[0001] 本发明涉及从包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣并使该沉渣干燥的装置。

[0002] 以往，从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行加工而产生的包含加工屑的加工废液中使加工屑沉淀、或者使阳极板和阴极板着水在加工废液中并附加电荷而使加工屑吸附在阳极板上，从而回收含有大量水分的加工屑(沉渣)，对去除了沉渣的加工废液进行再利用(例如参照专利文献1)。另外，例如如专利文献2所公开的那样，为了利用所回收的沉渣而使沉渣干燥。

[0003] 专利文献1：日本特开2013-119050号公报

[0004] 专利文献2：日本特开2016-049506号公报

[0005] 但是，在专利文献2所公开的沉渣回收装置中，在沉渣的干燥中使用了加热器，因此若需要进行维护，则需要作业者等待至使沉渣干燥的装置部位冷却为止。另外，需要用于使加热器发热的电力。另外，沉渣是较细的粉，因此会在干燥室内飞舞而将干燥室内污染、或会因热溶化而附着于使沉渣干燥并进行搬送的搬送带从而将该搬送带污染。

[0006] 由此，本发明的目的在于提供沉渣干燥装置，不使用加热器而使沉渣干燥，并且不污染干燥室内而将变细的沉渣回收。

[0007] 根据本发明，提供沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，该沉渣干燥装置具有：废液槽，其储存废液；取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收单元；以及干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，该干燥单元包含：干燥箱，其至少包围该搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；投入口，其配设在该干燥箱的一端侧，将该沉渣投下至该搬送带；所述回收单元，其配设在该干燥箱的另一端侧，具有排气口；以及返回入口，其用于使通过配设在该干燥箱的外部的鼓风机进行动作而经由该排气口从该干燥箱内吸入的空气从该干燥箱的一端侧返回至该干燥箱中从而使空气循环，所述回收单元包含：该排气口；辊刷，其与该排气口相邻，在与该搬送带的延伸方向交叉的方向上延伸；旋转单元，其使毛尖接触着该搬送带的该辊刷旋转；回收箱，其对利用该辊刷而从该搬送带分离的干燥的该沉渣进行回收；第1连通路，其将该排气口和该回收箱连通；以及第2连通路，其将该回收箱和该鼓风机连通。

[0008] 优选所述干燥单元还包含：吸气口，其配设在所述干燥箱的一端侧，吸入外部气体；以及分割部，其将利用所述鼓风机经由所述排气口从所述回收箱排出的空气的流量分割成两部分。

[0009] 根据本发明，在干燥箱内干燥的沉渣不会长时间飞舞，能够不污染干燥箱内。另外，不使用加热器而使沉渣干燥，因此能够抑制沉渣干燥装置的耗电量，能够使熔点低的沉渣在不因加热器的热而在搬送带上熔化的条件下进行干燥，并且在进行搬送带的更换、干燥箱内的清扫时，不产生作业者等待至加热器冷却为止的时间。

[0010] 另外，在干燥箱的一端侧具有吸入外部气体的吸气口，具有将利用鼓风机经由排气口从回收箱排出的排气的流量分割成两部分的分割部，从而例如使分割部所分割的排气从返回入口返回至干燥箱，从而能够将搬送带所搬送的沉渣高效率地干燥。在使沉渣干燥时，在干燥箱内，由于空气与沉渣的接触而产生氢，但与加热器干燥的情况不同，所产生的氢不会积存在干燥箱内，即能够抑制干燥箱内的氢的浓度，因此能够防止氢爆炸。另外，例如也能够通过分割部而减少流入至工厂设备的排气装置侧的排气的量，因此也能够降低工厂设备的排气装置的负担。附图说明

[0011] 图1是示出磨削装置和沉渣干燥装置的构造的一例的剖视图。

[0012] 图2是示出收纳有阳极板和阴极板的废液槽以及插拔单元的一例的立体图。

[0013] 图3是将废液槽内的阳极板和阴极板的配置放大而示出的剖视图。

[0014] 图4是对从附着了含有水分的沉渣且被取出单元取出的阳极板上使含有水分的沉渣落下至干燥箱内的状态进行说明的剖视图。

[0015] 图5是对一边利用辊刷使干燥的较细的沉渣从搬送带分离一边利用鼓风机的吸引力进行吸引而回收至回收箱的状态进行说明的剖视图。

[0016] 标号说明

[0017] S：被加工物；P：沉渣(被加工物的粉)；4：磨削装置；49：基台；49a：开口；40：磨削单元；400：旋转轴；404：磨削磨轮；404b：磨具；41：保持工作台；41a：保持面；42：工作台支承台；48：水箱；484：桶部；486：排液口；485a：供液管；12：容器；121：送出泵；1：沉渣干燥装置；2：废液槽；3：取出单元；30：阴极板；33a：壳体；33b：排出部；31：阳极板；310：被卡合部；
310a：被卡合孔；32：插拔单元；320：保持部；34：Y轴方向移动单元；36：剥取单元；360：一对开闭气缸；362：一对剥取板；51：搬送带；540：电动机；55：厚度调整单元；6：干燥单元；60：干燥箱；600：通气路；601：底板；603：顶板；603a：凸部；604：投入口；604b：引导板；606：投入口；69：脚部；7：回收单元；70a：第一排气口；70b：第二排气口；71：第1连通路；72：第2连通路；740：外侧壁；741：内侧壁；73：回收箱；732a：沉渣导入口；735：回收袋；736：网格板；77：
辊刷；78：旋转单元；780：电动机；19：带脚轮的台车；90：鼓风机；93：分割部；941：排气管；
942：导入管。

