并且所述导电块与所述导电条接触
其中,待电镀件通过导电线与所述导电块电连接,所述电源负极与所述导电条电连接;
当所述驱动机构推动所述阴极单元,所述阴极单元沿所述电镀槽长度移动时,所述导电块将其与所述导电条接触获取到的电能传输至待电镀件。
9.根据权利要求8所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述阴极支撑架包括支撑架体和承载架体,所述支撑架体与所述承载架体连接,所述承载架体具有承载槽,并且所述承载槽能供待电镀件安装;
所述承载槽在预设的竖直平面上的正投影面积大于待电镀件在同一预设的竖直平面上的正投面积;
所述承载槽内设置有多个承载块,多个所述承载块沿所述承载槽的内壁设置,当待电镀件安装于承载槽内时,所述承载块与待电镀件的边缘接触,以支撑待电镀件;
所述阴极支撑架上设置有第五挡板和第六挡板,当待电镀件安装于所述承载槽内时,所述第五挡板与待电镀件的下边缘位置相对应,所述第六挡板与待电镀件的上边缘位置相对应。
10.根据权利要求9所述的垂直电镀设备,其特征在于,
所述支撑架体具有第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部的两端分别与两个所述第二支撑部连接,所述第二支撑部远离所述第一支撑部一端分别向两侧延伸,并且与所述承载架体连接;
所述阴极连杆上开设有供所述第一支撑部安装的连杆支撑槽;
所述第一支撑部上设置有两个支撑块,两个所述支撑块之间的距离与所述阴极连杆的宽度相适配,使得阴极连杆能卡入两个支撑块之间,以限制阴极支撑架的移动范围。
11.根据权利要求8所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述驱动机构至少包括驱动支架、传动件、驱动源和推动件;
所述传动件转动设置于所述驱动支架上,所述推动件与所述传动件连接,所述驱动源设置于所述驱动支架上且与所述传动件连接,以驱动所述传动件带动所述推动件循环转动;
当所述推动件转动至所述电镀槽上方时,与所述阴极连杆接触,并且推动其沿所述电镀槽的长度移动。
12.根据权利要求11所述的垂直电镀设备,其特征在于,所述传动件以椭圆轨迹在所述驱动支架上循环转动,所述驱动源包括传动轮和电机,所述电机和所述传动轮分别设置于所述驱动支架的两面上,所述传动件套设在所述传动轮上,所述电机的输出轴穿过所述驱动支架与所述传动轮连接,以驱动所述传动轮带动所述传动件转动。
13.根据权利要求11所述的垂直电镀设备,其特征在于,设置于所述驱动支架上的所述传动件在垂直方向上做循环转动,所述传动件在循环转动时具有两个水平移动区域和两个转动区域,两个所述水平移动区域分别处于第一高度和第二高度,所述第一高度与所述电镀槽之间的距离为L1,所述第二高度与所述电镀槽之间的距离为L2,并且L1<L2;当所述推动件处于所述第一高度时,所述推动件远离所述传动件一端能与所述阴极连杆接触,所述推动件在所述传动件的带动下向所述阴极连杆施加推,使所述阴极连杆跟随所述推动件移动;当所述推动件处于所述第二高度时,所述推动件远离所述传动件一端能与所述阴极连杆脱离接触;
所述推动件包括推动基座和推动杆,所述推动基座与所述传动件连接,所述推动杆一端设置于所述推动基座上,另一端向远离所述推动基座的方向延伸至所述阴极连杆的中部;
所述推动杆与所述推动基座之间采用竖直方向上的转动连接,以调节推动杆的高度;
所述推动杆上设置有推动板;
所述推动板和所述阴极连杆上设置有相互配合的磁吸结构。

说明书全文

一种垂直电设备

技术领域

[0001] 本申请涉及电镀技术领域,特别涉及一种垂直电镀设备。

背景技术

[0002] 根据电镀时待电镀件的朝向,电镀工艺可分为平电镀与垂直电镀。在垂直电镀中,待电镀件通过安装件使其以垂直的状态浸没于电镀液中,待电镀件与电源负极电连接,以形成阴极单元,电镀槽中安装阳极单元,并且电连接电源正极,在电场的作用下,电镀液中的阳离子将会游离至待电镀件附近,并在待电镀件上形成镀层。
[0003] 现有的垂直电镀设备,待电镀件在电镀过程中一般保持静止,通过电镀液的流动来保证电镀的均匀性,导致电镀效率较低,待电镀件并非以流水线的方式进行生产,生产效率较低。
[0004] 为了提升电镀效率和生产效率,申请人改进了垂直电镀设备的结构,使得待电镀件能够在电镀液中移动。然而申请人遇到了以下技术难题:如何驱使待电镀件在电镀液中稳定地移动,具体包括如何降低待电镀件在移动过程中的摆动幅度或者避免待电镀件在移动过程中的摆动,如何降低待电镀件在移动过程中掉落和碎片的险;如何驱动连续上料的待电镀件在电镀液中移动;如何对移动过程中的待电镀件进行通电;如何保证电镀均匀性。
[0005] 阳极单元中采用固定式阳极件,阳极件自身不便于被安装和拆卸,阳极件和待电镀件之间的距离无法调节,进而不方便通过改变阳极件和待电镀件之间的距离,调整电镀效果。其次,在电镀过程中,为了提升电镀效果,需要通过喷洒装置向待电镀件附近的电镀液中喷洒回流的电镀液或者新添加的电镀液。现有的喷洒装置一般设置在待电镀件的一侧或者两侧,会使得阳极件和待电镀件之间的距离无法缩小,影响电镀效果。
[0006] 垂直电镀设备的管路一般设置在电镀槽体的旁侧,具有一定的占地面积,因此增加了整个垂直电镀设备的占地面积,使得有必要改进垂直电镀设备的结构。
[0007] 因此,亟需设计一种垂直电镀设备,至少解决以上的技术问题之一。发明内容
[0008] 本申请的目的在于提供一种垂直电镀设备,至少解决背景技术中的问题之一。
[0009] 为实现上述目的,本申请提供一种垂直电镀设备,包括:
[0010] 阳极单元,所述阳极单元由多个阳极组件共同组成,多个所述阳极组件沿预设方向间隔分布或者连续分布,以形成所述阳极单元;每个阳极组件包括沿预设方向延伸的阳极件;
[0011] 电镀槽,所述阳极单元设置于所述电镀槽内,所述电镀槽内还填充有电镀液;
[0012] 阴极单元,所述阴极单元被配置为安装待电镀件;
[0013] 驱动机构,被配置为推动所述阴极单元在所述阳极单元中移动;
[0014] 电源,所述电源正极与所述阳极单元连接,所述电源负极与所述阴极单元连接。
[0015] 在一些实施方式中,当每个所述阳极组件中均包含两个所述阳极件时,两个所述阳极件之间具有一定间距以形成阳极通道,多个所述阳极通道相连通形成电镀通道。
[0016] 在一些实施方式中,垂直电镀设备还包括:
[0017] 阳极底座,所述阳极底座上设置有过液通道和安装槽,所述安装槽设置在过液通道的两侧,所述阳极件安装于所述安装槽中;
[0018] 液体循环机构,与所述电镀槽连接,被配置为驱动电镀液循环流动,形成液体环路;
[0019] 供液组件,用于向电镀通道内输送电镀液;
[0020] 所述液体循环机构连通所述供液组件,所述供液组件连通所述过液通道,以向所述电镀通道内输送电镀液。
[0021] 在一些实施方式中,所述电镀槽内水平设置有第一隔板,并通过所述第一隔板将所述电镀槽内分成电镀子槽和供液仓,所述电镀子槽位于所述供液仓上方;
[0022] 所述阳极单元设置于电镀子槽内,所述供液仓内设置有供液组件,并且通过所述供液组件向所述电镀子槽输送电镀液。
[0023] 在一些实施方式中,所述供液组件至少包括分流管
[0024] 所述分流管与所述液体循环机构之间通过所述匀流组件连通,所述匀流组件包括供液管和匀流管,所述供液管两端分别连通所述匀流管和所述液体循环机构,所述供液管连接所述匀流管长度方向的中部位置,所述匀流管的两端以所述供液管的连接处为中心点,等距向远离所述中心点的方向延伸;
[0025] 所述分流管一端设置于所述匀流管上,并且与所述匀流管连通,另一端与所述电镀通道连通,以向所述电镀通道内输送电镀液。
[0026] 在一些实施方式中,所述供液组件还包括喷流管,所述喷流管包括喷流总管和喷流支管,所述喷流总管一端与所述液体循环机构连通,另一端与喷流支管连接;
[0027] 所述喷流支管上设置有喷头,所述喷头与所述电镀子槽连通;
[0028] 所述第一隔板上设置有多个供液口,所述过液通道与至少一个所述供液口位置相对应;
[0029] 位于同一所述电镀通道下方的所述供液口和所述喷头的数量相等,并且位置上下对应,所述喷头穿过所述供液口与所述电镀通道连通,以使得电镀液经所述喷流管流至所述过液通道内。
[0030] 在一些实施方式中,所述液体循环机构至少包括储液桶、循环和循环管道;
[0031] 所述循环管道包括循环进液管和循环出液管,所述供液管和所述喷流管均与所述循环出液管连通,所述循环出液管与所述储液桶的出液口连接;
[0032] 所述电镀槽内还设置有第二隔板,通过水平设置的所述第一隔板和所述第二隔板,将电镀槽从上至下依次分隔为电镀子槽、供液仓和储液槽,所述储液槽位于所述供液仓下方,且与所述供液仓相互独立;
[0033] 所述电镀子槽具有与所述储液槽连通的循环槽,所述循环槽与所述供液仓相互独立;
[0034] 所述循环进液管一端与所述循环泵连接,另一端与所述储液槽连接,所述循环泵与所述储液桶连接;
[0035] 所述循环进液管与所述储液槽连接一端设置有过滤器,所述过滤器位于所述储液槽内,所述过滤器上开设有多个过滤孔,所述电镀子槽内的电镀液依次流经所述循环槽、所述储液槽、所述过滤器及所述循环进液管,进入所述储液桶中。
[0036] 在一些实施方式中,所述阴极单元包括导电组件和安装组件;
[0037] 所述安装组件至少包括阴极支撑架和阴极连杆,所述阴极支撑架用于安装待电镀件,所述阴极支撑架安装于所述阴极连杆上;
[0038] 所述导电组件至少包括导电,沿所述电镀槽的长度设置有基板,所述基板上设置有导电条,所述导电块与所述阴极连杆端部连接,并且所述导电块与所述导电条接触
[0039] 其中,待电镀件通过导电线与所述导电块电连接,所述电源负极与所述导电条电连接;当所述驱动机构推动所述阴极单元,所述阴极单元沿所述电镀槽长度移动时,所述导电块将其与所述导电条接触获取到的电能传输至待电镀件。
[0040] 在一些实施方式中,所述阴极支撑架包括支撑架体和承载架体,所述支撑架体与所述承载架体连接,所述承载架体具有承载槽,并且所述承载槽能供待电镀件安装;
[0041] 所述承载槽在预设的竖直平面上的正投影面积大于待电镀件在同一预设的竖直平面上的正投面积;
[0042] 所述承载槽内设置有多个承载块,多个所述承载块沿所述承载槽的内壁设置,当待电镀件安装于承载槽内时,所述承载块与待电镀件的边缘接触,以支撑待电镀件;
[0043] 所述阴极支撑架上设置有第五挡板和第六挡板,当待电镀件安装于所述承载槽内时,所述第五挡板与待电镀件的下边缘位置相对应,所述第六挡板与待电镀件的上边缘位置相对应。
[0044] 在一些实施方式中,所述支撑架体具有第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部的两端分别与两个所述第二支撑部连接,所述第二支撑部远离所述第一支撑部一端分别向两侧延伸,并且与所述承载架体连接;
[0045] 所述阴极连杆上开设有供所述第一支撑部安装的连杆支撑槽;
[0046] 所述第一支撑部上设置有两个支撑块,两个所述支撑块之间的距离与所述阴极连杆的宽度相适配,使得阴极连杆能卡入两个支撑块之间,以限制阴极支撑架的移动范围。
[0047] 在一些实施方式中,所述驱动机构至少包括驱动支架、传动件、驱动源和推动件;
[0048] 所述传动件转动设置于所述驱动支架上,所述推动件与所述传动件连接,所述驱动源设置于所述驱动支架上且与所述传动件连接,以驱动所述传动件带动所述推动件循环转动;
[0049] 当所述推动件转动至所述电镀槽上方时,与所述阴极连杆接触,并且推动其沿所述电镀槽的长度移动。