[0018] 图1所示的本发明的沉渣干燥装置1是在磨削装置4中从一边提供加工水一边利用磨具404b对固体的被加工物S进行磨削而排出的包含被加工物S的粉P在内的废液L中回收含有大量水分的被加工物S的粉P、即含有大量水分的沉渣P并使该沉渣P干燥的装置。沉渣干燥装置1可以组装至磨削装置4内，也可以与磨削装置4分体。

[0019] 另外，沉渣干燥装置1也可以从利用旋转的切削刀具对固体的硅晶片等进行切削加工的切削装置所产生的废液中回收沉渣P并使其干燥。

[0020] 图1所示的磨削装置4至少具有：保持工作台41，其对固体的被加工物S进行保持；以及磨削单元40，其利用旋转的磨具404b对被加工物S进行磨削。在本实施方式中，固体的被加工物S是硅晶片，但也可以是圆柱状的硅锭等。

[0021] 配设在磨削装置4的基台49上的保持工作台41例如具有保持面41a，该保持面41a由多孔部件等构成，与未图示的吸引源连通。保持工作台41能够绕Z轴方向的轴心旋转，并且通过工作台支承台42进行支承。配设在基台49的形成于上表面的开口49a内的工作台支承台42能够通过由电动机和滚珠丝杠机构等构成的未图示的X轴移动单元在X轴方向(纸面前后方向)上往复移动。

[0022] 在保持工作台41的移动路径两侧配设有箱状的水箱48。水箱48图示在图1的工作台支承台42的左右两处的位置，形成于图1中纸面前后方向上，形成为俯视矩形的箱状，具有一体的桶部484。即，水箱48为了能够供保持工作台41在X轴方向上往复移动，在箱状的部件的底板480的中央部设置有矩形状的开口部481，水箱48包含由底板480、内侧壁482和外侧壁483构成的接住加工水的桶部484以及形成在底板480的排液口485。在排液口485上连接有延伸至水箱48的外部的供液管485a的一端。水箱48接住利用磨具404b对被加工物S进行磨削而排出的包含被加工物S的粉P并且从保持工作台41流下的加工水(废液L)，输送至图1所示的容器12中。

[0023] 图1所示的磨削单元40具有：旋转轴400，其轴向是与保持工作台41的保持面41a垂直的Z轴方向；电动机402，其使旋转轴400旋转驱动；安装座403，其安装于旋转轴400的下端；以及磨削磨轮404，其以能够装卸的方式与安装座403连接。磨削磨轮404具有：圆环状的磨轮基台404a；以及磨具404b，其具有大致长方体形状的外形，在磨轮基台404a的下表面呈环状配设有多个。磨具404b是利用适当的结合剂粘固金刚石磨粒等而成型的。

[0024] 并且，磨削单元40能够沿Z轴方向(铅垂方向)上下移动。

[0025] 例如在旋转轴400内部沿旋转轴400的轴向(Z轴方向)贯通而设置有与加工水提供源连通的作为加工水的通道的未图示的流路，该流路以能够在磨轮基台404a的底面上朝向磨具404b喷出加工水的方式开口。另外，可以在与下降至对被加工物S进行磨削的位置的状态的磨削单元40的磨削磨轮404相邻的位置配设有加工水喷嘴，从该加工水喷嘴向磨具404b与被加工物S的接触部位直接提供加工水。

[0026] 如图1所示，沉渣干燥装置1至少具有：废液槽2，其储存废液L；取出单元3，其从废液槽2中取出含有大量水分的沉渣P；搬送带51，其载置被取出单元3取出的沉渣P而将沉渣P搬送至回收单元7；以及干燥单元6，其使搬送带51所搬送的沉渣P干燥。

[0027] 在比图1所示的水箱48的排液口485低的位置例如配设有对废液L进行收纳的容器12，该容器12具有与供液管485a的另一端连接的提供口120。容器12具有送出泵121，该送出泵121从容器12内把包含被加工物W的粉P在内的废液L汲上来而送出至废液槽2，送出泵121经由送出管121a而朝向废液槽2的流入口20送出该废液L。

[0028] 大致长方体的箱状的废液槽2例如由合成树脂等绝缘部件形成，包含俯视矩形的底板21以及从底板21的外周一体地向+Z方向立起的四个侧壁，能够在由底板21和各侧壁包围的空间内存储包含被加工物W的粉P在内的废液L。在图1、图2中，将在X轴方向上对置的两个侧壁作为侧壁22a，将在Y轴方向上对置的两个侧壁作为侧壁22b。在废液槽2的上部设置有防止废液L溢出的未图示的溢流管。溢流管与容器12连通，将欲从废液槽2溢出的废液L再次导入至容器12。

[0029] 取出单元3从废液槽2内的废液L中取出含有水分的沉渣P，该取出单元3例如具有：阴极板30(在图2中未图示)，其配设在废液槽2中，带有负电；阳极板31，其与阴极板30面对，能够相对于废液槽2进行插拔，带有正电，吸附含有水分的沉渣P；插拔单元32，其使对阳极板31进行保持的保持部320在上下方向上移动而将阳极板31从废液槽2拔出或者插入至废液槽2；以及剥取单元36，其夹着利用插拔单元32从废液槽2拔出的阳极板31而剥取所附着的沉渣P。

[0030] 阳极板31由电化学上贵重的材料构成，平面形状形成为矩形状的平板状。例如阳极板31可以由铜、银、铂或金等材料构成。在本实施方式中，应用SUS作为阳极板31。

[0031] 例如在废液槽2的在X轴方向上对置的两个侧壁22a的内侧面上形成有未图示的多个支承槽，阳极板31按照在X轴方向上隔开规定间隔而插嵌在该支承槽的状态配设在废液槽2内。即，多个阳极板31按照其表面与废液槽2的长度方向(Y轴方向)垂直的状态、换言之与废液槽2的宽度方向(X轴方向)平行的状态相互隔开间隔而配置。在阳极板31的上端面上例如设置有从宽度方向(X轴方向)的中央部起相互隔开间隔而向上方突出的两个被卡合部310。被卡合部310形成为矩形状的板状，在中央设置有在X轴方向上贯通的被卡合孔310a。
插拔单元32的保持部320的卡合销320a进入被卡合孔310a而进行卡合。

[0032] 阴极板30设置在相互相邻的阳极板31之间。即，阴极板30与阳极板31在Y轴方向上对置，与阳极板31分开而交替配设有多个，成为与阳极板31平行的状态。

[0033] 阴极板30例如如图1所示，通过侧视呈矩形状的壳体33a进行支承，在壳体33a形成有排出部33b。排出部33b例如是将流入到壳体33a内的已去除了沉渣P的净水供应至未图示的净水储水容器的配管。并且，阴极板30按照封住壳体33a的两侧开口面的方式相互隔开间隔而配设成平行。

[0034] 阴极板30与阳极板31同样地，由电化学上贵重的材料构成，平面形状形成为矩形的平板状。例如阴极板30可以由铜、银、铂或金等材料构成。在本实施方式中，应用SUS作为阴极板30。阴极板30形成为具有网眼的板状，不具有利用网眼钩挂沉渣P的功能，通过带负电而对沉渣P产生排斥力。即，阴极板30通过带负电，仅允许作为废液L的液体的净水通过，在与带负电的沉渣P之间则产生排斥力，限制沉渣P的通过。由此，壳体33a和阴极板30在内侧形成供通过了阴极板30的净水存在的区域，阴极板30与沉渣P之间产生排斥力，从而从废液槽2内的废液L中划分出供净水存在的区域。另外，阴极板30的形状等并不限于本实施方式。

[0035] 在各阴极板30和各阳极板31的下端与废液槽2的底板21之间设置有规定宽度的间隙，流入至废液槽2的废液L通过该间隙而在阴极板30与阳极板31之间上升。

[0036] 在本实施方式中，在阳极板31与阴极板30之间施加直流电压(参照图3)。即，直流电源DC的正极(+)侧与阳极板31电连接而使阳极板31在废液L中带正电。阳极板31在废液L中带正电而用于吸附在废液L中带负电的沉渣P。另一方面，直流电源DC的负极(-)侧与阴极板30电连接而使阴极板30在废液L中带负电。其结果是，在阳极板31与阴极板30之间形成电场。并且，混入至废液L且带负(-)电的沉渣P通过电泳而被带负(-)电的阴极板30排斥，吸附在带正(+)电的阳极板31上。

[0037] 插拔单元32对图1、图2所示的阳极板31的上部进行保持而将阳极板31从废液槽2中拔出或者插入至废液槽2，该插拔单元32能够通过Y轴方向移动单元34在废液槽2的上方水平地沿Y轴方向往复移动。在图2中详细示出的Y轴方向移动单元34具有：水平滚珠丝杠340，其与废液槽2的长度方向(Y轴方向)平行地设置；电动机343，其使水平滚珠丝杠340旋转驱动；一对水平移动用的导轨341，它们沿Y轴方向延伸；以及可动部件342，其内部的螺母与水平滚珠丝杠340螺合，可动部件342的两端下表面与导轨341滑动接触。并且，构成为通过电动机343的驱动而使水平滚珠丝杠340转动，从而固定于可动部件342的插拔单元32被导轨341引导而在Y轴方向上移动。水平滚珠丝杠340和导轨341具有从废液槽2的上方至干燥单元6的上方的长度，通过使插拔单元32在Y轴方向上移动，能够使插拔单元32的保持部
320所保持的阳极板31从废液槽2移动至干燥单元6的上方。