[0050] 在一些实施方式中,所述传动件以椭圆轨迹在所述驱动支架上循环转动,所述驱动源包括传动轮和电机,所述电机和所述传动轮分别设置于所述驱动支架的两面上,所述传动件套设在所述传动轮上,所述电机的输出轴穿过所述驱动支架与所述传动轮连接,以驱动所述传动轮带动所述传动件转动。
[0051] 在一些实施方式中,设置于所述驱动支架上的所述传动件在垂直方向上做循环转动,所述传动件在循环转动时具有两个水平移动区域和两个转动区域,两个所述水平移动区域分别处于第一高度和第二高度,所述第一高度与所述电镀槽之间的距离为L1,所述第二高度与所述电镀槽之间的距离为L2,并且L1<L2;当所述推动件处于所述第一高度时,所述推动件远离所述传动件一端能与所述阴极连杆接触,所述推动件在所述传动件的带动下向所述阴极连杆施加推,使所述阴极连杆跟随所述推动件移动;当所述推动件处于所述第二高度时,所述推动件远离所述传动件一端能与所述阴极连杆脱离接触;
[0052] 所述推动件包括推动基座和推动杆,所述推动基座与所述传动件连接,所述推动杆一端设置于所述推动基座上,另一端向远离所述推动基座的方向延伸至所述阴极连杆的中部;
[0053] 所述推动杆与所述推动基座之间采用竖直方向上的转动连接,以调节推动杆的高度;
[0054] 所述推动杆上设置有推动板;
[0055] 所述推动板和所述阴极连杆上设置有相互配合的磁吸结构。
[0056] 本申请实施例中垂直电镀设备的优点包括:通过驱动机构推动阴极单元在阳极单元中移动,驱动阴极单元中安装的待电镀件在阳极单元中移动,使得待电镀件能够在电镀液中移动,提升了电镀效率。另外,液体循环机构能够驱动电镀液循环流动,可以补充待电镀件周围的电镀液的浓度损失,进一步提升了电镀效率,且有利于电镀均匀性。另外,推动件循环转动,可以循环推动连续上料的多个阴极单元,实现待电镀件的连续生产,进而提升生产效率。另外,垂直电镀设备中将电镀槽内从上至下依次分隔为电镀子槽、供液仓和储液槽,从而使得垂直电镀设备的内部结构紧凑、整体的占地空间减小,提高设备操作维护的便利性。附图说明
[0057] 为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0058] 图1是本申请提供的一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0059] 图2是本申请提供的一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0060] 图3是本申请提供的一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0061] 图4是本申请提供的另一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0062] 图5是本申请提供的另一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0063] 图6是本申请提供的另一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0064] 图7是本申请提供的另一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0065] 图8是本申请提供的另一种实施方式中阳极组件的结构示意图;
[0066] 图9是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的结构示意图;
[0067] 图10是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的结构示意图;
[0068] 图11是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的结构示意图;
[0069] 图12是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的结构示意图;
[0070] 图13是图12中A部分的局部放大图;
[0071] 图14是图12中B部分的局部放大图;
[0072] 图15是图12中C部分的局部放大图;
[0073] 图16是图12中D部分的局部放大图;
[0074] 图17是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的结构示意图;
[0075] 图18是图17中E部分的局部放大图;
[0076] 图19是图17中F部分的局部放大图;
[0077] 图20是图17中G部分的局部放大图;
[0078] 图21是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的电源连接示意图;
[0079] 图22是本申请提供的一种实施方式中供液组件的结构示意图;
[0080] 图23是本申请提供的另一种实施方式中供液组件的结构示意图;
[0081] 图24是本申请提供的一种实施方式中电镀液流向示意图;
[0082] 图25是本申请提供的一种实施方式中垂直电镀设备的控制逻辑图及温控组件的结构示意图;
[0083] 图26是本申请提供的一种实施方式中驱动机构的结构示意图;
[0084] 图27是本申请提供的一种实施方式中驱动机构与阴极单元配合的结构示意图;
[0085] 图28是图27中H部分的局部放大图;
[0086] 图29是本申请提供的一种实施方式中安装组件的结构示意图;
[0087] 图30是本申请提供的一种实施方式中安装组件的结构示意图;
[0088] 图31是本申请提供的一种实施方式中安装组件的结构示意图。
[0089] 附图标记:
[0090] 10‑阳极组件;101‑阳极底座;1011‑过液通道;1012‑安装槽;102‑阳极件;103‑导电条;104‑固定杆;105‑第一挡板;106‑挡板槽;107‑第二挡板;1071‑引流口;108‑第三挡板;109‑第四挡板;110‑溢流板;111‑溢流槽;112‑阳极通道;113‑电镀通道;
[0091] 20‑待电镀件;
[0092] 30‑电镀槽;301‑第一隔板;302‑第二隔板;303‑电镀子槽;304‑供液仓;305‑储液槽;306‑循环槽;307‑循环隔板;
[0093] 40‑阴极单元;401‑导电组件;4011‑导电块;40111‑导电固定座;4012‑导电条;4013‑基板;4014‑导电连杆;4015‑导向滚轮;4016‑滚轮安装座;4017‑导向突出部;402‑安装组件;4021‑阴极支撑架;40211‑支撑架体;40212‑第一支撑部;40213‑第二支撑部;
40214‑支撑块;40215‑承载架体;40216‑承载槽;40217‑承载块;40218‑承载区;4023‑第五挡板;4024‑第六挡板;4025‑阴极连杆;
[0094] 50‑驱动机构;501‑驱动支架;5011‑滑轨;502‑传动件;503‑驱动源;5031‑传动轮;5032‑电机;504‑推动件;5041‑推动基座;5042‑推动滚轮;5043‑推动杆;5044‑推动板;
[0095] 60‑电源;
[0096] 70‑液体循环机构;701‑储液桶;702‑循环管道;7021‑循环进液管;7022‑循环出液管;703‑过滤器;7031‑过滤孔;
[0097] 80‑供液组件;801‑分流管;802‑供液管;8021‑供液主管;8022‑供液支管;803‑匀流管;804‑喷流总管;805‑喷流支管;806‑喷头管;90‑控制器;91‑液位传感器;92‑流量传感器;93‑温度传感器;94‑调节;95‑电磁阀
[0098] 100‑温控组件;1001‑换热器;1002‑供液桶;1003‑第一换热管道;1004‑第二换热管道;1005‑第三换热管道;1006‑第四换热管道。

具体实施方式

[0099] 为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。本申请使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”、“第一端”、“第二端”、“一端”、“另一端”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如,如果将图中的设备翻转,则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”。因此,示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向),并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。
[0100] 此外,术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“滑动连接”、“固定”、“套接”应做广义理解。例如,“连接”可以是固定连接,可拆卸连接,或整体式构造;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或者是通过中间媒介间接相连,又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。术语“连接”用于管道与其他元件的连接时,根据场景进行判断,管道与其他元件可能存在连通的状态,也即在一些场景中,管道与其他元件的连接,也表示管道与其他元件连通。
[0101] 本申请的实施例中提供一种阳极件位置可调节的阳极组件,以及包括该阳极组件的垂直电镀设备。阳极组件包括阳极底座和阳极件,通过在阳极底座上设置过液通道和安装槽,过液通道用于喷洒电镀液,安装槽用于安装阳极件,过液通道的位置部分或全部与加工位相重合,工作时能够在待电镀件的下方喷洒电镀液,避免了在待电镀件的一侧或者两侧设置喷洒装置,使得阳极件和待电镀件之间的距离可以进一步缩小,能够提升电镀效果,在相同的电镀槽宽度的前提下,可以排布更多的阳极件,实现对更多的待电镀件的电镀,提升了电镀效率。另一方面,若加工位同侧具有多个所述安装槽,位于加工位同侧的多个安装槽与过液通道之间的距离为依次增大设置,使得阳极件可以根据需求安装于相应位置的安装槽中,进而调节了加工位和安装槽之间的距离,由于过液通道的位置与加工位部分或全部重合,当待电镀件位于过液通道工位正上方,且阳极件安装于安装槽内时,加工位和安装槽之间的距离即为阳极件和待电镀件之间的距离,从而有效提高阳极件的位置调节效率以及改善待电镀件的电镀效果。其中,加工位为电镀时,待电镀件在阳极底座上的正投影所覆盖的区域,或者是在预设水平面上的正投影所覆盖的区域。其作用是,标记一个基准位置,便于其他部件的安装。
[0102] 下面将结合附图,对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,本申请所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本申请保护的范围。
[0103] 本申请实施例提供的阳极组件10,用于为电镀设备提供电镀金属,并且承载该电镀金属,使其能稳定安装于电镀设备内,电镀设备处于工作状态时,电镀金属将会电离出阳离子进入电镀液中,并流向待电镀件20,对待电镀件20表面上的全部区域或者部分区域附着一层金属膜。其中,待电镀件20可以为需要赋予某种特殊物理性能或装饰性的产品,例如PCB板、太阳能电池片、片和芯片等;再例如,电镀金属可以为不溶性阳极,通过在基体(网状、板状、带状、管状等)上涂覆具有高电化学催化性能的贵金属化物涂层而制成,或者电镀金属为可溶性阳极,自身能溶解成阳离子进入溶液中。