[0038] 插拔单元32具有：铅垂板329，其上端固定于可动部件342；铅垂滚珠丝杠321，其与废液槽2的深度方向(Z轴方向)平行地设置于铅垂板329的侧面上；电动机323，其使铅垂滚珠丝杠321旋转驱动；一对导轨322，它们沿Z轴方向延伸；以及保持部320，其内部的螺母与铅垂滚珠丝杠321螺合，保持部320的侧面与导轨322滑动接触。并且，构成为通过电动机的驱动而使铅垂滚珠丝杠321转动，从而保持部320被导轨322引导而在Z轴方向上移动。

[0039] 插拔单元32的对阳极板31进行保持的保持部320例如具有：板状部件320d，其内部的螺母与铅垂滚珠丝杠321螺合，沿阳极板31的宽度方向延伸；以及一对卡盘气缸320c，其配设在板状部件320d的下表面上。一对卡盘气缸320c在废液槽2的宽度方向(X轴方向)上相互隔开间隔而配设。一对卡盘气缸320c具有：气缸主体320b，其安装于板状部件320d；以及卡合销320a，其设置成从气缸主体320b沿废液槽2的宽度方向(X轴方向)伸缩自如。一对卡盘气缸320c中，例如从气缸主体320b突出的卡合销320a成为在X轴方向上相互靠近的状态。当各卡合销320a在下降的保持部320定位于阳极板31的上方的状态下从气缸主体320b突出时，分别插嵌至阳极板31的各被卡合部310的被卡合孔310a中。由此，成为插拔单元32的保持部320对阳极板31进行保持的状态。

[0040] 剥取单元36对利用插拔单元32从废液槽2中拔出的阳极板31进行夹持而剥取所附着的沉渣P，该剥取单元36在图1中简化示出，在图4中详细示出。剥取单元36配设在投入口604的上方附近，该投入口604设置在干燥单元6的干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)。剥取单元
36具有：一对开闭气缸360(电动气缸或空气气缸)；对一对开闭气缸360进行支承的一对支承板部361；以及通过一对开闭气缸360在Y轴方向上移动的一对剥取板362。

[0041] 一对开闭气缸360具有：筒状的缸筒360a，其在内部具有未图示的活塞；以及活塞杆360b，其插入至缸筒360a，外侧端安装于活塞。剥取板362固定于活塞杆360b的内侧端，剥取板362例如按照比阳极板31的宽度(X轴方向长度)略长的长度沿X轴方向延伸。

[0042] 作为这样的结构的剥取单元36能够利用剥取板362夹持阳极板31的表面。在夹持着阳极板31的表面的状态下，将插拔单元32的对阳极板31进行保持的保持部320例如向上方提起，从而剥取板362能够将吸附在阳极板31的含有水分的沉渣P剥取。

[0043] 例如在与废液槽2相邻的位置配设有图4所示的从搬送带51所搬送的沉渣P中去除水分的干燥单元6，搬送带51载置被取出单元3取出的含有水分的沉渣P而将沉渣P搬送至回收单元7，该搬送带51配设成在构成干燥单元6的干燥箱60内沿Y轴方向延伸。

[0044] 干燥单元6具有：干燥箱60，其至少包围搬送带51的上表面而沿搬送带51的延伸方向(Y轴方向)延伸；投入口604，其配设在干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)，将沉渣P投下至搬送带51；回收单元7，其具有排气口70，该回收单元7配设在干燥箱60的另一端侧(+Y方向侧)；以及返回入口606，其用于使通过配设于干燥箱60的外部的鼓风机90进行动作而经由排气口70从干燥箱60内吸引的空气从干燥箱60的一端侧返回至干燥箱60中从而使空气循环。

[0045] 干燥箱60例如具有俯视大致长方体状的外形，干燥箱60包含：矩形的底板601；四个侧壁，它们从底板601的外周一体地向+Z方向立起；以及顶板603，其与侧壁的上端连结，与搬送带51的上表面面对。在图4中，将在X轴方向上对置的两个侧壁(仅图示纸面里侧)作为侧壁602a，将在Y轴方向上对置的两个侧壁作为侧壁602b、602c。干燥箱60的内部的搬送带51上方成为使气体在沉渣P的搬送方向上流通的通气路600。

[0046] 在顶板603的一端侧(-Y方向侧)沿厚度方向贯通形成有将沉渣P投下至搬送带51的投入口604。如图4所示，在投入口604的上方配设有能够通过铰链进行开闭的盖604a。例如在投入口604的下方配设有引导板604b，该引导板604b相对于搬送带51倾斜，以便将被剥取而落下的含有水分的沉渣P引导至搬送带51上。在本实施方式中，投入口604还作为在干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)对外部气体进行吸气的吸气口发挥作用。

[0047] 例如可以在顶板603的下表面上形成有多个凸部603a。凸部603a如图4所示那样具有半球体状的外形，但不限于此，也可以具有圆柱状、棱柱状的外形。凸部603a例如在顶板603的下表面上沿X轴方向和Y轴方向隔开规定的等间隔而配设有多个，但也可以在顶板603的下表面上无规地配设有多个。另外，在凸部603a为圆柱状或棱柱状的外形的情况下，可以在X轴方向上延伸而在Y轴方向上隔开规定的等间隔而配设有多个。

[0048] 在干燥箱60内的通气路600上沿搬送方向流动的气体与干燥箱60的顶板603的下表面的凸部603a碰撞而成为湍流。即，在搬送带51上产生不规则的气体的旋涡，并且气体在搬送方向上流动。其结果是，对搬送带51的上表面的含有大量水分的沉渣P喷送湍流，从而更容易蒸发沉渣P的水分。另外，凸部603a也可以不形成于顶板603的下表面。

[0049] 搬送带51例如能够通过固定于侧壁602a的电动机540进行转动。在电动机540的轴上安装有驱动辊541，环状的搬送带51卷绕于驱动辊541。在侧壁602a的内侧面上，在向+Y方向远离电动机540规定距离的位置安装有从动辊542，搬送带51也卷绕于该从动辊542。电动机540对驱动辊541进行旋转驱动，从而搬送带51随着驱动辊541和从动辊542的旋转而转动。

[0050] 在干燥箱60内例如配设有厚度调整单元55，该厚度调整单元55将载置于搬送带51上的含有水分的沉渣P在搬送带51上拉长成规定的厚度。本实施方式中的厚度调整单元55例如是一对夹持辊，该一对夹持辊配设成在搬送带51的投下沉渣P的位置的附近从上下方向夹持搬送带51，通过从搬送带51受到的摩擦力而进行旋转。厚度调整单元55的该一对夹持辊的X轴方向的各两端例如固定于各侧壁602a。厚度调整单元55的该一对夹持辊例如按照搬送带51的宽度以上的长度沿X轴方向延伸。另外，厚度调整单元55也可以是刮板等。

[0051] 回收单元7至少具有：排气口70；辊刷77，其与排气口70相邻，沿与搬送带51的延伸方向(Y轴方向)交叉的方向(X轴方向)延伸；旋转单元78，其使毛尖接触着搬送带51的辊刷77旋转；回收箱73，其对利用辊刷77而从搬送带51分离的干燥的沉渣P进行回收；第1连通路
71，其将排气口70和回收箱73连通；以及第2连通路72，其将回收箱73和鼓风机90连通。

[0052] 在本实施方式中，干燥箱60的另一端侧(+Y方向侧)的侧壁602c的上端侧向-Y方向侧大致水平地延伸。

[0053] 在本实施方式中，回收单元7例如具有：外侧壁740，其呈剖面曲线状在干燥箱60的侧壁602c上方弯曲，与干燥箱60的顶板603和在X轴方向上对置的两个侧壁602a连结；以及内侧壁741，其与两个侧壁602a连结，并且位于外侧壁740的下方，其下表面的一部分与干燥箱60的侧壁602c的上端面对置。

[0054] 内侧壁741按照制作沿X轴方向延伸的大致半圆柱状的空洞741b的方式进行切口，在该切口部分收纳有辊刷77。另外，图4所示的内侧壁741的下表面与干燥箱60的侧壁602c的上端面之间的间隙成为构成排气口70的第二排气口70b。

[0055] 外侧壁740的上部的曲线状的下表面与内侧壁741的上表面之间的间隙成为构成排气口70的第一排气口70a。第一排气口70a的口径例如设定得比第二排气口70b的口径大。并且，如图4所示，第一排气口70a和第二排气口70b能够通过形成于干燥箱60的侧壁602c的外侧面与外侧壁740的内侧面之间的第1连通路71而与回收箱73连通。另外，排气口70也可以仅由第二排气口70b构成。第1连通路71的下端侧例如在干燥箱60的底板601的旁边开口。

[0056] 另外，如下发挥作用：第一排气口70a对在搬送带51上干燥的较大的沉渣P进行吸引，第二排气口70b对利用辊刷77剥取的粘固于搬送带51的沉渣P进行吸引。

[0057] 在本实施方式中，如图4所示，在干燥箱60的底板601下表面配设有起重器基座等多个脚部69，干燥箱60按照底板601与地板之间隔开规定的空间的方式配置在配置有磨削装置4或沉渣干燥装置1的洁净室等加工室的地板上。并且，在该规定的空间内配置有回收箱73。