[0104] 请参考图1‑图8,一种阳极组件10,至少包括阳极底座101和阳极件102,阳极底座101上设置有过液通道1011和安装槽1012,安装槽1012被配置为供阳极件102安装。安装槽
1012沿预设方向延伸,安装槽1012中的阳极件102也沿预设方向延伸。当待电镀件20位于阳极件102一侧时,在电源60电势的驱动和液体的流动下,阳极件102电解的阳离子及电镀液中本身具有的阳离子,将会富集到待电镀件20表面上,沉积形成金属镀层。阳极底座101上开设有过液通道1011,过液通道1011被配置为供电镀液流通,其中,过液通道1011的位置部分或全部与加工位相重合。参见图4,对待电镀件20进行单面电镀时,可将安装槽1012的数量设置为一个,并且位于加工位一侧,阳极件102安装于安装槽1012内,具体地,阳极件102的底部安装于安装槽1012内,待电镀件20的待电镀面与阳极件102安装相对设置,即待电镀件20在预设的竖直平面上的正投影面积部分或全部与阳极件102在同一预设的竖直平面上的正投影面积相重合,当待电镀件20经人工或自动化方式移动至过液通道1011上方时,或悬挂于过液通道1011上方时,电镀液经过液通道1011流向待电镀面与阳极件102之间,并在电源60电势的驱动和液体的流动下,阳极件102电解的阳离子,或电镀液中本身具有的阳离子,富集到待电镀件20表面上,沉积形成金属镀层,以完成对待电镀件20的单面电镀,相较于阳极底座101上未设有过液通道1011的结构,开设过液通道1011能使得电镀液经过液通道1011流至待电镀面与阳极件102之间,另外,经过液通道1011流入的电镀液可采用阳离子浓度更高的电镀液,电镀液在长时间使用后阳离子浓度会有降低的可能性,导致沉积至待电镀件20表面的镀层厚度不均匀。或者,参见图1‑图3、图4‑图8,安装槽1012的数量为两个及以上,多个安装槽1012以加工位为基准,分布于加工位两侧,位于加工位同侧的多个安装槽1012与加工位之间的距离依次增大,分别位于加工位两侧的任意两个安装槽1012之间的距离大于待电镀件20的厚度。当安装槽1012的数量为二的整数倍个时,多个安装槽1012以加工位为中心,均匀布设于其两侧,位于加工位同侧的多个安装槽1012与加工位之间的距离依次增大,以使得在阳极件102安装于安装槽1012内后,待电镀件20能经人工或自动化方式移动至过液通道1011上方,或悬挂于过液通道1011上方,如此,在电镀液经过液通道1011流出时,能流向待电镀面与阳极件102之间,并在电源60电势的驱动和液体的流动下,将阳极件102电解的阳离子,或电解液中本身具有的阳离子,富集到待电镀件20两面的表面上,沉积形成金属镀层,以完成对待电镀件20的双面电镀。
[0105] 当安装槽1012的数量为单数时,其中的双数个安装槽1012分布方式与其数量为二的整数倍个时相同,剩余的一个安装槽1012可设置于过液通道1011的任意一侧,例如,安装槽1012的数量为三个时,其中两个安装槽1012分别设置于过液通道1011的两侧,其余一个安装槽1012设置于过液通道1011的任意一侧,即过液通道1011的一侧仅设置一个安装槽1012时,另一侧必定设置有两个安装槽1012。
[0106] 在实际应用中,当阳极件102的数量为一个,安装槽1012的数量为两个及以上时,阳极件102安装于任意一个安装槽1012内。具体地,阳极件102的数量设置一个时,仅能对待电镀件20的单面进行电镀,此时,对阳极件102的安装不作方向上的限制,即阳极件102可以放在过液通道1011的任意一侧上,待电镀件20需要将其的待电镀面朝向阳极件102设置,例如,当待电镀件20采用悬挂式静态电镀,阳极件102安装于位于过液通道1011左侧的安装槽1012内时,待电镀件20的待电镀面需要朝向过液通道1011左侧,与阳极件102相对设置(即待电镀面在预设的竖直平面上的正投影面积部分或全部与阳极件102103在同一预设的竖
直平面上的正投影面积相重合)。当阳极件102的数量为两个,安装槽1012的数量为两个及以上时,两个阳极件102分别安装于位于过液通道1011两侧的任意两个安装槽1012内。具体地,阳极件102的数量设置为两个时,则对待电镀件20进行双面电镀,为实现双面电镀,需要保证两个阳极件102分别安装于位于过液通道1011两侧的安装槽1012内,以使得待电镀件
20的两个待电镀面分别对应两个阳极件102。
[0107] 若对待电镀件20进行单面电镀,阳极件102的数量可仅选择一个,利用一个阳极件102即可实现对待电镀件20的单面进行电镀,当设置一个以上的阳极件102时,多个阳极件
102位于同侧或多个阳极件102分别位于待电镀件20两侧,与仅设置一个阳极件102时对待电镀件20的电镀效果影响较小,而电镀成本和电镀效率将会提高。例如,当多个阳极件102位于同侧时(即多个阳极件102均安装于位于过液通道1011一侧的多个安装槽1012内),经过液通道1011流出的电镀液仅与最靠近待电镀面的阳极件102接触,其余阳极件102电解的阳离子难以游离至待电镀面;当多个阳极件102分别位于过液通道1011两侧时,经过液通道
1011流出的电镀液将会同时与两个待电镀面及对应的阳极件102接触,使得待电镀件20的两面均会沉积阳离子,然而待电镀面上沉积的阳离子大多数来自于与其距离最近的阳极件
102,其余阳极件102电解的阳离子游离在电镀液中,或沉积至非待电镀面上。也就是说,在阳极件102连接电源60正极的情况下,浸于电镀液中的阳极件102在电场中均会发生电解,即使仅有一个阳极件102为待电镀件20提供了金属阳离子,所有的阳极件102在电镀过程中均会被消耗,从而增加了电镀的成本,以及安装多余阳极件102导致的电镀效率降低。
[0108] 相应地,若对待电镀件20进行双面电镀,阳极件102的数量可仅选择两个,利用两个阳极件102分别对待电镀件20的两个待电镀面进行,若阳极件102的数量超过两个,则其余的阳极件102需要安装于上述两个阳极件102一侧,在电镀过程中,经过液通道1011流出的电镀液仅与最靠近待电镀面的阳极件102接触,远离待电镀件20的阳极件102将会增加电镀的成本。
[0109] 由此可知,当对待电镀件20进行单面电镀时,可选择仅开设有单个安装槽1012的阳极底座101,也可选择开设有多个安装槽1012的阳极底座101,阳极件102可以安装于任意一个安装槽1012中,当对待电镀件20进行双面电镀时,仅可选择开设有多个安装槽1012的阳极底座101,并且两个阳极件102需要分别安装位于过液通道1011两侧的安装槽1012中。
[0110] 在一种可实现的实施方式中,位于过液通道1011同侧的多个安装槽1012与过液通道1011之间的距离可以等比例依次增大。例如,当安装槽1012的数量为四个时,过液通道1011两侧将分别设置有两个安装槽1012,在分别位于过液通道1011两侧的四个安装槽1012中,过液通道1011与最靠近其的两个安装槽1012之间的距离均为S1,单位为cm,过液通道
1011与远离其的两个安装槽1012之间的距离均为2S1,单位为cm。
[0111] 相应地,位于过液通道1011同侧的多个安装槽1012与过液通道1011之间的距离可以非等比例依次增大。例如,在分别位于过液通道1011两侧的四个安装槽1012中,过液通道1011与最靠近其的两个安装槽1012之间的距离均为S1,单位为cm,过液通道1011与远离其的两个安装槽1012之间的距离均为S2,单位为cm,位于同一侧的两个安装槽1012之间的距离为S2‑S1,并且S2‑S1≠S1。
[0112] 在实际应用中,阳极件102的安装位置可由预先测试的结果决定。具体地,可将阳极件102依次安装于位于过液通道1011同侧的多个安装槽1012中,并且对比阳极件102安装在不同位置时待电镀件20的电镀效果,从而推断出阳极件102的最佳安装位置。其中,对待电镀件20进行单面电镀时,可仅考虑其待电镀面的电镀效果,若选择将阳极件102安装于仅开设有单个安装槽1012的阳极底座101上,可将阳极件102安装于该阳极底座101的安装槽1012时的电镀效果,与阳极件102安装于有多个安装槽1012的阳极底座101时的电镀效果进行对比(将阳极件102安装于多个不同位置的安装槽1012内分别进行测试,并且逐一对比电镀效果),若选择将阳极件102安装于有多个安装槽1012的阳极底座101上,则仅需要对比阳极件102安装于不同安装槽1012内时的电镀效果。对待电镀件20进行双面电镀时,可根据需要选择两个阳极件102与过液通道1011之间的距离相等或不相等,若两个阳极件102与过液通道1011之间的距离均相等,则将会产生相同的电镀效果,若两个阳极件102与过液通道
1011之间的距离不相等,则可使得待电镀件20两面呈现不同的电镀效果。
[0113] 举例说明,当安装槽1012的数量为一个时,参见图4,阳极件102安装于该安装槽1012中进行测试,若待电镀件20的电镀效果不符合预先设定的合格标准,则更换阳极组件
10,更换后的阳极组件10中安装槽1012与过液通道1011之间的距离需要与更换前的阳极组件10中安装槽1012与过液通道1011之间的距离不同。
[0114] 当安装槽1012的数量为两个时,参见图5,两个阳极件102可分别安装于位于过液通道1011两侧的安装槽1012中进行测试,若待电镀件20的电镀效果不符合预先设定的合格标准,则更换阳极组件10,更换后的阳极组件10中安装槽1012与过液通道1011之间的距离需要与更换前的阳极组件10中安装槽1012与过液通道1011之间的距离不同。
[0115] 当安装槽1012的数量为两个以上,且为二的整数倍,比如安装槽1012的数量设置为四个时,参见图6,靠近过液通道1011的两个安装槽1012分别为第一槽体和第二槽体,远离过液通道1011的两个安装槽1012分别为第三槽体和第四槽体,其中,第一槽体和第三槽体位于同侧,第二槽体和第四槽体位于同侧。具体地,两个阳极件102可采用以下任一安装方式:
[0116] (1)两个阳极件102分别安装于第一槽体和第二槽体内;
[0117] (2)两个阳极件102分别安装于第一槽体和第四槽体内;
[0118] (3)两个阳极件102分别安装于第三槽体和第四槽体内;
[0119] (4)两个阳极件102分别安装于第三槽体和第二槽体内。
[0120] 当两个阳极件102采用第(1)种和第(3)种方式安装时,待电镀件20两面的电镀效果相同,当两个阳极件102采用第(2)种和第(4)种方式安装时,待电镀件20两面的电镀效果不同。
[0121] 当安装槽1012的数量为两个以上,且为单数,比如安装槽1012的数量设置为五个时,参见图7,位于过液通道1011一侧的安装槽1012数量为两个,分别为第一槽体和第三槽体,位于过液通道1011另一侧的安装槽1012数量为三个,分别为第二槽体、第四槽体和第五槽体。具体地,两个阳极件102可采用以下任一安装方式:
[0122] (1)两个阳极件102分别安装于第一槽体和第二槽体内;
[0123] (2)两个阳极件102分别安装于第一槽体和第四槽体内;
[0124] (3)两个阳极件102分别安装于第一槽体和第五槽体内;
[0125] (4)两个阳极件102分别安装于第三槽体和第二槽体内;
[0126] (5)两个阳极件102分别安装于第三槽体和第四槽体内;
[0127] (6)两个阳极件102分别安装于第三槽体和第五槽体内。