[0058] 回收箱73例如具有大致长方体状的外形，回收箱73包含：底板730；侧壁731，其从底板730的外周一体地向+Z方向立起；以及顶板732，其与各侧壁731的上端连结，能够在由底板730、侧壁731以及顶板732包围的空间内收纳干燥的沉渣P。在顶板732贯通形成有沉渣导入口732a。

[0059] 在本实施方式中，在回收箱73内部例如配设有：能够更换的回收袋735，其与沉渣P直接接触，防止沉渣P粘固于回收箱73的内侧面等；以及网格板736，其用于设置用于使空气在回收袋735与回收箱73的内侧面等之间通过的间隙。

[0060] 位于回收袋735的外侧的网格板736例如是金属丝网、或者在金属板或树脂板上冲压出多个细孔的冲孔板，在与回收箱73的底板730和侧壁731之间设置间隙而在回收箱73的内部形成箱。

[0061] 回收袋735收纳于网格板736的内侧且能够进行更换，该回收袋735由能够对干燥的沉渣P进行回收并且能够通过空气的干式或湿式的无纺布等构成，储存从沉渣导入口732a导入的沉渣P。

[0062] 回收箱73例如如图4所示，可以在载置于带脚轮的台车19的状态下配设成能够在干燥箱60的下方移动。例如作业者通过将带脚轮的台车19推动或拉动到形成于加工室的地板面的表示台车设置部位的标记处而进行定位，能够使回收箱73的沉渣导入口732a与第1连通路71的下端侧连通。

[0063] 例如在第1连通路71的下端侧的周围可以配设有连通部件713，该连通部件713用于连通回收箱73的沉渣导入口732a和第1连通路71的下端侧而不产生沉渣P的泄漏。连通部件713例如固定于底板601的下表面上，是具有能够与沉渣导入口732a连结的接头等的波纹筒或排水软管等。

[0064] 辊刷77例如其外形是大致圆柱状，例如是使尼龙等具有弹力性的树脂纤维等形成为直毛状并使其密集而成的，树脂纤维的毛尖从刷轴77a朝向外侧而植设于刷轴77a的外周面上。

[0065] 使辊刷77旋转的图4中放大而示出的旋转单元78例如是具有电动机780的带轮机构，该电动机780作为使辊刷77以刷轴77a为轴而旋转的驱动源。在电动机780上安装有主动带轮781，环形带782卷绕于主动带轮781。在刷轴77a上安装有从动带轮783，环形带782也卷绕于该从动带轮783。通过电动机780使主动带轮781旋转驱动，从而随着主动带轮781的旋转，环形带782进行转动，通过环形带782进行转动，从动带轮783和辊刷77绕X轴方向的轴心旋转。另外，环形带782在设置于回收单元7的外侧壁740和内侧壁741的通过孔中通过，在该通过孔中配设有未图示的密封部件。

[0066] 在回收箱73的侧壁连接有第2连通路72的一端，该第2连通路72由金属配管或具有挠性的树脂管等构成，第2连通路72的另一端与鼓风机90的未图示的吸入口连通。在本实施方式中，例如在鼓风机90的排出口90a连接有配管930的一端，在配管930的另一端连接有将利用鼓风机90排出的排气的流量分割成两部分的分割部93。分割部93例如是能够对排气管941和导入管942这两个流路的流量进行调整的三通阀。另外，分割部93可以由能够调整分割管、排气管941以及导入管942中的任意一方的流量的调整阀构成。另外，也可以利用排气管941和导入管942的配管直径来分割排气的流量。

[0067] 在分割部93连接有上述排气管941和导入管942的一端，该排气管941与具有吸引单元的工厂设备的排气装置连通；该导入管942用于使分割部93所分割的一方的流量的排气返回至干燥箱60内。在顶板603的投入口604的附近沿厚度方向贯通形成有返回入口606，连接有导入管942的另一端。

[0068] 以下，对沉渣干燥装置1的动作进行说明，该沉渣干燥装置1从一边提供加工水一边利用磨具404b对图1所示的固体的被加工物S进行磨削而排出的包含被加工物S的粉P在内的废液L中回收含有水分的沉渣P并使其干燥。

[0069] 首先，在利用保持工作台41的保持面41a对被加工物S进行吸引保持之后，对工作台支承台42进行驱动而成为在保持工作台41上的被加工物S与磨具404b对置的磨削位置进行定位的状态。并且，电动机402使旋转轴400绕Z轴方向的轴心旋转驱动，与此相伴磨削磨轮404进行旋转。另外，磨削单元40下降，旋转的磨具404b与保持工作台41所保持的被加工物S的上表面抵接而进行磨削。另外，保持工作台41按照规定的速度进行旋转，与此相伴保持面41a上的被加工物S也进行旋转，因此磨具404b进行被加工物S的整个上表面的磨削加工。磨削中，对磨具404b与被加工物S的上表面的接触部位提供加工水，对接触部位进行冷却、清洗。