[0128] 当两个阳极件102采用第(1)种和第(5)种方式安装时,待电镀件20两面的电镀效果相同,当两个阳极件102采用第(2)种、第(3)种、第(4)种和第(6)种方式安装时,待电镀件
20两面的电镀效果不同。
[0129] 优选地,安装槽1012与过液通道1011之间的距离(相当于在电镀时阳极件102与待电镀件20之间的距离)从近到远依次为40mm、70mm和100mm,并且安装槽1012的数量为六个,参见图1‑图3、图8,即距离过液通道1011最近的安装槽1012与过液通道1011之间的距离为40mm,位于过液通道1011同一侧的相邻两个安装槽1012之间距离为30mm。在该实施方式下,两个阳极件102具有九种安装方式,具体的安装方式及测试方法可参照上述安装槽1012数量为二的整数倍时所采用的安装方式及测试方法。
[0130] 需要注意的是,两个阳极件102之间为平行设置,中心点处于同一水平线上,并且两个阳极件102在同一预设的竖直平面上的正投影面积相同。如此,在阳极件102安装于安装槽1012内后,两个阳极件102在同一预设的竖直平面上所对应的待电镀件20的投影面积相同,以使得待电镀件20两面的全部区域或对应区域能够同时被电镀。
[0131] 在一种可实现的实施方式中,阳极件102与导电铜条103连接,导电铜条103与电源60正极连接。如此,导电铜条103能将正极电流输送至阳极件102,使得阳极件102在电镀液中能电解。其中,导电铜条103设置于固定杆104上,固定杆104与电镀设备连接。
[0132] 在一种可实现的实施方式中,参见图1‑图8,阳极组件10还包括挡板子组件,挡板子组件至少包括第一挡板105,阳极底座101上开设有供第一挡板105安装的挡板槽106,挡板槽106位于过液通道1011和与其相邻的安装槽1012之间,当第一挡板105安装于挡板槽106内时,第一挡板105与阳极件102的下边缘位置相对应。具体地,仅设置有一个安装槽
1012的阳极底座101,相对应的只能安装一个阳极件102,用于遮挡阳极件102下边缘的第一挡板105也仅需设置一个,设置有两个及以上安装槽1012的阳极底座101,能对待电镀件20进行单面或双面的电镀,需要设置两个挡板槽106。在对待电镀件20进行双面电镀时,过液通道1011的两侧均会安装有阳极件102,由于挡板槽106与过液通道1011之间的距离小于安装槽1012与过液通道1011之间的距离,因此,阳极件102安装于任意一个安装槽1012内,第一挡板105均位于阳极件102与待电镀件20之间,从而能遮挡阳极件102的下边缘。
[0133] 进一步地,当第一挡板105安装于挡板槽106内、阳极件102安装于安装槽1012内时,第一挡板105的上表面高于阳极件102下表面,以使得第一挡板105能遮挡阳极件102的部分区域。具体地,第一挡板105位于挡板槽106内的部分被挡板槽106体遮挡,阳极件102位于安装槽1012内的部分被安装槽1012体遮挡,需要保证第一挡板105露出挡板槽106的部分能够遮挡阳极件102露出安装槽1012的边缘部分。
[0134] 需要注意的是,阳极件102的下边缘区域可预先设定。由于阳极件102本身具有的边缘效应(即在电镀时,电力线容易在阳极件102的尖、边缘上集中,以至于阳极件102的尖角、边缘上电流密度比较大),为了防止经阳极件102流向待电镀件20边缘部分的电力线过于集中,可在阳极件102的边缘部分设置遮挡件,以使得位于阳极件102下边缘区域的电力线在延伸至待电镀件20时,需要绕过第一挡板105,由此可以推断出,位于阳极件102下边缘区域的电力线延伸至待电镀件20的路程将会大于位于阳极件102中心区域的电力线运动至待电镀件20的路程。如此,可以使得电力线在待电镀面上的分布均匀,以此降低阳极件102边缘效应带来的镀层不均匀的影响。
[0135] 假设第一挡板105露出挡板槽106的部分区域面积为A,单位为cm2,阳极件102预先2
设定的下边缘区域面积为B,单位为cm ,为了实现较好的遮挡效果,可以使得第一挡板105露出挡板槽106的部分区域在阳极件102上的正投影覆盖阳极件102预先设定的下边缘区
域,即使得第一挡板105露出挡板槽106的部分区域在阳极件102的正投影面积大于B,从而实现对阳极件102的下边缘区域进行遮挡。在保证第一挡板105的露出部分能将阳极件102下边缘区域遮挡的情况下,挡板槽106的深度和安装槽1012的深度在此不作限制。当第一挡板105和阳极件102平行且正对设置时,第一挡板105露出挡板槽106的部分区域面积大于阳极件102预先设定的下边缘区域面积即可。
[0136] 在一种可实现的实施方式中,挡板子组件还包括第二挡板107,第二挡板107一端与导电铜条103连接,另一端从待电镀件20的顶部向其底部方向延伸,直至将阳极件102的上边缘遮挡。具体地第二挡板107和导电铜条103上均设置有能够与同一螺栓相配合的连接孔,以实现第二挡板107和导电铜条103的连接,为保证第二挡板107能对阳极件102的上边缘进行遮挡,第二挡板107需设置于阳极件102上方,即导电铜条103和安装导电铜条103的固定杆104均位于阳极件102上方,也就是说,第二挡板107也可与固定杆104配合连接。
[0137] 进一步地,第二挡板107的自由端向下延伸至其能将阳极件102的上边缘区域遮挡。相应地,阳极件102的上边缘区域可预先设定。若阳极件102预先设定的上边缘区域面积
2
为C,单位为cm ,为了实现较好的遮挡效果,可以使得第二挡板107底部向下延伸区域在阳极件102上的正投影覆盖阳极件102的上边缘区域,从而实现对阳极件102的上边缘区域进行遮挡。以使得位于阳极件102上边缘区域的电力线在延伸至待电镀件20时,需要绕过第二挡板107,由此可以推断出,位于阳极件102上边缘区域的电力线延伸至待电镀件20的路程将会大于位于阳极件102中心区域的电力线延伸至待电镀件20的路程。
[0138] 在一种可实现的实施方式中,挡板子组件还包括第三挡板108,第三挡板108一端设置于第二挡板107上,并且位于第二挡板107与阳极件102之间。若阳极件102的上边缘区域与第二挡板107之间的间距过大,会降低第二挡板107对边缘电力线的遮挡作用。进一步地,第二挡板107靠近阳极件102一侧与阳极件102之间具有一定距离,距离大于等于第三挡板108的厚度。
[0139] 在一种可实现的实施方式中,挡板子组件还包括第四挡板109,第四挡板109一端设置于第一挡板105上,另一端向与其相邻的阳极件102的方向延伸。与上述第三挡板108的原理相同,若阳极件102的下边缘区域与第一挡板105之间的间距过大,会降低第一挡板105对边缘电力线的遮挡作用。进一步地,第一挡板105靠近阳极件102一侧与阳极件102之间具有一定距离,距离大于等于第四挡板109的厚度。
[0140] 更进一步地,第四挡板109与第一挡板105之间采用可拆卸连接。具体地,当安装槽1012具有两个以上时,阳极件102可以放至远离过液通道1011的安装槽1012内,而挡板槽
106设置于过液通道1011与其相邻的安装槽1012之间,在该情况下,第一挡板105与阳极件
102之间的距离将会改变,第一挡板105与阳极件102之间的距离最大值与安装槽1012数量呈正相关,位于过液通道1011同侧的安装槽1012数量越多,则过液通道1011与最远安装槽
1012之间的距离越大。因此,在阳极件102安装位置不确定的情况下,为了保证第四挡板109始终能填补第一挡板105与阳极件102之间的距离,第四挡板109可采用可拆卸的连接方式,在阳极件102改变安装位置时,及时更换不同长度的第四挡板109。其中,可拆卸连接的方式可以为螺纹连接、卡扣连接等,在满足与第一挡板105连接的第四挡板109能反复更换的情况下,本申请对可拆卸连接的方式不作限制。
[0141] 不同于上述利用第四挡板109填补阳极件102和第一挡板105之间距离的方式,在另一种可实现的实施方式中,阳极底座101上设置有多个挡板槽106,挡板槽106与安装槽
1012的数量相等且间隔设置。具体地,一个挡板槽106与一个安装槽1012共同组成下遮挡组,在一个下遮挡组内,挡板槽106位于靠近过液通道1011一侧。例如,安装槽1012的数量为四个,且均匀分布于过液通道1011两侧,即过液通道1011的两侧均具有两个下遮挡组,位于过液通道1011左侧的下遮挡组中,挡板槽106位于靠近过液通道1011一侧,相当于下遮挡组中的右侧,安装槽1012位于远离过液通道1011一侧,相当于下遮挡组中的左侧。在本实施例中,第一挡板105与阳极件102之间的距离等于安装槽1012与挡板槽106之间的距离,若在一个下遮挡组中,安装槽1012与挡板槽106相连通,则阳极件102和第一挡板105分别安装于安装槽1012和挡板槽106内后,阳极件102和第一挡板105为贴合状态,若在一个下遮挡组中,安装槽1012与挡板槽106之间通过阳极底座101进行分隔,则位于安装槽1012与挡板槽106之间的阳极底座101宽度越小,第一挡板105对位于阳极件102下边缘的电力线遮挡效果越好。
[0142] 在一种可实现的实施方式中,参见图1‑图8,阳极组件10还包括溢流板110,阳极底座101上开设有供溢流板110安装的溢流槽111,溢流槽111位于安装槽1012远离过液通道1011一侧,溢流板110在预设的竖直平面上的正投影面积大于阳极件102在同一预设的竖直平面上的正投影面积。由于阳极件102的钛基底可选用网状或其他具有连通阳极件102两侧空间的结构,因此,为避免从过液通道1011流入的电镀液利用阳极件102的结构直接向远离待电镀件20的方向流动,不再流经待电镀件20,使得阳离子受到与靠近待电镀件20方向相反的流动阻力,无法汇聚于待电镀件20表面,安装溢流板110的溢流槽111设置于安装槽
1012远离过液通道1011一侧,即电镀液无法向阳极件102远离过液通道1011一侧流动。也就是说,经过液通道1011流出的电镀液在左右两侧分别被溢流板110和待电镀件20阻挡的情况下,仅能沿待电镀件20及溢流板110的高度方向流动,如此,电镀液在流动的过程中能持续与待电镀件20接触,阳离子也将会游离至待电镀件20表面。
[0143] 在一种可实现的实施方式中,第二挡板107上开设有引流口1071,引流口1071位于阳极件102上方,以使得从过液通道1011流入的电镀液流经待电镀件20,向引流口1071的方向流动。若第二挡板107上未设有引流口1071,在第二挡板107遮挡阳极件102上边缘的情况下,电镀液从过液通道1011流入后,将会沿待电镀件20的高度流向第二挡板107的顶部,而后再进行扩散,然而,当电镀槽30的上表面与阳极组件10的上表面齐平时,电镀液在流至第二挡板107顶部后,会因距离电镀槽30侧壁过近,导致电镀液流出电镀槽30中,当经过液通道1011流入的电镀液流速过快时,电镀液在无法向两侧扩散的情况下,流至阳极组件10上方时的液面高度将会大于阳极组件10,落下时将会具有产生水花或流出电镀槽30的可能性。
[0144] 相应地,为保证电镀液的流动区域能够完全覆盖待电镀件20的待电镀面,使得阳离子能游离至待电镀面的表面,从而达到电镀均匀的效果,引流口1071还应当位于待电镀件20的上方。由于待电镀件20在移动电镀时(即非悬挂电镀时)无法确定其具体位置,因此,可以预先测试待电镀件20在移动时的顶部位置,通过调整其高度使得引流口1071始终位于其上方,从而避免电镀不均匀。