[0070] 通过该磨削加工对被加工物S进行磨削而形成微细的被加工物S的粉，并且该粉P混入加工水而生成包含沉渣P的废液L。所生成的废液L在经由开口49a流入至水箱48之后，经由供液管485a、容器12以及送出管121a而流入并储存于废液槽2中。

[0071] 在这样废液L储存于废液槽2的状态下，如图3所示，使阳极板31和阴极板30着液在废液L中，将直流电源DC的正极(+)供电至阳极板31，另一方面将直流电源DC的负极(-)供电至阴极板30。其结果是，在阳极板31与阴极板30之间形成电场。并且，混入至废液L且带负(-)电的沉渣P通过电泳而被带负(-)电的阴极板30排斥，吸附在带正(+)电的阳极板31上。通过使沉渣P吸附在阳极板31上将沉渣P大致去除而成为净水的废液L通过图3所示的排出部33b进行取水而供应至未图示的净水储水容器。

[0072] 在阳极板31吸附一定量的沉渣P之后，图1所示的Y轴方向移动单元34将插拔单元32的保持部320定位于一个阳极板31的上方。接着，保持部320下降而对阳极板31进行保持，将阳极板31从废液槽2内的废液L中提起。并且，如图4所示，Y轴方向移动单元34使保持着阳极板31的保持部320移动至干燥箱60的投入口604上方。

[0073] 然后，如图4所示，利用剥取单元36的一对开闭气缸360使一对剥取板362水平移动，利用剥取板362夹持阳极板31。从该状态起，保持部320上升而将被固定的剥取板362夹持的阳极板31提起。由此，从阳极板31剥取含有水分的沉渣P，沉渣P成为块，并从干燥箱60的投入口604落在箱内部的引导板604b上，进一步移动至搬送带51上。

[0074] 接着，通过电动机540、驱动辊541以及从动辊542使搬送带51转动而将含有水分的沉渣P从-Y方向侧向+Y方向侧搬送。如图5所示，在搬送带51的上方配设有作为厚度调整单元55的一对夹持辊，因此搬送带51上的含有水分的沉渣P一边通过厚度调整单元55从上下方向夹持一边在厚度调整单元55中通过，从而在搬送带51上被拉长成规定的厚度(极薄的厚度)。

[0075] 利用上述搬送带51进行含有大量水分的沉渣P的搬送，并且对配设在干燥箱60的外部的鼓风机90进行驱动，所产生的吸引力通过第2连通路72、回收箱73、第1连通路71以及第一排气口70a和第二排气口70b而传递至干燥箱60的通气路600。因此，通过同样的流路而吸引干燥箱60内的空气。并且，将外部气体(空气)从还作为吸气口发挥作用的投入口604吸入至干燥箱60内，空气在通气路600上沿搬送方向(-Y方向至+Y方向)流动。其结果是，搬送带51上的沉渣P的水分蒸发而使沉渣P干燥。

[0076] 在本实施方式中，在干燥箱60内的通气路600上沿搬送方向流动的气体与配设在干燥箱60的顶板603的下表面的凸部603a碰撞而成为湍流。即，在搬送带51上产生不规则的气体的旋涡，并且气体在搬送方向上流动。其结果是，对搬送带51的上表面的含有水分的沉渣P的上表面喷送湍流，从而更容易蒸发含有水分的沉渣P的水分而使沉渣P进一步干燥。

[0077] 在本实施方式中，如图5所示，鼓风机90的风量例如设定为10m3/分钟。并且，从干燥箱60内吸气并从鼓风机90的排出口90a排出到配管930的排气G例如被分割部93分割成向工厂设备的排气装置侧流动的另一方的流量(例如风量为5m3/分钟)的排气G2以及返回至干燥箱60内的一方的流量(例如风量为5m3/分钟)的排气G1这两部分。另外，排气G吸收鼓风机90的未图示的电动机所产生的热，因此在鼓风机90内温度上升5度～6度。因此，一方的排气G1的温度也比从投入口604吸入至干燥箱60的外部气体高5度～6度的温度。并且，一方的排气G1经由导入管942和返回入口606而返回至干燥箱60内。另外，一方的排气G1的流量与另一方的排气G2的流量之比并不限于上述那样的1：1。

[0078] 使分割部93所分割的一方的流量的排气G1从返回入口606返回至干燥箱60内，并且继续利用鼓风机90从干燥箱60内吸气。并且，干燥箱60内的气压保持恒定，因此与分割部93所分割的另一方的流量的排气G2相同的量(例如风量为5m3/分钟)的外部气体从投入口
604吸入至干燥箱60内。并且，一方的流量的排气G1和从投入口604吸入的外部气体混合，在通气路600上沿搬送方向(-Y方向至+Y方向)流动，由此将搬送带51上的沉渣P的水分蒸发而使沉渣P干燥。这样，将通过配设在干燥箱60的外部的鼓风机90进行动作而经由回收单元7的第一排气口70a和第二排气口70b从干燥箱60内吸入的空气从干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)返回至干燥箱60中从而使空气循环。