[0145] 在本实施方式中,阳极件102上方应当具有足够空间供电镀液从引流口1071流出。具体地,由于第二挡板107的底部为自由端,顶部为固定端,并且固定端与导电铜条103和/或固定杆104连接,也就是说,导电铜条103和固定杆104均位于阳极件102上方,使得第二挡板107在向下延伸时能将阳极件102的上边缘遮挡。当导电铜条103、固定杆104和阳极件102均位于第二挡板107的同侧时,导电铜条103和固定杆104均位于阳极件102上方,并且与阳极件102之间具有一定距离,形成引流通道,引流通道与引流口1071相连通。如此,电镀液经过液通道1011流入后,沿阳极件102与待电镀件20的高度方向动,流至引流口1071后通过引流口1071进入引流通道内。
[0146] 在实际应用中,为保证阳极组件10在电镀过程中的稳定性,阳极件102在插接至安装槽1011内后,可再通过螺栓将阳极底座101与阳极件102螺纹连接,以进一步提高阳极板102的安装稳定性,同时,第二挡板107和固定杆104之间、阳极底座101和电镀设备之间均为螺纹连接。如此,能够降低阳极组件10及其部件在电镀过程中受到的水流冲击力等影响,从而保证电镀工作的稳定进行。在保证阳极底座101和电镀设备之间、阳极组件10的各部件之间能够稳定连接,并且便于更换情况下,还可采用其他的可拆卸连接方式,本申请在此不作限制。
[0147] 本申请公开的一个实施例中还提供了一种垂直电镀设备,请参考图9‑图30,该垂直电镀设备包括前述实施例中的阳极组件10。垂直电镀设备用于对待电镀件20进行电镀,以使待电镀件20表面上的全部区域或者部分区域附着一层金属膜。
[0148] 在本实施例中,参考图9‑图21,垂直电镀设备还包括阳极单元、电镀槽30、阴极单元40、驱动机构50、电源60和液体循环机构70。具体地,阳极组件10设置于电镀槽30内,并且多个阳极组件10共同组成阳极单元;工作状态下,电镀槽30内还填充有电镀液,阳极组件10中的阳极件102浸没于电镀液中,以保证电镀过程中阳离子的正常流动;阴极单元40被配置为安装待电镀件20;驱动机构50被配置为推动阴极单元40在阳极单元中移动,若阳极组件10仅包括一个阳极件102,当阴极单元40在阳极单元中移动时,待电镀件20位于阳极件102一侧,阳极件102电离的阳离子将游离并沉积至待电镀件20表面,以使得待电镀件20能被单面电镀,若阳极组件10包括两个阳极件102,当阴极单元40在阳极单元中移动时,待电镀件
20位于两个阳极件102之间,阳极件102电离的阳离子将游离并沉积至待电镀件20表面,以使得待电镀件20能被双面电镀;电源60正极与阳极组件10连接,电源60负极与阴极单元40连接,从而形成电场回路;液体循环机构70与电镀槽30连接,被配置为驱动电镀液循环流动,以形成液体环路。在实际应用中,参见图9‑图11,为保证垂直电镀设备的整体稳定性,电镀槽30、驱动机构50和液体循环机构70均与机架连接。以上,通过驱动机构50推动阴极单元
40在阳极单元中移动,驱动阴极单元40中安装的待电镀件20在阳极单元中移动,使得待电镀件20能够在电镀液中移动,提升了电镀效率。另外,液体循环机构70能够驱动电镀液循环流动,可以补充待电镀件20周围的电镀液的浓度损失,进一步提升了电镀效率,且有利于电镀均匀性。
[0149] 在一种可实现的实施方式中,参见图9‑图11,电镀槽30内设置有多个阳极组件10,多个阳极组件10沿预设方向间隔分布或者连续分布,以形成阳极单元,阳极单元中的多个阳极组件10上的阳极件102均沿预设方向延伸,或者说每个阳极组件10包括沿预设方向延伸的阳极件102,优选地,属于同一个阳极单元的多个阳极组件10中,位于同一侧的阳极件102共面设置。其中,预设方向为待电镀件20在电镀槽30中的移动方向。如此,当属于同一个阳极单元的每个阳极组件10中均包含两个阳极件102时,两个阳极件102之间具有一定间
距,并形成阳极通道112,多个阳极通道112相连通形成电镀通道113。由于在阳极组件10中,过液通道1011的宽度大于待电镀件20的厚度,两个阳极件102位于过液通道1011的两侧,形成的阳极通道112的宽度必然大于待电镀件20的厚度,以供待电镀件20在阳极通道112内移动。当待电镀件20在电镀通道113内沿其长度移动时,两个阳极件102电离的阳离子将会分别游离至靠近其的待电镀面上。由于本实施例中的待电镀件20以垂直状态持续移动电镀,因此该电镀方式属于垂直连续电镀,垂直连续电镀可以确保待电镀件20在整个电镀槽30中都能受到均匀的电镀,从而获得均匀的镀层厚度。
[0150] 在实际应用中,电镀槽30内平行设置有多个电镀通道113,使得多个待电镀件20能同时在电镀槽30内被电镀,以实现连续高效的生产。若仅设置一个电镀通道113,可以采用依次连续电镀的方式。具体地,待电镀件20在移动进入阳极通道112内后,两个阳极件102会分别对待电镀件20的两面进行电镀,也就是说,即便两个阳极件102之间的距离足够大,在对待电镀件20进行双面电镀的情况下,阳极通道112一次仅能供一个待电镀件20通过,因此,多个待电镀件20需要依次间断进入电镀通道113内,在保证待电镀件20之间不相互影响的情况下,相邻两个待电镀件20进入电镀通道113内的间隔时间越小,则电镀效率越高。若同时设置多个电镀通道113,可以采用多个待电镀件20平行且连续的电镀的方式。具体地,可以通过阴极单元40同时安装多个待电镀件20,安装的多个待电镀件20相互平行并且数量与电镀通道113的数量相等,使得多个待电镀件20能同时进入电镀通道113内进行电镀,在该方式下,只需要使阴极单元40同时安装多组待电镀件20,位于同一阴极单元40的多个待电镀件20为一组,多组待电镀件20之间依次间断进入电镀通道113内,由于多个电镀通道113之间相互独立,设置多个电镀通道113时,对于单独的电镀通道113,待电镀件20进入的方式与仅设置一个电镀通道113时相同。多个待电镀件20平行安装的方式相较于单独安装,能够减少安装部件占用的空间,并且多个待电镀件20平行移动,便于进行管理及调节间隔时间。由此可知,在电镀槽30中设置多个电镀通道113,可以有效的提高垂直电镀设备的电镀效率。
[0151] 在一种可实现的实施方式中,参见图12、图17、图24,电镀槽30内水平设置有第一隔板301,并通过第一隔板301将电镀槽30内分成电镀子槽303和供液仓304,电镀子槽303位于供液仓304上方。其中,阳极组件10设置于电镀子槽303内,供液仓304内设置有供液组件80,并且通过供液组件80向电镀子槽303输送电镀液。具体地,通过水平设置第一隔板301,将电镀槽30分隔成上下两部分,位于下方的供液仓304能通过供液组件80对电镀子槽303中的阳极组件10精准供液。
[0152] 若垂直设置第一隔板301,将会缩小电镀子槽303在水平方向上的范围,由于待电镀件20需要通过驱动机构50推动其进行移动,故阳极组件10无法在垂直方向上以多层结构形式布设,因此,缩小电镀子槽303在水平方向上的范围,会减小阳极组件10的设置数量,从而使得阳极通道112的长度或个数发生改变,影响了电镀质量、降低了电镀效率,若要使阳极组件10的设置数量不改变,则需要扩大电镀槽30在水平方向上的空间,从而导致垂直电镀设备的体积及占用空间均增大,提高了垂直电镀设备的生产成本。
[0153] 另外,在第一隔板301为垂直设置的情况下,电镀槽30将被分隔成左右两部分,供液仓304和电镀子槽303采用水平方向相邻布局,供液仓304通过供液组件80对电镀子槽303输送电镀液时,电镀液仅能从电镀子槽303的水平方向进入,而过液通道1011开设于阳极底座101上,相当于限制了电镀液的输送方向,使电镀液需要从电镀子槽303的垂直方向进入,因此,当第一隔板301垂直设置时,供液仓304无法对电镀子槽303中的阳极组件10精准供液。
[0154] 在一种可实现的实施方式中,参见图12、图15、图16,供液组件80至少包括分流管801,分流管801一端与液体循环机构70连通,另一端穿过第一隔板301与电镀子槽303连通,以向电镀通道113内输送电镀液。其中,分流管801将与电镀通道113的数量相等,或与阳极组件10的数量相等。若分流管801将与电镀通道113的数量相等,分流管801与电镀通道113中任意一个阳极组件10的过液通道1011连通,并将电镀液输送至该阳极组件10的阳极通道
112内,电镀液经过液通道1011流出后,会先向引流口1071流动,当电镀液足量时,部分电镀液会向其余阳极通道112扩散,如此,一个电镀通道113可仅通过一个分流管801进行电镀液的输送。若分流管801与阳极组件10的数量相等,则分流管801与过液通道1011一一对应,分流管801将其从液体循环机构70中获取的电镀液输送至对应的阳极组件10中。电镀通道113仅通过一个分流管801进行供液的方式,在电镀槽30内具有多个电镀通道113时能够便于对分流管801进行控制,并且简化了管路结构,减小供液组件80的占用空间。电镀通道113通过多个分流管801同时进行供液的方式,能够同时对多个阳极组件10均匀供液。
[0155] 进一步地,参见图22,分流管801与液体循环机构70之间通过匀流组件连通,匀流组件包括供液管802和匀流管803,供液管802两端分别连通匀流管803和液体循环机构70,供液管802连接匀流管803长度方向的中部位置,等距向远离中心点的方向延伸。其中,分流管801一端设置于匀流管803上,并且与匀流管803连通,另一端与电镀通道113连通。具体地,当供液管802向匀流管803中输送电镀液时,电镀液从匀流管803的中部进入匀流管803中,先向匀流管803的两端进行扩散,由于匀流管803的端部呈封闭状态,电镀液在流至匀流管803端部后液面将会均匀上升,也就是说,在分流管801具有多个的情况下,电镀液会经匀流管803同时进入多个分流管801中。
[0156] 不同于上述通过匀流组件对分流管801进行供液的方式,在一种可实现的实施方式中,参见图23,分流管801与液体循环机构70之间通过供液管802连通,供液管802包括供液主管8021和供液支管8022,供液主管8021两端分别与液体循环机构70和供液支管8022连通,分流管801一端设置于供液支管8022上,并且与供液支管8022连通,另一端与电镀通道
113连通。如此,经液体循环机构70流出的电镀液将依次流经供液主管8021、供液支管8022、分流管801,直至流到电镀通道113内。在本实施例中,多个分流管801可以基于电镀通道113与供液支管8022之间的距离进行位置分布。具体地,以供液支管8022与供液主管8021的连通处为起始点,依次连接长度逐渐减小的分流管801,分流管801的长度和电镀通道113与供液支管8022之间的距离呈正相关,即电镀通道113与供液支管8022之间的距离越远,则需要越长的分流管801将其与供液支管8022连通。也就是说,经供液主管8021流入供液支管8022内的电镀液,会依次进入与其距离由近及远的分流管801中,这些分流管801的长度逐渐减小,以使得多个电镀通道113内流入电镀液的时间点差值较小。
[0157] 在一种可实现的实施方式中,参见图15、图16,供液组件80还包括喷流管806,喷流管806包括喷流总管804和喷流支管805,喷流总管804一端与液体循环机构70连通,另一端延伸至电镀通道113下方,并且与喷流支管805连接;喷流支管805两端向远离喷流总管804的方向延伸,直至喷流支管805与电镀通道113的长度相等,喷流支管805上设置有多个喷头,喷头与电镀子槽303连通。具体地,当具有多个电镀通道113时,喷流管806通过补液管与液体循环机构70连通,其中,补液管的作用及结构与上述供液管802相同,即利用补液管将液体循环机构70中的电镀液同时输送至多个喷流管806中。
[0158] 在本实施例中,一个喷流支管805对应一个电镀通道113,通过其上设置的多个喷头对电镀通道113进行供液。其中,喷头的数量与阳极组件10的数量相等,并且与阳极组件10的过液通道1011上下一一对应。为了使同一电镀通道113内的多个阳极组件10能均匀进液,喷流总管804连接喷流支管805长度方向的中部位置,以使得喷流支管805中的电镀液液面能均匀上升进入喷头内。
[0159] 进一步地,第一隔板301上设置有多个供液口,过液通道1011与至少一个供液口位置相对应。具体地,供液口的数量大于或等于过液通道1011的数量。当供液口的数量与过液通道1011的数量相等时,阳极底座101可根据供液口的位置进行安装,以确保安装后过液通道1011与供液口位置相对应。当供液口的数量大于过液通道1011的数量时,每个阳极底座101可以根据需要调整其安装位置,只需要保证过液通道1011与至少一个供液口位置相对应即可,或者每个阳极底座101的过液通道1011可以与一个以上的供液口位置相对应,以增加进入阳极通道112内的电镀液量。
[0160] 其中,位于同一电镀通道113下方的供液口、喷头的数量相等,并且位置上下对应,喷头穿过供液口与电镀通道113连通,以使得电镀液经喷流管806流至过液通道1011内。在一个过液通道1011下方供液口数量大于喷头的数量时,可选择将其封堵,若电镀子槽303与供液仓304之间通过供液口或其他开口连通,则会增加垂直电镀设备在电镀时的电镀液消耗量,而将供液口封堵则会增加封堵部件成本及人力成本,降低了电镀效率。
[0161] 在一种可实现的实施方式中,参见图11、图12、图25,液体循环机构70至少包括储液桶701、循环泵和循环管道702。具体地,循环管道702包括循环进液管7021和循环出液管7022,供液管802和喷流管806均与循环进液管7021连通;循环进液管7021一端与循环泵连接,另一端与电镀槽30(例如下文的储液槽305)连接,循环泵与储液桶701连接;电镀槽30内还设置有第二隔板302,通过水平设置第一隔板301和第二隔板302,将电镀槽30从上至下依次分隔为电镀子槽303、供液仓304和储液槽305,储液槽305位于供液仓304下方,且与供液仓304相互独立,循环出液管7022与储液槽305连通,循环出液管7022与储液桶701的进液口连接;电镀子槽303具有与储液槽305连通的循环槽306,循环槽306与供液仓304相互独立。
优选地,储液桶701具有过滤功能,能够过滤电镀液中的杂质。
[0162] 参见图12、图17、图24,通过水平设置第一隔板301和第二隔板302,将电镀槽30从上至下依次分隔为电镀子槽303、供液仓304和储液槽305,从而使得垂直电镀设备的内部结构紧凑、整体的占地空间减小,提高设备操作维护的便利性。另外,现有的电镀设备在对电镀液进行循环时,采用直接抽吸电镀子槽303内的电镀液,此方式容易出现因循环泵转速过快等原因导致的电镀子槽303内液量不足,然而在本申请中,利用循环泵对储液槽305内的电镀液进行抽吸,储液槽305内的电镀液为溢出电镀子槽303的电镀液,即溢出的电镀液为电镀子槽303中多余的电镀液,电镀子槽303内的剩余电镀液量仍能完成对待电镀件20的电镀,如此,利用储液槽305进行电镀液循环能够减小循环电镀液对电镀工作的影响。
[0163] 其中,参见图24,第一隔板301和第二隔板302两侧均与电镀槽30内壁连接,第一隔板301至少一端设置有循环隔板307,并且循环隔板307与电镀槽30内壁之间具有一定距离,循环隔板307底部向下延伸直至与第二隔板302的端部连接,从而形成循环槽306,即电镀子槽303内的液面超过循环隔板307的高度时,将会进入循环槽306内,并流至储液槽305中。
[0164] 在实际应用中,电镀液经循环进液管7021流入电镀子槽303内,当电镀槽30内的电镀液过量后,将会溢流至循环槽306内,并经循环槽306流至储液槽305中,储液槽305中的电镀液在循环泵的抽吸力下经循环出液管7022进入储液桶701内。如此,即可完成电镀液的一次循环。
[0165] 在本实施例中,电镀液可经分流管801和/或喷流管806进入电镀子槽303中,可以通过设置三通阀门或调节阀门94,实现对电镀液流向的控制。当设置三通阀门时,三通阀门的进水口与循环进液管7021连接,三通阀门的第一出水口与分流管801连接,第二出水口与喷流管806连接。由于分流管801是通过管道的方式将电镀液大量输送至电镀通道113内后再分配,在垂直电镀设备启动或运行过程中,电镀子槽303中需要大量补液时,可开启第一出水口,关闭第二出水口,使循环进液管7021与分流管801连通,电镀液经分流管801流入电镀通道113内,而喷流管806是通过多个喷头单独对阳极组件10进行补液,在电镀子槽303中的电镀液足量,处于平稳运行状态时,可开启第二出水口,关闭第一出水口,使循环进液管7021与喷流管806连通,电镀液经喷头流入对应的过液通道1011内。由于三通阀门只能使其两个出水口中的其中一个出水口呈开启状态,因此,为实现电镀液能同时通过分流管801和喷流管806流入电镀子槽303,还可以在分流管801和喷流管806上设置调节阀门94。具体地,循环进液管7021一端与储液桶701出液口连接,另一端设置有三通接头,三通接头的另外两个接口分别与分流管801和喷流管806连接,当电镀子槽303中的电镀液量充足时,可选择开启其中一个调节阀门94,使储液桶701中的电镀液经分流管801或喷流管806中流入电镀子槽303中,当电镀槽30中的电镀液量不足时,可选择将两个调节阀门94同时开启,以对电镀子槽303进行大量补液。其中,当分流管801和喷流管806同时对电镀槽30输送电镀液时,由于喷头直接对过液通道1011进行补液,分流管801与电镀子槽303其他部分连通,例如,阳极组件10的阳极底座101上具有多个安装槽1012时,一个阳极组件10中远离过液通道1011且未安装阳极件102的多个安装槽1012将形成电镀液流动区,两个相邻的阳极组件10所具有的电镀液流动区将会连通,此时,分流管801可以向电镀液流动区进行补液,从而增加电镀槽30中的电镀液量。
[0166] 在一种可实现的实施方式中,参见图25,电镀槽30内设置有液位传感器91,并且液位传感器91位于电镀子槽303内,以监测电镀子槽303内的电镀液量。具体地,垂直电镀设备还包括控制器90,液位传感器91和控制器90之间存在通信线路(有线或者无线通信线路),控制器90可以接收液位传感器91发送的信号,进而获取电镀子槽303内的实时液位。在垂直电镀设备使用前,可预先设置液位传感器91的液位阈值范围,以对电镀子槽303内的电镀液量进行控制。当电镀子槽303内的电镀液位未处于设定的液位阈值范围内时,液位传感器91可以经由上述通信线路反馈至控制器90,然后由控制器90以声光电的形式发出提醒。另外,控制器90还与循环泵、调节阀门94电连接,以使得控制器90能在电镀子槽303中的电镀液位未处于设定的液位阈值范围内时,控制循环泵的出口阀门开度,以及调节阀门94的开闭。
[0167] 举例说明,假设液位传感器91的液位阈值范围为H1,电镀子槽303的电镀液位为H2,当H2<H1时,则表明电镀子槽303内的电镀液量过少,出现该情况的原因可能是经供液组件80输送至电镀子槽303内的供液量过少,控制器90在接收到液位传感器91发出的液位低于液位阈值范围内的信号后,先确定此时两个调节阀门94的开闭状态,若两个调节阀门
94均为开启状态,则可以通过人工或自动化设备直接对电镀子槽303内增加电镀液,若仅有一个调节阀门94处于开启状态,则可以开启另一个调节阀门94,此时,经供液组件80输送至电镀子槽303内的电镀液量增加,并且经循环泵抽吸出电镀子槽303内的电镀液量减少,从而使得电镀子槽303内的液面呈稳定增长的状态。
[0168] 进一步地,参见图25,分流管801和喷流管806上均设置有流量传感器92,用于实时监测流向电镀子槽303内的电镀液流量。具体地,流量传感器92与控制器90电连接,控制器90可以接收流量传感器92发送的信号,进而获取分流管801和喷流管806内的实时流量。其中,在垂直电镀设备使用前,可预先设置流量传感器92的流量阈值范围,以实时监测经分流管801和喷流管806流至电镀子槽303内的电镀液量,控制器90能通过获取流量传感器92的信号,根据该信号控制调节阀门94的开度,以对分流管801和喷流管806中的电镀液流量进行控制。
[0169] 在一种可实现的实施方式中,储液桶701内盛放有电镀液原液。由于电镀子槽303内的电镀液在长时间使用后其中的阳离子浓度相较于原液会有所降低,将其回流至储液桶701内与原液进行混合并沉淀,能使得经储液桶701再次回到电镀子槽303内的电镀液中阳离子浓度会上升。为保证重新流入电镀子槽303内的电镀液中的阳离子浓度上升,运维人员需定期补充电镀液原液至储液桶701内。若经过液通道1011中流出至待电镀件20表面的电镀液未经过与原液混合,而是循环使用电镀子槽303中的电镀液,在一定时间后,到达待电镀件20表面的阳离子浓度可能会逐渐降低,以使得待电镀件20表面无法形成足够厚度的镀层。
[0170] 在一种可实现的实施方式中,参见图25,电镀槽30内设置有温度传感器93,温度传感器93位于电镀子槽303内。其中,温度传感器93与控制器90电连接,控制器90可以接收温度传感器93发送的信号,进而获取电镀子槽303的实时温度。在电镀生产过程中,电镀液会因加工时产生的热量或室温的变化导致其温度发生改变,然而当电镀液温度不满足工艺的要求时,会对生产出的电镀制品表面镀层的牢固度、均匀度、平整度及表面光洁度均有着较大影响。
[0171] 因此,在一种实现的实施方式中,垂直电镀设备中还包括温控组件100。具体地,温控组件100包括换热器1001、供液桶1002、温控泵和换热管道,供液桶1002的出液口与第一换热管道1003连接,并通过第一换热管道1003与换热器1001的第一进液口连通,换热器1001的第一出液口与第二换热管道1004连接,并通过第二换热管道1004与供液桶1002的进液口连通,以构成由第一换热管道1003、第二换热管道1004、供液桶1002和换热器1001组成的第一环路,换热液体在第一环路内流动;储液桶701的换热出口与第三换热管道1005连接,并通过第三换热管道1005与换热器1001的第二进液口连通,换热器1001的第二出液口与第四换热管道1006连接,并通过第四换热管道1006与储液桶701的换热进口连通,以构成由第三换热管道1005、第四换热管道1006、储液桶701和换热器1001组成的第二环路,电镀液在第二环路内流动。其中,温控泵具有两个,并且分别设置于第一环路和第二环路上,使得经供液桶1002流出的换热液体在第一环路内循环流动,电镀液在第二环路内循环流动。
循环中的电镀液通过换热器1001与换热液体交换热量,换热后的电镀液流至储液桶701内,再经循环进液管7021进入电镀子槽303,以完成对电镀子槽303内电镀液温度的调控。
[0172] 在实际应用中,上述方案采用板式换热器进行液体热量的交换。具体地,电镀液经第二环路进入板式换热器的流道内,换热液体经第一环路进入板式换热器的另一流道内,通过两个液体存在的温度差进行热量的传递,交换热量后的电镀液和换热液体再分别进入第二环路和第一环路内,以使得经板式换热器流入储液桶701内的电镀液温度低于经储液桶701流出的电镀液温度,或经板式换热器流入储液桶701内的电镀液温度高于经储液桶701流出的电镀液温度。