[0079] 这样，从含有水分的沉渣P中去除水分，从而搬送带51上的接近回收单元7的沉渣P大部分成为干燥的状态。回收单元7对该干燥的沉渣P进行回收。即，通过旋转单元78使辊刷77绕X轴方向的轴心按照规定的旋转速度进行旋转。

[0080] 搬送带51上的干燥的沉渣P首先从回收单元7的第一排气口70a朝向第1连通路71而被吸引。这里，从第一排气口70a吸引沉渣P中的即使未通过辊刷77刮挠也能够从搬送带51上去除的比较大的尺寸的沉渣P。

[0081] 未被第一排气口70a吸引的干燥的沉渣P进一步通过搬送带51而朝向辊刷77侧进行搬送。并且，通过一边旋转一边使毛尖与搬送带51接触的辊刷77在搬送带51上刮挠而在空中呈较细的粉状卷起，从而被吸入至第二排气口70b内。

[0082] 从第一排气口70a或第二排气口70b吸引的沉渣P通过第1连通路71而从沉渣导入口732a储存于回收箱73内的回收袋735中。并且，当规定量的干燥的沉渣P储存于回收袋735时，例如作业者将带脚轮的台车19从干燥箱60的下方拉出，将储存有规定量的干燥的沉渣P的回收袋735连同回收箱73一起从干燥箱60的下方移动。

[0083] 例如在带脚轮的台车19的旁边，载置有回收袋735为空的另外的回收箱73的其他带脚轮的台车19进行待机，通过作业者将新的其他带脚轮的台车19移动至干燥箱60的下方的规定的位置，使新的回收箱73的沉渣导入口732a与第1连通路71的下端侧连通。其结果是，几乎不使沉渣干燥装置1停止而能够持续进行干燥的沉渣P的回收。

[0084] 本发明的沉渣干燥装置1具有：废液槽2；取出单元3，其从废液槽2中取出沉渣P；搬送带51，其载置所取出的沉渣P而将该沉渣P搬送至回收单元7；以及干燥单元6，其使搬送带51所搬送的沉渣P干燥，干燥单元6具有：干燥箱60，其至少包围搬送带51的上表面而在搬送带51的延伸方向上延伸；投入口604，其配设在干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)，将沉渣P投下至搬送带51；回收单元7，其配设在干燥箱60的另一端侧(+Y方向)，具有第一排气口70a和第二排气口70b；以及返回入口606，其使通过配设在干燥箱60的外部的鼓风机90进行动作而经由第一排气口70a和第二排气口70b从干燥箱60内吸入的空气从干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)返回至干燥箱60中从而使空气循环，回收单元7具有：辊刷77，其与第一排气口70a和第二排气口70b相邻，在与搬送带51的延伸方向交叉的方向上延伸；旋转单元78，其使毛尖接触着搬送带51的辊刷77旋转；回收箱73，其对利用辊刷77而从搬送带51分离的干燥的沉渣P进行回收；第1连通路71，其将第一排气口70a和第二排气口70b与回收箱73连通；以及第
2连通路72，其将回收箱73和鼓风机90连通，从而一边利用辊刷77使干燥的较细的沉渣P从搬送带51分离一边利用鼓风机90的吸引力进行吸引而回收，因此在干燥箱60内干燥的沉渣P不会长时间飞舞，能够不污染干燥箱60内。另外，不使用加热器而使沉渣P干燥，因此能够抑制沉渣干燥装置1的耗电量，能够使熔点低的沉渣P在不因加热器的热而在搬送带51上熔化的条件下进行干燥，并且在进行搬送带51的更换、干燥箱60内的清扫时，不产生作业者等待至加热器冷却为止的时间。

[0085] 本发明的沉渣干燥装置1在干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)具有吸入外部气体的吸气口(投入口604)，具有将利用鼓风机90经由第一排气口70a和第二排气口70b从回收箱73排出的排气的流量分割成两部分的分割部93，从而例如使分割部93所分割的排气从返回入口606返回至干燥箱60，从而能够将搬送带51所搬送的沉渣P高效地干燥。另外，在使沉渣P干燥时，在干燥箱60内，由于空气与沉渣P的接触而产生氢，但与加热器干燥的情况不同，所产生的氢不会积存在干燥箱60内，即能够抑制干燥箱60内的氢的浓度，因此能够防止氢爆炸。另外，例如也能够通过分割部93而减少流入至工厂设备的排气装置侧的排气量，因此也能够降低工厂设备的排气装置的负担。

[0086] 本发明的沉渣干燥装置1不限于本实施方式，当然可以在其技术思想的范围内利用各种不同的方式实施。另外，对于附图所示的沉渣干燥装置1、磨削装置4的各结构的形状等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当变更。