[0173] 在本实施例中,参见图25,第三换热管道1005上设置有电磁阀95,控制器90与电磁阀95、温控泵均电连接,并且根据获取的电镀子槽303实时温度,控制电磁阀95和温控泵的开闭,从而调节电镀子槽303内电镀液的温度。例如,假设电镀子槽303内电镀液预设温度范围为T2‑T1,当电镀产生的热量过高,或电镀车间内的温度过高时,温度传感器93获取的当前电镀液的实际温度为T3,并且T3大于工作温度范围中的最高值T1,为了使得电镀子槽303内电镀液的温度处于预设温度范围内,控制器90收到温度传感器93的信号后,控制电磁阀95和温控泵开启,使得储液桶701中的电镀液进入第二环路中,与换热液体交换热量,并重新回流至储液桶701中,为了对电镀子槽303内的电镀液进行降温,此时供液桶1002内盛放的液体为冷却液,如此,电镀液在与冷却液交换热量后,流入储液桶701中的电镀液温度将低于流出储液桶701中的电镀液温度,降温后的电镀液在持续输送至电镀子槽303内后,能将电镀子槽303内的电镀液温度降低至T4,并且T2<T4≤T1<T3,直至T2<T4<T1,控制器
90即可控制电磁阀95和温控泵关闭;相应地,当电镀车间内的温度过低时,温度传感器93获取的当前电镀液的实际温度为T5,并且T5小于工作温度范围中的最低值T2,为了使得电镀子槽303内电镀液的温度处于预设温度范围内,控制器90收到温度传感器93的信号后,控制电磁阀95和温控泵开启,使得储液桶701中的电镀液进入第二环路中,与换热液体交换热量,并重新回流至储液桶701中,为了对电镀子槽303内的电镀液进行升温,此时供液桶1002内盛放的液体为温度高于电镀液的热水,如此,电镀液在与热水交换热量后,流入储液桶
701中的电镀液温度将高于流出储液桶701中的电镀液温度,升温后的电镀液在持续输送至电镀子槽303内后,能将电镀子槽303内的电镀液温度提高至T6,并且T5<T2≤T6<T1,直至T2<T6<T1,控制器90即可控制电磁阀95和温控泵关闭。
[0174] 为了避免电镀过程中产生的杂质影响待电镀件20的电镀质量,在一种可实现的实施方式中,参见图11、图12、图15,垂直电镀设备还包括过滤器703,通过将过滤器703设置于电镀液循环回路上,以对循环使用的电镀液进行过滤。具体地,循环出液管7022与储液槽305连通一端设置有过滤器703,过滤器703位于储液槽305内,过滤器703上开设有多个过滤孔7031,电镀子槽303内的电镀液依次流经循环槽306、储液槽305、过滤器703及循环出液管
7022,进入储液桶701中。由于储液槽305独立设置,在电镀液不返流的情况下,杂质将被过滤并留存至储液槽305内,使得储液桶701输送至电镀子槽303内的电镀液不含杂质。
[0175] 进一步地,多个过滤孔7031均匀布设于过滤器703侧壁上。若将过滤孔7031设置于过滤器703上表面,在循环泵的抽吸力下,位于储液槽305表层的电镀液所受的阻力小,将会更快的流向过滤器703,由于从电镀子槽303中溢流的电镀液量有限,将导致储液槽305内的电镀液无法及时得到补充,以使得储液槽305在过滤孔7031的上方形成一个负压区,负压区将会带动其周围的电镀液加速流动,靠近储液槽305边缘的电镀液向负压区运动,并且旋转形成漩涡。因此,为避免出现上述现象,过滤器703将多个过滤孔7031均匀布设于其侧壁,从而使储液槽305内的电镀液能持续稳定流入循环出液管7022中。
[0176] 更进一步地,循环进液管7021上设置有过滤器703,以避免流入电镀子槽303内的电镀液中含有杂质,从而影响电镀效果。需要注意的是,为避免过滤器703在长期使用后,过滤孔7031被杂质堵塞,运维人员可定期将过滤器703拆下清洗或更换。
[0177] 在一种可实现的实施方式中,为了防止电镀槽30中的电镀液泄漏,循环进液管7021、分流管801和喷流管806与电镀槽30连接的部分均设置有密封圈,密封圈可以采用橡胶材质,利用其本身具有的弹性将管道与电镀槽30之间的缝隙封堵。
[0178] 在一种可实现的实施方式中,参见图12‑图14、图17‑图19、图27‑图31,阴极单元40包括导电组件401和安装组件402。具体地,安装组件402至少包括阴极支撑架4021和阴极连杆4025,待电镀件20安装于阴极支撑架4021内,阴极支撑架4021安装于阴极连杆4025上;导电组件401至少包括导电块4011,沿电镀槽30的长度设置有基板4013,导电条4012设置于基板4013上,导电条4012沿电镀槽30的长度方向延伸,导电块4011与阴极连杆4025端部连接(直接或者间接连接),并且导电块4011与导电条4012接触;其中,基板4013和安装组件402均为绝缘体,导电块4011、导电条4012和导电线均为导电体,待电镀件20通过导电线与导电块4011电连接,导电条4012与电源60负极电连接,当驱动机构50推动阴极单元40,阴极单元40沿电镀槽30长度移动时,导电块4011将其与导电条4012接触获取到的电流传输至待电镀件20。
[0179] 在本实施例中,参见图27‑图31,阴极支撑架4021包括支撑架体40211和承载架体40215,支撑架体40211与承载架体40215连接,承载架体40215具有承载槽40216,并且承载槽40216能供待电镀件20安装。其中,支撑架体40211具有第一支撑部40212和第二支撑部
40213,第一支撑部40212两端分别与两个第二支撑部40213连接,第二支撑部40213远离第一支撑部40212一端分别向两侧延伸,并且与承载架体40215连接。优选地,当两个第二支撑部40213远离彼此一端的距离大于承载架体40215的宽度时,第二支撑部40213内壁与承载架体40215的外壁连接;当两个第二支撑部40213远离彼此一端的距离等于承载架体40215的宽度时,第二支撑部40213的底部与承载架体40215的顶部连接;当两个第二支撑部40213远离彼此一端的距离小于承载架体40215的宽度时,第二支撑部40213的外壁与承载架体
40215的内壁连接。
[0180] 进一步地,阴极连杆4025上开设有供第一支撑部40212安装的连杆支撑槽。连杆支撑槽的数量小于等于电镀通道113的数量,并且相邻两个连杆支撑槽之间的距离与相邻两个电镀通道113中过液通道1011的距离相等,以使得多个待电镀件20能同时进入与其位置相对应的电镀通道113中,并移动经过阳极组件10的过液通道1011上方。为了保证支撑架体40211在移动过程中不会因惯性或其他原因导致其晃动,使得待电镀件20的镀层不均匀,第一支撑部40212和连杆支撑槽上均设置有螺纹孔,且两个螺纹孔均与同一个螺栓相匹配,以使得阴极支撑架4021与阴极连杆4025之间能实现螺纹连接。
[0181] 更进一步,参见图27‑图31,第一支撑部40212上还设置有支撑块40214,支撑块40214一端设置于第一支撑部40212上,另一端向承载架体40215的方向延伸,当第一支撑部
40212安装于连杆支撑槽内时,支撑块40214与阴极连杆4025接触。若支撑块40214仅设置有一个,为避免支撑架体40211在移动过程中因为惯性导致晃动,支撑块40214位于移动方向的同侧,例如,移动方向为右侧时,支撑块40214设置于第一支撑部40212的右侧,当阴极连杆4025向右移动时,阴极支撑架4021能通过支撑块40214限制其右侧的移动范围,从而减小支撑块40214的晃动概率及晃动幅度。若支撑块40214设置有两个,则两个支撑块40214之间的距离略大于或等于阴极连杆4025的宽度,以使得第一支撑部40212安装于连杆支撑槽内时,两个支撑块40214分别位于阴极连杆4025两侧,即两个支撑块40214之间的距离与阴极连杆4025的宽度相适配,使得阴极连杆4025能卡入两个支撑块40214之间,当阴极连杆4025移动时,阴极支撑架4021能通过支撑块40214限制其移动范围,从而减小支撑块40214的晃动概率及晃动幅度。
[0182] 需要注意的是,承载槽40216在预设的竖直平面上的正投影面积大于或等于待电镀件20在同一预设的竖直平面上的正投影面积,以使得待电镀件20能安装于承载槽40216中。当承载槽40216在预设的竖直平面上的正投影面积等于待电镀件20在同一预设的竖直平面上的正投影面积时,承载槽40216的内壁会磨损待电镀件20的外边缘,当承载槽40216在预设的竖直平面上的正投影面积大于待电镀件20在同一预设的竖直平面上的正投影面
积时,待电镀件20会因为安装不稳定导致掉落或位置偏移。
[0183] 为解决上述待电镀件20安装不稳定的问题,在一种可实现的实施方式中,参见图27‑图31,承载槽40216内设置有多个承载块40217,利用承载块40217缩小承载槽40216内壁与待电镀件20之间的距离,以对待电镀件20进行支撑。具体地,多个承载块40217沿承载槽
40216的内壁设置,以实现对待电镀件20多方向的支撑。进一步地,承载块40217上设有开口,使得待电镀件20的边缘安装于开口内时,能通过开口的侧壁限制待电镀件20的移动范围,避免待电镀件20在移动过程中发生大幅度晃动及掉落。更进一步地,开口可设置为宽度由上至下逐渐减小的结构,以在将待电镀件20安装于承载槽40216的过程中对其进行导向,并且能够减小待电镀件20与开口侧壁之间的间隙。需要注意的是,在保证待电镀件20能够稳定安装于承载槽40216时,承载块40217开口可采用任意形状,例如V型或X型等,本申请对此不作限制。
[0184] 不同于上述在承载块40217上设置开口的方式,在另一种可实现的实施方式中,承载槽40216内设置有多个承载块组,并且每个承载块组包括两个承载块40217,多个承载块组沿承载槽40216的内壁设置。具体地,两个承载块40217之间具有一定间隙,以形成供待电镀件20安装的承载区40218。其中,承载区40218的宽度大于待电镀件20的厚度,若两个承载块40217相互靠近一侧呈相反的倾斜状,则承载区40218呈V型结构,实现与上述V型开口具有相同的效果。
[0185] 在一种可实现的实施方式中,参见图27‑图31,阴极支撑架4021上设置有第五挡板4023和第六挡板4024,当待电镀件20安装于承载槽40216内时,第五挡板4023与待电镀件20的下边缘位置相对应,第六挡板4024与待电镀件20的上边缘位置相对应。具体地,第五挡板
4023和第六挡板4024设置于承载架体40215上,当对待电镀件20进行单面电镀时,可仅在承载架体40215的一侧设置第五挡板4023和第六挡板4024,使得第五挡板4023和第六挡板
4024对待电镀件20同一面的下边缘及上边缘进行遮挡。当对待电镀件20进行双面电镀时,承载架体40215的两侧均设置有第五挡板4023和第六挡板4024,分别位于承载架体40215两侧的两个第五挡板4023位置相对应,分别位于承载架体40215两侧的两个第六挡板4024位置相对应,以使得两个第五挡板4023能同时将待电镀件20两面的下边缘进行遮挡,两个第六挡板4024能同时将待电镀件20两面的上边缘进行遮挡。其中,第五挡板4023和第六挡板
4024均与承载架体40215可拆卸连接,在承载架体40215两面均设置有第六挡板4024时,由于第一支撑部40212位于承载槽40216正上方,使得待电镀件20无法从承载槽40216正上方放入,可拆卸其中一面的第六挡板4024,将待电镀件20从该缺口放入承载槽40216内。
[0186] 由于待电镀件20本身具有的边缘效应,电力线容易在待电镀件20的尖角、边缘上集中,以至于待电镀件20的尖角、边缘上电流密度比较大,当待电镀件20的下边缘和上边缘分别被第五挡板4023和第六挡板4024遮盖时,电镀液需先流向待电镀面的中心部分,再经中心部分向边缘部分扩散,以至于电力线延伸至待电镀件20边缘位置的路程大于电力线延伸至待电镀件20中心位置的路程。如此,可以使得电力线在待电镀面上的分布均匀,以此降低待电镀件20边缘效应带来的镀层不均匀的影响。电镀液经阳极件102流向待电镀件20时,能够通过第一挡板105和第二挡板107先弱化阳极件102的边缘效应,再通过第五挡板4023和第六挡板4024弱化待电镀件20的边缘效应。如此,能够使得分布在待电镀件20上的电力线均匀,从而达到待电镀件20镀层厚度均匀的目的。
[0187] 其中,待电镀件20的边缘区域可预先确定,在未设置第五挡板4023和第六挡板4024的情况下,直接对待电镀件20进行电镀,将完成电镀的待电镀件20平均划分为N个电镀区域,并测量各个电镀区域的电镀层厚度,从而反推待电镀件20的电力线分布情况,从而确定待电镀件20的上边缘和下边缘区域,平衡待电镀件20电力线的分布,进而有效地改善电镀的均匀性。
[0188] 在实际应用中,参见图21,待电镀件20上连接有导电线,导电线的另一端与导电块4011连接,从而将导电块4011获取的负极电流传输至待电镀件20。具体地,导电线的数量为至少一个,并且远离待电镀件20一端沿阴极连杆4025延伸至导电块4011上。进一步地,导电线可以为柔性材料或者硬质材料,柔性材料的导电线可采用铜箔胶带、金属箔胶带或其他具有良好导电性能的部件,本申请对此不作限制。
[0189] 更进一步地,承载架体40215上设置有安装杆,支撑架体40211上设置有导线夹爪,导线夹爪可以将导电线和安装杆共同安装。在阴极连杆4025移动时,导电线在气流的影响下容易产生晃动,利用导线夹爪将部分导电线的位置固定,能够降低导电线的晃动范围及晃动幅度,从而提高导电线的连接稳定性。
[0190] 在一种可实现的实施方式中,参见图12‑图14、图17‑图19、图27、图28,导电组件401还包括导电连杆4014,导电连杆4014一端与阴极连杆4025的端部连接,另一端向远离阴极连杆4025的方向延伸,导电块4011设置于导电连杆4014上。具体地,导电块4011通过导电固定座40111与导电连杆4014连接,为使得负极电流能稳定传输,当导电固定座40111与导电连杆4014连接后,应确保导电块4011与导电条4012处于接触状态。
[0191] 在一种可实现的实施方式中,参见图12‑图14、图17‑图19、图27、图28,导电组件401还包括导向滚轮4015,导向滚轮4015转动设置于滚轮安装座4016上,滚轮安装座4016与阴极连杆4025连接。基板4013上沿长度方向设置有滚轮移动槽,导向滚轮4015位于滚轮移动槽内,并且沿滚轮移动槽移动,通过设置滚轮移动槽和导向滚轮4015,减小导电连杆4014与基板4013之间的摩擦阻力,更便于阴极连杆4025的移动。在变形的实施方式中,导向滚轮
4015的数量为两个,两个导向滚轮4015设置于同一个转动轴上,转动轴与滚轮安装座4016转动连接,两个导向滚轮4015的中心轴均与转动轴相重合,并且两个导向滚轮4015之间具有一定距离,在此结构下,基板4013上具有导向突出部4017,导向突出部沿驱动机构50的运动方向延伸,导向突出部4017位于两个导向滚轮4015之间,以对阴极连杆4025移动进行导向。在变形的实施方式中,导向滚轮4015上开设有导向槽时,导向突出部4017卡入导向槽内,使得导向滚轮4015能沿导向突出部4017进行移动。进一步地,同轴的两个导向滚轮4015为一组,滚轮安装座4016两侧均设置有一组导向滚轮4015。更进一步地,阴极连杆4025两端均设置有导向滚轮4015。通过同时对阴极连杆4025两端进行导向,实现阴极连杆4025的稳定移动。
[0192] 在一种可实现的实施方式中,参见图9‑图12、图17、图20、图26、图27,驱动机构50至少包括驱动支架501、传动件502、驱动源503和推动件504。具体地,传动件502转动设置于驱动支架501上,推动件504与传动件502连接,驱动源503设置于驱动支架501上且与传动件502连接,以驱动传动件502带动推动件504循环转动;当推动件504转动至电镀槽30上方时,与阴极连杆4025接触,并且推动其沿电镀槽30的长度方向移动。推动件504循环转动,可以循环推动连续上料的多个阴极单元40,实现待电镀件20的连续生产,进而提升生产效率。其中,传动件502采用能实现转动的机械传动结构,例如皮带、链条等,传动件502以椭圆轨迹在驱动支架501上循环转动,驱动源503包括传动轮5031和电机5032,电机5032和传动轮
5031分别设置于驱动支架501两面,传动件502套设在传动轮5031上,电机5032的输出轴穿过驱动支架501与传动轮5031连接,以驱动传动轮5031带动传动件502转动。需要注意的是,传动件502和传动轮5031应当采用结构能够相互配的部件,例如,当传动件502采用皮带时,传动轮5031采用能与皮带相配合的皮带轮,当传动件502采用链条时,传动轮5031采用能与链条相配合的链轮
[0193] 在本实施例中,驱动支架501采用垂直设置的结构,设置于驱动支架501上的传动件502在垂直方向上做循环转动,传动件502在循环转动时具有两个水平移动区域,两个转动区域,在垂直方向转动的情况下,两个水平移动区域处于不同的高度,即传动位置分为第一高度和第二高度,第一高度与电镀槽30之间的距离为L1,第二高度与电镀槽30之间的距离为L2,并且L1<L2。当推动件504处于第一高度时,推动件504位于电镀槽30上方,并且远离传动件502一端能与阴极连杆4025接触,推动件504在传动件502的带动下向阴极连杆4025施加推力,使阴极连杆4025跟随推动件504移动,直到推动件504离开第一高度转向第二高度,当推动件504处于第二高度时,推动件504位于阴极连杆4025上方,推动件504远离传动件502的一端与阴极连杆4025脱离接触,此时,原处于第二高度的推动件504转动到第一高度与阴极连杆4025接触。如此,在传动件502的循环转动下,能使得其上连接的多个推动件504反复到达第一高度的位置,推动阴极连杆4025,从而实现对连续上料的多个阴极单元40依次驱动。推动件504和阴极连杆4025为接触连接,使得推动件504能够跟随传动件502循环转动。
[0194] 不同于上述驱动支架501垂直设置的结构,在一种可实现的实施方式中,驱动支架501采用水平设置的结构,设置于驱动支架501上的传动件502在水平方向上做循环转动,传动件502在循环转动时具有两个水平移动区域,两个转动区域,在水平方向转动的情况下,两个水平移动区域与电镀槽30之间具有不同的距离,即传动位置分为第一宽度和第二宽
度,第一宽度与电镀槽30之间的距离为L3,第二宽度与电镀槽30之间的距离为L4,并且L3<L4。当推动件504转动至处于第一宽度时,推动件504位于电镀槽30一侧,并且远离传动件
502一端能与阴极连杆4025接触,推动件504在传动件502的带动下向阴极连杆4025施加推力,使阴极连杆4025跟随推动件504移动,直到推动件504离开第一宽度转向第二宽度,当推动件504处于第二宽度时,推动件504位于第一宽度远离电镀槽30一侧,此时,原处于第二宽度的推动件504转动到第一宽度与阴极连杆4025接触。如此,在传动件502的循环转动下,能使得其上连接的多个推动件504反复循环至第一宽度的位置,推动阴极连杆4025,从而实现对阴极单元40的持续驱动。
[0195] 垂直设置驱动支架501的结构相较于水平设置驱动支架501的结构,能够减小垂直电镀设备的占地面积;而水平设置驱动支架501的结构相较于垂直设置驱动支架501的结构,能够提高传动件502转动时的稳定性。
[0196] 在一种可实现的实施方式中,参见图12‑图14、图17‑图19、图27、图28,推动件504包括推动基座5041和推动杆5043,推动基座5041与传动件502连接,推动杆5043一端设置于推动基座5041上,另一端向远离推动基座5041的方向延伸,为了使阴极连杆4025能够平稳移动,远离推动基座5041的一端可延伸至阴极连杆4025的中部,从而使得阴极连杆4025的受力平衡。其中,推动杆5043与推动基座5041之间可采用竖直方向上的转动连接,以在传动件502位置固定的情况下,通过调节推动杆5043的高度,使其能与多类型阴极单元40进行配合。在实际应用中,需要预先对推动杆5043的转动幅度进行限定,若推动杆5043的转动幅度过大,将会导致不同高度的推动杆5043之间相互干扰,以及影响阴极连杆4025的移动,因此,优选地,推动杆5042的转动角度小于30°。
[0197] 进一步地,推动杆5043上设置有推动板5044,利用推动板5044增大推动件504与阴极连杆4025之间的接触面积,从而增加了推动件504的施力面积,使阴极连杆4025能够平稳移动。更进一步地,为了保证推动板5044与阴极连杆4025的接触位置精准、不偏移,推动板5044和阴极连杆4025上可以设置能够相互配合的磁吸结构或粘接结构。例如,若推动板
5044和阴极连杆4025上分别设置有第一磁吸件和第二磁吸件,第一磁吸件和第二磁吸件的磁性相反,当推动板5044与阴极连杆4025接触时,两者之间能够通过第一磁吸件和第二磁吸件配合磁性连接,以提高移动过程中的稳定性,当推动板5044转动至远离阴极连杆4025时,第一磁吸件和第二磁吸件之间因为距离过大导致分离,推动板5044重新转动至电镀槽
30的另一端,与未电镀的阴极单元40接触。
[0198] 在一种可实现的实施方式中,参见图12‑图14、图17‑图19、图27、图28,驱动支架501上还设置有滑轨5011,滑轨5011为椭圆轨道,并位于传动件502的外侧,由于传动件502以椭圆轨迹转动,即以滑轨5011为圆周的椭圆区域在预设的竖直平面上的正投影面积大于以传动件502为圆周的椭圆区域在同一预设的竖直平面上的正投影面积。推动基座5041上设置有多个推动滚轮5042,并且多个推动滚轮5042均与滑轨5011接触。当驱动源503驱动传动件502转动时,传动件502带动推动基座5041在驱动支架501上做循环转动,推动基座5041在转动时将会带动推动滚轮5042做循环运动,由于推动滚轮5042与滑轨5011接触即推动基座5041沿传动件502做椭圆轨迹转动,推动滚轮5042沿滑轨5011的椭圆轨道做椭圆轨迹转动。其中,推动滚轮5042可以沿滑轨5011的内圆周转动,也可以沿滑轨5011的外圆周转动。
[0199] 需要注意的是,当垂直电镀设备中包括驱动机构50时,垂直电镀设备采用动态电镀的方式对待电镀件20进行电镀,当垂直电镀设备采用静态电镀的方式对待电镀件20进行电镀时,垂直电镀设备中可以仅采用固定支架安装待电镀件20,无需设置驱动机构50和阴极单元40,以使得待电镀件20能够静止置于电镀槽30内进行电镀。
[0200] 本申请实施例中提供的垂直电镀设备,利用驱动机构50推动阴极单元40在阳极组件10中经过,以实现对待电镀件20的垂直连续电镀,待电镀件20在两面对应不同距离阳极件102的情况下,能够在不同待电镀面上形成不同的电镀效果;另外,垂直电镀设备中将电镀槽30内从上至下依次分隔为电镀子槽303、供液仓304和储液槽305,从而使得垂直电镀设备的内部结构紧凑、整体的占地空间减小,提高设备操作维护的便利性。
[0201] 以上仅为本申请的较佳实施例,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
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